JPS62181546U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

図面はいずれも本考案の実施例を示すものであ
つて、第１図は板状体取出し具の斜視図、第２図
ａ，ｂ，ｃ，ｃ_２及びｄはウエハをカートリツジ
から取出す手順を示す断面図、第３図は板状体取
出し装置の概略正面図、第４図ａ，ｂ，ｃ，ｄ，
ｅ及びｆはウエハをバスケツトからカートリツジ
に移換える手順を示す断面図、第５図はウエハを
収容したバスケツトを示し、同図ａは平面図、同
図ｂは正面図、第６図はウエハを収容したカート
リツジを示し、同図ａは平面図、同図ｂは正面図
、第７図は他の板状体取出し具の斜視図、第８図
、第９図及び第１０図は夫々更に他の板状体取出
し具の断面図、第１１図は更に他の板状体取出し
具の断面図、第１２図はカートリツジ中で一部の
ウエハが変形し、位置移動した状態を示す部分正
面図、第１３図は板状体支持用平板の他の例を示
す斜視図、第１４図ａ及びｂはカートリツジ中の
一部のウエハが補助柱の溝から外れてその外周が
補助柱の凸部の高さに位置した状態を示す部分正
面図、第１５図はウエハをバスケツトからカート
リツジに移換え、ＣＶＤ装置に挿入する手順を示
す概略平面図、第１６図はバスケツトの斜視図、
第１７図はカートリツジの斜視図である。 なお、図面に示された符号に於いて、１……カ
ートリツジ、１ａ……主柱、１ｂ……補助柱、１
ｅ……溝、１ｆ……突部、１ｇ，２ｄ……開口部
、２……バスケツト、３……ウエハ取出し装置、
４，４_２……平板、４ａ……貫通孔、５，５_２…
…支持台、１６，１６′，１６_２，１６_３，１６
_４，１６_５，１６_６，１６_７，１６_８……ウエハ
、２３，３３……板ばね、２４，１２４，２２４
……バー、４３，５８……コイルばね、５３……
レバー、５４……弾性リボン、５５……ベルト、
５６……プーリ、５７……テンシヨナ、である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 板状体を挿入又は取出すための空間部から挿入
   された前記板状体をその周辺部で支持する板状体
   支持装置から、板状体取出し具によつて前記板状
   体を取出す板状体取出し装置であつて、前記板状
   体支持装置内の正規の位置に存在しない前記板状
   体を前記正規の位置に移動させる板状体移動手段
   が、相対的に位置変化可能に前記板状体取出し具
   に設けられている、板状体取出し装置。