JPS62188329A - ペレツト装着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ＩＣ，ＬＳＩ等の電子部品の製造過程におい
て、ペレットを例えばリードフレーム等の基板における
ペレット装着位置に装着するペレット装着装置に関する
。

［従来の技術］ 従来、一般に用いられるペレット装着装置は、基台上に
配設される駆動部と、駆動部の駆動によりペレット斉整
位置と所定の搬送位置に搬送されるリードフレーム［基
板］との間を往復動する作動体を備えてなる。作動体に
は、吸着ノズル等からなる装着部が配設され、この装着
部は、作動体がペレ・ント斉整位置側に移動された状態
で、該斉整位置に斉整されたペレットを保持可能として
いる。装着部に保持されたペレットは、作動体のリード
フレーム側への移動により、リードフレームのペレット
装着位置に位置決めされ、該装着位置に装着される。す
なわち、作動体に配設される装着部は、作動体の往復動
によりペレット斉整位置とペレット装着位置との間を往
復動され、これにより、リードフレームのペレット装着
位置にペレットを装着可能としている。この際、長手方
向に複数のペレット装着位置を備えるリードフレームは
、各ペレット装着位置が順次ペレットを保持する装着部
に対応・位置決めされるようにピッチ搬送される。

ところで最近ピッチ搬送されるリードフレームの幅方向
に２つのペレット装着位置を並設してなるデュアルリー
ドフレームがある。この種のリードフレームにあっては
、例えば特開昭８０−１２８８４２号に記載されるペレ
ット装着装置によりペレットの装着が行なわれる。この
装置はＸＹテーブルの駆動により、作動体とし′てのポ
ンディングアームに配設されるコレット（装着部）をリ
ードフレーム上とペレット斉整位置の間で往復動可能と
している。さらに本装置は、リードフレーム上に移動さ
れたコレットが、並列される各ペレット装着位置に対応
移動されるように、ＸＹテーブルとポンディングアーム
の間にパルスモータを介装してなる。すなわち、このパ
ルスモータは、ＸＹテーブル上に配設され、コレットを
支持するポンディングアームをリードフレームの幅方向
で微小移動可能としている。この結果リードフレーム上
のコレットを、パルスモータの駆動を介して対応するペ
レット装着位置に移動することが可能となる。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、上記のようにパルスモータを配設してな
る高重量のＸＹテーブルを、リードフレームとペレット
斉整位置の間で往復動することは、ＸＹテーブル駆動手
段に高負荷がかかる要因とされた。この結果、ペレット
装着位置に対する装着部の位置決めを高スピードで行な
うことができなかった。

本発明は、上記従来の不具合に着目してなされたもので
あり、その目的は、簡易な構成により。

複数のペレット装着位置に対するペレットの装着作業を
迅速かつ確実に行なうことにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明は、搬送される基板
に配設される複数のペレット装着位置に、それぞれペレ
ットを装着可能とするペレット装着装置において、基台
上に配設されるカムと、該カムの回動によりペレット斉
整位置と基板の間をスライド可能とされる作動体と、作
動体に配設され、作動体の作動によりペレット斉整位置
と基板の上方との間を往復動し、ペレット斉整位置にお
いて所定の角度状態に斉整されたペレットを保持し、該
ペレットを基板上に移送し、所定のペレット装着位置に
装着可能とする装着部と、ペレット斉整位置においてペ
レットを保持する装着部が、ペレットの装着が右なわれ
る所定のペレット装着位置に対応移動されるよう、上記
カムの回転角度を調整可能とするカムの回転角度調整手
段と、を備えることとしている。

