JPS62182187A - 集光加熱装置 - Google Patents
集光加熱装置Info
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- JPS62182187A JPS62182187A JP2313186A JP2313186A JPS62182187A JP S62182187 A JPS62182187 A JP S62182187A JP 2313186 A JP2313186 A JP 2313186A JP 2313186 A JP2313186 A JP 2313186A JP S62182187 A JPS62182187 A JP S62182187A
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- heated
- heating device
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Links
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- 230000006378 damage Effects 0.000 abstract description 8
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 3
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B13/00—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
- C30B13/16—Heating of the molten zone
- C30B13/22—Heating of the molten zone by irradiation or electric discharge
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Metallurgy (AREA)
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
：′産業上の利用分野］
本発明は、結晶成長等に利用される集光加熱装置に関す
るらので、特に集光加熱装置内部をｆｉｌ察する窓の構
造を改良した集光加熱装置に関するものである。
るらので、特に集光加熱装置内部をｆｉｌ察する窓の構
造を改良した集光加熱装置に関するものである。
〔関東の技術］
集光加熱装置は、回転楕円面から成る反射鏡の第１の焦
点部分に光源を置き、第２の焦点部分に被加熱物を置い
てその光を集中し、被加熱物を加熱するものである。こ
の装置には、反射鏡が１個の回転楕円面のみで構成され
る単楕円型、反射鏡が２個の回転楕円面の組合わせで構
成され、第２の焦点を共有する構造の双楕円型、更に反
射鏡が３個以上の回転楕円面の組合わせで構成され、第
２の焦点を共有する構造の条構円型がある。
点部分に光源を置き、第２の焦点部分に被加熱物を置い
てその光を集中し、被加熱物を加熱するものである。こ
の装置には、反射鏡が１個の回転楕円面のみで構成され
る単楕円型、反射鏡が２個の回転楕円面の組合わせで構
成され、第２の焦点を共有する構造の双楕円型、更に反
射鏡が３個以上の回転楕円面の組合わせで構成され、第
２の焦点を共有する構造の条構円型がある。
次に、従来の集光加熱装置の構造を双楕円型集光加熱装
置を例にして、図面を参照して詳細に説明する。第２図
は、集光加熱装置の従来例のうち、双楕円型の集光加熱
装置の縦断面図である。図において、２０１が反射鏡、
２０２が被加熱物（上）、２０３が被加熱物（下）であ
る。これらの被加熱物はそれぞれ、チャック（上）２０
４、チャ・ツク（下） ２０５によってシャフト（上）
２０６、シャフト（下）２０７に取り付けられる。これ
らの被加熱物を加熱して溶融させると、被加熱物（上）
２０２と被加熱物（下）２０３との間即ち集光加熱装置
の第２の焦点部分に溶融帯２０８が形成される。また２
０９は、被加熱物を外部から遮断し、被加熱物の周囲に
不活性カスなどの雰囲気ガスを満たしたり真空にするた
め、更に被加熱物から発生するガスから反射鏡の鏡面を
保護するための炉心管である、２１０は、シールのため
のＯリングである。２１１は、溶融帯２０８を観察する
ため集光加熱装置の一部に開けた溶融帯観察窓であり、
ｌ容融帯２０８から発する光は、溶融帯観察窓２１１を
通り、シール板２１２を透過し、直後にあるレンズ２１
３によってスクリーン２１４に結像され溶融帯２０８の
偶が投影される。また、２１５は集光加熱装置内部を直
視で観察するため、集光加熱装置の一部に開けられた直
視観察窓で、透明なシール板２１６を通して、集光加熱
装置の内部を観察する。
置を例にして、図面を参照して詳細に説明する。第２図
は、集光加熱装置の従来例のうち、双楕円型の集光加熱
装置の縦断面図である。図において、２０１が反射鏡、
２０２が被加熱物（上）、２０３が被加熱物（下）であ
る。これらの被加熱物はそれぞれ、チャック（上）２０
４、チャ・ツク（下） ２０５によってシャフト（上）
２０６、シャフト（下）２０７に取り付けられる。これ
らの被加熱物を加熱して溶融させると、被加熱物（上）
２０２と被加熱物（下）２０３との間即ち集光加熱装置
の第２の焦点部分に溶融帯２０８が形成される。また２
０９は、被加熱物を外部から遮断し、被加熱物の周囲に
不活性カスなどの雰囲気ガスを満たしたり真空にするた
め、更に被加熱物から発生するガスから反射鏡の鏡面を
