JPS6217877B2 - - Google Patents

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JPS6217877B2
JPS6217877B2 JP55067747A JP6774780A JPS6217877B2 JP S6217877 B2 JPS6217877 B2 JP S6217877B2 JP 55067747 A JP55067747 A JP 55067747A JP 6774780 A JP6774780 A JP 6774780A JP S6217877 B2 JPS6217877 B2 JP S6217877B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
image sensor
thermal head
image
substrate
Prior art date
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Expired
Application number
JP55067747A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS56164667A (en
Inventor
Hideo Segawa
Koichi Sakurai
Koji Mori
Masakuni Itagaki
Tatsumi Ishiwatari
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP6774780A priority Critical patent/JPS56164667A/ja
Publication of JPS56164667A publication Critical patent/JPS56164667A/ja
Publication of JPS6217877B2 publication Critical patent/JPS6217877B2/ja
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、等倍型イメージセンサ部とサーマル
ヘツド部とを同一基板上に併設した画像入出力デ
イバイスに関するものである。
従来、画像の読取デイバイスとしてCCD型イ
メージセンサ、MOS型イメージセンサ、薄膜フ
オトダイオードを記録紙の幅にわたつて1列に配
設した薄膜等倍型イメージセンサ等がある。一
方、記録デイバイスとしてはサーマルヘツド、マ
ルチスタイラスヘツド、インクジエツトヘツド等
があるが、これらの入、出力デイバイスはそれぞ
れ別個に構成され、組み合わされて装置が構成さ
れている。
いま、入力デイバイスと出力デイバイスが、例
えば同一基板上に並べて構成され、一体化される
と、装置(例えばフアクシミリ)の小形化を促進
することが可能になり、また、この入出力デイバ
イスを一連の製造工程で製作することができれ
ば、コストを低減することができる利点が生ず
る。この場合、一般に、出力素子の配列寸法は記
録寸法と同一であるから、CCD型イメージセン
サのように原稿画像を光学系で縮小する方式のイ
メージセンサでは一体化は不可能である。
本発明は、上記諸点に鑑みてなされたもので、
同一絶縁基板上に薄膜等倍型イメージセンサ部と
サーマルヘツド部とを並べて配置し、装置の小形
化を可能にするとともに、製造コストを低減する
ようにした画像入出力デイバイスを提供するもの
である。以下、図面により実施例を詳細に説明す
る。
第1図は、本発明の1実施例を示したもので、
1はグレーズドセラミツク基板、2はサーマルヘ
ツド部、3はサーマルヘツド部2の配線部、4は
イメージセンサ部、5a,5bはイメージセンサ
部4の配線部、6は上記各部を覆つた透明な耐摩
耗膜である。サーマルヘツド部2では複数の発熱
抵抗体が1列に配設され、またイメージセンサ部
4ではフオトダイオードとブロツキングダイオー
ドとが対になつた受光素子が複数、1列に配設さ
れている。
第2図は、サーマルヘツド部2とイメージセン
サ部4の構成を、さらに詳細に示したもので、7
は電極および配線部を形成するAu等の金属導電
膜、8はTa2N,Si―Ta合金等の発熱抵抗膜、9
はTe膜、10はCdHe膜、11はCdS膜、12は
SnO2,In2O3等の透明電極を形成する導電膜であ
る。また、耐摩耗膜6は2層構造のSiO2―Ta2O5
膜またはSiC膜である。この耐摩耗膜ル6は、基
板表面に接触しながら移動する記録紙によつて発
熱抵抗体8やイメージセンサ部4が摩耗すること
を防止するための保護膜として設けられている。
イメージセンサ部4は、Te膜9、CdTe膜1
0、CdS膜11および透明な導電膜12の積層部
分でフオトダイオードが構成され、Te膜9、
CdS膜11および金属導電膜7の積層部分でブロ
ツキングダイオードが構成される。フオトダイオ
ードはCdS―CdTeヘテロ接合により整流性と感
光性を示し、透明な導電膜12が受光窓となる。
なお、本実施例の場合、基板1として不透明なグ
レーズドセラミツクを使用しているので、受光面
を積層膜の表面に設けているが、基板として透明
なガラスを使用すれば、積層膜の順序を逆にし
て、基板を通して受光することもできる。ブロツ
キングダイオードはCdS―Teのシヨツトキー接
合により整流性を示す。
上記のように構成されたフオトダイオードとブ
ロツキングダイオードは互いに逆極性に接続され
た形となり、第3図に示したように接続される。
