JPS62163968U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62163968U JPS62163968U JP5305886U JP5305886U JPS62163968U JP S62163968 U JPS62163968 U JP S62163968U JP 5305886 U JP5305886 U JP 5305886U JP 5305886 U JP5305886 U JP 5305886U JP S62163968 U JPS62163968 U JP S62163968U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon diaphragm
- pressure sensor
- input
- semiconductor pressure
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
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- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
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Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図：本考案の実施例平面図。第２図：本考
案の実施例断面図。第３図：フインガーリード部
詳細図（平面図）。第４図：フインガーリード部
詳細図（断面図）。 ここに １：シリコンダイヤフラム、２：パツ
ド、３：ベースフイルム部、４：導体パターン部
、５：フインガーリード部、６：台座、７：外枠
、８：入出力端子、９：外部回路との導通用パタ
ーン部、１０：保護カバー、１１：接着部、１２
：ハンダ部、１３：穴部、１４：凹部、１５：バ
ンプ部、１６：接着層。
案の実施例断面図。第３図：フインガーリード部
詳細図（平面図）。第４図：フインガーリード部
詳細図（断面図）。 ここに １：シリコンダイヤフラム、２：パツ
ド、３：ベースフイルム部、４：導体パターン部
、５：フインガーリード部、６：台座、７：外枠
、８：入出力端子、９：外部回路との導通用パタ
ーン部、１０：保護カバー、１１：接着部、１２
：ハンダ部、１３：穴部、１４：凹部、１５：バ
ンプ部、１６：接着層。
Claims (1)
- 少くとも、拡散抵抗によるブリツジを形成した
シリコンダイヤフラム、シリコンダイヤフラム上
に形成されたパツドシリコンダイヤフラムを固定
支持する台座、圧力センサーと外部回路との導通
をとるための入出力端子、外枠、前記入出力端子
とシリコンダイヤフラムとの電気的接続をとるテ
ープ基板により構成された半導体圧力センサーに
おいて、上記シリコンダイヤフラム上のパツドの
各々に対し複数のリードフインガーをもつたテー
プ基板にてシリコンダイヤフラムと入出力端子と
を接続したことを特徴とする半導体圧力センサー
の実装構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5305886U JPS62163968U (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5305886U JPS62163968U (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62163968U true JPS62163968U (ja) | 1987-10-17 |
Family
ID=30878778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5305886U Pending JPS62163968U (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62163968U (ja) |
-
1986
- 1986-04-09 JP JP5305886U patent/JPS62163968U/ja active Pending
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