保護するための炉心管である、２１０は、シールのため
のＯリングである。２１１は、溶融帯２０８を観察する
ため集光加熱装置の一部に開けた溶融帯観察窓であり、
ｌ容融帯２０８から発する光は、溶融帯観察窓２１１を
通り、シール板２１２を透過し、直後にあるレンズ２１
３によってスクリーン２１４に結像され溶融帯２０８の
偶が投影される。また、２１５は集光加熱装置内部を直
視で観察するため、集光加熱装置の一部に開けられた直
視観察窓で、透明なシール板２１６を通して、集光加熱
装置の内部を観察する。
しかしなから、第２図に示す従来の集光加熱装置におい
て、スクリーン２１４に投影されている像は被写体自身
が光輝度で発光している光で写るのであるから２．スク
リーン２１４に投影される（象を貼ると加熱されて高温
になり光を発している溶融帯２０８は良く吃ることがで
きるが、集光加熱装置内部で加熱されて高温になってい
るのは、被加熱物の掻く一部であるため、低温で光を発
しない被加熱物の取り付は部や炉心管は見ることができ
ない。また、直視観察窓２１５には、レンズらスクリー
ンら設置していないので、直視観察窓２１５を通して溶
融帯２０８とともに被加熱物の取り付は部や炉心管を直
接見ることができるが、高根となっている溶融帯２０８
から発する強烈な光が妨げとなって、被加熱物の炉り付
は部や炉心管を観察することは極めて困難で、強烈な光
を直視してしまうと、目を損傷する恐れもあった。更に
、被加熱物の取り付は部や炉心管を観察することが困難
であるため、被加熱物の取り付は部や炉心管に損傷や欠
損を生じているにもがかわらずそれを見逃してしまい、
欠損片によるＯリンク２１０の損傷を事前に予測できず
加熱炉の密閉度を悪化させてしまうといった事故の発生
の危険があった、本発明の目的は、このような従来の欠
点を除去し、溶融帯から発する強烈な光の妨げを受けず
に、集光加熱装置内部の被加熱物の取り付は部や炉心管
を観察できる集光加熱装置を提供することにある。
て、スクリーン２１４に投影されている像は被写体自身
が光輝度で発光している光で写るのであるから２．スク
リーン２１４に投影される（象を貼ると加熱されて高温
になり光を発している溶融帯２０８は良く吃ることがで
きるが、集光加熱装置内部で加熱されて高温になってい
るのは、被加熱物の掻く一部であるため、低温で光を発
しない被加熱物の取り付は部や炉心管は見ることができ
ない。また、直視観察窓２１５には、レンズらスクリー
ンら設置していないので、直視観察窓２１５を通して溶
融帯２０８とともに被加熱物の取り付は部や炉心管を直
接見ることができるが、高根となっている溶融帯２０８
から発する強烈な光が妨げとなって、被加熱物の炉り付
は部や炉心管を観察することは極めて困難で、強烈な光
を直視してしまうと、目を損傷する恐れもあった。更に
、被加熱物の取り付は部や炉心管を観察することが困難
であるため、被加熱物の取り付は部や炉心管に損傷や欠
損を生じているにもがかわらずそれを見逃してしまい、
欠損片によるＯリンク２１０の損傷を事前に予測できず
加熱炉の密閉度を悪化させてしまうといった事故の発生
の危険があった、本発明の目的は、このような従来の欠
点を除去し、溶融帯から発する強烈な光の妨げを受けず
に、集光加熱装置内部の被加熱物の取り付は部や炉心管
を観察できる集光加熱装置を提供することにある。
本発明は、集光加熱装置内部の被加熱物の取り付は部や
炉心管を観察するため、集光加熱装置の内部を外から直
接観察する直視観察窓を、集光加熱装置の第２の焦点部
分から離れた位置へ向けて開けたことを特徴とした集光
加熱装置である。
炉心管を観察するため、集光加熱装置の内部を外から直
接観察する直視観察窓を、集光加熱装置の第２の焦点部
分から離れた位置へ向けて開けたことを特徴とした集光
加熱装置である。
し実施例〕
以下、本発明の実施例について図面を参照して詳細に説
明する。第１図は本発明の一実施例を示す集光加熱装置
の縦断面図である。図において、１０１が反射鏡、１０
２が被加熱物（上）、１０３が被加熱物（下）である。
明する。第１図は本発明の一実施例を示す集光加熱装置
の縦断面図である。図において、１０１が反射鏡、１０
２が被加熱物（上）、１０３が被加熱物（下）である。
これらの被加熱物はそれぞれ、チャック〈上）１０４、
チャ・・Ｉり（下）１０５によってシャフト（上）１０
６、シャツ１〜（下）１０７に取り付けられるにれらの
被加熱物を加熱して溶融させると、被加熱物（−ヒ）］
０２と被加熱′ＰＩＪ（下） １０３との間に溶融帯１
０８が形成される。また１０９は、被加熱物を外部から
遮断し肢加Ｆ！！、物の周囲に不活性ガスなどの雰囲気
ガスを満たしたり真空にするため、更に被加熱物から発
生ずるガスから反射鏡の鏡面を保護するための炉心管で
ある２１１０は、シールのための０リングである、ｉｌ
ｌは、溶融帯１０８を観察するための集光加熱装置の一
部に開けた溶融帯観察窓であり、溶融帯１０８かち発す
る光は、溶融帯ｒｍ察窓］１１を通り、透明なシール板
１１２を透過し、直後にあるレンズ１１３によってスク
リ−；ｉ１４に結像される溶融帯の像が投影される。
チャ・・Ｉり（下）１０５によってシャフト（上）１０
６、シャツ１〜（下）１０７に取り付けられるにれらの
被加熱物を加熱して溶融させると、被加熱物（−ヒ）］
０２と被加熱′ＰＩＪ（下） １０３との間に溶融帯１
０８が形成される。また１０９は、被加熱物を外部から
遮断し肢加Ｆ！！、物の周囲に不活性ガスなどの雰囲気
ガスを満たしたり真空にするため、更に被加熱物から発
生ずるガスから反射鏡の鏡面を保護するための炉心管で
