JPS62145309A - 精密送り装置 - Google Patents
精密送り装置Info
- Publication number
- JPS62145309A JPS62145309A JP28549685A JP28549685A JPS62145309A JP S62145309 A JPS62145309 A JP S62145309A JP 28549685 A JP28549685 A JP 28549685A JP 28549685 A JP28549685 A JP 28549685A JP S62145309 A JPS62145309 A JP S62145309A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- guide bar
- carriage
- clamping pieces
- clamping
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/50—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding step-by-step
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
- Moving Of Heads (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
本発明は精密送り装置に係り、さらに詳しくは圧Tr、
素子を用いた精密送り装置に関するものである。
素子を用いた精密送り装置に関するものである。
[従来の技術]
一般に、ある部材を直線方向に高精度に送るには駆動源
としてのモータの回転運動を直線連動に変換する構造が
採用されている。
としてのモータの回転運動を直線連動に変換する構造が
採用されている。
このような構造のいくつかの例を第10図および第11
図(A)、(B)、(C)に示す。
図(A)、(B)、(C)に示す。
m10図に示す例は磁気ディスク装置のへッドキャリ、
ジの送り機構1こ適用したもので、図において符号1で
示すキャリッジは磁気へ1.ド2を有し、その一端はカ
イトパー3に摺動自在に嵌合されている。
ジの送り機構1こ適用したもので、図において符号1で
示すキャリッジは磁気へ1.ド2を有し、その一端はカ
イトパー3に摺動自在に嵌合されている。
また、キャリ、ジ1の他端はガイドバー3と平行に配訝
されたスクリュー4に摺動自在に嵌合されている。
されたスクリュー4に摺動自在に嵌合されている。
スクリュー4の一端はステッピングモータ5の出力軸に
律結されており、他端は軸受6によって回転自在に軸承
されている。スクリュー4のねじ溝にはキャリアジ1の
一部に横架されたニードル7の途中が嵌合されている。
律結されており、他端は軸受6によって回転自在に軸承
されている。スクリュー4のねじ溝にはキャリアジ1の
一部に横架されたニードル7の途中が嵌合されている。
符号8で示すものはスピンドルモータで、図示していな
い磁気ディスクを回転させる役目を持ち、その中心と磁
気ヘッド2とは同一軸線上にある。
い磁気ディスクを回転させる役目を持ち、その中心と磁
気ヘッド2とは同一軸線上にある。
上述したような構造のもとにステッピングモータ5を回
転させると、スクリュー4が回転し、そのねじ溝中に嵌
合されているニードル7がナツトの役目を果たし、スク
リュードライブの原理によってステッピングモータ5の
回転方向に応じてガイドバー3に沿ってキャリジが磁気
ディスクの半径方向に移動し、磁気記録、再生を行なう
。
転させると、スクリュー4が回転し、そのねじ溝中に嵌
合されているニードル7がナツトの役目を果たし、スク
リュードライブの原理によってステッピングモータ5の
回転方向に応じてガイドバー3に沿ってキャリジが磁気
ディスクの半径方向に移動し、磁気記録、再生を行なう
。
一方、第11図(A)に示す例も磁気ディスク装置に用
いられるヘソドキャリンジの送り機構に適用したもので
1図において符号10で示すキャリッジは2木のカイト
パー11.12によって摺動自在に案内される。
いられるヘソドキャリンジの送り機構に適用したもので
1図において符号10で示すキャリッジは2木のカイト
パー11.12によって摺動自在に案内される。
キャリッジ10には磁気ヘッド13が設けられており、
キャリッジ13の側面に突設された支持部材14上には
いわゆるα巻きされたスチールベルト15がその両端を
固定された状態で設けられている。
キャリッジ13の側面に突設された支持部材14上には
いわゆるα巻きされたスチールベルト15がその両端を
固定された状態で設けられている。
一方、符号16で示すものはステッピングモータで、そ
