JPS62147734A - ウエハのエツチング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は半導体ウェハの表面に、各種の電子素子を形
成する場合に、焼付の後その半導体ウェハ（以下単にウ
ェハと言う）の表面をエツチングするための装［Ｋ関す
るものである。

従来の技術 従来、この櫨のエツチング装置は、公知のため図示は省
略するが複数枚のウェハを収納したウェハキャリアから
、ウェハを一枚づつ取り出すためのローダと、その次に
いくつかの水洗部とエッチ７７部とを交互に設げ、これ
を−直腺状に配列し、最後の水洗部の次に、乾燥装＋１
及びアンローダを、その延長線上に配設したものである
。

そして、焼付後のウェハを、水洗とエツチングとを繰返
して行い、最後に水洗し、乾燥する。

乾燥後これをアンローダによりキャリアに収納するので
ある。

上記従来の装置はその形式上ローダからアンローダに至
る迄の距離がかなり艮くなり、この装置を据付ける場所
を得ることが田難である。特に既設の工場内にこの装置
を設ける場合、その広さと室内の形状に制限を受ける場
合は据付不能になる場合もある。

発明が解決しようとする問題点 この発明は前記従来のクエハエツテング装食の欠点、即
ちその装置合本が直線的に長（なるため、その据付空間
も直線的に長くなり、それを据付ける室内の形状を、大
きさに制眼されることを、より少くすることを目的とす
るものである。

問題点を解決するための手段 この発明な、実施例を示す図面について述べると、矛１
図〜才４図において、ローダ１とアンローダ２との間に
水洗部３とエツチング部４とを交互に、ｖＩ数組配設し
、最後の水洗部３と前記アンローダ２間疋乾燥装置５を
配設したウェハのエツチング装置において、前記複数組
の水洗部３とエツチング部４との配列をほぼＵ字形状に
形成し、そのＵ字形配列の内側空間部６に、エツチング
ヘッド７を摺動及び回′ｔｄＪ可能に設けたことを特徴
とするウェハのエツチング装置である。

作用 矛１図及び牙２図において、まず、ローダ１により、多
数のウェハ８からその一枚のウェハ８が取り出され１分
離して台９上に置かれる。

この分離して置かれたウェハ８は、同つニノ１８上に回
動されたエツチングヘッド７により保持される１次にこ
のエツチングヘッド７は１１１図において矢印Ａ７方向
に進み、水洗部３上に止る。そしてこの水洗部３におい
て保持したウェハ８を水洗し、この水洗が終了したなら
ば再び矢印Ａ７方向に進み、エツチング部４上に進み、
回部４上において止る。そして、回部４において保持し
たクエへ８のエツチングを行う６次に、そのエツチング
終了俣、エツチングヘッド７はその場で一例として９０
度回転し、水洗部３によりウェハ８の水洗を行う、その
後−例として再度９０度回転し、エツチング部４により
エツチングを行い、次に直線方向に、反矢印Ａ７方向に
進み、水洗部３において水洗し、その終了後又同方向に
進み乾燥装置５においてウェアＳ８を乾燥させ、次にな
お同方向に進み、エツチング加工を終了したウェハ８を
１ａ台１０上に置く、この行かれたウェハ８は、アンロ
ーダ２により保持され、矛４図に示すよう忙集められる
。一方前記エッチングヘッド７は矢印Ａ７方向に進み、
ローダ１の前におい【停止し、１８０度回板回転予めロ
ーダ１により台９上に移されていたウェハ８を保持し、
最初の工程に戻る。以下同一工程を繰返すのである。

実施例 前記ローダ１は一例として才２図に示すように形成され
ている。同図において１２は載置台であり、ウェハ８は
回合１２上に、キャリヤ（図示省略）により間隔を隔て
て、重ねて置かれている。そして回合１２はモータ１３
によりギヤ１４、スクリュー１５によって上下動し得る
よう罠なっている０次［１６は吸着装置であり１図示し
ない真空ボンダに連通されている。又この吸着装置１６
はエアシリンダ１７により上下動し、かつエアシリンダ
１８により軸１９面上を左右動するようになっている。

２０はウェハ８と吸着装置１６間の間隔を検出するセン
サである。

同間隔を検出したセンナ（至）からの信号により。

モータ１３が回転して、載置台１２を上昇させる。

吸着装置１６は最上部のウェア１８を吸着し、若干上方
に上り１次に水平移動し、牙１図に示す台９上に、クエ
へ８を置く。

次に、前記エツチングヘッド７は一例として才３図に示
すようく形成されている。同図において２１は基体ｎ上
に設けられたラックであり、田はピニオンで、これは摺
動部２４に回動自在に設けられている。２５はベベルギ
ヤであり、モータ２６＆Ｃより駆動される。