［作用］ 本発明によれば、回転角度調整手段により、カムの回転
角度量が調整されることとなり、これにより、作動体に
配設され、ペレット斉整位置でペレットを保持する装着
部を対応する基板のペレット装着位置に対応移動するこ
とが可能となる。これにより、従来のように高荷重のパ
ルスモータをＸＹテーブルにより移動させる不具合が解
消され、簡易な構成により、複数のペレット装着位置に
対するペレットの装着作業を迅速かつ確実に行なうこと
が可能となる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例に係るペレット装着装置を示
す正面図、第２図は第１図の■−■線に沿う平面図、第
３図は第１図の■−■線に沿う断面図、第４図はノズル
昇降機構に係り、第１図のＩＶ−ＩＶ線に沿う矢視平面
図、第５図は第３図のＶ−Ｖ線に沿う背面図である。

ペレット装着装置１０は、基台１１を備え、該基台１１
には、平面ｘ′Ｙ方向に駆動可能なＸＹテーブル１２が
支持されている。ＸＹテーブル１２の上面には、カセッ
トリングの支持フレームｌ３が、ボルト１４によって固
着されている。

カセットリングの支持フレーム１３には、カセットリン
グ１５が着脱自在とされている。このカセットリング１
５には、ウェハ１６の被着された粘着シー）１７が、ゴ
ムバンド１８を介して取着されている。粘着シー）１７
上のウェハ１６は、円形状とされ、さらに、ウェハ１６
は、素子片としての各チクプ状のペレット１９に分割さ
れている。すなわち、各ペレット１９は、粘着シート１
７上でＸＹテーブル１２のＸＹ方向に沿って複数行、複
数列に整列される状態とされ、該粘着シー）１７上の所
定位置をペレット供給位置２゜としている。

第１図においてペレット供給位置２ｏに対する右方には
、ペレット斉整部２１が配設される。

ペレット斉整部２１は、基台１１に対する一定高さ位置
に斉整台２２を備えてなる（第１図参照）。斉整台２２
上のペレット斉整位置２３の周部には、４つのペレット
斉整型２４が配設される。各ペレット斉整型２４は、そ
れぞれ矢示Ａ方向に進退動可能とされ、ペレット斉整位
置２３に対する前進駆動により、該位置２３に供給され
るペレッ）１９を所定の斉整角度状態に斉整可能として
いる。

第１図においてペレット斉整位置２３に対する右方には
、リードフレームの搬送体２５が配設される。リードフ
レームの搬送体２５は、基台１１に対する一定高さ位置
に配設される。リードフレームの搬送体２５は、Ｙ方向
に配設され、リードフレーム２６［基板］を矢示Ｂ方向
にピッチ搬送可能としている。搬送されるリードフレー
ム２６は、幅方向（Ｘ方向）において２つのペレット装
着位置２７Ａ、２７Ｂを並設するデュアルリードフレー
ムとされ、ざらにＹ方向に連続する各ペレット装着位置
２７Ａ、２７Ｂ間の間隔は、所定のピッチＰとされる。

この結果、搬送体２５は、Ｙ方向における各ペレット装
着位置２７Ａまたは２７Ｂが、順次所定のフレーム停留
位Ｍ２Ｂに停留されるよう、リードフレーム２６をピッ
チＰで間欠搬送可能としている。

粘着シート１７」−のペレット供給位置２０と斉整台２
２上のペレット斉整位置２３の間およびペレット斉整位
置２３とフレーム停留位置２８の中心部の間の距離は、
それぞれ同一長さＴ１とされ、各位置はＸ方向における
同一直線上に配置されてなる（第２図参照）。また、ペ
レット供給位置２０、ペレット斉整位置２３そしてリー
ドフレーム２６上のペレット装着位置２７Ａ、２７Ｂの
それぞれは、基台１１に対する同一高さくＨｌ）位置に
配設されてなる（第１図参照）。

