JPH055632B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH055632B2 JPH055632B2 JP61288023A JP28802386A JPH055632B2 JP H055632 B2 JPH055632 B2 JP H055632B2 JP 61288023 A JP61288023 A JP 61288023A JP 28802386 A JP28802386 A JP 28802386A JP H055632 B2 JPH055632 B2 JP H055632B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface plate
- workpiece
- wrapping
- support
- support arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(発明の属する技術分野)
本発明は、たて軸の平面ラツピング装置におい
て、被加工物が複雑な運動をするためにラツピン
グ加工後の被加工物の所在位置が特定できないの
で、従来は人手作業でなしてきた被加工物の着脱
作業を自動化した装置に関するものである。
て、被加工物が複雑な運動をするためにラツピン
グ加工後の被加工物の所在位置が特定できないの
で、従来は人手作業でなしてきた被加工物の着脱
作業を自動化した装置に関するものである。
(従来の技術)
この種のラツピング装置は、第2図に上定盤を
省略して示したように、矢印の方向に駆動される
かまたは固定される下定盤4上で、被加工物16
を外周部が歯付けのキヤリヤ24中に従来は人手
で着脱し、駆動される太陽ギヤ20と固定または
駆動されるリングギヤ22との間をこれらとかみ
合うキヤリヤ24が自転、公転をする遊星運動を
行うようになつている。
省略して示したように、矢印の方向に駆動される
かまたは固定される下定盤4上で、被加工物16
を外周部が歯付けのキヤリヤ24中に従来は人手
で着脱し、駆動される太陽ギヤ20と固定または
駆動されるリングギヤ22との間をこれらとかみ
合うキヤリヤ24が自転、公転をする遊星運動を
行うようになつている。
これらの上部に上定盤を重ね、上下の定盤の間
に被加工物16が挾まれ、砥粒と加工液の混合物
を上下の定盤と被加工物の間に供給し、加工圧を
加えながら定盤と被加工物14との相対運動を利
用してラツピング加工を行い、加工が終れば上定
盤を移動して被加工物の着脱を人手で行ない、次
のサイクルの加工をするようにしている。
に被加工物16が挾まれ、砥粒と加工液の混合物
を上下の定盤と被加工物の間に供給し、加工圧を
加えながら定盤と被加工物14との相対運動を利
用してラツピング加工を行い、加工が終れば上定
盤を移動して被加工物の着脱を人手で行ない、次
のサイクルの加工をするようにしている。
(発明が解決しようとする問題点)
この被加工物14の着脱は、キヤリヤ24が複
雑な運動をするため、被加工物14の所在位置が
不特定となるので、従来は被加工物14の自動着
脱が困難で、人手作業で被加工物14の着脱を行
わざるを得ないため、着脱時間が長くなつてラツ
ピング装置の稼働率が低下し、しかも人手作業を
要するという欠点があつた。
雑な運動をするため、被加工物14の所在位置が
不特定となるので、従来は被加工物14の自動着
脱が困難で、人手作業で被加工物14の着脱を行
わざるを得ないため、着脱時間が長くなつてラツ
ピング装置の稼働率が低下し、しかも人手作業を
要するという欠点があつた。
本発明は、ラツピング加工後の被加工物の所在
位置を視覚カメラで認識し、ロボツトなどの被加
工物着脱装置によつて、従来人手作業によらざる
を得なかつた被加工物の着脱作業を、人手を要し
ないように自動化した平面ラツピング装置を提供
することを目的とする。
位置を視覚カメラで認識し、ロボツトなどの被加
工物着脱装置によつて、従来人手作業によらざる
を得なかつた被加工物の着脱作業を、人手を要し
ないように自動化した平面ラツピング装置を提供
することを目的とする。
(問題点を解決するための手段)
本発明は、たて軸の平面ラツピング装置におい
て、上定盤支持腕に角度間隔をおいて少くとも1
個以上の支持腕を一体に設け、該支持腕に視覚カ
メラなどの被加工物の認識装置を搭載し、平面ラ
ツピング装置の支持柱に回転自在に取付けられた