の出力軸に固定されたブーりに前記スチールベルト15
のα巻きの部分が巻き付けられている。
の出力軸に固定されたブーりに前記スチールベルト15
のα巻きの部分が巻き付けられている。
符号18で示すものはスピンドルハブで不図示の磁気デ
ィスクを回転させる。
ィスクを回転させる。
上述したような構造のもとにステッピングモータ16を
回転させると、その回転方向に応じてスチールベルト1
5が巻き取られ、キャリッジ10が不図示の磁気ディス
クの半径方向に移動し、磁気記録、再生を行なう。
回転させると、その回転方向に応じてスチールベルト1
5が巻き取られ、キャリッジ10が不図示の磁気ディス
クの半径方向に移動し、磁気記録、再生を行なう。
なお、α巻きのスチールベルト15には第11図(B)
に示すような1−2巻きと呼ばれる方式と、同図(C)
に示すような1−1巻きと呼ばれる方式のものとがある
。
に示すような1−2巻きと呼ばれる方式と、同図(C)
に示すような1−1巻きと呼ばれる方式のものとがある
。
[発明が解決しようとする問題点]
」二連したような送り機構はいずれもスッテッピングモ
ータの微小な回転連動をスクリュードライブ機構や、ス
チールベルトを介して直線運動に変換する構成を採用し
ているため、ステッピングモータやスクリューあるいは
スチールベルトなどの部品点数が多く、全体として複雑
で、かつ大型化してしまい、かつそれほどの高精度が得
られないという問題点があった。
ータの微小な回転連動をスクリュードライブ機構や、ス
チールベルトを介して直線運動に変換する構成を採用し
ているため、ステッピングモータやスクリューあるいは
スチールベルトなどの部品点数が多く、全体として複雑
で、かつ大型化してしまい、かつそれほどの高精度が得
られないという問題点があった。
[問題点を解決するための手段]
本発明においてはに述した問題点を解決するために、被
送り部材を案内するガイドバーの一端にガイドバーを軸
方向に振動させる第1の圧電素子を設け、被送り部材側
にはガイドバーの挾持部材の挾持力を発生させる第2の
圧電素子を設けた構造を採用した。
送り部材を案内するガイドバーの一端にガイドバーを軸
方向に振動させる第1の圧電素子を設け、被送り部材側
にはガイドバーの挾持部材の挾持力を発生させる第2の
圧電素子を設けた構造を採用した。
[作 用]
上述したような構造を採用すると、第1の圧電素子によ
り、ガイドバーが被送り部材の送り方向に微小移動させ
られた時に第2の圧電素子を駆動して挾持部材に挾持力
を与えたり除去したりして、被送り部材をガイドバーの
変位と共に微小移動させることができる。
り、ガイドバーが被送り部材の送り方向に微小移動させ
られた時に第2の圧電素子を駆動して挾持部材に挾持力
を与えたり除去したりして、被送り部材をガイドバーの
変位と共に微小移動させることができる。
第2の圧電素子の駆動を励起させるパルスの位相を調整
することによっては、被送り部材を逆づj向に進行させ
ることもできる。従って、上述した動作を繰り返せば、
被送り部材を微小距離ずつ精度よく送ることができる。
することによっては、被送り部材を逆づj向に進行させ
ることもできる。従って、上述した動作を繰り返せば、
被送り部材を微小距離ずつ精度よく送ることができる。
[実施例]
以下、図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明
する。
する。
[第1実施例]
第1図〜第5図は本発明の第1の実施例を説明するもの
で、ヘッドキャリッジの送り機構に適用したものとして
例示しである。
で、ヘッドキャリッジの送り機構に適用したものとして
例示しである。
第1図〜第3図において符号20で示すものはキャリッ
ジで、その一端はL字状のアーム21が形成されており
、その水平部の先端の上面には磁気ヘッド22が設けら
れている。
ジで、その一端はL字状のアーム21が形成されており
、その水平部の先端の上面には磁気ヘッド22が設けら
れている。
また、キャリッジ20の他端側には支持板23が突設さ
れており、この支持板23と前記アーム21とにはガイ
ドバー24が摺動自在に嵌合されている。
れており、この支持板23と前記アーム21とにはガイ
ドバー24が摺動自在に嵌合されている。
ガイドバー24の一端は第1の圧電素子25の一端に連
結されている。圧電素子25の他端は装置の固定部26
に固定されている。
結されている。圧電素子25の他端は装置の固定部26
に固定されている。
一方、キャリッジ20の上面の中央部には支持板27が
突設されている。この支持板27はほぼ8字状に形成さ
れており、左右には突片29.30が突設されており、
中央部には左右一対の挾持片31,32が突設されてい
る。
突設されている。この支持板27はほぼ8字状に形成さ