第１図において、ＸＹテーブル１２の上方には、ペレッ
ト移送ノズル３０が配設される。ペレット移送ノズル３
０は、ペレット供給位置２０とベレット斉整位Ｍ２３と
の間を矢印Ｃ方向に往復動可能とされ、ペレット供給位
置２０に位置決めされるペレット１９を順次ペレット斉
整位置２３に移送可能としてなる。ペレット供給位置２
０へのペレッ）１９の位置決めは、ＸＹテーブル１２を
ＸＹ方向に駆動することにより順次行なわれる。ペレッ
ト斉整位置２３に移送されたベレッ）１９は、４つのペ
レット斉整型２４の前進駆動により所定の斉整角度に斉
整可能とされる。

移送されたペレット１９が所定の斉整角度に斉整される
と、各ペレット斉整型２４は後退駆動される。

第１図において、リードフレームの搬送体２５に対する
右方には、支持フレーム３１が備えられ、該支持フレー
ム３１は基台１１上に支持されてなる。支持フレーム３
１には、搬送体２５およびペレット斉整部２１の上方位
置側に延設される固定アーム３２が備えられる。固定ア
ーム３２には、両端部をそれぞれのロッド支持部３３Ａ
および３３Ｂに支持させてなる上下２本のガイドロッド
３４が備えられる。各ガイドロッド３４は長手方向をＸ
方向としてなり、各ガイドロッド３４には、スライド体
３５が支持されてなる。すなわち、スライド体３５は、
ガイドロッド３４に対して矢示Ｘ方向にスライド可能に
支持されてなる。

スライド体３５には、ペレット装着ノズル３６が支持さ
れてなる。ノズル３６は、下端部でペレッ）１９を吸着
保持自在としてなり、スライド体３５に対して上下動可
能に支持されてなる。ノズル３６の上部には、ローラ３
７が取着され、該ローラ３７は、ガイドロッド３４の上
方に配設される昇降レール３８上を矢示Ｘ方向に走行可
能とされる。すなわち、ノズル３６がスライド体３５の
スライドにより矢示Ｘ方向に移動される際、ローラ３７
は昇降レール３８上を走行されることとなる。ペレット
装着ノズル３６の上部にはスプリング保持部３９が備え
られ、該スプリング保持部３９とスライド体３５の間に
は引張りスプリング４０が介装される。引張りスプリン
グ４０は、ペレット装着ノズル３６を下方に付勢可能と
し、これにより該ノズル３６に取着されるローラ３７を
常時昇降レール３８に当接可能としている。

ローラ３７を当接保持する昇降レール３８は、両端部を
それぞれ対応する揺動アーム４１の先端部に支持されて
なる。各揺動アーム４１は、第３図および第４図に示す
ように基端部を回動軸４２に支持させてなる。回動軸４
２は、ロッド支持部３３Ａに備えられる軸受４３および
固定アーム３２に支持される軸受４４に対して矢示り方
向に回動可能に支持されてなる。この結果、回動軸４２
を矢示り方向に回動することにより、揺動アーム４１の
先端部を矢示り方向に回動することが可能となり、これ
に伴ない昇降レール３８も矢示Ｚ方向に上下動されるこ
ととなる。このようにして昇降レール３８が上下動され
ることにより、昇降レール３８に保持されるノズル３６
がスライド体３５に対して上下動されることとなる。

スライド体３５の矢示Ｘ方向でのスライドは、駆動部と
しての駆動軸４５の回転駆動により行なわれる。この駆
動軸４５は、第３図に示すように支持フレーム３１に配
設される軸受部４６に支持されてなり、矢示Ｅ方向に回
転駆動可能とされる。駆動軸４５の端部で支持フレーム
３１の裏面側には、プーリ４７が取着される。プーリ４
７には、ベルト４８が懸回されてなり、該ベルト４８は
ステッピングモータ４９の駆動により周回駆動される。

これにより、モータ４９の駆動力がベルト４８を介して
プーリ４７に伝達され、駆動軸４５が矢示Ｅ方向に回転
駆動されることとなる。

さらに駆動軸４５は、モータ４９の駆動制御により所定
の回転角度に回動・位置決め可能とされる。

駆動軸４５には、スライド体３５のスライド駆動手段と
してのスライド用カム５０が軸支されてなる。カム５０
は、駆動軸４５の回転角度調整により、矢示Ｅ方向で所
定の回転角度に駆動調整される。

