JPS62193140A

JPS62193140A - 移載装置

Info

Publication number: JPS62193140A
Application number: JP3296886A
Authority: JP
Inventors: Kiyohide Koizumi; 小泉　清秀; Hideki Okawachi; 大川内　秀樹; Norio Tabata; 田畑　命生; Shigesaburo Komatsu; 茂三郎小松; Shigeo Tomiyama; 富山　滋夫; Shunichi Yamamoto; 俊一山本; Kimio Muramatsu; 村松　公夫
Original assignee: Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd; Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
Priority date: 1986-02-19
Filing date: 1986-02-19
Publication date: 1987-08-25
Anticipated expiration: 2011-01-31
Also published as: JPH0810722B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は移載装置、特に物品の収容姿勢が相互に異なる
治具間における物品の移換技術であって、たとえば、運
搬用のカセットと、プラズマＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ
　　Ｖａｐｏｒ　　Ｄｅｐｏｓｉ−ｔｉｏｎ）装置にお
ける治具との間でウェハの移し換えを自動的に行う移載
装置に関する。

〔従来の技術〕

ウェハ移換技術については、工業調査会発行「自動化技
術ｊ　１９８５年４月号、昭和６０年４月１日発行、Ｐ
８０〜Ｐ８６に記載されている。その概要は、半導体デ
バイスがＬＳＩから超ＬＳＩに進むにつれて、ウェハプ
ロセス作業環境の清浄度化は人手の介在を許さぬほど厳
しくなってきていることから、拡散炉における石英ボー
トヘウエハを移載する作業を、汎用マイコンを利用した
ウェハ移載ロボットで、一枚ずつキャリア・カセットか
ら石英ボートへ移すものである。

一方、プラズマＣＶＤ装置については、たとえば、工業
調査会発行「電子材料Ｊ　１９８４年別冊号、昭和５９
年１１月２０日発行、Ｐ４５〜Ｐ５１に記載されている
。この文献には、以下のようなことが記載されている。

すなわち、プラズマＣＶＤ装置の一つの構造として、ｈ
ｏｔ−ｗａｌｌ横形プラズマＣＶＤ装置（以下、横形プ
ラズマＣＶＤ装置とも称する。）が知られている。この
横形プラズマＣＶＤ装置は、横形拡散炉を用いたもので
、対向する複数のカーボン製サセプタの各側面にそれぞ
れウェハを取す付けて処理する構造となっている。この
横形プラズマＣＶＤ装置は、サセプタへのウェハのロー
ド・アンロードが非常に困難で自動化の大きな障害とな
っており、形状変更を含め自動化への対応が今後必要で
ある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記文献でも指摘されているように、サセプタへのウェ
ハのローディング・アンローディングの自動化は極めて
困難である。これは、ウェハがサセプタの下端部分に突
出した突子で支えられてサセプタの側面に張り着く状態
で保持されることと、対面するサセプタの間隔が有効な
プラズマ状態を発生するためにも、たとえば、１ｃｍ程
度と狭いことによる。このため、サセプタに対するウェ
ハのローディング・アンローディングは、金属ピンセッ
トあるいは真空ピンセントでウェハを保持してマニュア
ルで行っているのが一般的である。しかし、この方法は
狭い空間域にピンセントを臨ませてウェハを取り扱うこ
とから作業性向上が臨み難い。また、この方法は作業が
し難いことがら操作ミスを起こし易く、ウェハを落とす
率も高くなり、歩留り低下を招き易い。また、この方法
はウェハの挿脱時、ウェハとサセプタとが相互に擦られ
微粉末が発生し易（なり、微粉末付着にょるウェハ汚染
が起き易くなる。