れており、左右には突片29.30が突設されており、
中央部には左右一対の挾持片31,32が突設されてい
る。
挾持片31.32は第3図に示すようにその上端部の内
側には対向した状態で7字状の切欠部31a、32aが
形成されており、これら切欠部31a、32a間にカイ
’r:/<−24が嵌合されている。
側には対向した状態で7字状の切欠部31a、32aが
形成されており、これら切欠部31a、32a間にカイ
’r:/<−24が嵌合されている。
1組の挾持片31.32の基端間には円形のえぐり81
!33が形成されており、 さらに、左右の挾持片31
.32の基端の外側にも円形のえぐり部34がそれぞれ
形成されている。
!33が形成されており、 さらに、左右の挾持片31
.32の基端の外側にも円形のえぐり部34がそれぞれ
形成されている。
これらえぐり部33.34を形成することにより、各挾
持片31.32の基端にはヒンジ部31b、32bが形
成され、1組の挾持片31゜32はその先端が互いに接
近、離間することが容易になるように構成されている。
持片31.32の基端にはヒンジ部31b、32bが形
成され、1組の挾持片31゜32はその先端が互いに接
近、離間することが容易になるように構成されている。
一方、左右の突片29,30と各挾持片31゜32の間
には第2の圧電素子35がそれぞれ嵌合されている。
には第2の圧電素子35がそれぞれ嵌合されている。
なお、ガイドバ−24の他端はガイドバー24が軸方向
に変位しやすいように支持されている。
に変位しやすいように支持されている。
キャリッジ20の下面には圧電素子駆動回路36が設け
られている。
られている。
次に、以上のように構成された本実施例の動作について
説明する。
説明する。
第4図(A)〜(C)は第1および第2の圧電素子25
.35に印加する駆動パルスのタイミングチャート図で
、同図(A)はガイドバー側に設けられた第1の圧電素
子25の駆動パルスを示している。
.35に印加する駆動パルスのタイミングチャート図で
、同図(A)はガイドバー側に設けられた第1の圧電素
子25の駆動パルスを示している。
また、第4図(B)にはキャリッジが一方の方向へ移動
する場合の第2の圧電素子35に印加される駆動パルス
が示してあり、同図(C)にはキャリ、ジが他方の方向
へ移動する場合の第2の圧電素子35に印加される駆動
パルスが示しである。
する場合の第2の圧電素子35に印加される駆動パルス
が示してあり、同図(C)にはキャリ、ジが他方の方向
へ移動する場合の第2の圧電素子35に印加される駆動
パルスが示しである。
まず、キャリッジ20が一方、例えばホームポジション
からリターンポジションの方向へ移動する場合について
説明する。
からリターンポジションの方向へ移動する場合について
説明する。
第4図(A)、CB)に示すようにガイドバー側の第1
の圧電素子25が駆動される前にチャンキノグ側の第2
の圧電素子35が駆動され、挾持片31.32が接近す
る方向に変形する。このため、1組の挾持片31.32
は切欠部31a。
の圧電素子25が駆動される前にチャンキノグ側の第2
の圧電素子35が駆動され、挾持片31.32が接近す
る方向に変形する。このため、1組の挾持片31.32
は切欠部31a。
32aを介してガイドバ−24を挾持する。
従って、キャリッジ20は送り方向に微小に移動するガ
イドバー24と共に微小距離移動する。
イドバー24と共に微小距離移動する。
そして、第2の圧電素子35のパルス電圧を切りその後
部1の圧電素子25に対するパルス電圧を切ると圧電素
子25の収縮と共にガイドバ−24が微小変位する。
部1の圧電素子25に対するパルス電圧を切ると圧電素
子25の収縮と共にガイドバ−24が微小変位する。
この状態では挾持片31,32のガイド/へ一24に対
する挾持力はなくなり、キャリッジ20はガイドバー2
4に対し、アーム21と支持板23の軸受部を介して摺
接しているだけなので、ガイドバー24が送り方向とは
逆方向に変位してもキャリッジ20の慣性により、キャ
リッジ20はその位置にとどまる。以下、同様の動作を
繰返し、キャリッジは往方向へ微小距離ずつ移動する。
する挾持力はなくなり、キャリッジ20はガイドバー2
4に対し、アーム21と支持板23の軸受部を介して摺
接しているだけなので、ガイドバー24が送り方向とは
逆方向に変位してもキャリッジ20の慣性により、キャ
リッジ20はその位置にとどまる。以下、同様の動作を
繰返し、キャリッジは往方向へ微小距離ずつ移動する。
全体としての移動距離は微小単位距離×第2の圧電素子
の駆動パルス数となる。
の駆動パルス数となる。
一方、キャリッジの復方向の動作は往方向の時には収縮
方向であったカイトパーの動作を利用する。
方向であったカイトパーの動作を利用する。