支持装置となし、該支持装置を駆動機構によつて
回転駆動して、平面ラツピング装置の下定盤に、
上定盤と被加工物の認識装置とを交互に対向させ
るようにしたもので、平面ラツピング装置に隣接
して設けた被加工物の認識装置を搭載したロボツ
トを使用した装置などによる被加工物の着脱装置
を設けたものである。
て、上定盤支持腕に角度間隔をおいて少くとも1
個以上の支持腕を一体に設け、該支持腕に視覚カ
メラなどの被加工物の認識装置を搭載し、平面ラ
ツピング装置の支持柱に回転自在に取付けられた
支持装置となし、該支持装置を駆動機構によつて
回転駆動して、平面ラツピング装置の下定盤に、
上定盤と被加工物の認識装置とを交互に対向させ
るようにしたもので、平面ラツピング装置に隣接
して設けた被加工物の認識装置を搭載したロボツ
トを使用した装置などによる被加工物の着脱装置
を設けたものである。
(作用)
支持装置は駆動機構によつて回転駆動され支持
装置の回転によつて上定盤と下定盤との対向を解
除し、支持装置に搭載した認識装置を下定盤と対
向させ、認識装置と着脱装置との間の相互の信号
伝達によつて、ラツピング加工後の所在位置が特
定できない被加工物を認識して被加工物の自動着
脱を行う。
装置の回転によつて上定盤と下定盤との対向を解
除し、支持装置に搭載した認識装置を下定盤と対
向させ、認識装置と着脱装置との間の相互の信号
伝達によつて、ラツピング加工後の所在位置が特
定できない被加工物を認識して被加工物の自動着
脱を行う。
自動着脱後は支持装置を回転させて上定盤と下
定盤とを対向させ認識装置と下定盤との対向を解
除しラツピング加工を行う。
定盤とを対向させ認識装置と下定盤との対向を解
除しラツピング加工を行う。
本発明は前記の説明のように、被加工物を自動
的に着脱して人手作業を不要とした平面ラツピン
グ装置である。
的に着脱して人手作業を不要とした平面ラツピン
グ装置である。
(発明の実施例)
第1図は本発明の実施例を示す斜視図であり、
被加工物の自動着脱をする視覚カメラ付きのロボ
ツトと、回転駆動される支持装置上に上定盤と視
覚カメラとを備えた平面ラツピング装置を示して
いる。
被加工物の自動着脱をする視覚カメラ付きのロボ
ツトと、回転駆動される支持装置上に上定盤と視
覚カメラとを備えた平面ラツピング装置を示して
いる。
たて軸の平面ラツピング装置2は、下定盤4を
有し一隅に支持柱8を直立して設けている。
有し一隅に支持柱8を直立して設けている。
該支持柱8の頂部近傍にほぼ90度の角度間隔を
もつた2本の支持腕上定盤支持腕10と支持腕1
2とを有する支持装置18が回動自在に取付けら
れ、支持柱8の先端部に設けられた駆動機構20
(回転シリンダ20)により回転駆動される。
もつた2本の支持腕上定盤支持腕10と支持腕1
2とを有する支持装置18が回動自在に取付けら
れ、支持柱8の先端部に設けられた駆動機構20
(回転シリンダ20)により回転駆動される。
支持装置18の一方の上定盤支持腕10には前
記の下定盤4と対をなしてラツピング加工を行う
上定盤6が、流体圧シリンダ30などの上下動機
構によつて上下に駆動され、さらに回転または静
止できるように支持されており、他方の支持腕1
2には、視覚カメラなどの被加工物14の認識装
置16(以下視覚カメラ16と記す)が搭載され
ている。
記の下定盤4と対をなしてラツピング加工を行う
上定盤6が、流体圧シリンダ30などの上下動機
構によつて上下に駆動され、さらに回転または静
止できるように支持されており、他方の支持腕1
2には、視覚カメラなどの被加工物14の認識装
置16(以下視覚カメラ16と記す)が搭載され
ている。
前記の支持腕12は必要によりさらに多数本設
けてもよい。
けてもよい。
下定盤4上には、第2図に示すように被加工物
14を複数個装着した外周部が歯付きの複数個の
キヤリヤ24が設けられ、駆動される太陽ギヤ3
2と固定または駆動されるリングギヤ34とで遊
星歯車機構を構成している。
14を複数個装着した外周部が歯付きの複数個の
キヤリヤ24が設けられ、駆動される太陽ギヤ3
2と固定または駆動されるリングギヤ34とで遊
星歯車機構を構成している。
平面ラツピング装置2に隣接して、視覚カメラ
などの被加工物14の認識装置26と被加工物1
4のつかみ装置28とを備え、図示を省略した被
加工物14の荷受台とキヤリヤ24との間で、被
加工物14の着脱を行わせるロボツトなどの被加