スライド用カム５０のカム面５１には、カムフォロア５
２が当接可能とされ、該カムフォロア５２は、揺動ロッ
ド５３の中心部に取着されてなる。揺動ロッド５３は、
第１図および第３図に示すように基端部を支持フレーム
３１に支持される支軸５４に回動可能に支持されてなる
。この結果、該揺動ロッド５３の先端部は、支軸５４に
対し矢示Ｆ方向に揺動可能とされる。スライド用カム５
０のカム面５１のうちカムフォロア５２の対自位置には
、対向カムフォロア５５が当接可能とされる。このカム
フォロア５５は、対向揺動ロッド５６の中心部に取着さ
れてなる。対向揺動ロッド５６は、第１図に示すように
基端部を支持フレーム３１に支持される支軸５７に回動
可能に支１持されてなる。対向揺動ロッド５６は、これ
により支軸５７を中心に矢示Ｇ方向に揺動可能とされ、
該ロッド５６には、２つの引張りスプリング５８Ａ、５
８Ｂの一端部が固着されてなる。この各引張りスプリン
グ５８Ａ、５８Ｂの他端部は、それぞれ揺動ロッド５３
に固着されてなり、この結果、２つのスプリング５８Ａ
、５８Ｂの引張り力を介してカムフォロア５２および対
向カムフォロア５５を常時、カム５０のカム面５１に当
接可能としている。矢示Ｆ方向に揺動される揺動ロッド
５３の先端部には長孔５９が備えられる。この長孔５９
には、作動体６０の一端部に備えられるビン６１が係合
されてなる０作動体６０は、ロッド支持部３３Ｂに備え
られるガイド孔６２に対し、矢示Ｘ方向にスライド可能
に支持されてなる０作動体６０は、揺動ロッド５３の矢
示Ｆ方向の揺動を介して矢示Ｘ方向にスライドされ、該
スライドされる作動体６０の他端部には、ガイドロッド
３４に支持されるスライド体３５が結合される。この結
果、カム５０が回転され、揺動ロッド５３が揺動される
ことにより、スライド体３５を矢示Ｘ方向にスライドす
ることが可能となる。

スライド体３５は、カムを所定の回転角度領域の間で往
復回動することでペレット斉整位置２３の上方とリード
フレーム２６の上方との間で往復移動することが可能と
なる。この際、カム５０の回転量に基づき、スライド体
５０のスライド移動量も決定される。駆動軸４５には、
円板６３が装着され、該円板３５の対向位置には、円板
６３にセンサ光を出力し、駆動軸４５の回転角度位置を
検出可能とするセンサ６４が配設される。センサ６４は
、検出される駆動軸４５の回転角度に基づき、該駆動軸
４５に装着されるカム５０の回転角度位置を検出可能と
している。センサ６４により検出されるカム５０の回転
角度位置は、カム５０の回転角度調整手段としてのスラ
イド用のモータ駆動制御部６５に出力される。モータ駆
動制御部６５は、入力されるカム５０の回転角度位置に
基づきステッピングモータ４９の正逆両方向での駆動量
を制御可能としてなる。すなわち、モータ駆動制御部６
５は、カム５０が所定の回転角度の間を往復動するよう
に、モータ４９の駆動量を調整可能としてなる。

