JPS62183401A - 反射鏡 - Google Patents
反射鏡Info
- Publication number
- JPS62183401A JPS62183401A JP61026556A JP2655686A JPS62183401A JP S62183401 A JPS62183401 A JP S62183401A JP 61026556 A JP61026556 A JP 61026556A JP 2655686 A JP2655686 A JP 2655686A JP S62183401 A JPS62183401 A JP S62183401A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- aluminum
- aluminium
- reflective
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
- Light Sources And Details Of Projection-Printing Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、複写機における原稿照射用の反射鏡等として
用いられるもので、詳しくは、アルミニウムまたはアル
ミニウム合金を基材とし、反射面をアルミニウム反射層
から形成するとともに、このアルミニウム反射層の反射
面には保護層を形成してある反射鏡に関する。
用いられるもので、詳しくは、アルミニウムまたはアル
ミニウム合金を基材とし、反射面をアルミニウム反射層
から形成するとともに、このアルミニウム反射層の反射
面には保護層を形成してある反射鏡に関する。
この種の反射鏡は、ガラスを基材とするものに比較して
、種々の形状のものを製造面および経済面において有利
に得易く、かつ、軽量に構成でき、しかも、反射面を形
成するアルミニウム反射層の表面に保護層を形成してあ
るため、アルミニウム反射層の酸化および他物の当接等
による損傷に起因した反射性能の低下を防止し、結果と
して、増反対と、それの維持、つまり、耐久性の向上と
を図れる利点がある。そして、従来のこの種の反射鏡と
しては、前記反射面を形成するアルミニウム反射層を基
材の表面に直接に形成し、保護層を二酸化ケイ素から構
成したものが知られている（例えば、特開昭５９−１７
５０５号公報）。
、種々の形状のものを製造面および経済面において有利
に得易く、かつ、軽量に構成でき、しかも、反射面を形
成するアルミニウム反射層の表面に保護層を形成してあ
るため、アルミニウム反射層の酸化および他物の当接等
による損傷に起因した反射性能の低下を防止し、結果と
して、増反対と、それの維持、つまり、耐久性の向上と
を図れる利点がある。そして、従来のこの種の反射鏡と
しては、前記反射面を形成するアルミニウム反射層を基
材の表面に直接に形成し、保護層を二酸化ケイ素から構
成したものが知られている（例えば、特開昭５９−１７
５０５号公報）。
しかしながら、前記従来の反射鏡によるときは、基材の
表面に直接にアルミニウム反射層が形成されていて、基
材は軟かい、つまり、機械的強度が小さいアルミニウム
やアルミニウム合金であるため、振動や衝撃によりアル
ミニウム反射層に応力が作用したとき、基材によってそ
の応力に抗しきれずにアルミニウム反射層が変形して反
射性能が低下し易いといった欠点があった。
表面に直接にアルミニウム反射層が形成されていて、基
材は軟かい、つまり、機械的強度が小さいアルミニウム
やアルミニウム合金であるため、振動や衝撃によりアル
ミニウム反射層に応力が作用したとき、基材によってそ
の応力に抗しきれずにアルミニウム反射層が変形して反
射性能が低下し易いといった欠点があった。
本発明の目的は、アルミニウム反射層の変形を防止して
反射性能の低下を防止する点にある。
反射性能の低下を防止する点にある。
本発明による反射鏡の特徴構成は、前記基材とアルミニ
ウム反射層との間に酸化アルミニウム層を形成してある
点にある。そして、それによる作用・効果は次の通りで
