JPS62180833A - 原版自動交換装置 - Google Patents
原版自動交換装置Info
- Publication number
- JPS62180833A JPS62180833A JP61021965A JP2196586A JPS62180833A JP S62180833 A JPS62180833 A JP S62180833A JP 61021965 A JP61021965 A JP 61021965A JP 2196586 A JP2196586 A JP 2196586A JP S62180833 A JPS62180833 A JP S62180833A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reticle
- cassette
- original
- exchange device
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Library & Information Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Controlling Sheets Or Webs (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の分野〕
本発明は、半導体製造プロセスで用いる露光装置等のフ
ォトマスクまたはレチクル等の原版自動交換装置に関し
、特に原版の識別マーク検出手段の改良に関する。
ォトマスクまたはレチクル等の原版自動交換装置に関し
、特に原版の識別マーク検出手段の改良に関する。
なお、本明・納置において「レチクル」は［マスり」を
含むものとし、またレチクルを例にした説明はマスクに
対しても同様に適用可能である。また、「原版」はマス
クまたはレチクルのように露光または印刷等により転写
すべき原画を形成した遮蔽体をいう。
含むものとし、またレチクルを例にした説明はマスクに
対しても同様に適用可能である。また、「原版」はマス
クまたはレチクルのように露光または印刷等により転写
すべき原画を形成した遮蔽体をいう。
（発明の背景）
半導体フォトリソグラフィプロセスにおいては、クエへ
の各チップにパターンを形成するために、実寸パターン
のマスクをウニへ面に密看させて露光焼付けを行なった
りまたは実寸の数倍〜１０倍程度の１チップ分のパター
ンが形成されたレチクルを光学的手段を介して縮小して
ウェハ上に投ｊしパターン焼付けを行なっている。１つ
の半導体、デバイスを完成するには、１枚のウェハに対
しこのパターンの焼付けの工程を通常数回〜数１０回行
なう。具体的には、まずあるマスク工程のレチクルを露
光装置本体にセットし、所定二（例えば１００枚）のウ
ェハについてパターン焼付は工程を実施する。焼付は工
程を終えたウニへ群は必要に応じてエツチングや不純物
拡散、また導体層、絶縁層、半導体層の形成、さらには
フォトレジスト塗布等の処理をし、その後レチクルを次
のマスク工程のものに交換し、これらのウェハすべてに
ついてそのレチクルのパターン焼イ」け工程を実施する
。以下、同様に焼付は工程を繰返し、求めるパターンの
ウェハを得る。
の各チップにパターンを形成するために、実寸パターン
のマスクをウニへ面に密看させて露光焼付けを行なった
りまたは実寸の数倍〜１０倍程度の１チップ分のパター
ンが形成されたレチクルを光学的手段を介して縮小して
ウェハ上に投ｊしパターン焼付けを行なっている。１つ
の半導体、デバイスを完成するには、１枚のウェハに対
しこのパターンの焼付けの工程を通常数回〜数１０回行
なう。具体的には、まずあるマスク工程のレチクルを露
光装置本体にセットし、所定二（例えば１００枚）のウ
ェハについてパターン焼付は工程を実施する。焼付は工
程を終えたウニへ群は必要に応じてエツチングや不純物
拡散、また導体層、絶縁層、半導体層の形成、さらには
フォトレジスト塗布等の処理をし、その後レチクルを次
のマスク工程のものに交換し、これらのウェハすべてに
ついてそのレチクルのパターン焼イ」け工程を実施する
。以下、同様に焼付は工程を繰返し、求めるパターンの
ウェハを得る。
この場合、各焼付は工程で用いられるパターンすなわち
マスク（またはレチクル）は異なるのが普通である。従
って、各段階の露光に際して露光装置本体に別々のレチ
クルをセットする必要がある。このため、従来はレチク
ル交換が必要な場合、人手で交換したり、またレチクル
ヂエンジャを装備して自動釣にレチクルの交換を行なっ
たりしていた。
マスク（またはレチクル）は異なるのが普通である。従
って、各段階の露光に際して露光装置本体に別々のレチ
クルをセットする必要がある。このため、従来はレチク
ル交換が必要な場合、人手で交換したり、またレチクル
ヂエンジャを装備して自動釣にレチクルの交換を行なっ
たりしていた。
このようなレチクル等の自動交換装置においては、交換
のために取出したレチクルが正しいレチクルであるかど
うかを露光する前に検出し判別する必要がある。このた
め、一般にレチクルにはバーコードによる識別マークが
設けられ、装置上にこのバーコードを読取るバーコード
リーダが備わつている。
のために取出したレチクルが正しいレチクルであるかど
うかを露光する前に検出し判別する必要がある。このた
め、一般にレチクルにはバーコードによる識別マークが
設けられ、装置上にこのバーコードを読取るバーコード