工物の着脱装置22(以下ロボツト22と記す)
が設けられている。
などの被加工物14の認識装置26と被加工物1
4のつかみ装置28とを備え、図示を省略した被
加工物14の荷受台とキヤリヤ24との間で、被
加工物14の着脱を行わせるロボツトなどの被加
工物の着脱装置22(以下ロボツト22と記す)
が設けられている。
平面ラツピング装置2の視覚カメラ16とロボ
ツト22とは、図示を省略した通信回線で接続さ
れて制御信号などの伝送を行い被加工物14の着
脱作業を行う。第3図は被加工物14を例示した
斜視図である。
ツト22とは、図示を省略した通信回線で接続さ
れて制御信号などの伝送を行い被加工物14の着
脱作業を行う。第3図は被加工物14を例示した
斜視図である。
前記の支持装置18を駆動する駆動機構20
(以下回転シリンダ20と記す)はその構造を第
4図に示し、aはbのA−A部断面を示す平面
図、bは断面図である。
(以下回転シリンダ20と記す)はその構造を第
4図に示し、aはbのA−A部断面を示す平面
図、bは断面図である。
回転シリンダ20は、シリンダ36中に回転す
るピストン38と、ねじ40でシリンダ36に固
定されたスペーサ42が設けられ、シリンダ36
とスペーサ42を貫通して流体配管路44,46
が設けられており、ねじ48で取付け板50がシ
リンダ36に取付けられている構成となつてい
る。
るピストン38と、ねじ40でシリンダ36に固
定されたスペーサ42が設けられ、シリンダ36
とスペーサ42を貫通して流体配管路44,46
が設けられており、ねじ48で取付け板50がシ
リンダ36に取付けられている構成となつてい
る。
ピストン38の先端部52は角柱状になつてお
り、支持柱8の頂部の角穴にはまつており、支持
柱8に回転自在に取り付けられている支持装置1
8には取付板50がねじ54で固定されている。
り、支持柱8の頂部の角穴にはまつており、支持
柱8に回転自在に取り付けられている支持装置1
8には取付板50がねじ54で固定されている。
流体配管路44,46に交互に加圧流体が導入
されると、ピストン38は支持柱8によつて回動
が止められているので、シリンダ36が回転させ
られ、これに固定されている支持装置18を回転
駆動する。
されると、ピストン38は支持柱8によつて回動
が止められているので、シリンダ36が回転させ
られ、これに固定されている支持装置18を回転
駆動する。
前記の構成による本発明の平面ラツピング装置
2でラツピング加工を行う作業について以下第1
図により説明する。
2でラツピング加工を行う作業について以下第1
図により説明する。
支持装置18を回転させて視覚カメラ16を下
定盤4上に対向させ、空になつているキヤリヤ2
4の被加工物14の装着部の位置を認識し、接続
されている通信回線で制御信号などの伝送をし
て、ロボツト22を運転する。
定盤4上に対向させ、空になつているキヤリヤ2
4の被加工物14の装着部の位置を認識し、接続
されている通信回線で制御信号などの伝送をし
て、ロボツト22を運転する。
ロボツト22は、図示を省略した加工前と加工
後の被加工物14を収納するジグを支持する荷受
台とキヤリヤ24との間で、被加工物14を移載
して着脱を行わせる本発明の着脱装置をなすもの
で、視覚カメラ16で被加工物14の着脱位置を
認識し、この認識によつて太陽ギヤ32を駆動し
てキヤリヤ24をロボツト22の作業位置に移動
させ、ロボツト22に備えられた視覚カメラ26
でさらに精密に被加工物14の着脱位置を認識し
てロボツト22を運転制御し、つかみ機構28に
よつて荷受台上のジグの中からつかんできた加工
前の被加工物14aを順次に全部のキヤリヤ24
に装着する。
後の被加工物14を収納するジグを支持する荷受
台とキヤリヤ24との間で、被加工物14を移載
して着脱を行わせる本発明の着脱装置をなすもの
で、視覚カメラ16で被加工物14の着脱位置を
認識し、この認識によつて太陽ギヤ32を駆動し
てキヤリヤ24をロボツト22の作業位置に移動
させ、ロボツト22に備えられた視覚カメラ26
でさらに精密に被加工物14の着脱位置を認識し
てロボツト22を運転制御し、つかみ機構28に
よつて荷受台上のジグの中からつかんできた加工
前の被加工物14aを順次に全部のキヤリヤ24
に装着する。
装着が終れば、支持装置18を回転させて、上
昇位置にある上定盤6を下定盤4上に対向させ、
