JPH05238872A - イメージ炉 - Google Patents
イメージ炉Info
- Publication number
- JPH05238872A JPH05238872A JP1732892A JP1732892A JPH05238872A JP H05238872 A JPH05238872 A JP H05238872A JP 1732892 A JP1732892 A JP 1732892A JP 1732892 A JP1732892 A JP 1732892A JP H05238872 A JPH05238872 A JP H05238872A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heated
- reflecting mirror
- window
- transmitting window
- core tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B13/00—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
- C30B13/16—Heating of the molten zone
- C30B13/22—Heating of the molten zone by irradiation or electric discharge
- C30B13/24—Heating of the molten zone by irradiation or electric discharge using electromagnetic waves
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- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Control Of Resistance Heating (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】イメージ炉の回転楕円面反射鏡に設けた窓に赤
外線透過窓を密着取り付け、かつ外部から非接触で被加
熱物の温度を測定することを可能とする。 【構成】回転楕円面反射鏡１０１に、Ｏリング１１０を
介し、サファイア等の材質で波長５μｍ以上の赤外線を
透過させる窓材でできた赤外線透過窓１０９が取付具１
１５で密着されている。こうしてＴ字型炉心管１０７の
端部が回転楕円面反射鏡１０１の外部に突出していない
ため、Ｔ字型炉心管１０７を破損させることを著しく抑
圧し、また赤外線透過窓１０９の脱落を根本的に排除し
ている。第１の被加熱部１０２ａと第２の被加熱物１０
２ｂの加熱によって形成される溶融帯１０６の温度は、
Ｔ字型炉心管１０７導かれ検出器１１１によって計測さ
れる。
外線透過窓を密着取り付け、かつ外部から非接触で被加
熱物の温度を測定することを可能とする。 【構成】回転楕円面反射鏡１０１に、Ｏリング１１０を
介し、サファイア等の材質で波長５μｍ以上の赤外線を
透過させる窓材でできた赤外線透過窓１０９が取付具１
１５で密着されている。こうしてＴ字型炉心管１０７の
端部が回転楕円面反射鏡１０１の外部に突出していない
ため、Ｔ字型炉心管１０７を破損させることを著しく抑
圧し、また赤外線透過窓１０９の脱落を根本的に排除し
ている。第１の被加熱部１０２ａと第２の被加熱物１０
２ｂの加熱によって形成される溶融帯１０６の温度は、
Ｔ字型炉心管１０７導かれ検出器１１１によって計測さ
れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はイメージ炉に関し、特に
結晶成長等に利用するイメージ炉に関する。
結晶成長等に利用するイメージ炉に関する。
【０００２】
【従来の技術】イメージ炉は、回転楕円面を鏡面とする
反射鏡内部の第１の焦点近傍に熱光源を置き、第２の焦
点近傍には被加熱物を置いて熱光源から発する熱光線を
集中し、被加熱物を加熱するものである。
反射鏡内部の第１の焦点近傍に熱光源を置き、第２の焦
点近傍には被加熱物を置いて熱光源から発する熱光線を