モータ駆動制御部６５は、スライド体３５に備えられる
ノズル３６がペレット斉整位置２３と並列されるペレッ
ト装着位置のうちの一方２７Ａと、およびペレット斉整
位置２３と並列されるペレット装着位置の他方２７Ｂの
間を往復動するようにモータ４９を駆動制御し、カム５
０の往復方向（Ｅ方向）での回転角度位置を調整するよ
うにしている。この結果、ベレット装着ノズル３６は、
それぞれの往復移動端位置で、ペレット斉整位置２３お
よびペレット装着位置２７Ａ、ペレット斉整位置２３お
よびペレット装着位置２７Ｂの上方に対応移動され、そ
れぞれ位置決めされることとなる。この際、作動体５０
の基端部のピン６１は、ノズル３６が斉整位置２３に対
応する移動位置６６とノズル３６がペレット装着位置２
７Ａに対応する移動基端６７の間を往復動可能とされ、
また、ノズル３６が斉整位置２３に対応する移動位置６
６とノズル３６がペレット装着位置２７Ｂに対応する移
動基端６８の間を往復動可能とされる。

スライド体３５に支持されるペレット装着ノズル３６は
、ノズル昇降手段としての昇降用カム７０の駆動により
、スライド体３５に対して上下動されることとなる。昇
降用カム７０は、支持フレーム３１の背面側に配設され
、支持フレーム３１に固定される制御モータ７１の駆動
により回転制御される。制御モータ７１は、昇降用のモ
ータ駆動制御部７２により駆動制御され、これにより昇
降用カム７０を矢示Ｊ方向に所定量回転□可能としてな
る。昇降用カム７０は、第３図および第５図に示すよう
にカム面７３にカムフォロア７４を当接可能としている
。該カムフォロア７４は、揺動ロッド７５の中心部に取
着されてなり、該ロッド７５は基端部を支持フレーム３
１に備えられる支軸７６に回動可能に支持されてなる。

この結果、該揺動ロッド７５は先端部を支軸７６に対し
て矢示に方向に揺動可能とされる。支持フレーム３１に
備えられるスプリング支持部７７には、第５図に示すよ
うに引張りスプリング７８の一端部が固着される。引張
りスプリング７８の他端部は揺動ロッド７５に固着され
、この結果、引張りスプリング７８の引張り力によりカ
ムフォロア７４を常時カム面７３に当接可能としてなる
。揺動ロッド７５の先端部には、連結ロッド７９の一端
部がピン結合されてなる。結合ロッド７９の他端部は、
第３図および第４図に示すように連結アーム８０の先端
部と矢示両方向に回動可能に連結させてなる。この連結
アーム８０は、基端部を回動軸４２の一端部に固着させ
てなる。この結果、昇降用カム７０が矢示Ｊ方向に回転
され、これに伴ない揺動ロッド７５が矢示に方向に揺動
されると、該揺動により連結ロッド７９が矢示Ｎ方向に
往復動されることとなる。連結ロッド７９が矢示Ｎ方向
に往復動されると連結アーム８０が矢示Ｍ方向に揺動さ
れることとなり、回動軸４２が矢示り方向に回動される
こととなる。回動軸４２が矢示り方向に回動されると昇
降レール３８を保持する揺動アーム４１が上下動され、
これにより、ノズル３６を上下方向（矢示Ｚ方向）に移
動することが可能となる。

昇降用カム７０の駆動により、上下方向に往復動される
ノズル３６は、カム７０の回転角度量を調整することで
上下方向における移動位置を調整可能とされる。カム７
０を支持するモータ７１の駆動軸８１には、円板８２が
装着される。円板８２の対向位置には、円板８２にセン
サ光を出力し、駆動軸８１の回転角度位置、すなわち昇
降用カム７０の回転角度位置を検出可能とするセンサ８
３が配設される。センサ８３により検出される昇降用カ
ム７０の回転角度位置は、カム７０の回転角度調整手段
としての昇降用のモータ駆動制御部７２に出力される。

昇降用のモータ駆動制御部７２は、入力されるカム７０
の回転角度位置に基づき、制御モータ７１の駆動量を制
御可能としている。すなわち、モータ駆動制御部７２は
、カム７０が所定の回転角度位置に駆動されるようモー
タ７１の駆動量を調整可能としてなる。

