JPS62178100A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
- Publication number
- JPS62178100A JPS62178100A JP1938186A JP1938186A JPS62178100A JP S62178100 A JPS62178100 A JP S62178100A JP 1938186 A JP1938186 A JP 1938186A JP 1938186 A JP1938186 A JP 1938186A JP S62178100 A JPS62178100 A JP S62178100A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- piezoelectric vibrator
- insulating layer
- electrodes
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
本発明は、超音波トランスデユーサなどの圧電振動子に
おいて、外来電磁雑音をシールドするための電極を、本
来の電極の上に絶縁層を介して形成することを特徴とす
る。
おいて、外来電磁雑音をシールドするための電極を、本
来の電極の上に絶縁層を介して形成することを特徴とす
る。
本発明は超音波診断装置や超音波探傷装置などのプロー
ブに使用される圧電振動子の改良にかかわり、外来の電
磁的雑音を除去して高い精度の測定を可能とするもので
ある。
ブに使用される圧電振動子の改良にかかわり、外来の電
磁的雑音を除去して高い精度の測定を可能とするもので
ある。
従来の圧電振動子は一般に、第４図に示す如くバッキン
グ材４１、圧電体４０、整合層４２から成り、圧電体４
０は圧電セラミック４０−１、背面電極４０−２、前面
電極４０−３から成る。本図において観測用超音波は前
面電極側から整合層を介して測定対象に送出され、対象
からの反射波はその逆の径路で受信され、信号処理され
て表示等される。
グ材４１、圧電体４０、整合層４２から成り、圧電体４
０は圧電セラミック４０−１、背面電極４０−２、前面
電極４０−３から成る。本図において観測用超音波は前
面電極側から整合層を介して測定対象に送出され、対象
からの反射波はその逆の径路で受信され、信号処理され
て表示等される。
受信される信号は一般に極めて微弱であり、信号ケーブ
ルなどで拾われる外来の電磁雑音の影響は無視できない
。そのため、信号ケーブルやコネクタにシールドを施す
ことが行われているが、圧電振動子の開口面についての
シールドが問題となっている。これに対して第５図に示
す如く、整合層４２の上にシールド電極を設ける例が提
案されている（実開昭５８−４８２２１、特開昭５９−
２０７１３８等）。
ルなどで拾われる外来の電磁雑音の影響は無視できない
。そのため、信号ケーブルやコネクタにシールドを施す
ことが行われているが、圧電振動子の開口面についての
シールドが問題となっている。これに対して第５図に示
す如く、整合層４２の上にシールド電極を設ける例が提
案されている（実開昭５８−４８２２１、特開昭５９−
２０７１３８等）。
尚、４３は音響レンズである。
しかし第５図の例においては、シールド電極が整合層４
２の上に設けられるため、超音波の音響特性に悪影響を
及ぼさないようにその厚みを極端に薄くする必要があり
、またこのシールド電極からリード線を引出すのが難し
い、などの問題点があった。
２の上に設けられるため、超音波の音響特性に悪影響を
及ぼさないようにその厚みを極端に薄くする必要があり
、またこのシールド電極からリード線を引出すのが難し
い、などの問題点があった。
本発明では第１図に原理図を示す如く、一方の電極１）
の上に絶縁層１３を介してシールド電極Ｉ４を形成する
ことを特徴とする。
の上に絶縁層１３を介してシールド電極Ｉ４を形成する
ことを特徴とする。
〔作用〕
このような構成をとることにより、電極１）．１２゜圧
電体１０、絶縁層１３及びシールド電極１４の音ツイン
ピーダンスを略同しとすることは容易にてきるため、基
本周波数は全体の厚さの平均音速で計算されるノ／２共
振周波数として扱うことができ、合口特性を損なうこと
はない。また絶縁層１３としては、電極材と音響インピ
ーダンスの近いアルミナ（ＡｌｚＯ３＞や酸化珪素（Ｓ
ｉＯｚ）などの全屈酸化膜を蒸着、または焼付などで形
成すればよい。
電体１０、絶縁層１３及びシールド電極１４の音ツイン
ピーダンスを略同しとすることは容易にてきるため、基
本周波数は全体の厚さの平均音速で計算されるノ／２共
振周波数として扱うことができ、合口特性を損なうこと
はない。また絶縁層１３としては、電極材と音響インピ
ーダンスの近いアルミナ（ＡｌｚＯ３＞や酸化珪素（Ｓ
ｉＯｚ）などの全屈酸化膜を蒸着、または焼付などで形
成すればよい。
又、リード線の引出しについても、本来の電極１）．１
２のリード線と同様に行え、従来のように整合層や音響
レンズの形成工程における特別の配慮は不要となる。
２のリード線と同様に行え、従来のように整合層や音響
レンズの形成工程における特別の配慮は不要となる。
第２図は本発明の一実施例による超音波トランスデユー
サを示し、２０は圧電振動子、２０−１は圧電セラミッ
ク、２０−２は背面電極、２０−３は前面電極、２０−
４は絶縁層、２０−５はシールド電極、２１は整合層、
２２はバンキング材、２３は駆動／受信回路を示す。
サを示し、２０は圧電振動子、２０−１は圧電セラミッ
ク、２０−２は背面電極、２０−３は前面電極、２０−
４は絶縁層、２０−５はシールド電極、２１は整合層、
２２はバンキング材、２３は駆動／受信回路を示す。
シールド電極２０−５は接地されており、矢印方向から
の電磁波はこの電極によって反射、吸収されて前面電極
２０−３の到達エネルギーは減衰したものとなる。
の電磁波はこの電極によって反射、吸収されて前面電極
２０−３の到達エネルギーは減衰したものとなる。
第３図は本発明の他の実施例によるアレイ型超音波トラ
ンスデユーサを示し、第２図と同じ符合は同じものを意
味し、又２４は音３レンズである。
ンスデユーサを示し、第２図と同じ符合は同じものを意
味し、又２４は音３レンズである。
第２図と異なるのは、圧電セラミックが複数に分割され
ており、前面電極は互いに共通接続されていること、及
び前面電極２０−３とシールド電極２０−５はリード線