集中し、被加熱物を加熱するものである。
【０００３】このイメージ炉には、反射鏡が１個の回転
楕円面のみで構成される単楕円型、反射鏡が２個の回転
楕円面の組合わせで構成され第２の焦点を共有する構造
の双楕円型、更に反射鏡が３個以上の回転楕円面の組合
わせで構成され第２の焦点を共有する構造の多楕円型が
ある。
楕円面のみで構成される単楕円型、反射鏡が２個の回転
楕円面の組合わせで構成され第２の焦点を共有する構造
の双楕円型、更に反射鏡が３個以上の回転楕円面の組合
わせで構成され第２の焦点を共有する構造の多楕円型が
ある。
【０００４】次に、従来のイメージ炉の構造を双楕円型
イメージ炉を例にして、図面を参照して説明する。図３
および図４は、従来の双楕円型のイメージ炉の断面図で
図３は縦断面図、図４は横断面図である。
イメージ炉を例にして、図面を参照して説明する。図３
および図４は、従来の双楕円型のイメージ炉の断面図で
図３は縦断面図、図４は横断面図である。
【０００５】図３，４において、１０１が回転楕円面反
射鏡、１０２ａが第１の被加熱物で上部にあり、１０２
ｂが第２の被加熱物で下部にある。これら被加熱物はそ
れぞれ、チャック１０３ａおよび１０３ｂによってシャ
フト１０４ａおよび１０４ｂに取り付けられる。
射鏡、１０２ａが第１の被加熱物で上部にあり、１０２
ｂが第２の被加熱物で下部にある。これら被加熱物はそ
れぞれ、チャック１０３ａおよび１０３ｂによってシャ
フト１０４ａおよび１０４ｂに取り付けられる。
【０００６】これら被加熱物を、図４に示す熱光源１０
５ａおよび１０５ｂにより加熱して溶融させると、第１
の被加熱物１０２ａと第２の被加熱物１０２ｂとの間、
即ちイメージ炉の共有されている第２の焦点部分に溶融
帯１０６が形成される。
５ａおよび１０５ｂにより加熱して溶融させると、第１
の被加熱物１０２ａと第２の被加熱物１０２ｂとの間、
即ちイメージ炉の共有されている第２の焦点部分に溶融
帯１０６が形成される。
【０００７】またＴ字型炉心管１０７は、被加熱物を外
部から遮断し、被加熱物の周囲に不活性ガスなどの雰囲
気ガスを満たしたり、更に被加熱物の発生するガスに対
して回転楕円面反射鏡１０１の鏡面を保護するための石
英製の縦断面がＴ字型の炉心管である。
部から遮断し、被加熱物の周囲に不活性ガスなどの雰囲
気ガスを満たしたり、更に被加熱物の発生するガスに対
して回転楕円面反射鏡１０１の鏡面を保護するための石
英製の縦断面がＴ字型の炉心管である。
【０００８】このＴ字型炉心管１０７の端部は、溶融帯
１０６付近から回転楕円面反射鏡１０１に開けられた窓
１１６を通り抜けて、回転楕円面反射鏡１０１の外部に
達している。１０８ａ，１０８ｂおよび１１２はそれぞ
れ、回転楕円面反射鏡１０１の内部を密閉するためのシ
ール材とするＯリングである。
１０６付近から回転楕円面反射鏡１０１に開けられた窓
１１６を通り抜けて、回転楕円面反射鏡１０１の外部に
達している。１０８ａ，１０８ｂおよび１１２はそれぞ
れ、回転楕円面反射鏡１０１の内部を密閉するためのシ
ール材とするＯリングである。
【０００９】保護板でもある赤外線透過窓１１４は、サ
ファイア等の材質で、波長５μｍ以上の赤外線を透過さ
せる窓材であり、Ｔ字型炉心管１０７との取付部分はシ
ール材としてのＯリング１１３で密閉しており、赤外線
透過窓１１４はＯリング１１３の摩擦によってキャップ
のようにはめ込まれている。
ファイア等の材質で、波長５μｍ以上の赤外線を透過さ
せる窓材であり、Ｔ字型炉心管１０７との取付部分はシ
ール材としてのＯリング１１３で密閉しており、赤外線
透過窓１１４はＯリング１１３の摩擦によってキャップ
のようにはめ込まれている。
【００１０】被加熱物の温度測定は、赤外線透過窓１１
４の外側に赤外線の検出器１１１を設置することにより
行なわれ、検出器１１１には溶融帯１０６から発する赤
外線が到達する。
４の外側に赤外線の検出器１１１を設置することにより
行なわれ、検出器１１１には溶融帯１０６から発する赤
外線が到達する。
【００１１】熱光源１０５ａおよび１０５ｂから発する
赤外線は、Ｔ字型炉心管１０７が石英製であるため、石
英が５μｍ以上の赤外線を透過せず、従って検出器１１
１には到達しないため溶融帯１０６の温度自体を測定で
