JPS62169120A - 空間光変調器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光アドレス型の空間光変調器に関するＯ 〔発明の概要〕 本発明は・光アドレス型の空間光変調器において、反射
面をマ）　ＩＪクス配列した金属薄膜とすることにより
、読み出し光の光強度を増加したものである。

〔従来の技術〕

従来の光アドレス型の空間光変調器は、第２図に示すよ
うにガラス基２１．２８をはさんで透明電極２２一液晶
２３−反射膜２４−光吸収膜２５−光導電膜２６−透明
電極２７の構造となっており、光導電膜２６に照射され
る光量により光導電膜の抵抗値が変化し・透明電極２２
．２７の間に一定電圧が印加されているため、光量によ
り液晶に印加される電圧は変化する。

すなわち、光社変化による光情報を液晶に印加する電圧
変化に変換し、■Ｌ電圧変化よる液晶の複屈折効果を利
用してＵＭ偏光した光を照射することで、反射面で反射
して来る光は楕円偏光となり、光情報に変換される。し
たがって出力側に偏光子を置くことにより空間強度分布
を得ることができる０ 〔発明が解決しようとする問題点〕 しかし、前述の従来技術では、反射膜が誘電性物質から
なっている。これは導電性物質で反射膜を形成した場合
、光導電膜の変化による電圧変化が導電反射膜で平均化
され液晶に加わる電圧が平均化され光情報が伝達されな
くなる０誘電性膜の反射面は金属面に比べ反射率が低い
ため、光出力が小さくなる。また誘電体であることから
反射膜による電圧損失がありｌ！接極間印加する電圧は
高くなる。そこで本発明はこのような問題点を解決する
もので、その目的とするところは光出力を大きくするこ
とにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の空間光変調器は、反射面を金属薄膜で形成し、
しかも金属薄膜はマトリクス状に配列し、それぞれが電
気的に分離されていることを特徴とする〇 〔作　用〕 本発明の上記の構成によれば、反射面を金属膜とするこ
とにより、反射率が高くなり光出力の大きな空間光変調
器が得られる。

しかも金属反射膜はマトリクス状に小片状に分離されて
いることから電気的に独立しており光入力情報はそのま
ま液晶に伝達され光出力される◇〔実施例１〕 第１図は、本発明の実施例における空間光変調器の断面
図である。ガラス基板１上に透明電極２、光導電膜３、
光吸収膜４、金属反射膜５を形成した基板と、ガラス基
板６上に透明電極７を形成した基板とを液晶の配向処理
して液晶８を封入して空間光変調器となすり 透明電極は、工Ｔｏ（工ｎｄｉｕｍ　　Ｔｉｎ　０ｘｉ
ｄｅ）あるいはスズ酸化膜等通常使用されている透明導
電体で構成し、光導電膜はＣａＳやσ−３１等の光導電
物で構成する・金属反射膜は・ｋｌ、、Ｎｉ、Ｃデ、Ｍ
Ｏ９Ｔａ、Ｗ等の金属薄膜であり、フォトエツチングに
よりモザイク形状に画素パターンをマトリクス状に形成
しである。モザイク状に形成した金属反射画素パターン
は、電気的に分離されている。

光吸収率の大きなものを選ぶ。

〔実施例２〕 実施例１における光吸収膜のかわりに金属反射膜５を遮
光膜として、金属反射膜の隙間は、対向基板上に遮光膜
を形成して光がもれるのを防止する０ 第３図に示すようにガラス基板１上に透明電極２を形成
するつ透明電極としては、工ＴＯやスズ酸化膜等の透過
率がよく抵抗の小さなものがよい。

透明［極２の上に光センサとして光導電膜３を形成する
０光導電膜としては、０（１８，σ−Ｅ３ｉ等が使用さ
れる。この光導電膜上に金属膜を形成してフォトエツチ
ングによりモザイク状の画素パターンをマ）　ＩＪクス
状に形成して金属反射膜５となす。

他方のガラス基板６に透明電極７を形成し、さらに透明
電極Ｚ上に遮光膜９を前記画素パターンの隙間をおおう
ようにパターン形成する。遮光材としては、金属、半導
体、無機及び有機の吸収光材が考えられる。第３図は透
明電極上に遮光膜を形成したが、遮光膜を形成して遮光
腰上に形成してもよい。以上の２基板を実施例１と同様
にして液晶８を封入して空間光変調器となす。

〔実施例３〕 実施例１における光吸収膜のかわりに金属反射膜５を遮
光膜として金属反射膜の隙間は、遮光膜パターンにより
光がもれるのを防止する。

第４図に示すようにガラス基板１上に透明１！極２を形
成し、透明電極２上に遮光膜９を形成し、フォトエツチ
ングにより所定の形状になす。さらに光導電膜３、金属
膜を積層し、金Ｎ膜を７オトエノチングにより所定の形
状にして金属反射膜５となす。このとき金属反射膜５の
隙間には平面的に見て前記遮光膜９が位置するようにす
る。

以後、実施例１と同様にして対向する基板を形成し、液
晶封入をして空間光変調器となす◇なお、遮光膜９と透
明電極２の順番は上記と逆の順番でも効果はかわらない
。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明によれば、反射面を金属の反射
を使うことにより・従来の誘電体反射面の場合に比べ、
光出力を大巾に増大出来るようなるとともに、誘電体反
射膜を必要としないことから電圧損失を小さくすること
が出来、その結果として低電圧化、低消費電力化が実現
出来る◇また、金属反射面は、一定電圧となるため液晶
に印加される電圧は、その面内で一定となり、このこと
は、同一反射面からの光出力は均一であるため、シャー
プな空間光出力が得られることを意味する。すなわちキ
ャラクタやグラフィック等の像を出力する場合、像にに
じみが発生していたが、本発明により非常にシャープな
像が得られるようになった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の空間光変調器の一実施例を示す主要断
面図。 第２図は従来の空間光変調器の主要断面図・第３図、第
４図は本発明による空間光変調器の実施例を示す主要断
面図。 ２．７・・・・・・透明１！極 ３・・・・・・光導電膜 ４・・・・・・光吸収膜 ５・・・・・・金属反射膜 ８・・・・・・液晶 以　　上

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、液晶を用いた空間光変調器において、透明電極−液
   晶−金属反射膜−光導電膜−透明電極の構造を有し、金
   属反射膜はモザイク状にマトリクス配列され、かつ各モ
   ザイク状反射膜は、電気的に分離されていることを特徴
   とする空間光変調器。 ２、金属反射膜と光導電膜の間に光吸収膜を有すること
   を特徴とする特許請求の範囲第一項記載の空間光変調器
   。 ３、光導電膜と透明電極の間に遮光膜を形成し、かつ金
   属反射膜の隙間をおおうように配置したことを特徴とす
   る特許請求の範囲第一項記載の空間光変調器。 ４、透明電極とガラス基板との間に遮光膜を形成し、か
   つ金属反射膜の隙間をおおうように配置したことを特徴
   とする特許請求の範囲第一項記載の空間光変調器。 ５、対向するガラス基板上に遮光膜を形成し、かつ金属
   反射膜の隙間をおおうように配置したことを特徴とする
   特許請求の範囲第一項記載の空間光変調器。