第3図において、13はフオトダイオード、14
はブロツキングダイオード、15はシフトレジス
タ、16はMOSスイツチ、17は抵抗器であ
る。このように接続されたイメージセンサ部で
は、シフトレジスタ15からパルス信号が順次出
力され、この動作を繰り返す。一方、MOSスイ
ツチ16は、シフトレジスタ15の繰り返し動作
に同期して順次開閉し、各フオトダイオード13
が走査される。いま、MOSスイツチ16aが
の信号により導通状態となり、シフトレジスタ1
5ののパルス信号が出力されると、フオトダイ
オード13aに電荷が蓄積される。そして、他の
フオトダイオード13に順次電荷が蓄積されてい
る間にフオトダイオード13aに光が照射される
と、蓄積された電荷が光量に応じて放電され、走
査が一巡して次の信号がフオトダイオード13a
に印加されたとき、その放電量に応じた電荷が再
び蓄積される。このとき、抵抗器17に流れる再
充電電流からビデオ信号を取り出すようにする。
なお、サーマルヘツド部の駆動方法は、従来の
専用ICをボンデイングする方法、ダイオードマ
トリクス方法などが採用される。
第4図は、本実施例の使用例を示したもので、
画像を読み取るときは、原稿18を、ローラ19
によつてコンタクトガラス20上を移動させ、照
明ランプ21によつて原稿面をスリツト状に照明
する。そして、その反射光を、集束型フアイバア
レイ22に通してイメージセンサ部4上に結像さ
せ、第3図で説明した動作に従つて読み取る。ま
た、画像を記録するときは、記録紙23を、サー
マルヘツド部2上をローラ24によつて送り、画
情報に応じて発熱抵抗体にパルス電流を流し、記
録していく。25は放熱板である。
なお、基板1に透明ガラスを使用し、下面より
基板を通してを照射し、イメージセンサ部の各素
子の間から漏れる光で原稿面を照明するようにし
てもよい。この場合、フアイバアレイを必要とせ
ず、原稿は記録紙と同様に基板上を移動させる。
以上説明したように、本発明によれば、同一基
板上に薄膜等倍型イメージセンサ部とサーマルヘ
ツド部とを並べて配置することにより、従来のよ
うに個別に構成する場合に比較して装置をコンパ
クトに構成することができ、また、電極、配線部
や耐摩耗膜がイメージセンサ部、サーマルヘツド
部とも、同一製造工程で形成されるので、工程数
を減少することができ、従つて製造コストを大幅
に低減することができる利点がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の1実施例の外観を示す斜視
図、第2図は、第1図の断面図、第3図は、イメ
ージセンサ部の回路図、第4図は、第1図の入出
力デイバイスの使用例を示す略図である。 1……基板、2……サーマルヘツド部、4……
イメージセンサ部、6……耐摩耗膜、8……発熱
抵抗体、9……Te膜、10……CdTe膜、11…
…CdS膜、12……透明な導電膜。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 同一絶縁基板上に、多数の受光素子を1列に
    配置した薄膜等倍型イメージセンサ部と、多数の
    発熱抵抗体を1列に配置したサーマルヘツド部と
    を併設したことを特徴とする画像入出力デイバイ
    ス。
JP6774780A 1980-05-23 1980-05-23 Video input and output device Granted JPS56164667A (en)

Priority Applications (1)

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JP6774780A JPS56164667A (en) 1980-05-23 1980-05-23 Video input and output device

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JP6774780A JPS56164667A (en) 1980-05-23 1980-05-23 Video input and output device

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Publication Number Publication Date
JPS56164667A JPS56164667A (en) 1981-12-17
JPS6217877B2 true JPS6217877B2 (ja) 1987-04-20

Family

ID=13353840

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Families Citing this family (5)

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JPS58115854A (ja) * 1981-12-28 1983-07-09 Seiko Epson Corp イメ−ジセンサ
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Also Published As

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JPS56164667A (en) 1981-12-17

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