きる。なお、検出器１１１で検出された赤外線は検出器
１１５の内部で電気信号に変換され、ディスプレイ（図
示せず）等に接続されて温度を表示する。
赤外線は、Ｔ字型炉心管１０７が石英製であるため、石
英が５μｍ以上の赤外線を透過せず、従って検出器１１
１には到達しないため溶融帯１０６の温度自体を測定で
きる。なお、検出器１１１で検出された赤外線は検出器
１１５の内部で電気信号に変換され、ディスプレイ（図
示せず）等に接続されて温度を表示する。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のイメー
ジ炉は、赤外線透過窓がＯリングなどのシール材の摩擦
によってキャップ状にはめ込まれているため、被加熱物
の周囲に不活性ガスなどの雰囲気ガスを満たし、かつそ
の圧力を１気圧以上にした場合、赤外線透過窓が圧力の
ために外れてしまうという欠点がある。
ジ炉は、赤外線透過窓がＯリングなどのシール材の摩擦
によってキャップ状にはめ込まれているため、被加熱物
の周囲に不活性ガスなどの雰囲気ガスを満たし、かつそ
の圧力を１気圧以上にした場合、赤外線透過窓が圧力の
ために外れてしまうという欠点がある。
【００１３】また、Ｔ字型炉心管は回転楕円面反射鏡に
開けた窓から外部に突出しているため、特に取付時に、
不注意によって衝撃を与えて破損してしまうことが避け
られないという欠点がある。
開けた窓から外部に突出しているため、特に取付時に、
不注意によって衝撃を与えて破損してしまうことが避け
られないという欠点がある。
【００１４】本発明の目的は上述した欠点を除去し、被
加熱物周囲の不活性ガスなどの雰囲気ガスのガス圧力に
よって外線透過窓が脱落することなく、かつ操作不注意
によるＴ字型炉心管の破損を生ずることのないイメージ
炉を提供することにある。
加熱物周囲の不活性ガスなどの雰囲気ガスのガス圧力に
よって外線透過窓が脱落することなく、かつ操作不注意
によるＴ字型炉心管の破損を生ずることのないイメージ
炉を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明のイメージ炉は、
内部を回転楕円面反射鏡として形成し、内部の２焦点の
第１の焦点近傍には熱光源を設け、第２の焦点近傍には
前記熱光源の光を集中して加熱する被加熱物を配設して
溶融するとともに、前記被加熱物の温度は、前記被加熱
物を内設して前記被加熱物の発生する赤外線を前記回転
楕円面反射鏡の外部に誘導するＴ字型炉心管の端部に設
けた赤外線透過窓を通して計測可能としたイメージ炉に
おいて、前記Ｔ字型炉心管の端部を前記回転楕円面反射
鏡から突出させることなく、かつ前記Ｔ字型炉心管の端
部に配設する前記赤外線透過窓を前記回転楕円面反射鏡
に密着圧接した構造を有する。
内部を回転楕円面反射鏡として形成し、内部の２焦点の
第１の焦点近傍には熱光源を設け、第２の焦点近傍には
前記熱光源の光を集中して加熱する被加熱物を配設して
溶融するとともに、前記被加熱物の温度は、前記被加熱
物を内設して前記被加熱物の発生する赤外線を前記回転
楕円面反射鏡の外部に誘導するＴ字型炉心管の端部に設
けた赤外線透過窓を通して計測可能としたイメージ炉に
おいて、前記Ｔ字型炉心管の端部を前記回転楕円面反射
鏡から突出させることなく、かつ前記Ｔ字型炉心管の端
部に配設する前記赤外線透過窓を前記回転楕円面反射鏡
に密着圧接した構造を有する。
【００１６】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１７】図１は、本発明の一実施例の縦断面図、図
２は、本発明の一実施例の横断面図である。
２は、本発明の一実施例の横断面図である。
【００１８】図１および２に示す実施例も図３，４と同
じ双楕円型のイメージ管を例とし、２焦点をもつ回転楕
円面反射鏡１０１と、第２の焦点近傍に配置する第１の
被加熱物１０２ａ，第２の被加熱物１０２ｂ、チャック
１０３ａ，１０３ｂ、シャフト１０４ａ，１０４ｂと、
第１の焦点近傍に配置する熱光源１０５ａ，１０５ｂ
と、加熱された第１の被加熱物１０２ａおよび第２の被
加熱物１０２ｂによって形成される溶融帯１０６と、被
加熱物を内包するＴ字型炉心管１０７と、シール材とし