次に、上記実施例に係るペレット装着装置１０の作動を
説明する。

ペレット移送ノズル３０により、ペレット斉整位置２３
にペレッ）１９が移送され、移送されたベレッ）１９が
ペレット斉整爪２４により所定の斉整角度に斉整・位置
決めされると、スライド体３５がステッピングモータ４
９の駆動により左方に移動される。スライド体３５の移
動は、スライド用のモータ駆動制御部６５によるカム５
０の回転調整によりノズル３６がペレット斉整位置２３
の上方に移動・位置決めされるまで行なわれる。

ノズル３６がペレット斉整位置２３に対応移動されると
、該ノズル３６は予め昇降用カム７０の回転位置調整に
より、所定の上昇位置８４に位置決めされていたノズル
３６がカム７０の回転により下降位置８５に下降される
。この状態でペレット装着ノズル３６は、ペレット斉整
位置２３に位置決めされるペレット１９を摘出保持可能
としている。

ノズル３６によりペレッ）１９が摘出保持されると、ノ
ズル３６は昇降用カム７０の回転制御により再び上昇位
置８４に上昇される。次いでスライド体３５がスライド
用カム５０の回転により第１図で示す右方に移動される
こととなる。スライド体３５の移動は、ノズル３６が２
つのペレット装着位置２７Ａ、２７Ｂのうち、先ずペレ
ット装着位置２７Ａの上方に移動・位置決めされるまで
行なわれる。ノズル３６がペレット装着位置２７Ａの上
方に対応移動されると、上昇位置８４に位置決めされて
いたノズル３６が昇降用カム７０の回転により下降位置
８５に下降される。ノズル３６が下降位置８５に位置決
めされると、該ノズル３６からペレット１９が解放され
る。解放されるペレット１９は、ペレット装着位置２７
Ａに塗布される接着材により該位置２７Ａに装着される
こととなる。

このようにして、並列される一方のペレット装着位置２
７Ａにペレット１９が装着されると、ノズル３６は昇降
用カム７０の回転により上昇位置８４に上昇移動される
。これとともに、ノズル３６は、スライド用カム５０の
回転調整によりペレット斉整位置２３の上方に再びスラ
イド移動され、次いで昇降用カム７０の回転調整により
下降位置８５に下降される。この際、ペレット斉整位置
２３には、ペレット供給位置２０から移送され、かつ斉
整爪２４により斉整された状態のペレット１９が位置決
めされる。

ノズル３６がペレット斉整位置２３の下降位置８５に下
降されると、斉整位置２３に位置決めされていたペレッ
ト１９がノズル３６に摘出保持されることとなる。ノズ
ル３６によりペレット１９が摘出保持されると、該ノズ
ル３６は上昇位置８４に上昇される。上昇されたノズル
３６は、スライド体３５のスライド移動により右方に移
動される。ノズル３６の右方移動は、スライド用のモー
タ駆動制御部６５によるカム５０の回転調整により、並
列されるペレット装着位置２７Ａ、２７Ｂのうち、他方
のペレット装着位置２７Ｂの上方にノズル３６が位置決
めされるまで行なわれる。この状態でノズル３６は、上
昇位置８４から下降位置８５に下降され、次いでノズル
３６からペレッ）１９が解放されることとなる。解放さ
れたペレット１９は、ペレット装着位置２７Ｂに塗布さ
れる接着材を介して鎖部！１２７Ｂに装着される。

このようにして、フレーム停留位置２Ｂに位置決めされ
、矢示Ｘ方向に並列配置される各ペレット装着位置２７
Ａ、２７Ｂにそれぞれペレット１９が装着されることと
なる。