本発明の目的は、相互に収容姿勢の異なる冶具間での物
品の自動移換が行える移載装置を提供することにある。

本発明の他の目的は横形プラズマＣＶＤ装置における処
理治具と運搬治具間でのウェハの自動移換を行うことの
できる移載装置を提供することにある。

本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。

〔問題点を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、本発明の移載装置は、ウェハを横状態（水平
状態）で収容する運搬用のカセットにウェハの処理面の
裏側を支えてウェハを搬出入する搬出入装置と、この搬
出入装置との間でウェハの裏面を真空吸着保持してウェ
ハの授受を行うとともにウェハを縦状Ｍ（垂直状態）で
回転修正できる姿勢修正装置と、前記姿勢修正装置との
間で縦方向に延在するウェハをウェハの周縁をクランプ
して保持しなからウェハの授受を行いかつ横形プラズマ
ＣＶＤ装置に装填されるウェハ治具の下方に移動する移
載用ロボットと、を有しているとともに、前記移載用ロ
ボットは保持機構をウェハ治具のサセプタ間に上昇させ
、所定のサセプタの側面に突子で支えられるウェハ収容
部との間でウェハの授受を行うようになっている。そし
て、ウェハ治具にウェハをローディングする場合は、ウ
ェハを水平状態で収容するカセットから搬出入装置でウ
ェハをウェハ搬出入ステーションに運びだすとともに、
このウェハ搬出入ステーションのウェハを姿勢修正装置
のウェハピックアップアームの先端保持部で真空吸着保
持し、その後前記ウェハピックアップアームを９０度上
方に回転させてウェハを垂直状態とし、その後垂直状態
のウェハを移載用ロボットの保持機構で保持するととも
に移動し、ウェハを前記ウェハ冶具の所定のサセプタに
対面させ、サセプタに接近した後、ウェハを解放してウ
ェハをサセプタに取り付ける。また、ウェハのアンロー
ディングは、前記手順とは逆となり、垂直状態でサセプ
タに取り付けられていたウェハを水平状態にしてカセノ
［・に回収する。

〔作用〕

上記した手段によれば、ウェハの収容姿勢が水平状態と
なるカセットとウェハの収容姿勢が垂直状態となるウェ
ハ冶具との間におけるウェハの授受は、ウェハをウェハ
治具にローディングする際は、カセットからウェハを搬
出入装置で運び出した後、姿勢修正装置でウェハの姿勢
をウェハ冶具における収容姿勢に修正して行い、ウェハ
をウェハ治具からカセットに収容するアンローディング
の際は、移載用ロボットでウェハ冶具から運び出したウ
ェハを姿勢修正装置でカセットの収容姿勢に修正するた
め、自動的にウェハのローディング・アンローディング
が行え、省力効果が得られるとともに、作業者介在によ
る物品の汚染・破損を低減できることになる。

〔実施例〕

以下図面を参照して本発明の一実施例について説明する
。

第１図は本発明の一実施例による移載装置の要部を示す
斜視図、第２図は同じくウェハを収容するウェハ冶具を
示す斜視図、第３図は同じくウェハ冶具の断面構造を示
す模式図、第４図は同じ（ウェハ冶具におけるウェハの
支持状態を示す平面図、第５図は姿勢修正装置と移載用
ロボット間におけるウェハの移し換え状態を示す断面図
、第６図は同じくウェハ冶具と移載用ロボット間でウェ
ハを移し換える状態を示す断面図、第７図は同じく移載
用ロボットにおけるウェハの保持機構を示す模式図であ
る。

この実施例では、ウェハの搬送用のカセットと、横形プ
ラズマＣＶＤ装置に装填されるウェハ治具との間でウェ
ハの授受を自動的に行う移載装置について説明する。

移載装置は大別すると、第１図に示されるように、主た
る冶具であるウェハ冶具１をある程度の高さで支持する
載置台２と、この載置台２の下方域をも移動域とする移
載用ロボット３と、この移載用ロボット３の一方の移動
端の近傍に配設されたカセット台４と、このカセット台
４のカセット５からウェハ（半導体薄板）６を搬出ある
いは搬入する搬出入装置７と、この搬出入装置７および
前記移載用ロボット３との間でウェハ６の授受を行う姿
勢修正装置８と、からなっている。