てのＯリング１０８ａ，１０８ｂおよび１１０と、Ｏリ
ング１１０を介して回転楕円面反射鏡１０１に圧着され
る赤外線透過窓１０９と、検出器１１１と、回転楕円面
反射鏡１０１に締結して赤外線透過窓１０９を圧着固定
する取付具１１５とを備えて成る。
じ双楕円型のイメージ管を例とし、２焦点をもつ回転楕
円面反射鏡１０１と、第２の焦点近傍に配置する第１の
被加熱物１０２ａ，第２の被加熱物１０２ｂ、チャック
１０３ａ，１０３ｂ、シャフト１０４ａ，１０４ｂと、
第１の焦点近傍に配置する熱光源１０５ａ，１０５ｂ
と、加熱された第１の被加熱物１０２ａおよび第２の被
加熱物１０２ｂによって形成される溶融帯１０６と、被
加熱物を内包するＴ字型炉心管１０７と、シール材とし
てのＯリング１０８ａ，１０８ｂおよび１１０と、Ｏリ
ング１１０を介して回転楕円面反射鏡１０１に圧着され
る赤外線透過窓１０９と、検出器１１１と、回転楕円面
反射鏡１０１に締結して赤外線透過窓１０９を圧着固定
する取付具１１５とを備えて成る。
【００１９】第１の被加熱物１０２ａが上部にあり、第
２の被加熱物１０２ｂは下部にある。これら対向する一
対の被加熱物はそれぞれ、チャック１０３ａおよび１０
３ｂによってシャフト１０４ａおよび１０４ｂに取り付
けられる。
２の被加熱物１０２ｂは下部にある。これら対向する一
対の被加熱物はそれぞれ、チャック１０３ａおよび１０
３ｂによってシャフト１０４ａおよび１０４ｂに取り付
けられる。
【００２０】これら被加熱物を熱光源１０５ａおよび１
０５ｂにより加熱，溶融させると、第１の被加熱物１０
２ａと第２の被加熱物１０２ｂとの間、即ちイメージ炉
の共有されている第２の焦点近傍に溶融帯１０６が形成
される。
０５ｂにより加熱，溶融させると、第１の被加熱物１０
２ａと第２の被加熱物１０２ｂとの間、即ちイメージ炉
の共有されている第２の焦点近傍に溶融帯１０６が形成
される。
【００２１】またＴ字型炉心管１０７は、被加熱物を外
部から遮断し、被加熱物の周囲に不活性ガスなどの雰囲
気ガスを満たしたり、更に被加熱物から発生するガスか
ら回転楕円面反射鏡１０１の鏡面を保護するための石英
製のＴ字管として形成される。
部から遮断し、被加熱物の周囲に不活性ガスなどの雰囲
気ガスを満たしたり、更に被加熱物から発生するガスか
ら回転楕円面反射鏡１０１の鏡面を保護するための石英
製のＴ字管として形成される。
【００２２】このＴ字型炉心管１０７の１部は、溶融帯
１０６付近から回転楕円面反射鏡１０１に開けられた窓
１１６に達している。
１０６付近から回転楕円面反射鏡１０１に開けられた窓
１１６に達している。
【００２３】Ｏリング１０８ａおよび１０８ｂは、回転
楕円面反射鏡１０１の内部を密閉状態に保つシール材と
して機能する。
楕円面反射鏡１０１の内部を密閉状態に保つシール材と
して機能する。
【００２４】赤外線透過窓１０９はサファイア等の材質
で、波長５μｍ以上の赤外線を透過させる窓材かつ保護
板として機能し、回転楕円面反射鏡１０１の内部を密閉
するため、Ｏリング１１０で密閉している。
で、波長５μｍ以上の赤外線を透過させる窓材かつ保護
板として機能し、回転楕円面反射鏡１０１の内部を密閉
するため、Ｏリング１１０で密閉している。
【００２５】被加熱物の温度測定は、赤外線透過窓１０
９の外側に赤外線の検出器１１１を設置することにより
行なわれ、検出器１１１には溶融帯１０６から発する赤
外線が到達する。２つの熱光源１０５ａおよび１０５ｂ
から発する赤外線は、Ｔ字型炉心管１０７が石英製であ
るため、石英が５μｍ以上の赤外線を透過せず、従って
検出器１１１には到達しないので、溶融帯１０６の温度
を測定できる。なお、検出器１１１で検出された赤外線
は検出器内部で電気信号に変換され、図示しないディス
プレイ等に接続することにより温度を知ることができ
る。
９の外側に赤外線の検出器１１１を設置することにより
行なわれ、検出器１１１には溶融帯１０６から発する赤
外線が到達する。２つの熱光源１０５ａおよび１０５ｂ
から発する赤外線は、Ｔ字型炉心管１０７が石英製であ
るため、石英が５μｍ以上の赤外線を透過せず、従って
検出器１１１には到達しないので、溶融帯１０６の温度