上定盤6を下降させる下定盤4上に重ね、上下の
定盤の間に被加工物14が挾まれた状態とする。
昇位置にある上定盤6を下定盤4上に対向させ、
上定盤6を下降させる下定盤4上に重ね、上下の
定盤の間に被加工物14が挾まれた状態とする。
砥粒と加工液の混合物を上下の定盤4,6と被
加工物14の間に供給し、加工圧を加えながら上
下の定盤4,6とキヤリヤ24の遊星歯車機構に
よる自転と公転による被加工物14との相対運動
を利用してラツピング加工を行う。
加工物14の間に供給し、加工圧を加えながら上
下の定盤4,6とキヤリヤ24の遊星歯車機構に
よる自転と公転による被加工物14との相対運動
を利用してラツピング加工を行う。
ラツピング加工が終れば、流体圧シリンダ30
によつて上定盤6を上昇させ、支持装置18を回
転させて再び視覚カメラ16を下定盤4に対向さ
せて加工済の被加工物14bを認識し、この認識
によつて太陽ギヤ32を駆動してキヤリヤ24を
ロボツト22の作業位置に移動させ、ロボツト2
2に備えられた視覚カメラ26で加工済の被加工
物14bを認識してロボツト22を運転制御して
キヤリヤ24中の全部の加工済の被加工物14b
をアンロードして荷受台上のジグに搬送し、次の
サイクルの加工前の被加工物14aを前記の説明
のように順次に空になつた全部のキヤリヤ24に
装着して、次のサイクルのラツピング加工を行
う。
によつて上定盤6を上昇させ、支持装置18を回
転させて再び視覚カメラ16を下定盤4に対向さ
せて加工済の被加工物14bを認識し、この認識
によつて太陽ギヤ32を駆動してキヤリヤ24を
ロボツト22の作業位置に移動させ、ロボツト2
2に備えられた視覚カメラ26で加工済の被加工
物14bを認識してロボツト22を運転制御して
キヤリヤ24中の全部の加工済の被加工物14b
をアンロードして荷受台上のジグに搬送し、次の
サイクルの加工前の被加工物14aを前記の説明
のように順次に空になつた全部のキヤリヤ24に
装着して、次のサイクルのラツピング加工を行
う。
本発明は、前記の説明のように、上定盤6と視
覚カメラ16を設けた支持装置18を回転させて
下定盤4に交互に対向させ、ラツピング加工を終
れば流体圧シリンダ30により上定盤6を上昇さ
せてから支持装置18を回転させると、視覚カメ
ラ16は上定盤6で視野を妨げられることなく被
加工物14が認識でき、ロボツト22も被加工物
14の着脱動作が妨げられることがなく自動的に
被加工物14の着脱ができる。
覚カメラ16を設けた支持装置18を回転させて
下定盤4に交互に対向させ、ラツピング加工を終
れば流体圧シリンダ30により上定盤6を上昇さ
せてから支持装置18を回転させると、視覚カメ
ラ16は上定盤6で視野を妨げられることなく被
加工物14が認識でき、ロボツト22も被加工物
14の着脱動作が妨げられることがなく自動的に
被加工物14の着脱ができる。
さらにラツピング加工時には視覚カメラ16は
側方に移動させられるのでラツピング加工を妨げ
ることがない。
側方に移動させられるのでラツピング加工を妨げ
ることがない。
(発明の効果)
本発明によれば、たて軸の平面ラツピング装置
において、上定盤支持腕に角度間隔をおいて少く
とも1個以上の支持腕を一体に設け、該支持腕に
視覚カメラを搭載し、平面ラツピング装置の支持
柱に回転自在に取付けられた支持装置となし、該
支持装置を駆動機構によつて回転駆動するように
したので、平面ラツピング装置の下定盤に対し、
上定盤と視覚カメラとを交互に対向させることが
でき、上下の定盤の対の組合わせで行うラツピン
グ加工作業と、平面ラツピング装置に隣接して設
けたロボツトを使用した装置などと支持装置に設
けた視覚カメラとによる被加工物の着脱作業と
が、互に干渉することなく行える効果が得られ
る。
において、上定盤支持腕に角度間隔をおいて少く
とも1個以上の支持腕を一体に設け、該支持腕に
視覚カメラを搭載し、平面ラツピング装置の支持
柱に回転自在に取付けられた支持装置となし、該
支持装置を駆動機構によつて回転駆動するように
したので、平面ラツピング装置の下定盤に対し、
上定盤と視覚カメラとを交互に対向させることが
でき、上下の定盤の対の組合わせで行うラツピン
グ加工作業と、平面ラツピング装置に隣接して設
けたロボツトを使用した装置などと支持装置に設
けた視覚カメラとによる被加工物の着脱作業と
が、互に干渉することなく行える効果が得られ
る。