前記載置台２はウェハ治具１の両端下部を支持ブロック
９で支持するようになっている。ウェハ治具１は、第２
図に示されるように、細長の６枚のカーボン板からなる
サセプタ１０を平行に対峙させかつこれらの各サセプタ
ＩＱを連結ピン１１゜連結片１２で一体にした構造とな
っている。これら６枚のサセプタ１０は、第３図に示さ
れるように、一枚置きに同極となり、相互に対面するサ
セプタ１０は一対の電極を構成し、高周波電源（ＲＦ）
１３の印加によって対面するサセプタ１０間にプラズマ
を発生させるようになっている。また、両端の連結片１
２にはそれぞれ別々の電極となるコンタクト電極板１４
．１５が取り付けられている。また、両側のサセプタ１
０の外面下部にはローラ１６が取り付けられている。こ
のウェハ治具１は、横形プラズマＣＶＤ装置の炉芯管（
反応管とも称する。）内に装填される際、前記ローラ１
６が炉芯管内で回動することによって炉芯管内を移動す
るようになっている。また、ウェハ治具１は炉芯管内に
装填された際、両端のコンタクト電極板１４．１５が、
炉芯管内の電極部に電気的に接続されるようになってい
る。また、前記サセプタ１０の側面、すなわち、主面に
はウェハ６が張り着く姿勢で取り付けられる。この際、
ウェハ６は、第４図に示されるように、サセプタ１０の
下方に設けられた突子１７によって支持される。なお、
サセプタ１０の上部は部分的に窪み部１８が設けられて
いる。この窪み部１８は後述する保持機構の爪の移動域
に対応し、前記型がサセプタ１０に近接してウェハ６の
ローディング・アンローディングを行う際、爪が接触し
てサセプタ１０を擦ることのないようになっている。さ
らに、特に限定はされないが、この実施例のウェハ治具
１には、運搬用の４台のカセット５に収容されている１
００枚のウェハ６総てが収容されるようになっている。

なお、前記支持ブロック９上に！！２置されたウェハ治
具１はその両側をガイド川９でガイドされて所定の位置
に位置決めされる。

前記載置台２の延在方向延長上には、カセット台４が配
設されている。このカセット台４は回転テーブルとなっ
ているとともに、その中心軸を中心として９０度間隔で
回転可能となっている。また、このカセット台４には９
０度間隔にそれぞれカセット２０が着脱自在に取り付け
られている。

このカセット２０は、一対の側壁内面に図示しない収容
溝を設けた構造となっていて、一対の収容溝に、ウェハ
６の相互に反対側となる縁を収容することによってウェ
ハを水平状態（横状態）で収容する。また、前記カセッ
ト２０は、カセ・７ト台４のＵ字状に切り欠かれた各切
欠部分に昇降自在に配設されている。

また、前記カセット台４の一側下方には搬出入装置７が
配設され、搬出人位置に至ったカセット２０に対するウ
ェハ６の搬出入（ローディング・アンローディング）を
行うようになっている。この搬出入装置７は、たとえば
、２条のロープ状ベルト２１をブーＩＪ２２で案内しか
つヘルド２１を正逆回動させる構造となっていて、前記
切欠部に臨むカセソ１−２０に収容されているウェハ６
を２条のヘルド２１の上に載せてカセット２０からウェ
ハ搬出入ステーション２３に運び出したり、あるいはウ
ェハ搬出入ステーション２３からカセット２０内に搬入
したりするようになっている。この際、カセット２０に
収容されているウェハ６はその処理面が上となり、下面
は被処理面となっていることから、この被処理面がベル
ト２１上に載る。なお、前記ウェハ搬出入ステーション
２３は一対のベルト２１が対面する領域に対応する部分
は一段低くなり、逃げ溝２４を構成している。この逃げ
溝２４には、後述する姿勢修正装置８のウェハピックア
ップアーム２５の先端のウェハ保持部２６がウェハ搬出
入ステーション２３に接触することなく入るようになっ
ている。この場合、ウェハ保持部２６が前記逃げＶ７４
２４内に入った状態では、ベルト２１によって搬送され
てきたウェハ６はウェハ保持部２６上を移動するように
なっている。

