JPS62182971U - - Google Patents
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- JPS62182971U JPS62182971U JP7129886U JP7129886U JPS62182971U JP S62182971 U JPS62182971 U JP S62182971U JP 7129886 U JP7129886 U JP 7129886U JP 7129886 U JP7129886 U JP 7129886U JP S62182971 U JPS62182971 U JP S62182971U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sputtering apparatus
- utility
- model registration
- electrode
- sputtering
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 230000005264 electron capture Effects 0.000 claims description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 11
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 claims 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 2
- 239000013077 target material Substances 0.000 claims 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例の概略断面図、第
２図は、第１図矢印Ａの部分の斜視図である。 １……真空槽、２……カソード電極、３……タ
ーゲツト、６……基板電極、７……基板、１１…
…ホローカソード電極、１４……電子エネルギ制
御電極、１６……偏向電極、１８……電子捕獲電
極。
２図は、第１図矢印Ａの部分の斜視図である。 １……真空槽、２……カソード電極、３……タ
ーゲツト、６……基板電極、７……基板、１１…
…ホローカソード電極、１４……電子エネルギ制
御電極、１６……偏向電極、１８……電子捕獲電
極。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 高真空槽内において、ターゲツト材料をスパ
ツタし、基板ホルダ上の基板にスパツタ粒子を付
着させて薄膜を形成するスパツタリング装置にお
いて、前記ターゲツト材料からスパツタされたス
パツタ粒子を、前記基板に付着させる前に高密度
にイオン化する手段を持つことを特徴とするスパ
ツタリング装置。 ２ 実用新案登録請求の範囲第１項記載のスパツ
タリング装置において、上記イオン化手段が、ア
ーク放電々極であることを特徴とするスパツタリ
ング装置。 ３ 実用新案登録請求の範囲第２項記載のスパツ
タリング装置において、上記アーク放電々極がホ
ローカソード電極であり、電子エネルギ制御用電
極と電子の運動方向を制御する偏向電極とを持つ
ことを特徴とするスパツタリング装置。 ４ 実用新案登録請求の範囲第１項記載のスパツ
タリング装置において、前記イオン化手段は、対
向する前記真空槽内壁前面に、前記アーク放電々
極から飛出した電子を捕えるための電子捕獲電極
を持つことを特徴とするスパツタリング装置。 ５ 実用新案登録請求の範囲第１項記載のスパツ
タリング装置において、上記スパツタリング装置
が、プレーナマグネトロンスパツタリング装置で
あることを特徴とするスパツタリング装置。 ６ 実用新案登録請求の範囲第１項記載のスパツ
タリング装置において、上記スパツタリング装置
は、上記基板ホルダにバイアス電圧を印加する手
段を持つことを特徴とするスパツタリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7129886U JPS62182971U (ja) | 1986-05-14 | 1986-05-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7129886U JPS62182971U (ja) | 1986-05-14 | 1986-05-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62182971U true JPS62182971U (ja) | 1987-11-20 |
Family
ID=30913727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7129886U Pending JPS62182971U (ja) | 1986-05-14 | 1986-05-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62182971U (ja) |
-
1986
- 1986-05-14 JP JP7129886U patent/JPS62182971U/ja active Pending
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