２つのペレット装着位置２７Ａ、２７Ｂにそれぞれペレ
ット１９が装着されると、搬送体２５はリードフレーム
２６を矢示Ｂ方向にピッチ搬送し、これによりフレーム
停留位置２８には、次にペレッ）１９の装着を行なう各
ペレット装着位置２７Ａ、２７Ｂが位置決めされること
となる。各ペレット装着装置２７Ａ、２７Ｂには上記の
ようにノズル３６の矢示Ｘ方向の往復動により順次ペレ
ット１９が装着されることとなる。このように本装置１
０は、矢示Ｂ方向に搬送されるリードフレーム２６の各
ペレット装着位置２７Ａ、２７Ｂに順次ペレッ）１９を
装着可能としてなる。

次に、上記実施例の作用を説明する。

上記実施例に係るペレット装着装置１０によれば、回転
角度調整手段としてのスライド用のモータ駆動制御部６
５により、スライド用カム５０の回転角度量が調整され
ることとなり、これによりスライド体３５に連結される
作動体６０のスライド量が調整されることとなる。した
がって、該カム５０の回転角度量を調整するだけで、ス
ライド体３５に支持され、ペレット斉整位置２３でペレ
ット１９を摘出保持するペレット装着ノズル３６をリー
ドフレーム２６の対応するペレット装着位置２７Ａまた
は２７Ｂに対応移動することが可能となる。これにより
、簡易な構成により複数のペレット装着位置２７Ａ、２
７Ｂに対するベレッ）１９の装着作業を迅速かつ確実に
行なうことが可能となる。

［発明の効果］ 以上のように、本発明は、搬送される基板に配設される
複数のペレット装着位置に、それぞれペレットを装着可
能とするペレット装着装置において、基台上に配設され
るカムと、該カムの回動によりペレット斉整位置と基板
の間をスライド可能とされる作動体と、作動体に配設さ
れ、作動体の作動によりペレット斉整位置と基板の上方
との間を往復動し、ペレット斉整位置において所定の角
度状態に斉整されたペレットを保持し、該ペレットを基
板上に移送し、所定のペレット装着位置に装着可能とす
る装着部と、ペレット斉整位置においてペレットを保持
する装着部が、ペレットの装着が行なわれる所定のペレ
ット装着位置に対応移動されるよう、上記カムの回転角
度を調整可能とするカムの回転角度調整手段と、を備え
ることとしたため、簡易な構成により、複数のベレット
装着位置に対するペレットの装着作業を迅速かつ確実に
行なうことができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係るペレット装着装置を示
す正面図、第２図は第１図のＩＩ　−ＩＩ線に沿う平面
図、第３図は第１図の■−■線に沿う断面図、第４図は
ノズル昇降機構に係り、第１図のＩＶ−ＩＶ線に沿う矢
視平面図、第５図は第３図のＶ−Ｖ線に沿う背面図であ
る。 ｌＯ・・・ペレット装着装置、１１・・・基台、１９・
・・ペレット、２３・・・ペレット斉整位置、２６・・
・リードフレーム［基板］、２７Ａ、２７Ｂ・・・ペレ
ット装着位置、３６・・・ペレット装着ノズル（装着部
）、４９・・・ステッピングモータ、５０・・・スライ
ド用カム、６０・・・作動体、６５・・・スライド用の
モータ駆動制御部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）搬送される基板に配設される複数のペレット装着
   位置に、それぞれペレットを装着可能とするペレット装
   着装置において、基台上に配設されるカムと、該カムの
   回動によりペレット斉整位置と基板の間をスライド可能
   とされる作動体と、作動体に配設され、作動体の作動に
   よりペレット斉整位置と基板の上方との間を往復動し、
   ペレット斉整位置において所定の角度状態に斉整された
   ペレットを保持し、該ペレットを基板上に移送し、所定
   のペレット装着位置に装着可能とする装着部と、ペレッ
   ト斉整位置においてペレットを保持する装着部が、ペレ
   ットの装着が行なわれる所定のペレット装着位置に対応
   移動されるよう、上記カムの回転角度を調整可能とする
   カムの回転角度調整手段と、を備えてなることを特徴と
   するペレット装着装置。