即ち、′:fS4図(A)、(C)から明らかなように
、第2の圧電素子35ヘパルス電圧を印加した後に第1
の圧電素子25へのパルス電圧を切る。
、第2の圧電素子35ヘパルス電圧を印加した後に第1
の圧電素子25へのパルス電圧を切る。
すると 挾持片31.32はガイドバー24が変位しは
じめる前にガイドバー24をチャッキングし、ガイドバ
ーが変位する方向へ微小移動するに従い一体となって微
小移動する。そして、所定時間経過して第1の圧電素子
25に次のパルス電圧が印加される前に第2の圧電素子
35に対するパルス電圧を切る。
じめる前にガイドバー24をチャッキングし、ガイドバ
ーが変位する方向へ微小移動するに従い一体となって微
小移動する。そして、所定時間経過して第1の圧電素子
25に次のパルス電圧が印加される前に第2の圧電素子
35に対するパルス電圧を切る。
この状態では挾持片31.32はガイドバー24を抱束
してはいないため、第1の圧電素子25が再度駆動され
、ガイドバー24が変位しても、キャリフジ20は慣性
によりその位置にとどまる。
してはいないため、第1の圧電素子25が再度駆動され
、ガイドバー24が変位しても、キャリフジ20は慣性
によりその位置にとどまる。
以下、同様な動作を繰り返し復動作を行なう。
第5図(A)〜(C)はガイドバーおよびキャリジの変
位を説明する線図で、同図(A)はガイドバー24の変
位を、同図(B)はキャリッジの往方向((+)方向)
への変位を、同図(C)はキャリッジの復方向((−)
方向)への変位を示している。
位を説明する線図で、同図(A)はガイドバー24の変
位を、同図(B)はキャリッジの往方向((+)方向)
への変位を、同図(C)はキャリッジの復方向((−)
方向)への変位を示している。
なお、キャリッジの微小な単位送り距離は第1の圧電素
子25の変位量によって決定されるが、印加パルス電圧
を適当に操作することにより、11gm単位の微小送り
位置決めを高精度で行なうことができる。
子25の変位量によって決定されるが、印加パルス電圧
を適当に操作することにより、11gm単位の微小送り
位置決めを高精度で行なうことができる。
本実施例は以−ヒのように構成されているため、3個の
圧電素子を用いるだけで高精度の送り機構を得ることが
でき、部品点数も少なく、小型、軽量化することができ
る。
圧電素子を用いるだけで高精度の送り機構を得ることが
でき、部品点数も少なく、小型、軽量化することができ
る。
[第2実施例]
第6図(A)〜(D)は本発明の第2の実施例を説明す
るもので、本実施例にあっては挾持手段として環状の圧
電素子37を用いている。この圧電素子37は図示して
いない手段によりキャリッジ20側に取付けられており
、電圧を印加すると同図(A’l 、(B)に示すよ
うに収縮してガイドバー24を挾持し、電圧を印加しな
い場合には同図(C)、(D)に示すように拡径状態と
なり、カイトパー24を解放する。
るもので、本実施例にあっては挾持手段として環状の圧
電素子37を用いている。この圧電素子37は図示して
いない手段によりキャリッジ20側に取付けられており
、電圧を印加すると同図(A’l 、(B)に示すよ
うに収縮してガイドバー24を挾持し、電圧を印加しな
い場合には同図(C)、(D)に示すように拡径状態と
なり、カイトパー24を解放する。
この環状の圧電素子37は挾持手段を構成すると共に、
第1の実施例における第2の圧電素子の役目を果たす。
第1の実施例における第2の圧電素子の役目を果たす。
このように環状の圧電素子37を用いて挾持手段を構成
し、さらに第1の実施例における第2の圧電素子の役目
を持たせても、第1の実施例と同様の効果が得られると
共に、部品点数を減少させることができる。
し、さらに第1の実施例における第2の圧電素子の役目
を持たせても、第1の実施例と同様の効果が得られると
共に、部品点数を減少させることができる。
[第3実施例]
第7図は本発明の第3の実施例を説明するもので本実施
例にあっては2つの挾持片31.32の基端間に圧電素
子38を設けた構造を採用している。このような構造を
採用すれば1個の圧電素子で挾持片31.32を作動さ
せることができ、さらに構造は簡略化される。
例にあっては2つの挾持片31.32の基端間に圧電素
子38を設けた構造を採用している。このような構造を
採用すれば1個の圧電素子で挾持片31.32を作動さ
せることができ、さらに構造は簡略化される。
[第4実施例]
第8図(A)、(B)は本発明の第4の実施例を説明す
るもので、本実施例にあってはガイドバー24の断面形
状は円形のものとし、第1の圧TfL素子25の形状を
方形状の積層体のものとして構成してあり、第8図(B
)に示す例ではガイドバー24の断面形状を四辺形状の