またキヤリヤが複雑な運動をするため、被加工
物の所在位置が不特定となるので、従来人手作業
で行わざるを得なかつた被加工物の着脱作業を自
動化して人手作業を省き、しかも着脱時間を短縮
して平面ラツピング装置の稼働効率を高める効果
が得られる。
物の所在位置が不特定となるので、従来人手作業
で行わざるを得なかつた被加工物の着脱作業を自
動化して人手作業を省き、しかも着脱時間を短縮
して平面ラツピング装置の稼働効率を高める効果
が得られる。
第1図は本発明の実施例を示す斜視図、第2図
は下定盤の上で被加工物を装着するキヤリヤの動
作を示す斜視図、第3図は被加工物を例示した斜
視図、第4図は支持装置を駆動する駆動機構(回
転シリンダ)の構造を示す図でaはbのA−A部
断面を示す平面図、bは断面図である。 2……平面ラツピング装置、4……下定盤、6
……上定盤、8……支持柱、10……上定盤支持
腕、12……支持腕、14……被加工物、16,
26……被加工物の認識装置(視覚カメラ)、1
8……支持装置、20……駆動機構(回転シリン
ダ)、22……被加工物の着脱装置(ロボツト)、
24……キヤリヤ、32……太陽ギヤ、36……
シリンダ、38……ピストン、42……スペー
サ。
は下定盤の上で被加工物を装着するキヤリヤの動
作を示す斜視図、第3図は被加工物を例示した斜
視図、第4図は支持装置を駆動する駆動機構(回
転シリンダ)の構造を示す図でaはbのA−A部
断面を示す平面図、bは断面図である。 2……平面ラツピング装置、4……下定盤、6
……上定盤、8……支持柱、10……上定盤支持
腕、12……支持腕、14……被加工物、16,
26……被加工物の認識装置(視覚カメラ)、1
8……支持装置、20……駆動機構(回転シリン
ダ)、22……被加工物の着脱装置(ロボツト)、
24……キヤリヤ、32……太陽ギヤ、36……
シリンダ、38……ピストン、42……スペー
サ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 たて軸の平面ラツピング装置において、装置
の下定盤と対に組合わされてラツピング加工を行
う上定盤を支持するラツピング装置の支持柱に設
けられた上定盤支持腕に角度間隔をおいて少くと
も1個以上の支持腕を一体に設け該支持腕に被加
工物の認識装置を搭載して前記の支持柱に回転自
在に取付けられた支持装置と、該支持装置を回転
駆動する駆動機構と、平面ラツピング装置に隣接
して設けた被加工物の着脱装置とからなり、前記
の支持装置の回転によつて上定盤と下定盤との対
向を解除して認識装置と下定盤とを対向させ、認
識装置と着脱装置との間の相互の信号伝達によつ
て、下定盤上のキヤリヤに被加工物の自動着脱を
行い、さらに前記の支持装置を回転させて上定盤
と下定盤とを対向させた後認識装置と下定盤との
対向を解除して平面ラツピング加工を行なうよう
にしたことを特徴とする平面ラツピング装置。 2 特許請求の範囲第1項記載の平面ラツピング
装置において、被加工物の着脱装置が被加工物の
認識装置を搭載したロボツトを使用した装置であ
ることを特徴とする平面ラツピング装置。 3 特許請求の範囲第1項記載の平面ラツピング
装置において、支持腕と被加工物の着脱装置とに
搭載した被加工物の認識装置が視覚カメラである
ことを特徴とする平面ラツピング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61288023A JPS63144956A (ja) | 1986-12-03 | 1986-12-03 | 平面ラツピング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61288023A JPS63144956A (ja) | 1986-12-03 | 1986-12-03 | 平面ラツピング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63144956A JPS63144956A (ja) | 1988-06-17 |
| JPH055632B2 true JPH055632B2 (ja) | 1993-01-22 |
Family
ID=17724811
