JPS62140352U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62140352U JPS62140352U JP2513486U JP2513486U JPS62140352U JP S62140352 U JPS62140352 U JP S62140352U JP 2513486 U JP2513486 U JP 2513486U JP 2513486 U JP2513486 U JP 2513486U JP S62140352 U JPS62140352 U JP S62140352U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- foreign object
- mirror
- object detection
- plate surface
- rotating mirror
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Description
第１図は本考案に係る光学式異物検出装置の一
実施例を示す構成図、第２図はこの異物検出装置
の受光素子にて受光される光の強さを示す波形図
、第３図は回転ミラーの回転位置とこの回転ミラ
ーにおいて反射するスポツトビームの反射方向と
の関係を示す平面図である。 １……作業テーブル、２……投光源、４……ハ
ーフミラー、５……回転ミラー、６……パルスモ
ータ、７……反射板、７−１〜７−ｎ……部分ミ
ラー、９……受光素子、１０……異物検出回路。
実施例を示す構成図、第２図はこの異物検出装置
の受光素子にて受光される光の強さを示す波形図
、第３図は回転ミラーの回転位置とこの回転ミラ
ーにおいて反射するスポツトビームの反射方向と
の関係を示す平面図である。 １……作業テーブル、２……投光源、４……ハ
ーフミラー、５……回転ミラー、６……パルスモ
ータ、７……反射板、７−１〜７−ｎ……部分ミ
ラー、９……受光素子、１０……異物検出回路。
Claims (1)
- ハーフミラーを透過して照射される光の反射方
向を回転しながら可変する回転ミラーと、被異物
検出板面に隣接して断続的に配列されると共に、
この板面上を横断して照射される前記回転ミラー
の反射光を反射し前記回転ミラーを経由してハー
フミラーの鏡面に導く反射面と、前記ハーフミラ
ーの鏡面に前記回転ミラーの反射光が前記反射面
を介して関接的に照射される回数カウントしこの
カウント値に基づいて前記板面上の異物の検出を
行う異物検出手段とを備えてなる光学式異物検出
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2513486U JPH048352Y2 (ja) | 1986-02-25 | 1986-02-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2513486U JPH048352Y2 (ja) | 1986-02-25 | 1986-02-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62140352U true JPS62140352U (ja) | 1987-09-04 |
| JPH048352Y2 JPH048352Y2 (ja) | 1992-03-03 |
Family
ID=30825003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2513486U Expired JPH048352Y2 (ja) | 1986-02-25 | 1986-02-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH048352Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-02-25 JP JP2513486U patent/JPH048352Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH048352Y2 (ja) | 1992-03-03 |
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