ものとし、第1の圧電素子25の形状を角形のものとし
である。
るもので、本実施例にあってはガイドバー24の断面形
状は円形のものとし、第1の圧TfL素子25の形状を
方形状の積層体のものとして構成してあり、第8図(B
)に示す例ではガイドバー24の断面形状を四辺形状の
ものとし、第1の圧電素子25の形状を角形のものとし
である。
上述したような構造を採用しても前述した実施例と同様
の効果が得られる。
の効果が得られる。
[第5実施例]
S9図は本発明の第5の実施例を説明するもので、本実
施例にあってはガイドバー24の両端に第1の圧電素子
25.25aが設けられている。
施例にあってはガイドバー24の両端に第1の圧電素子
25.25aが設けられている。
そして、これら圧電素子25.25aは位相をπだけず
らして駆動するようにしである。
らして駆動するようにしである。
このような構造を採用するとガイドバー24に沿った振
動をより確実に得ることができる。
動をより確実に得ることができる。
[効 果]
以上の説明から明かなように本発明によれば。
ヘッドキャリッジなどの被送り部材を直線方向に高精度
に送る駆動源としてガイドバーを軸方向に振動させる第
1の圧電素子と、この第1の圧電素子を位相をずらして
駆動されると共に、被送り部材に直接または間接に挾持
力を午える第2の圧電素子を設けた構造を採用している
ため、モータやベルトなどの駆動部材を用いることなく
被送り部材を高精度に送ることができ、装置を小型化し
、部品点数を少なくすることができる。
に送る駆動源としてガイドバーを軸方向に振動させる第
1の圧電素子と、この第1の圧電素子を位相をずらして
駆動されると共に、被送り部材に直接または間接に挾持
力を午える第2の圧電素子を設けた構造を採用している
ため、モータやベルトなどの駆動部材を用いることなく
被送り部材を高精度に送ることができ、装置を小型化し
、部品点数を少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図〜第5図は本発明の第1の実施例を説明するもの
で、第1図は駆動系の斜視図、第2図は駆動系の側面図
、第3図は駆動系の正面図、第4図(A)〜(C)は圧
電素子の駆動方法を説明するタイミングチャート図、第
5図(A)〜(C)はガイドバーの変位およびキャリ・
ンジの変位を説明するm図、第6図(A)〜(D)は本
発明の第2の実施例を説明する駆動状態の説明図、第7
図は本発明の第3の実施例を説明する駆動系の正面図、
第8図(A)、(B)は本発明の第4の実施例を説明す
るガイドバー側の斜視図、第9図は本発明の第5の実施
例を説明するガイドバ一部分の側面図 第10図は従来
構造を説明する平面図、第11図(A)〜(C)は従来
の他の例を説明す(、eQ る#考で、同図(A)は駆動系の平面図、同図(B)、
(C)はスチールベルトの41視図である。 20・・・キャリッジ 24・・・ガイド/九−25
・・・第1の圧電素子 35・・・第2の圧電素子 ■ (A) (B) 馬V重7J4天専ミの分也口呂口 第6図
で、第1図は駆動系の斜視図、第2図は駆動系の側面図
、第3図は駆動系の正面図、第4図(A)〜(C)は圧
電素子の駆動方法を説明するタイミングチャート図、第
5図(A)〜(C)はガイドバーの変位およびキャリ・
ンジの変位を説明するm図、第6図(A)〜(D)は本
発明の第2の実施例を説明する駆動状態の説明図、第7
図は本発明の第3の実施例を説明する駆動系の正面図、
第8図(A)、(B)は本発明の第4の実施例を説明す
るガイドバー側の斜視図、第9図は本発明の第5の実施
例を説明するガイドバ一部分の側面図 第10図は従来
構造を説明する平面図、第11図(A)〜(C)は従来
の他の例を説明す(、eQ る#考で、同図(A)は駆動系の平面図、同図(B)、
(C)はスチールベルトの41視図である。 20・・・キャリッジ 24・・・ガイド/九−25
・・・第1の圧電素子 35・・・第2の圧電素子 ■ (A) (B) 馬V重7J4天専ミの分也口呂口 第6図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)ガイドバーに沿って被送り部材を微小距離ずつ送る
精密送り装置において、ガイドバーの一端にガイドバー
を軸方向に振動させる第1の圧電素子を設け、被送り部
材側に第1の圧電素子と位相をずらして駆動されると共
に被送り部材を直接または間接に挾持する第2の圧電素
子を設けたことを特徴とする精密送り装置。 2)被送り部材側にはガイドバーを両側から挾持する1
組の挾持片が設けられ、第2の圧電素子はこれら挾持片
の外側と被送り部材との間に設けられていることを特徴
とする特許請求の範囲第1項に記載の精密送り装置。 3)被送り部材側にはガイドバーを両側から挾持する1