姿勢修正装置８は、前述のように先端のウェハ保持部２
６にウェハ６を真空吸着するウェハピックアップアーム
２５を有している。このウェハピックアップアーム２５
は固定ブロック２７に対して回動自在に取り付けられて
いる。また、前記ウェハピックアップアーム２５は固定
ブロック２７に固定された反転モータ２９によって９０
度正逆回転制御されるようになっている。この結果、前
述のようにウェハ保持部２６は、ウェハ搬出入ステーシ
ョン２３の逃げ溝２４に沈んだ状態でウェハ６の到着を
待ち、ウェハ６がウェハ搬出入ステーション２３に運ば
れかつ静止した後正転して上昇する。この際、ウェハ保
持部２６は、ウェハ保持部２６の吸着面に対面したウェ
ハ６の処理面とならない裏面を真空吸着保持する。前記
ウェハピックアンプアーム２５は９０度回動後静止する
ため、ウェハピックアップアーム２５に保持されたウェ
ハ６は垂直状態となり、前述のウェハ治具１におけるウ
ェハ収容姿勢となる。なお、垂直状態にあるウェハピッ
クアップアーム２５がウェハ６を保持した状態で９０度
逆回動して逃げ溝２４に沈む動作によって、ウェハピッ
クアップアーム２５に保持されていたウェハ６は一対の
ベルト２１上に載る。この際、前記ウェハ６はウェハピ
ックアップアーム２５から機械的に引き剥がされてベル
ト２１上に移るが、ウェハ６が脆弱な物質であることを
考慮すれば、ウェハピックアップアーム２５におけるウ
ェハ保持部２６の真空吸着動作をウェハ６の解放動作と
同期して解除してやることが望ましい。

一方、前記姿勢修正装置８で垂直状態となったウェハ６
を前記載置台２上のウェハ治具１に運ふために、これら
の間には、レール３０が配設されている。このレール３
０上には移載用ロボット３０機台３１が慴動自在に載る
。また、第５図にも示されるように、この機台３１上に
は、前記レール３０の延在方向、たとえば、Ｘ方向に対
して直交する方向、すなわち、Ｙ方向に沿って延在する
一対のレール３２を有するガイド３３が固定されている
。そして、このガイド３３のレール３２上には、前記レ
ール３２に対して慴動自在に往復動する台座３４が載っ
ている。また、この台座３４上には固定ブロック３５が
載り、この固定ブロック３５には回転ブロック３Ｇが回
転自在に取り付けられている。この回転ブロック３６は
９０度の割り出しが行え、−動作で９０度回転するよう
になっている。これは、移載用ロボット３で前記サセプ
タ１０の表裏面に対してウェハ６のローディング・アン
ローディングをすることができるようにするためであり
、かつ前記姿勢修正装置８との間でのウェハ６の授受を
行うためである。また、前記回転ブロック３６上には、
コラム３７が配設されている。このコラム３７の上端は
側方に突出するとともに、この突出部３８と、コラム３
７の下部側方に突出形成された受は部３９との間にはガ
イド軸４０が設けられている。また、このガイド軸４０
には図示しない昇降機構によって昇降する昇降体４１が
慴動自在に取り付けられている。

この昇降体４１は、第６図および第７図に示されるよう
に、ウェハ６をクランプする保持機構４２の一部を構成
している。前記保持機構４２は、前記昇降体４１の先端
両側から横方向に延在するとともに、途中から上方に延
在しかつその先端にウェハ６の縁をガイドする支持爪４
３を有する支持アーム４４と、前記昇降体４１を貫通し
かつ上方に延在する部分の先端にウェハ６の縁を引っ掛
ける引掛爪４５を有する操作アーム４６と、がらなって
いる。前記操作アーム４６は下降動作して支持爪４３と
引掛爪４５との間にウェハ６をクランプし、上昇動作し
てウェハ６のクランプを解除す′るようになっている。

前記操作アーム４６および支持アーム４４等のウェハク
ランプ部は、第６図に示されるように、ウェハ治具１の
各サセプタ１０間にサセプタ１０に接触することなく進
入、後退することができる。前記ウェハクランプ部は上
昇してサセプタ１０間に進入してサセプタ１ｏのウェハ
収容部に対面した後、ウェハ収容部に接近してウェハ６
の授受を行い、その後、ウェハクランプ部が下降しても
サセプタ１ｏにウェハクランプ部が接触しない位置に後
退しかつ下降する。前記保持機構４２クランプ動作によ
ってサセプタ１０の突子１７に支持されていたウェハ６
は保持機構４２に保持され、クランプ解除によって保持
機構４２に保持されていたうエバ６をサセプタ１゜の突
子１７上に供給することができるようになっている。な
お、第６図では、サセプタ１０の右側の側面にウェハ６
をローディング・アンローディングする状態が示されて
いるが、右側のサセプタ１０の左の側面にウェハ６をロ
ーディング・アンローディングする場合は、前記回転ブ
ロック３６が１８０度回転した状態でウェハ６をサセプ
タ１０にローディング・アンローディングすることとな
る。