ある。
ウム反射層との間に酸化アルミニウム層を形成してある
点にある。そして、それによる作用・効果は次の通りで
ある。
基材とアルミニウム反射層との間に、アルミニウムやア
ルミニウム合金よりも機械的強度に勝れた酸化アルミニ
ウム層を形成してあるため、酸化アルミニウムによって
アルミニウム反射層が形成される面強度を増大し、基材
をアルミニウムやアルミニウム合金製としながらも、振
動や衝撃に起因してアルミニウム反射層に作用する応力
に抗してそのアルミニウム反射層の変形を防止できる。
ルミニウム合金よりも機械的強度に勝れた酸化アルミニ
ウム層を形成してあるため、酸化アルミニウムによって
アルミニウム反射層が形成される面強度を増大し、基材
をアルミニウムやアルミニウム合金製としながらも、振
動や衝撃に起因してアルミニウム反射層に作用する応力
に抗してそのアルミニウム反射層の変形を防止できる。
しかも、酸化アルミニウムがアルミニウムやアルミニウ
ム合金への付着においてなじみ易いものであるため、酸
化アルミニウムの基材への付着およびアルミニウム反射
層の酸化アルミニウム層への付着を強力、かつ、確実に
行え、酸化アルミニウム層およびアルミニウム反射層の
剥離がない。その上、酸化アルミニウム層によって基材
表面の凹凸を均して、アルミニウム反射層が形成される
酸化アルミニウム層の表面の面積度を基材表面の面１１
１度よりも向上することができるため、アルミニウム反
射層表面の反射効率を増大できる。
ム合金への付着においてなじみ易いものであるため、酸
化アルミニウムの基材への付着およびアルミニウム反射
層の酸化アルミニウム層への付着を強力、かつ、確実に
行え、酸化アルミニウム層およびアルミニウム反射層の
剥離がない。その上、酸化アルミニウム層によって基材
表面の凹凸を均して、アルミニウム反射層が形成される
酸化アルミニウム層の表面の面積度を基材表面の面１１
１度よりも向上することができるため、アルミニウム反
射層表面の反射効率を増大できる。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第２図に示すように、ハロゲンランプ（１）の光を集光
して原稿に照射する電子複写機における原稿照射用の反
射鏡（２）であって、これは、第１図に示すように、ア
ルミニウム（またはアルミニウム合金）製の基材（３）
の反射面形成用の表面に酸化アルミニウム層（４）を形
成し、この酸化アルミニウム層（４）の表面に、反射面
（Ａ）を形成するアルミニウム反射層（５）を形成し、
このアルミニウム反射層（５）の反射面（Ａ）に酸化ア
ルミニウム製の保護Ｎ（６）を形成して、構成されてい
る。
して原稿に照射する電子複写機における原稿照射用の反
射鏡（２）であって、これは、第１図に示すように、ア
ルミニウム（またはアルミニウム合金）製の基材（３）
の反射面形成用の表面に酸化アルミニウム層（４）を形
成し、この酸化アルミニウム層（４）の表面に、反射面
（Ａ）を形成するアルミニウム反射層（５）を形成し、
このアルミニウム反射層（５）の反射面（Ａ）に酸化ア
ルミニウム製の保護Ｎ（６）を形成して、構成されてい
る。
第２図において、（７）はガラス製の原稿台であり、（
８）は感光体ドラムであり、（９）は原稿からの反射光
を前記感光体ドラム（８）に導く平面反射鏡であり、（
１０）は結像レンズである。
８）は感光体ドラムであり、（９）は原稿からの反射光
を前記感光体ドラム（８）に導く平面反射鏡であり、（
１０）は結像レンズである。
前記酸化アルミニウム層（４）、アルミニウム反射層（
５）、保護層（６）は、イオンブレーティングにより形
成されている。
５）、保護層（６）は、イオンブレーティングにより形
成されている。
イオンブレーティング装置は、第３図に示すように、真
空容器（１１）と、資料取付台（１２）と、この資料取
付台（１２）を上下向き軸芯周りに回転させるモータ（
１３）と、アルミニウム蒸発源としてのルツボ（１４）
と、このルツボ（１４）内のアルミニウムを衝撃により
加熱して蒸発させる電子ビームを発生する電子銃（１５
）と、前記ルツボ（１４）近くに設けた熱電子放射電極
（１６）と、前記ルツボ（１４）の近くに設けたイオン
化電極（１７）と、このイオン化電極（１７）に正の電
圧をバイアスするイオン化電源（１８）と、前記資料取
付台（１２）の下面に取付けた基材（３）側を負とする
状態で基材（３）とルツボ（１４）との間にイオン加速
電圧を印加するイオン加速電圧源（１９）と、前記真空
容器（１１）からの排出系（図示せず）と、真空容器（
１１）へのガス導入系（２０）とからなる。つまり、イ
オンブレーティング装置は、電子銃（１５）によリルツ
ボ（１４）内のアルミニウムを蒸発させ、前記ルツボ（
１４）の近くにおいてイオン化電極（１７）により蒸発
アルミニウム粒子をイオン化し、イオン化されたアルミ
ニウム粒子を前記ルツボ（１４）からのアルミニウム蒸
発圧と熱電子放射電極（１６）とにより、基材（３）に
堆積させてアルミニウムの層を形成するように構成され
ている。
空容器（１１）と、資料取付台（１２）と、この資料取
付台（１２）を上下向き軸芯周りに回転させるモータ（
１３）と、アルミニウム蒸発源としてのルツボ（１４）
と、このルツボ（１４）内のアルミニウムを衝撃により
加熱して蒸発させる電子ビームを発生する電子銃（１５
）と、前記ルツボ（１４）近くに設けた熱電子放射電極
（１６）と、前記ルツボ（１４）の近くに設けたイオン
化電極（１７）と、このイオン化電極（１７）に正の電
圧をバイアスするイオン化電源（１８）と、前記資料取
付台（１２）の下面に取付けた基材（３）側を負とする
状態で基材（３）とルツボ（１４）との間にイオン加速
電圧を印加するイオン加速電圧源（１９）と、前記真空
容器（１１）からの排出系（図示せず）と、真空容器（
１１）へのガス導入系（２０）とからなる。つまり、イ
オンブレーティング装置は、電子銃（１５）によリルツ
ボ（１４）内のアルミニウムを蒸発させ、前記ルツボ（
１４）の近くにおいてイオン化電極（１７）により蒸発
アルミニウム粒子をイオン化し、イオン化されたアルミ
ニウム粒子を前記ルツボ（１４）からのアルミニウム蒸
発圧と熱電子放射電極（１６）とにより、基材（３）に
堆積させてアルミニウムの層を形成するように構成され
ている。
かつ、ガス導入系（２０）を介して真空容器（１１）内
に酸素ガスを導入することにより、蒸発したアルミニウ
ムと酸素ガスとを反応させて酸化アルミニウムとし、こ
の酸化アルミニウムを基材（３）に堆積させて酸化アル
ミニウムの層を形成するように構成されている。なお、
前記電子銃（１５）の出力および加速電圧は、それぞれ
２．４ＫＷ、８ＫＶである。
に酸素ガスを導入することにより、蒸発したアルミニウ
ムと酸素ガスとを反応させて酸化アルミニウムとし、こ
の酸化アルミニウムを基材（３）に堆積させて酸化アル
ミニウムの層を形成するように構成されている。なお、
前記電子銃（１５）の出力および加速電圧は、それぞれ
２．４ＫＷ、８ＫＶである。
次に、前記イオンブレーティング装置を用いて前記の酸
化アルミニウム層（４）、アルミニウム反射層（５）、
保護層（６）を形成する要領を工程順に説明する。
化アルミニウム層（４）、アルミニウム反射層（５）、
保護層（６）を形成する要領を工程順に説明する。
［１コ排出系によって真空容器（１１）の内圧をＩ Ｘ
１Ｏ−５Ｔｏｒｒにする。
１Ｏ−５Ｔｏｒｒにする。
［２〕ガス導入系（２０）によって、真空容器（１１）
の内圧が１〜７ Ｘ １０−’Ｔｏｒｒとなるように真
空容２Ｗ（１１）内に酸素ガスを導入しつつ、イオン化
電極（１７）に３０〜６０Ｖ、熱電子放射電極（１６）
に６〜７Ｖ、基材（３） ４ｍ−３００Ｖを印加しテノ
プレーティング工程を行って、基材（３）の表面に酸化
アルミニウム層（４）を形成する。
の内圧が１〜７ Ｘ １０−’Ｔｏｒｒとなるように真
空容２Ｗ（１１）内に酸素ガスを導入しつつ、イオン化
電極（１７）に３０〜６０Ｖ、熱電子放射電極（１６）
に６〜７Ｖ、基材（３） ４ｍ−３００Ｖを印加しテノ
プレーティング工程を行って、基材（３）の表面に酸化
アルミニウム層（４）を形成する。
［３］前記酸素ガスの導入を停止した状態で、前記のプ
レーティング工程を行って、前記酸化アルミニウム層（
４）の表面にアルミニウム反射層（５）を形成する。
レーティング工程を行って、前記酸化アルミニウム層（
４）の表面にアルミニウム反射層（５）を形成する。
［４］前記［２］の工程を再度、行って、前記アルミニ
ウム反射層（５）の表面、つまり、反射面（Ａ）に保護
層（６）となる酸化アルミニラｌ、層を形成する。
ウム反射層（５）の表面、つまり、反射面（Ａ）に保護
層（６）となる酸化アルミニラｌ、層を形成する。
なお、前記酸化アルミニウム層（４）の厚さは、基材（
３）の表面粗さよりも犬であり、前記アルミニウム反射
層（５）の厚さは、１０００〜２０００人であり、前記
保８１！層（６）は、前記アルミニウム反射層（５）の
反射面（八）での反射光と保護層（６）表面での反射光
との干渉による反射率の低下を防止するため、使用波長
の１／２λの厚さに形成されている。
３）の表面粗さよりも犬であり、前記アルミニウム反射
層（５）の厚さは、１０００〜２０００人であり、前記
保８１！層（６）は、前記アルミニウム反射層（５）の
反射面（八）での反射光と保護層（６）表面での反射光
との干渉による反射率の低下を防止するため、使用波長
の１／２λの厚さに形成されている。
上記の要領をもって作成された本発明の反射鏡（２）と
、ガラス製の基材表面に反射面形成用のアルミニウム反
射層を蒸着してなる普通一般のアルミニウム蒸着反射鏡
（２Ａ）と、高輝アルミニウムを基材とし、その基材表
面を反射面とするアルミニウム反射鏡（２Ｂ）との反射
率を第４図に示す。これからも明らかなように、本発明
の反射鏡（２）は、４００〜７００ｎｍの波長域におい
て、９０％程度の反射率を得るものであって、アルミニ
ウム蒸着反射鏡（２Ａ）と遜色のない反射性能を有する
。
、ガラス製の基材表面に反射面形成用のアルミニウム反
射層を蒸着してなる普通一般のアルミニウム蒸着反射鏡
（２Ａ）と、高輝アルミニウムを基材とし、その基材表
面を反射面とするアルミニウム反射鏡（２Ｂ）との反射
率を第４図に示す。これからも明らかなように、本発明
の反射鏡（２）は、４００〜７００ｎｍの波長域におい
て、９０％程度の反射率を得るものであって、アルミニ
ウム蒸着反射鏡（２Ａ）と遜色のない反射性能を有する
。
上記の実施例の如く、保護層（６）を酸化アルミニウム
から構成した場合には、例えば、保護層（６）を二酸化
ケイ素から構成する場合に比較して、酸化アルミニウム
が二酸化ケイ素よりも耐久性、硬度ともに勝れ、かつ、
アルミニウム反射層（５）とのなじみが良いため、保護
機能が高く、耐久性に勝れている。しかも、上述したよ
うに、アルミニウム反射層（５）を形成したのち、引続
いて真空容器（１１）内に酸素ガスを導入しつつ、前記
アルミニウム反射層（５）の形成と同様な作業を行うこ
とにより、保護層（６）を形成することができるため、
酸化アルミニウム層（４）の形成、アルミニウム反射層
（５）の成形、保護層（６）の形成を、同じ蒸発源を用
いて一貫して行え、生産性が良い。また、熱電子放射電
極（１６）およびイオン化電極（１７）をルツボ（１４
）の近くに設けである故、イオン化率を向上できる。
から構成した場合には、例えば、保護層（６）を二酸化
ケイ素から構成する場合に比較して、酸化アルミニウム
が二酸化ケイ素よりも耐久性、硬度ともに勝れ、かつ、
アルミニウム反射層（５）とのなじみが良いため、保護
機能が高く、耐久性に勝れている。しかも、上述したよ
うに、アルミニウム反射層（５）を形成したのち、引続
いて真空容器（１１）内に酸素ガスを導入しつつ、前記
アルミニウム反射層（５）の形成と同様な作業を行うこ
とにより、保護層（６）を形成することができるため、
酸化アルミニウム層（４）の形成、アルミニウム反射層
（５）の成形、保護層（６）の形成を、同じ蒸発源を用
いて一貫して行え、生産性が良い。また、熱電子放射電
極（１６）およびイオン化電極（１７）をルツボ（１４
）の近くに設けである故、イオン化率を向上できる。
次に、本発明の別実施例を示す。
本発明を、上述実施例で示した平面反射鏡に適用する。
前記酸化アルミニウム層（４）、アルミニウム反射層（
５）、酸化アルミニウム製の保護層（６）を、スパッタ
リングで形成する。
５）、酸化アルミニウム製の保護層（６）を、スパッタ
リングで形成する。
以上要するに、本発明によるときは、酸化アルミニウム
層を形成したことによって、アルミニウム反射層の変形
を防止するとともに、反射性能を向上し、全体として保
護層による酸化防止、損傷防止との相乗により、高反射
性能を長期間に亘って維持できる反射鏡を提供し得るに
至った。
層を形成したことによって、アルミニウム反射層の変形
を防止するとともに、反射性能を向上し、全体として保
護層による酸化防止、損傷防止との相乗により、高反射
性能を長期間に亘って維持できる反射鏡を提供し得るに
至った。
図面は本発明に係る反射鏡の実施例を示し、第１図は断
面図、第２図は電子複写機の概略構成図、第３図はイオ
ンブレーティング装置の概略構成図である。第４図は、
本発明反射鏡と従来の反射鏡との反射率を示すグラフで
ある。 （３）・・・・・・基材、（八）・・・・・・反射層、
（５）・・・・・・アルミニウム反射層、（６）・・・
・・・保護層、（４）・・・・・・酸化アルミニウム層
。
面図、第２図は電子複写機の概略構成図、第３図はイオ
ンブレーティング装置の概略構成図である。第４図は、
本発明反射鏡と従来の反射鏡との反射率を示すグラフで
ある。 （３）・・・・・・基材、（八）・・・・・・反射層、
（５）・・・・・・アルミニウム反射層、（６）・・・
・・・保護層、（４）・・・・・・酸化アルミニウム層
。
Claims (1)
- アルミニウムまたはアルミニウム合金を基材とし、反射
面をアルミニウム反射層から形成するとともに、このア
ルミニウム反射層の反射面には保護層を形成してある反
射鏡であって、前記基材とアルミニウム反射層との間に
酸化アルミニウム層を形成してある反射鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61026556A JPS62183401A (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 | 反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61026556A JPS62183401A (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 | 反射鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62183401A true JPS62183401A (ja) | 1987-08-11 |
Family
ID=12196803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61026556A Pending JPS62183401A (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 | 反射鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62183401A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02109003A (ja) * | 1988-10-18 | 1990-04-20 | Konica Corp | 反射鏡 |
-
1986
- 1986-02-07 JP JP61026556A patent/JPS62183401A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02109003A (ja) * | 1988-10-18 | 1990-04-20 | Konica Corp | 反射鏡 |
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