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61288023A Granted JPS63144956A (ja) | 1986-12-03 | 1986-12-03 | 平面ラツピング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63144956A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5525792B2 (ja) * | 2009-10-15 | 2014-06-18 | 株式会社 ハリーズ | 研削装置 |
| TWI476854B (zh) * | 2012-03-08 | 2015-03-11 | Lg Cns Co Ltd | Led晶圓的提供裝置及方法 |
| US9045827B2 (en) | 2012-03-09 | 2015-06-02 | Lg Cns Co., Ltd. | Apparatus and method for supplying light-emitting diode (LED) wafer |
| JP6150283B2 (ja) * | 2013-07-03 | 2017-06-21 | 浜井産業株式会社 | ワーク嵌合装置および嵌合方法 |
| CN104924197A (zh) * | 2015-05-28 | 2015-09-23 | 海宁奇晟轴承有限公司 | 一种自动双盘研磨机 |
| CN115870868A (zh) * | 2022-12-27 | 2023-03-31 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 装卸装置、方法及硅片双面抛光设备 |
| JP7769391B2 (ja) * | 2023-04-13 | 2025-11-13 | 株式会社太陽 | 両面研磨装置 |
-
1986
- 1986-12-03 JP JP61288023A patent/JPS63144956A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63144956A (ja) | 1988-06-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5333413A (en) | Automatic wafer lapping apparatus | |
| JPS6268268A (ja) | ジヤイロ研磨機用工作物軸の駆動装置 | |
| JPH055632B2 (ja) | ||
| JPH11320388A (ja) | 平面研磨装置及びワークの取出方法 | |
| JPH0679461A (ja) | 自動溶接装置 | |
| JP2552305B2 (ja) | 両面研磨装置 | |
| CN216464671U (zh) | 一种夹持旋转机构 | |
| JPS639940B2 (ja) | ||
| JP2585647B2 (ja) | 平面研磨装置 | |
| JP2000167741A (ja) | 自動パレット交換装置及びこれを用いた自動ワーク着脱装置 | |
| CN111761508A (zh) | 一种用于汽车同步齿环加工的上下料机械手 | |
| JPH03264262A (ja) | 両面精密研摩用ラップ盤 | |
| JPH0425374A (ja) | 研磨装置 | |
| JPS6067040A (ja) | 治具交換装置 | |
| JPH0631620A (ja) | ラップ盤におけるワークの搬入搬出方法及びその装置 | |
| JPH0596466A (ja) | 両面研磨方法及び装置 | |
| SU554056A1 (ru) | Манипул тор дл радиально-ковочных машин | |
| JPH0192064A (ja) | 片面研磨装置 | |
| JPH0417314Y2 (ja) | ||
| JPH05212670A (ja) | ラッピング装置のキャリア割り出し方法及びその装置 | |
| JPH0639578A (ja) | レーザ加工におけるワークパレット | |
| JPH0639879Y2 (ja) | 弁座ラッピングマシンにおける定盤施回機構 | |
| JPS62114871A (ja) | 全キヤリヤ内装填ワ−ク検知方法 | |
| CN119187647A (zh) | 一种液下泵生产用钻孔装置 | |
| JPH0425376A (ja) | 研磨装置 |