JPS62169336A - 半導体のオ−プナ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ この発明はプラスチックで封止された半導体のチップを
露出させて不良解析時の検査あるいは品質チェックに使
用できるようにする半導体のオープナ装置にｐＡするも
のである。

「従来技術Ｊ 従来、プラスチックで封止された半導体に硫酸を噴射し
てチップを露出゛させる手段として、例えば、米国特許
第４３３４８０９号明細書記載のものが知られており、
該手段は水道水を流すことで得られる負圧を利用して例
えば、硫酸等の溶解用の液体をパッケージに当てる構造
となっている。

［発明が解決しようとする問題点］ かかる従来手段にあっては、水道水を利用するため水道
工事を必要とし、設置個所に制約を受けることと、また
、硫酸の使い捨てとなっているため硫酸の使用料が多く
なるとともに排液処理にも影響が起きる問題があった。

そこで、この発明は設置個所に制約を受けることなく、
しかも、溶解用の液体の使用はの面でも好ましい半導体
のオープナ装置を提供することを目的としている。

［問題点を解決するための手段］ 前記目的を達成するために、この発明にあっては、作業
台にセットされたホルダーの下方に、溶解用の液体を取
入れる取入口と取出口を右するケーシングを設け、ケー
シング内に、ノズルの先端が前記ホルダーの下位に臨む
と共に噴射作動時に前記ノズルより噴射された溶解用の
液体を循環使用するポンプを設けである。

［作用〕 かかるオープナ装置において、取入口からケーシング内
に取入れられた溶解用の液体はポンプによってノズルよ
り噴射され、ホルダーにセットされた半導体のパッケー
ジにあたる。以下、ノズルから噴射された溶解用の液体
はケーシングに戻り再びポンプによってノズルより噴射
される循環が繰返し行なわれるようになる。

［実施例］ 以下、第１図乃至第２図の図面を参照しながらこの発明
の一実施例を詳細に説明する。

図中１はオープナ装置３の機体を示している。

機体１内には半導体開口部５のほかに硫酸を貯蔵する貯
蔵タンク部７と該タンク部７より送られてくる硫酸を約
２５０℃まで加熱する予熱ヒータ部９と、前記半導体間
口部５で仕事を終えた熱硫酸を約１００℃まで冷却ファ
ンで冷却する排液冷却部１１と、その排液を一時貯留す
る排液貯留タンク部１３とが配置されている。

半導体開口部５は、ＤＩＰタイプの半導体をセットする
ホルダー１５を備えた作業台１７と、該作業台１７の下
位に配置されたケーシング１９と、前記半導体のパッケ
ージに硫酸を噴射するポンプ２１とからなっている。

ケーシング１つは磁力を透し、かつ耐熱耐酸性の材質で
形成されケーシング本体１９ａは貯留槽となっている。

ケーシング本体１９ａの上部には半導体をセットする前
記ホルダー１５が設けられている。また、ケーシング本
体１９ａには予熱ヒータ部９を介して硫酸貯留槽７へ続
く取入口２３と排液冷却部１１を介して排液貯留タンク
部１３へ続く取出口２５が設けられている。

取入口２３から送り込まれるケーシング本体１９ａ内の
硫酸はヒータ（図示していない）によって約２９０℃に
高められる。なお、ヒータの電源部は温疫センサ（図示
省略）によって硫酸が約２９０℃になるよう管理制御さ
れる。

一方、ケーシング本体１９ａの底部下位には駆動モータ
２７の出力軸２つに回転磁石３１が装着支持されている
。回転磁石３１と対向し、かつ、ケーシング本体１９ａ
内には磁石が埋設された羽根車３３が配置されている。

羽根車３３は耐熱耐酸性の合成樹脂の材質で形成され、
案内ケース３５内に収納配置されている。

羽根車３３の本体上方は円錐部３７となっていて下方に
は中央部位の凸部３９より放射方向に翼板４１が設けら
れている。

翼板４１は回転時において案内ケース３５の吸入口４３
より取入れた硫酸を上方（第１図り側）へ送り出す形状
となっている。

案内ケース３５は磁力を透す材質で羽根車３３に沿った
形状となっており、漏斗面４５の中央部位より延びたノ
ズル４７は前記ホルダー１５の下位に臨んでいる。

なお、４９は機体１の上方をカバーする第１上蓋、５１
はボルダ−１５の上方をカバーする第２の上蓋を示して
おり、各上蓋４９・５１はヒンジ５３・５５を支点とし
て回動可能となっている。

また、第１．第２上蓋４つ・５１はソレノイド５７によ
って進退運動するロック機構５９の係合ピン６１が各上
蓋４９・５１の係合孔６３・６５に係合し合うことで拘
束状態が得られるようになっている。

このように構成されたオープナ装置３にＪ３いて、駆動
モータ２７によって回転磁石３１が回転すると磁力によ
って羽根車３３が同方向に回転する。

羽根車３３の回転時に、翼板４１によって振り出された
５Ａ酸は案内ケース３５の漏斗面４５に沿って上昇する
。上昇した硫酸はノズル４７より噴出され、ボルダ−１
５にセットされた半導体のパッケージにあたる。仕事を
終えた硫酸はケーシング木′体１９ａに落下し、以下、
羽根車３３によってパッケージが溶解しチップが露出す
るまで再び上方へ送られる循環が繰返えされる。

したがって、硫酸を無駄に使うことがなくなる。

［発明の効果］ 以上、説明したＪ、うにこの発明のオープナ装置によれ
ば、溶解用の液体を繰返し使用でさるため効率がよくな
り溶解液の無駄使いがなくなると共に酊が多くないため
排液処理の面でも好しいものとなる。また、水道水を使
用しないため設置個所の制約を受けることがなく、自由
な移動が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明のオープナ装置の第２図の■−１線断
面図、第２図は同上の平面図である。 主要な図面符号の説明 １５・・・ホルダー　　　　　　１７・・・作業台１９
・・・ケーシンング　　　　２１・・・ポンプ２３・・
・取入口　　　　　　　２５・・・取出口４７・・・ノ
ズル 特許出願人　　　　　ヤマト科学株式会社手続ネ１■正
書（方式） 昭和６１年４月テ日 特許庁長官　　宇　賀　　道　部　　殿１、事件の表示
　　　昭和６１年特許願第００９８３７号２、発明の名
称　　　半導体のオープナ装首３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 （１所（居所）　東京都中央区日本橋本町２丁目９Ｍ地
５氏名（名称）　ヤマト科学株式会社 代表者　　森　川　　巽 ４、代理人 住　所　　　　〒１０５東京都港区虎ノ門１丁口２番３
ｆ″ｉ虎ノ門第−ビル５階 電話　東京（５０４）　３０７５・３０７６・３０７７
番（発送日　昭和６１年　３月２５日） ６、補正の対称 明細書 ７、補正の内容 明細書の全文を別組のとおり補正する。 ８６添伺書類の目録 全文補正明細書　　　　　　　１通 以上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 作業台にセットされたホルダーの下方に、溶解用の液体
   を取入れる取入口と取出口を有するケーシングを設け、
   ケーシング内に、ノズルの先端が前記ホルダーの下位に
   臨むと共に噴射作動時に前記ノズルより噴射された溶解
   用の液体を循環使用するポンプを設けたことを特徴とす
   る半導体のオープナ装置。