リーダが備わつている。
従来この種の装置においてレチクルを検出する場合は、
レチクルをレチクルキャリアから抜き出した後、アライ
ナのレチクル露光位１置まで搬送してレチクルアライメ
ントしてからレチクルのバーコードをスキャンしてレチ
クルの情、報を解読するか、またはレチクルキャリアと
レチクル露光位置の間に、バーコード：読出しを目的と
する専用のスキャニングポジションを設けてここでレチ
クル判別を行なっていた。：しかしながら、このような
従来のレチクル自動交換装置ではレチクルキャリアから
レチクルを取出してからバーコードを読取るまでに多く
の工程が必要となりレチク、ルの搬送圧１ｆｊｌｆも長
く時間も多く要するためレチクルギヤリアへのカセット
ケース収納場所間違い、カセットケースへのレチクル収
納間違い、あるいはレチクルローディング時の誤・動作
等により正しいレチクルが取出されなかった場合にレチ
クルの正誤の判定に時間がｔｉトかり、アライナのマシ
ンタイムを；マ〈才るという欠点があった。
レチクルをレチクルキャリアから抜き出した後、アライ
ナのレチクル露光位１置まで搬送してレチクルアライメ
ントしてからレチクルのバーコードをスキャンしてレチ
クルの情、報を解読するか、またはレチクルキャリアと
レチクル露光位置の間に、バーコード：読出しを目的と
する専用のスキャニングポジションを設けてここでレチ
クル判別を行なっていた。：しかしながら、このような
従来のレチクル自動交換装置ではレチクルキャリアから
レチクルを取出してからバーコードを読取るまでに多く
の工程が必要となりレチク、ルの搬送圧１ｆｊｌｆも長
く時間も多く要するためレチクルギヤリアへのカセット
ケース収納場所間違い、カセットケースへのレチクル収
納間違い、あるいはレチクルローディング時の誤・動作
等により正しいレチクルが取出されなかった場合にレチ
クルの正誤の判定に時間がｔｉトかり、アライナのマシ
ンタイムを；マ〈才るという欠点があった。
（発明の目的）
本発明は、前記従来技術の欠点に鑑みなされたものであ
って、レチクルの自動交換に際し、取出したレチクルの
検出判別を直ちに行い、誤ったレチクルが取出された場
合のロスダイムを最小限に抑えることができる原版自動
交換装置の提供を目的とする。
って、レチクルの自動交換に際し、取出したレチクルの
検出判別を直ちに行い、誤ったレチクルが取出された場
合のロスダイムを最小限に抑えることができる原版自動
交換装置の提供を目的とする。
以下図面に基いて本発明の実施例について説明する。第
１図は本発明に係るレチクル自動交換装置の斜視図、第
２図はその概略側面図である。内部に１枚づつレチクル
を収容したレチクルカセット１が上下に複数段に積層さ
れてレチクルキャリア２内に収納されている。レチク：
ル９は、第３図に示すように、受皿１１内に載置されこ
の受皿１１がレチクルカセット１内に収納される。レチ
クル９には品番等の情報をコード化したバーコード１２
が設けられている。このレチクル９をレチクルカセット
１から取出すためのフォーク３が昇降機構４上に設けら
れている。昇降機構４は、ガイドホルダ１０を介してガ
イド支柱５に沿って上下に移動可能である。この昇降機
構４上のレチクルキャリア１に近接した端部にバーコー
ドリーダーヘッド６が設置される。昇降機構４の最上昇
位置に対応した位置にレチクルの受渡し機構７が設けら
れている。８はレチクル９の受渡し動作を行なうための
ハンドである。バーコードリーダーヘッド６はデコーダ
１３（第３図）に連結され読取った情報が解読される。
１図は本発明に係るレチクル自動交換装置の斜視図、第
２図はその概略側面図である。内部に１枚づつレチクル
を収容したレチクルカセット１が上下に複数段に積層さ
れてレチクルキャリア２内に収納されている。レチク：
ル９は、第３図に示すように、受皿１１内に載置されこ
の受皿１１がレチクルカセット１内に収納される。レチ
クル９には品番等の情報をコード化したバーコード１２
が設けられている。このレチクル９をレチクルカセット
１から取出すためのフォーク３が昇降機構４上に設けら
れている。昇降機構４は、ガイドホルダ１０を介してガ
イド支柱５に沿って上下に移動可能である。この昇降機
構４上のレチクルキャリア１に近接した端部にバーコー
ドリーダーヘッド６が設置される。昇降機構４の最上昇
位置に対応した位置にレチクルの受渡し機構７が設けら
れている。８はレチクル９の受渡し動作を行なうための
ハンドである。バーコードリーダーヘッド６はデコーダ
１３（第３図）に連結され読取った情報が解読される。
第３図に示すように、レチクルカセット１に設けたバー
コード１４を読取るための第２のバーコードリーダーヘ
ッド１５をレチクルキャリア２上の適当な位置に設けて
もよい。
コード１４を読取るための第２のバーコードリーダーヘ
ッド１５をレチクルキャリア２上の適当な位置に設けて
もよい。
次に上記溝成のレチクル自動交換装置の動作について説
明する。昇降機構４が移動して選択されたレチクルカセ
ット１の位置で停止する。フォーク３がレチクルカセッ
ト１から矢印Ａのように水平にレチクル９を受皿１１と
ともに取出す。続いて昇降機構４が矢印Ｂのように上昇
して受渡し機構７を介してハント８てレチクル９を把握
し、アライナ（図示しない）へ搬送する。
明する。昇降機構４が移動して選択されたレチクルカセ
ット１の位置で停止する。フォーク３がレチクルカセッ
ト１から矢印Ａのように水平にレチクル９を受皿１１と
ともに取出す。続いて昇降機構４が矢印Ｂのように上昇