ｌは回動台であり、摺動部ス上に回動自在に設けられ、
かつモータ四、ギヤ四により回動される。なお前記摺動
部２４は軸（２）上を摺動するようになっている。３１
はアームであり、前記回動台ごに軸着されている。３３
はアーム３１に設けられたエアシリンダであり、そのピ
スト／ロッドあを作動させることにより、アーム３１を
上下に揺動させるようＫなっている。３５は吸着装置で
あり１図示しない真空ボンダに連通されている。

３６はギヤ、３７はモータであり、これらは吸ｆａ装置
あを自転させる。なお褒雑となるため図示は省略するが
、この吸着装［３５は公転もするようになっており、自
転、公転を行って、腐食水洗のむらな防止するようにな
っている。エツチングヘッド７は吸着装置あにより、ウ
ェア１８を吸着保持し、エアシリンダおにより上方に持
ち上げ、モータ謳によりピニオン器を囲板させて軸側上
を移動し、保持しているウェアＳ８を水洗部３上に移動
させる。又同様にエツチング部４上に移動させる。水洗
、エツチング等の場合はエアシリンダおを作動し、アー
ム３１を水平の位置にして行う。

又、前記Ｕ字形状の弧状ｖｆｆ５１Ｃおいてアーム３１
を回動させる場合はモータあを用いて回動台４を回動さ
せる。なお、それらの作動は一例として図示しないタイ
マによって自動的に行わせるようになっている。但し、
そのタイマを解除して別途の指令により行えるようにな
っていることは勿論である。これらは図示しない制御盤
によって行う。

次に、水洗部３又はエツチング部４は一例として矛５図
に示すように形成されている。同図においてあは液槽、
３７はポンダであり、水、又は腐食液μｓを矢印Ａ３７
方向に回動させ、上昇管３９から、ウェハ８に当て、水
洗又は１％食させる。

４０はガイド、４１は戻りガイドな示す、水又は腐食液
羽はウニ八８下面に沿って外方に広がり、その縁辺から
離脱し、戻りガイド４１から８１３６に戻り、以下この
サイクルを繰返すよう罠なっている。

次に前記乾燥装置５は一例として、１７６図に示すよう
に形成された。同図において、４２はウェハ８を保持す
る爪であり１図示しない装置により作動する。爪４２を
設けた基部４３は通孔４４を有しかつモータ４５により
回動され、又通孔４４を通るパイプ４６から供給される
加圧合気により、ウェハ８を乾燥するようになっている
。即ち、この乾燥装置５においては前記エツチングヘッ
ド７からウェハ８を受取り、保持して乾燥する。乾燥の
終了したウェハは再びエツチングヘッド７により待ち去
られる。これらの乾燥、ウェハの授受等は図示しないタ
イマにより指令されて行われる。

次に、前記アンローダ２は一例として、？４図に示すよ
うに形成された。これは殆んど矛２図に示すローダ１と
同様のものであり、異った点はローダ１がセンナ美を有
するのに対し、これを欠釦しているだけのものであるの
で、この詳細な説明は省略する。

なお、前記エツチングヘッド７は、前記置台１０上にウ
ェハ８を置いた後は、前記乾燥装置５の上に戻り、そこ
から１８００回動して前記台９の上に位置する。即ち、
エツチングヘッド７は。

往路を戻るのではないので、早戻りをするのである− 発明の効果 この発明は前記のように構成され、水洗部３、エツチン
グ部４が交互に設けられ、その複数がほぼＵ字形状に配
され、そのＵ字形状の内側空ｃｉＪ能に設けたことによ
り、この装置の据付空間は前記従来のものよりも短（な
り、これを据付ける室内の形状と大きさに制限されるこ
とを、前記従来のものよりも少くすることができろ。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明の実施例を示すもので、Ａ−１図はウェ
ハのエツチング装置の平面図、牙２図は同装置の一部の
ローダの概略図、矛３図は同じく同装置の一部の、エツ
チングヘッドの概略図、矛４図は同じく同装置の一部の
アンローダの概略図、牙５図は同じく同装置ｌの一部の
、水洗部及びエツチング部を示す断面図、矛６図は同じ
く乾燥部を示す断面図である。 １・・・ローダ ２・・・アンローダ ３・・・水洗部 ４・・・エツチング部 ５　・・・乾ブ栗装置 ６・・・内側空間部 ７・・・エッチングヘッド 第１図 第２図 第３図 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ローダ（１）とアンローダ（２）との間に水洗部（３）
   とエッチング部（４）とを交互に、複数組配設し、最後
   の水洗部（３）と前記アンローダ（２）間に乾燥装置（
   ５）を配設したウェハのエッチング装置において前記複
   数組の水洗部（３）とエッチング部（４）との配列をほ
   ぼＵ字形状に形成し、そのＵ字形配列の内側空間部（６
   ）に、エッチングヘッド（７）を、摺動及び回動可能に
   設けたことを特徴とするウェハのエッチング装置。