他方、前記姿勢修正装置８と移載用ロボット３との間で
のウェハ６のローディング・アンローディングは、第５
図に示されるように、姿勢修正装置８のウエハピノクア
ソブアーム２５が垂直状態にある状態で行われる。この
ため、移載用ロボット３と姿勢修正装置８との間の１０
互のウェハ６の授受はウェハクランプ部が上昇した状態
で行われる。また、ウェハ６をウェハ治具１に運ぶ際、
あるいはウェハ治具ｌからウェハ６を運び出す際は、同
図に示されるように、ウェハクランプ部は下降した状態
で移動するようになっている。

このような移載装置にあっては、カセット２０に収容さ
れているウェハ６をウェハ治具１にローディングする際
は、搬出入装置７によって順次カセット２０からウェハ
６をウェハ搬出入ステーション２３に運び出す。また、
ウェハ搬出入ステーション２３に運び出されたウェハ６
は、姿勢修正装置８によってウェハ冶具１に収容される
姿勢に修正される。この姿勢修正が終了したウェハ６は
移載用ロボット３によってウェハ治具Ｉの下方に運ばれ
、移載用ロボット３のウェハクランプ部の上昇、サセプ
タ１０への接近、ウェハクランプ解除によってウェハ６
をサセプタ１０にローディングする。この動作は繰り返
し行われ、２５枚のウェハ６をそれぞれ収容する４個の
カセット２０の総てのウェハ６をウェハ冶具１に搬入す
る。

また、ウェハ治具１のウェハ６をカセット２０にアンロ
ーディングする際は、移載用ロボット３のウェハクラン
プ部を上昇させて所定のサセプタ１０のウェハ収容部に
臨ませた後、ウェハ収容部に接近しかつクランプ動作に
よってウェハ６を保持機構４２のウェハクランプ部に保
持する。その後、移載用ロボット３は移動してウェハ６
を姿勢修正装置８の配設されている位置に運ぶ。姿勢修
正装置８は移載用ロボット３からウェハ６を真空吸着保
持動作によって受は取った後、９０度逆転“してウェハ
確出入ステーション２３にウェハ６を運ぶ。ウェハ搬出
入ステーション２３では、ウェハ６は搬出入装置７のヘ
ルド２１上に移る。ベルト２１上に移ったウェハ６はベ
ルト２１の回動によってカセット２０内に収容されアン
ローディングが終了する。

なお、この移載装置にあっては、前記移載用ロボット３
はロット管理機能を有している。このロット管理機能は
、制御装置にウェハ装着番号に対応したカセット番号を
記憶するメモリを有し、移載用ロボット３によってウェ
ハ６をウェハ治具１に装着する毎に、カセット番号を記
憶する。また、ウェハ装着番号とカセット番号の記憶メ
モリを参照し、同カセット番号のウェハ６を同カセット
に回収するようになっている。

このような実施例によれば、つぎのような効果が得られ
る。

（１）本発明の移載装置によれば、ウェハを横状態に収
容するカセットと、横形プラズマＣＶＤ装置に装填され
かつ縦状態に収容する治具間でのウェハの授受が自動的
に行えるため、作業性の向上が達成できるという効果が
得られる。

（２）上記（１）により、本発明の移載装置によれば、
冶具とカセットとの間でのウェハの授受作業における作
業人員の低減が達成できるという効果が得られる。

（３）本発明の移載装置は、各ウェハ毎に冶具収容位置
がメモリされるとともに、治具から搬出されたウェハは
前記メモリの読み出しによって最初に収容されていたカ
セットの所定位置に収容されるため、ウェハの混入ミス
もなくなり、精度の高い処理が行えるという効果が得ら
れる。

（４）本発明の移載装置によれば、ウェハの処理面に触
れることなくウェハの授受が行えることから、ウェハ処
理面の破損や汚染が起き難いという効果が得られる。

（５）本発明の移載装置によれば、作業者不在状態下で
自動的にウェハの移し換えが行えることから、作業者が
介在するためによって起きるウェハの汚染・破損が低減
されるため、歩留り向上が達成できるという効果が得ら
れる。

（６）本発明の移載装置によれば、治具のサセプタ主面
へのウェハのローディング・アンローディング時、ウェ
ハはサセプタ主面に対して平行な状態でローディング・
アンローディングされることから、ウェハとサセプタと
の間で擦れが生し難くなり、擦れで発生した微粉末によ
るウェハの汚染が生し難くなるという効果が得られる。