して受渡し機構７を介してハント８てレチクル９を把握
し、アライナ（図示しない）へ搬送する。
レチクルカセット１からレチクル９をフォーク３により
水平に抜き出すときに、フォーク動作をガイドしている
昇降機溝４に取付けられたバーコードリーダーヘッド６
からビームをレチクル９のバーコード１２に投光し、フ
ォークの抜き出し動作によりレチクル９のバーコードを
ビームでスキャンする。バーコード１２の反射光を再び
バーコードリーダーヘッド６内のディテクタで受光し、
信号情報としてデコーダ１３で解読し、正しいレチクル
であるか判定し、情報をアライナへ伝送する。誤ったレ
チクルであれは再びレチクルカセット１へ戻し、エラー
を表示する。正しいレチクルであれば昇降機構４が受渡
し位置までレチクルを上昇させ、レチクルハンド８に受
渡し、アライナのレチクル露光位置へ搬送し、レチクル
アライメントして露光プロセスに入る。
水平に抜き出すときに、フォーク動作をガイドしている
昇降機溝４に取付けられたバーコードリーダーヘッド６
からビームをレチクル９のバーコード１２に投光し、フ
ォークの抜き出し動作によりレチクル９のバーコードを
ビームでスキャンする。バーコード１２の反射光を再び
バーコードリーダーヘッド６内のディテクタで受光し、
信号情報としてデコーダ１３で解読し、正しいレチクル
であるか判定し、情報をアライナへ伝送する。誤ったレ
チクルであれは再びレチクルカセット１へ戻し、エラー
を表示する。正しいレチクルであれば昇降機構４が受渡
し位置までレチクルを上昇させ、レチクルハンド８に受
渡し、アライナのレチクル露光位置へ搬送し、レチクル
アライメントして露光プロセスに入る。
（発明の効果〕
以上説明したように、本発明に係るレチクル自動交換装
面においては、レチクルカセットのレチクル取出口の近
傍にバーコードリーダーヘッドを配置しているため、レ
チクルの取出し動作中にバーコードを読取ることができ
非常に早い時点で取出したレチクルの情報が得られ正し
いレチクルかどうかの判別が可能となる。従って、誤っ
たレチクルを取出した場合に、無駄な搬送動作を最小限
に抑え直ちにこれをレチクルカセットに戻すことができ
、ロスタイムが減少し、装置の稼動効率が向上する。ま
た、不要な搬送動作時に発生する塵埃が最小限に抑えら
れる。
面においては、レチクルカセットのレチクル取出口の近
傍にバーコードリーダーヘッドを配置しているため、レ
チクルの取出し動作中にバーコードを読取ることができ
非常に早い時点で取出したレチクルの情報が得られ正し
いレチクルかどうかの判別が可能となる。従って、誤っ
たレチクルを取出した場合に、無駄な搬送動作を最小限
に抑え直ちにこれをレチクルカセットに戻すことができ
、ロスタイムが減少し、装置の稼動効率が向上する。ま
た、不要な搬送動作時に発生する塵埃が最小限に抑えら
れる。
またレチクルキャリアにレチクルカセットのバーコード
読取り用のバーコードリーダーヘッドを設けておけば、
カセットをキャリアに収納する時点でカセットの確認が
可能となり、誤ったレチクルの取出し動作を未然に防止
できる。
読取り用のバーコードリーダーヘッドを設けておけば、
カセットをキャリアに収納する時点でカセットの確認が
可能となり、誤ったレチクルの取出し動作を未然に防止
できる。
第１図は本発明に係るレチクル自動交換装置１１の斜視
図、第２図は第１図のレチクル自動交換装置の概略側面
図、第３図は本発明に係るレチクル自動交換装置の動作
説明図である。 １・・・・・・レチクルカセット、２・・・・・・レチ
クルキャリア、３・・・・・・フォーク、４・・・・・
・男、降機構、６・・・・・・バーコードリーダーヘッ
ド、９・・・・・・レチクル、１２．１４・・・・・・
バーコード、１５・・・・・・第２のバーコードリーダ
ーヘッド。 特 許 出 願 人 キャノン株式会社代理人 弁理
士 伊 東 辰 雄 代理人 弁理士 伊 東 哲 也 第 １ｒ！！Ｊ 第２図 第３図
図、第２図は第１図のレチクル自動交換装置の概略側面
図、第３図は本発明に係るレチクル自動交換装置の動作
説明図である。 １・・・・・・レチクルカセット、２・・・・・・レチ
クルキャリア、３・・・・・・フォーク、４・・・・・
・男、降機構、６・・・・・・バーコードリーダーヘッ
ド、９・・・・・・レチクル、１２．１４・・・・・・
バーコード、１５・・・・・・第２のバーコードリーダ
ーヘッド。 特 許 出 願 人 キャノン株式会社代理人 弁理
士 伊 東 辰 雄 代理人 弁理士 伊 東 哲 也 第 １ｒ！！Ｊ 第２図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、原版を収納するカセットと、複数のカセットを収納
保持するキャリアと、該キャリアに保持されたカセット
を選択し、内部の原版を取出すための原版取出機構と、
カセットから取出された原版上の識別マークを検出する
マーク検出手段とを具備する原版自動交換装置において
、前記マーク検出手段をカセットの原版取出口の近傍に
設けたことを特徴とする原版自動交換装置。 ２、前記キャリアは、前記カセットを上下に複数段に積
層して収納することを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の原版自動交換装置。 ３、前記原版取出機構は、原版を保持して水平方向に移
動するフォークからなり、該フォークを前記キャリア内
のカセットに沿って上下移動可能な昇降機構上に取付け
たことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の原版自
動交換装置。 ４、前記マーク検出手段は、前記昇降機構上に設けられ
たことを特徴とする特許請求の範囲第３項記載の原版自
動交換装置。 ５、前記キャリア内に収納されたカセット上の識別マー
クを検出するための第２のマーク検出手段を具備したこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項から第４項までの
いずれか１項に記載した原版自動交換装置。 ６、前記識別マークはバーコードであり、前記マーク検
出手段は、バーコードリーダーヘッドであることを特徴
とする特許請求の範囲第１項から第５項までのいずれか
１項に記載した原版自動交換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61021965A JPS62180833A (ja) | 1986-02-05 | 1986-02-05 | 原版自動交換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61021965A JPS62180833A (ja) | 1986-02-05 | 1986-02-05 | 原版自動交換装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62180833A true JPS62180833A (ja) | 1987-08-08 |
Family
ID=12069770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61021965A Pending JPS62180833A (ja) | 1986-02-05 | 1986-02-05 | 原版自動交換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62180833A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01167022A (ja) * | 1987-12-16 | 1989-06-30 | Satake Eng Co Ltd | 穀物計量包装機の単袋供給装置 |
| JPH0445027A (ja) * | 1990-06-12 | 1992-02-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | シート体枚葉機構 |
| WO2006046682A1 (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-04 | Nikon Corporation | レチクル保護部材、レチクル搬送装置、露光装置、及びレチクルの搬送方法 |
-
1986
- 1986-02-05 JP JP61021965A patent/JPS62180833A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01167022A (ja) * | 1987-12-16 | 1989-06-30 | Satake Eng Co Ltd | 穀物計量包装機の単袋供給装置 |
| JPH0445027A (ja) * | 1990-06-12 | 1992-02-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | シート体枚葉機構 |
| WO2006046682A1 (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-04 | Nikon Corporation | レチクル保護部材、レチクル搬送装置、露光装置、及びレチクルの搬送方法 |
| JP2006153899A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-06-15 | Nikon Corp | レチクル保護部材、レチクル搬送装置、露光装置、及びレチクルの搬送方法。 |
| US7453549B2 (en) | 2004-10-29 | 2008-11-18 | Nikon Corporation | Reticle protection member, reticle carrying device, exposure device and method for carrying reticle |
| US8168959B2 (en) | 2004-10-29 | 2012-05-01 | Nikon Corporation | Reticle protection member, reticle carrying device, exposure device and method for carrying reticle |
| US8921812B2 (en) | 2004-10-29 | 2014-12-30 | Nikon Corporation | Reticle protection member, reticle carrying device, exposure device and method for carrying reticle |
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