ある２１１０は、シールのための０リングである、ｉｌ
ｌは、溶融帯１０８を観察するための集光加熱装置の一
部に開けた溶融帯観察窓であり、溶融帯１０８かち発す
る光は、溶融帯ｒｍ察窓］１１を通り、透明なシール板
１１２を透過し、直後にあるレンズ１１３によってスク
リ−；ｉ１４に結像される溶融帯の像が投影される。
また、１１５は集光加熱装置内部の被加熱物の取り１；
１け部や炉心管を直視により観察するため、集光加熱装
置の第２の焦点部分から術れた位置へ向けて開けた直睨
観察窓で、透明なシール板１１６を通して、高温とな−
・ている溶融帯から発する強烈な光の影響を受けずに、
集光加熱装置の内部を観察て′きる。
１け部や炉心管を直視により観察するため、集光加熱装
置の第２の焦点部分から術れた位置へ向けて開けた直睨
観察窓で、透明なシール板１１６を通して、高温とな−
・ている溶融帯から発する強烈な光の影響を受けずに、
集光加熱装置の内部を観察て′きる。
なお、ここでは双隋円型の集光加熱装置について説明し
てきたが、単槽円型、７）るいは条構円型の集光加熱′
Ａ１次についてら本発明は同揉に実施できる、 ｉ発明の効果゛１ 本発明による集光加熱装置では、集光加熱装置内部を観
察する窓が集光加熱装置の第２の焦点部分に向いていな
いなめ、高温となっている溶融帯から発する強烈な光を
直視することなく、集光加熱装置内部内被加熱物の取り
付は部や炉心管ｆ：観察でき、炉心管の破損の有無など
を確認することが容易になった。また、高温となって強
烈な光を発している溶融帯を直視することがないので、
目を損傷することらなく、更に被加熱物の取り付は部や
炉心管に損傷や欠損を生じていれば、その発見が容すに
なるので、被加熱物のかけらや炉心管のかけらが〔゛）
リングを損傷させる事故を未然に子測防井でき、加熱炉
の密閉度の悪化を防止できる、
てきたが、単槽円型、７）るいは条構円型の集光加熱′
Ａ１次についてら本発明は同揉に実施できる、 ｉ発明の効果゛１ 本発明による集光加熱装置では、集光加熱装置内部を観
察する窓が集光加熱装置の第２の焦点部分に向いていな
いなめ、高温となっている溶融帯から発する強烈な光を
直視することなく、集光加熱装置内部内被加熱物の取り
付は部や炉心管ｆ：観察でき、炉心管の破損の有無など
を確認することが容易になった。また、高温となって強
烈な光を発している溶融帯を直視することがないので、
目を損傷することらなく、更に被加熱物の取り付は部や
炉心管に損傷や欠損を生じていれば、その発見が容すに
なるので、被加熱物のかけらや炉心管のかけらが〔゛）
リングを損傷させる事故を未然に子測防井でき、加熱炉
の密閉度の悪化を防止できる、
第１図は、本発明の一実施例の４断面図で、第２図は従
来例の釘１”（断面図である 図において、１０１及び２０１は反射鏡、１０２及び２
０２はン皮加熱物（上）、］０３及び２０３は被加熱物
（下）、１０８及び２０８は溶融帯、】１５及び２１５
は直視観察窓である。 ２／θ
来例の釘１”（断面図である 図において、１０１及び２０１は反射鏡、１０２及び２
０２はン皮加熱物（上）、］０３及び２０３は被加熱物
（下）、１０８及び２０８は溶融帯、】１５及び２１５
は直視観察窓である。 ２／θ
Claims (1)
- 回転楕円面鏡の第１の焦点部分に光源を設け、前記回転
楕円面鏡の第２の焦点部分にその光を集中して被加熱物
を加熱する集光加熱装置において、前記集光加熱装置の
内部を外から直接観察する直視観察窓を、前記第２の焦
点部分から離れた位置へ向けて開けたことを特徴とする
集光加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2313186A JPS62182187A (ja) | 1986-02-04 | 1986-02-04 | 集光加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2313186A JPS62182187A (ja) | 1986-02-04 | 1986-02-04 | 集光加熱装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62182187A true JPS62182187A (ja) | 1987-08-10 |
Family
ID=12101973
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2313186A Pending JPS62182187A (ja) | 1986-02-04 | 1986-02-04 | 集光加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62182187A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60221387A (ja) * | 1984-04-18 | 1985-11-06 | Seiko Epson Corp | 赤外線加熱単結晶製造装置 |
-
1986
- 1986-02-04 JP JP2313186A patent/JPS62182187A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60221387A (ja) * | 1984-04-18 | 1985-11-06 | Seiko Epson Corp | 赤外線加熱単結晶製造装置 |
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