引出しのためにその一部が露出していることである。
ており、前面電極は互いに共通接続されていること、及
び前面電極２０−３とシールド電極２０−５はリード線
引出しのためにその一部が露出していることである。
以上の如く本発明によれば、シールド電極が前面電極の
上に絶縁層を介して形成されるので、音響特性を損なう
ことがなく、またリード線の引出しも容易に行うことか
できる。
上に絶縁層を介して形成されるので、音響特性を損なう
ことがなく、またリード線の引出しも容易に行うことか
できる。
尚、シールド電極は前面側のみでなく、背面側にも設け
ることができろ。
ることができろ。
第１図は本発明の原理を示す断面図、第２図は本発明の
一実施例を示す斜視図、第３図は本発明の他の実施例を
示す斜視図、第４図は従来例を示す断面図、第５図は他
の従来例を示す断面図である。 第１図において、１０は圧電セラミック、１）は前面電
極、１２は背面電極、１３は絶縁層、１４はシールド電
極である。 本発明り原理乞示１げｎ丁巳 寮 １ 犯 ８（饅１ 接地 本発明０−笑符櫂ｉ１ ンＭず５゛日Σ１ρアイｅｄ）ｇ 施、ｅ均１第３１７
３
一実施例を示す斜視図、第３図は本発明の他の実施例を
示す斜視図、第４図は従来例を示す断面図、第５図は他
の従来例を示す断面図である。 第１図において、１０は圧電セラミック、１）は前面電
極、１２は背面電極、１３は絶縁層、１４はシールド電
極である。 本発明り原理乞示１げｎ丁巳 寮 １ 犯 ８（饅１ 接地 本発明０−笑符櫂ｉ１ ンＭず５゛日Σ１ρアイｅｄ）ｇ 施、ｅ均１第３１７
３
Claims (3)
- （１）圧電体の両面に夫々電極を有する圧電振動子にお
いて、少なくともその片面の電極上に電気的絶縁層を介
して第２層目の電極を形成したことを特徴とする圧電振
動子。 - （２）上記片面に形成された２層の電極から、互いに独
立のリード線が引き出されていることを特徴とする特許
請求の範囲第（１）項記載の圧電振動子。 - （３）上記絶縁層として、金属酸化膜を使用することを
特徴とする特許請求の範囲第（１）または（２）項記載
の圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61019381A JPH0832107B2 (ja) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61019381A JPH0832107B2 (ja) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | 圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62178100A true JPS62178100A (ja) | 1987-08-05 |
| JPH0832107B2 JPH0832107B2 (ja) | 1996-03-27 |
Family
ID=11997733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61019381A Expired - Lifetime JPH0832107B2 (ja) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0832107B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008302098A (ja) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | Fujifilm Corp | 超音波探触子、超音波探触子用バッキング材及びその製造方法 |
| JP2009506638A (ja) * | 2005-08-23 | 2009-02-12 | ゴア エンタープライズ ホールディングス，インコーポレイティド | 改良された超音波プローブ変換器アセンブリ及び生産方法 |
| JP2012503355A (ja) * | 2008-09-16 | 2012-02-02 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 容量性マイクロマシン超音波トランスデューサ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5999900A (ja) * | 1982-11-29 | 1984-06-08 | Toshiba Corp | 超音波探触子 |
-
1986
- 1986-01-31 JP JP61019381A patent/JPH0832107B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5999900A (ja) * | 1982-11-29 | 1984-06-08 | Toshiba Corp | 超音波探触子 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009506638A (ja) * | 2005-08-23 | 2009-02-12 | ゴア エンタープライズ ホールディングス，インコーポレイティド | 改良された超音波プローブ変換器アセンブリ及び生産方法 |
| JP4913814B2 (ja) * | 2005-08-23 | 2012-04-11 | ゴア エンタープライズ ホールディングス，インコーポレイティド | 改良された超音波プローブ変換器アセンブリ及び生産方法 |
| JP2008302098A (ja) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | Fujifilm Corp | 超音波探触子、超音波探触子用バッキング材及びその製造方法 |
| JP2012503355A (ja) * | 2008-09-16 | 2012-02-02 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 容量性マイクロマシン超音波トランスデューサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0832107B2 (ja) | 1996-03-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |