JPS62193764A - デイスク基板の研摩装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ 本発明は、磁気ディスク、光ディスク等のディスク基板
の表面を平滑に仕上げるために用いられるディスク基板
の研摩装置に関するものである。

（従来の技術１ ディスク基板として、例えば磁気ディスクは、アルミニ
ウム等からなるディスク基板の表面に蒸着等の手段で磁
性体の被膜を形成することによって製造されるか、この
磁性体被膜を均一に形成するために、該被膜の形成前に
ディスク基板の表面を極めて平滑となるように研摩仕上
げかなされる。また、この磁性体被膜を形成した後も該
磁性体被膜の膜圧を一定にするために、その研摩か行わ
れるか、かかる磁性体被膜の形成前または形成後におけ
るディスク基板の研摩を行うために、ディスク基板の研
摩装置が用いられる。

このディスク基板の研摩装置としては、第６図に示した
ものか従来から用いられている。図中において、１はデ
ィスク基板を示し、該ディスク基板ｌはその内周縁をチ
ャック部材２に支持されるようになっており、該チャッ
ク部材２はモータ等の駆動手段３に連結されて、該駆動
手段３によってチャック部材２を回転駆動することによ
りディスク基板１か回転せしめられるようになっている
。そして、ディスク基板ｌの表面を研摩するために、ラ
ッピンクテープ等からなる研摩テープ４か用いられ、該
研摩テープ４を加圧ヘッド５によってディスク基板１の
表面に押し付けるようになし、該研摩テープ４とそれを
ディスク基板１に押し付ける加圧へラド５とを往復動部
材６によってディスク基板１の半径方向に往復動可能に
支持させて設け、該ディスク基板１をその駆動手段３に
よって回転させる間に該往復動部材６を作動させて、研
摩テープ４を加圧ヘッド５と共にディスク基板１の半径
方向に往復動させることによりディスク基板１の表面の
研摩を行うようにしている。

ここて、前述の加圧ヘッド５による研摩テープ４のディ
スク基板１への押し付は力を与えるために、該加圧ヘッ
ド５は板ばね７を介して片持ち状態にしてレシプロケー
タ６に連結し、鎖板はね７のばね力によって加圧へラド
５をディスク基板１の表面に押し付けるように構成して
いる。

［発明が解決しようとする問題点］ ところて、前述した研摩テープによるディスク基板の表
面研摩を効率的に行うためには、該研摩テープをディス
ク基板に面接触させる必要かあり、このために、加圧ヘ
ッドの研摩テープへの当接部は平面形状となっている。

そして、このような加圧ヘッドを板ばねにより片持ち状
態で支持させ、鎖板ばねによって加圧ヘッドに加圧力を
与えるようにすると、該加圧ヘッドの加圧か不均一とな
って片当りすることになり、研摩効率か低下するたけで
なく、その研摩仕上げにむらか生じる欠点があった。ま
た、研摩作業時においては、ディスク基板を回転させる
か、このディスク基板の回転中に該ディスク基板かその
板厚方向に振れることがあり、このようなディスク基板
の振れかあると、板ばねによって支持された加圧ヘッド
が共振してしまい、このためにも研摩むらを生じること
になり、従って前述した従来技術によるディスク基板の
研摩装置にあっては、ディスク基板を必ずしも厳格に研
摩仕上げを行うことがてきない欠点かあった。

本発明は叙上の点に鑑みてなされたものて、その目的と
するところは、加圧ヘッドによる研摩テープのディスク
基板表面への加圧力を均一に保つことかできるようにな
し、もって効率的かつ正確な研摩仕上げを行うことがて
きるようにしたディスク基板の研摩装置を提供すること
にある。

［問題点を解決するための手段］ 前述の目的を達成するために、本発明に係るディスク基
板の研摩装置は、ディスク基板を回転させながら、加圧
部材により研摩テープを該ディスク基板の表面に押し当
て、該加圧部材及び研摩テープを往復動部材に連結させ
ることにより前記ディスク基板の半径方向に往復動させ
ることによってその表面を研摩するものであって、加圧
部材を、基端部を往復動部材に支持させた支持アームの
先端部に研摩テープをディスク基板に押し当てる加圧ヘ
ッドを装着することによっ゛Ｃ形成し、この支持アーム
をディスク基板と平行となるように設置した２枚の板ば
ねからなる平行板ばねで形成し、該平行板ばねによって
加圧ヘッドにディスク基板に対する押し付は力を付与す
る構成としたことをその特徴とするものである。

［作用Ｊ 本発明は前述のように構成されるもので、この研摩装置
を使用してディスク基板の研摩を行うには、ディスク基
板を適宜の回転駆動手段に支持させた状態に設置する。

そして、このディスク基板の一側または両側の表面に研
摩テープを供給し、該研摩テープを加圧部材の加圧ヘッ
ドによってディスク基板の表面に押し付けるようにする
。この状態で、ディスク基板を回転させると共に、研摩
テープ及び加圧部材を往復動部材によって該ディスク基
板の半径方向に往復動させ、さらに研摩テープを走行さ
せることにより、ディスク基板の表面の研摩か行われる
。

而して、加圧ヘッドをディスク基板に押し付けるために
、支持アームを構成する平行板ばねを撓ませるようにし
て往復動部材に取付ける。これによって、該支持アーム
に取イ」けられた加圧ヘットかディスク基板に押し付け
られるが、この平行板ばねの作用によって、該加圧ヘッ
ドはディスク基板の表面に対して直交する方向に押し付
けられることになり、加圧ヘッドの研摩テープとの接触
面全体に均一な加圧力か加わり、その片当りか防止され
て、該研摩テープによるディスク基板の表面研摩を効率
よく行うことかてき、しかも研摩むらか生しることはな
い。また、ディスク基板の回転中にそれが板厚方向に振
れるようなことかあっても、加圧ヘッドは平行板ばねに
支持されているから、該加圧ヘッドがこの振動に共振す
ることを防止することかてきるようになる。従って、こ
のディスク基板の振動による研摩むらの発生をも防止す
ることがてきるようになるのて、全体としてディスク基
板の研摩仕上げの精度を著しく向上させることができる
ようになる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。

