JPS62186426U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62186426U JPS62186426U JP7510486U JP7510486U JPS62186426U JP S62186426 U JPS62186426 U JP S62186426U JP 7510486 U JP7510486 U JP 7510486U JP 7510486 U JP7510486 U JP 7510486U JP S62186426 U JPS62186426 U JP S62186426U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cleaning
- transfer device
- drying
- wafer transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
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- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す一部破断概要
図、第２図は第１図中の洗浄乾燥部の拡大断面図
、第３図は第２図の―線による断面図、第４
図は本考案の他の実施例を示す要部拡大断面図で
ある。 １０……ウエハ搬送部、１５……チヤツク部、
１５ａ，１５ｂ……ウエハ保持部、２０……洗浄
乾燥部、２１……乾燥ケース、２２……洗浄タン
ク、２８……フタ、２９……乾燥用送気ノズル、
３０……排気管、３７……超音波発振器。
図、第２図は第１図中の洗浄乾燥部の拡大断面図
、第３図は第２図の―線による断面図、第４
図は本考案の他の実施例を示す要部拡大断面図で
ある。 １０……ウエハ搬送部、１５……チヤツク部、
１５ａ，１５ｂ……ウエハ保持部、２０……洗浄
乾燥部、２１……乾燥ケース、２２……洗浄タン
ク、２８……フタ、２９……乾燥用送気ノズル、
３０……排気管、３７……超音波発振器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ ウエハ搬送装置のウエハ保持部を洗浄する手
段と、洗浄後に前記ウエハ保持部を乾燥する手段
とを具備することを特徴とするウエハ搬送装置。 ２ ウエハ保持部を洗浄する手段が、超音波洗浄
方式であることを特徴とする実用新案登録請求の
範囲第１項記載のウエハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7510486U JPS62186426U (ja) | 1986-05-19 | 1986-05-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7510486U JPS62186426U (ja) | 1986-05-19 | 1986-05-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62186426U true JPS62186426U (ja) | 1987-11-27 |
Family
ID=30920934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7510486U Pending JPS62186426U (ja) | 1986-05-19 | 1986-05-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62186426U (ja) |
-
1986
- 1986-05-19 JP JP7510486U patent/JPS62186426U/ja active Pending