組の挾持片が設けられ、第2の挾持片がこれら挾持片間
に設けたことを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載
の精密送り装置。 4)第2の圧電素子はガイドバーを囲んで環状に形成さ
れた状態で被送り部材側に設けられていることを特徴と
する特許請求の範囲第1項に記載の精密送り装置。 5)第1の圧電素子はガイドバーの両端に設けられると
共に位相をずらして駆動されるように構成したことを特
徴とする特許請求の範囲第1項から第4項までのいずれ
か1項に記載の精密送り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28549685A JPS62145309A (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | 精密送り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28549685A JPS62145309A (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | 精密送り装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62145309A true JPS62145309A (ja) | 1987-06-29 |
Family
ID=17692273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28549685A Pending JPS62145309A (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | 精密送り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62145309A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5017820A (en) * | 1990-04-23 | 1991-05-21 | Rockwell International Corporation | Piezoelectric rotary union system |
| US5136201A (en) * | 1990-04-27 | 1992-08-04 | Rockwell International Corporation | Piezoelectric robotic articulation |
| US5994819A (en) * | 1997-06-02 | 1999-11-30 | Minolta Co., Ltd. | Driving apparatus using transducer |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49101812A (ja) * | 1973-01-31 | 1974-09-26 | ||
| JPS598018A (ja) * | 1982-07-07 | 1984-01-17 | Hitachi Ltd | 微動装置 |
-
1985
- 1985-12-20 JP JP28549685A patent/JPS62145309A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49101812A (ja) * | 1973-01-31 | 1974-09-26 | ||
| JPS598018A (ja) * | 1982-07-07 | 1984-01-17 | Hitachi Ltd | 微動装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5017820A (en) * | 1990-04-23 | 1991-05-21 | Rockwell International Corporation | Piezoelectric rotary union system |
| US5136201A (en) * | 1990-04-27 | 1992-08-04 | Rockwell International Corporation | Piezoelectric robotic articulation |
| US5994819A (en) * | 1997-06-02 | 1999-11-30 | Minolta Co., Ltd. | Driving apparatus using transducer |
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