（７）本発明の移載装置によれば、その構造からして、
大口径のウェハの移換およびローディング・アンローデ
ィング作業も自動的にかつ正確確実に行えるという効果
が得られる。

（８）上記（１）〜（７）により、本発明の移載装置に
よれば、ウェハの破損・汚染低減によって品質の高い製
品を高歩留りで製造することができるとともに、自動化
による作業性の向上および作業人員低減から、安価な半
導体装置を提供することができるという相乗効果が得ら
れる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるプラズマＣＶＤ装置
の炉芯管に挿入されるウェハ冶具とカセット間における
ウェハの移換技術に適用した場合について説明したが、
それに限定されるものではない。

本発明は物品の収容姿勢が同一となる複数の治具間にお
ける物品の移し換えは勿論のこととして、収容物品の収
容姿勢が異なる冶具間での物品の移換技術には適用でき
る。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりであ
る。

本発明の移載装置は、ウェハの収容姿勢が相互に異なる
冶具間でのウェハの移し換えが自動的に行えるため、作
業性向上２作業人員低減が達成できる。また、本発明に
よれば、ウェハの移換作業時、ウェハの処理面は触れら
れることが無いことから、ウェハの破損や汚染が生じ難
くなる。さらに、本発明によれば前記効果に加えて、作
業者介在による物品の汚染・破損が防止できることから
、処理精度の安定化および歩留り向上から処理コストの
低減が達成できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による移載装置の要部を示す
斜視図、第２図は同じくウェハを収容するウェハ治具を示す斜視
図、第３図は同じくウェハ冶具の断面構造を示す模式図、第４図は同じくウェハ治具におけるウェハの支持状態を
示す平面図、第５図は姿勢修正装置と移載用ロボット間におけるウェ
ハの移し換え状態を示す断面図、第６図は同じくウェハ
治具と移載用ロボット間でウェハを移し換える状態を示
す断面図、第７図は同じく移載用ロボットにおけるウェ
ハの保持機構を示す模式図である。１・・・ウェハ治具（治具）、２・・・ｆ２五台、３・
・・移載用ロボット、４・・・カセット台、５・・・カ
セット、６・・・ウェハ（半導体薄板）、７・・・搬出
入装置、８・・・姿勢修正装置、９・・・支持ブロック
、１０・・・サセプタ、１１・・・連結ピン、１２・・
・連結片、１３・・・高周波型ａ（ＲＦ）、１４．１５
・・・コンタクト電極板、１６・・・ローラ、１７・・
・突子、１８・・・窪み部、１９・・・ガイド、２０・
・・カセット、２１・・・ベルト、２２・・・プーリ、
２３・・・ウェハ搬出入ステーション、２４・・・逃げ
溝、２５・・・ウェハピンクアップアーム、２６・・・
ウェハ保持部、２７・・・固定ブロック、２９・・・反
転モータ、３０・・・レール、３１・・・機台、３２・
・・レール、３３・・・ガイド、３４・・・台座、３５
・・・固定ブロック、３６・・・回転ブロック、３７・
・・コラム、３８・・・突出部、３９・・・受は部、４
０・・・ガイド軸、４１・・・昇降体、４２・・・保持
機構、４３・・・支持爪、４４・・・支持アーム、４５
・・・引掛爪、４６・・・操作ア第　　５　　図第　　６　　図７１′７８θ−レール＆２−　レール４０　−　７７”イ）釉４６−イキ４１７“ヒアー２＼

Claims

【特許請求の範囲】１、物品の収容姿勢が相互に異なる治具間で物品を移し
換える移載装置であって、前記主たる治具を除く治具か
ら物品を取り出す搬出入装置と、前記搬出入装置によっ
て運びだされた物品を保持するとともに保持した物品の
姿勢を前記主たる治具における物品収容姿勢に修正する
姿勢修正装置と、前記姿勢修正装置と前記主たる治具と
の間を移動して前記姿勢修正装置と主たる治具との間で
物品を移し換える移載用ロボットと、を有することを特
徴とする移載装置。２、前記姿勢修正装置は物品を横状態あるいは縦状態に
姿勢修正するように構成されていることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の移載装置。３、前記移載装置の各装置は物品の処理面には触れない
構造となっていることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の移載装置。