を測定できる。なお、検出器１１１で検出された赤外線
は検出器内部で電気信号に変換され、図示しないディス
プレイ等に接続することにより温度を知ることができ
る。
【００２６】なお、本実施例では双楕円型のイメージ炉
について説明してきたが、単楕円型あるいは多楕円型の
イメージ炉についても同様に実施できることは明らかで
ある。
について説明してきたが、単楕円型あるいは多楕円型の
イメージ炉についても同様に実施できることは明らかで
ある。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、イメージ
炉の赤外線透過窓を回転楕円面反射鏡に密着した構成と
することにより、不用意に赤外線透過窓が外れることが
なく、またＴ字型炉心管が回転楕円面反射鏡外部に突出
していないため、これを不用意に破損させることもなく
することができるという効果がある。
炉の赤外線透過窓を回転楕円面反射鏡に密着した構成と
することにより、不用意に赤外線透過窓が外れることが
なく、またＴ字型炉心管が回転楕円面反射鏡外部に突出
していないため、これを不用意に破損させることもなく
することができるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例のイメージ炉の縦断面図であ
る。
る。
【図２】本発明の一実施例のイメージ炉の横断面図であ
る。
る。
【図３】従来のイメージ炉の縦断面図である。
【図４】従来のイメージ炉の横断面図である。
１０１ 回転楕円面反射鏡 １０２ａ 第１の被加熱物 １０２ｂ 第２の被加熱物 １０３ａ，ｂ チャック １０４ａ，ｂ シャフト １０５ａ，ｂ 熱光源 １０６ 溶融帯 １０７ Ｔ字型炉心管 １０８ａ，ｂ Ｏリング １０９ 赤外線透過窓 １１０ Ｏリング １１１ 検出器 １１２ Ｏリング １１３ Ｏリング １１４ 赤外線透過窓 １１５ 取付具 １１６ 窓
Claims (1)
- 【請求項１】 内部を回転楕円面反射鏡として形成し、
内部の２焦点の第１の焦点近傍には熱光源を設け、第２
の焦点近傍には前記熱光源の光を集中して加熱する被加
熱物を配設して溶融するとともに、前記被加熱物の温度
は、前記被加熱物を内設して前記被加熱物の発生する赤
外線を前記回転楕円面反射鏡の外部に誘導するＴ字型炉
心管の端部に設けた赤外線透過窓を通して計測可能とし
たイメージ炉において、前記Ｔ字型炉心管の端部を前記
回転楕円面反射鏡から突出させることなく、かつ前記Ｔ
字型炉心管の端部に配設する前記赤外線透過窓を前記回
転楕円面反射鏡に密着圧接して成ることを特徴とするイ
メージ炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1732892A JPH05238872A (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | イメージ炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1732892A JPH05238872A (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | イメージ炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05238872A true JPH05238872A (ja) | 1993-09-17 |
Family
ID=11940987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1732892A Withdrawn JPH05238872A (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | イメージ炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05238872A (ja) |
-
1992
- 1992-02-03 JP JP1732892A patent/JPH05238872A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990518 |