まず、第１図及び第２図において、１０はディスク基板
を示し、該ディスク基板ｌＯはアルミニウム等の部材を
円環状に形成してなるもので、その表裏の各面には磁性
体の被膜が形成されるようになっている。そして、研摩
装置を使用して、このディスク基板１０の表面に磁性体
被膜の形成前における研摩仕上げが行われるようになっ
ている。この研摩装置としては、該ディスク基板］、０
の内周縁部を支持するチャック部材１１を有し、該チャ
ック部材１１は回転駆動手段としてのモータ１２の出力
軸１２ａに取付けられて、該モータ１２を回転駆動する
ことによって、ディスク基板１０を回転させることがで
きるようになっている。

次に、１３はラッピンクテープ等からなる研摩テープを
示し、該研摩テープ１３は送り出しリール１４から巻取
りリール１５に向けて走行せしめられるようになってお
り、この研摩テープ１３の走行の途中で該研摩テープ１
０はディスク基板１ｏの表面に当接せしめられるように
なっている。そして、この研摩テープ１０のディスク基
板１０への当接部には研摩テープ１３をディスク基板１
ｏに押し付けるための加圧ヘッド１６を備えた加圧部材
１７が装着されている。該加圧部材１７の加圧ヘット１
７は、第３図に示したように、平面形状をなした研摩テ
ープ１３への当接面１６ａを有するＬ字状のツロック部
材からなリ、その曲折部か取付は部１６ｂとなって、該
取付は部１［ｉｂには２枚の板ばね１８ａ　、　１８ａ
からなる支持アーム１８の先端がビス１９によって取付
けられている。これら板ばね１８ａ　、　１８ａはディ
スク基板１゜と平行に配設されて平行板ばねを構成して
いる。

さらに、２０は往復動部材を構成するボールねし装置を
示し、該ボールねし装置２０は駆動モータ２１によって
回転駆動せしめられるボールねし２２と、該ボールねし
２２に嵌合したボールナツト２３とを有し、該ポールナ
ツト２３に設けた支持部材２４に前記支持アーム１８を
構成する板ばね１８ａの基端部がビス２５によって取付
けられるようになっている。そして、支持部材２４はポ
ールナツト２３に形成したレール２６に沿ってディスク
基板ｌＯに近接・離間する方向に変位可能となっており
、該ポールナツト２３と支持部材２４とにそれぞれブラ
ケット２７．２８を取付け、該各ブラケット２７．２８
間に調整ねし２９を螺挿することによって、加圧ヘット
１６のディスク基板１０への加圧力を調整する調整機構
を構成している。このようにして、加圧部材１７はそれ
を往復動させるポールナツト２３に支持されるようにな
っており、また研摩テープ１３の送り出しリール１４や
巻取りリール１５等も加圧部材１７と共にポールナツト
２３に支持されている。

本実施例は前述のように構成されるもので、この研摩装
置を使用してディスク基板ｌＯの研摩を行うには、該デ
ィスク基板１０をチャック部材１１に嵌合することによ
って、その内周縁部を支持させた状態に設置する。そし
て、このディスク基板１０の表面に研摩テープ１３を送
り込み、該研摩テープ１３を加圧部材１７の加圧ヘット
１６によってディスク基板１０の表面に押し付けるよう
になし、この状態でモータ１２を作動させることによっ
てディスク基板１０を回転させると共に、ボールねし装
置２ｏの駆動モータ２１を駆動することによって、ポー
ルナツト２３に支持された研摩テープ１３及び加圧部材
１７を該ディスク基板１０の半径方向に往復動させ、さ
らに研摩テープ１３をその送り出しリール１４側から巻
取りリール１５側に向けて走行させることによって、デ
ィスク基板１０の表面に対する研摩か行われる。

ここで、研摩テープ１３によるディスク基板ＩＯの表面
研摩を効率的に行うためには、該研摩テープ１３を加圧
ヘッド１６によってディスク基板１０に押し付けなけれ
ばならない。そこで、調整ねじ２９を螺回することによ
って加圧部材１７をディスク基板１０に近接する方向に
変位させる。これによって、加圧へラド１６がディスク
基板１０に押し付けられると共に、支持アーム１８を構
成する板ばね１８ａ　、　１８ａか、第４図（ａ）に示
した自由状態から撓んで第４図（ｂ）に示した状態とな
り、この板ばね１８ａの撓み量に応じて、該支持アーム
１８に取付けられた加圧へラド１６かディスク基板ｌＯ
の表面に押し付けられることになる。従って、この加圧
力を調整することによって、ディスク基板ｌＯの研摩量
を調整することができるようになる。

而して、支持アーム１８は２枚の板ばね１８ａ。

１８ａをディスク基板１０と平行に配設することにより
平行板ばねな構成するようにしているから、該支持アー
ム１８の先端に取付けた加圧ヘッド１６はディスク基板
ｌＯの表面に対して直交する方向に押し付けられること
になり、加圧へラド１６の研摩テープ１３への当接面１
６ａ全体に均一な加圧力が加わって、該研摩テープ１３
をディスク基板１０の表面に面接触させることかできる
ようになり、その片当りが防止されて、ディスク基板１
０の表面研摩を効率よく、しかも研摩むらが生じること
なく行うことができるようになる。

また、ディスク基板１０はその内周縁部をチャック部材
１１によって支持された状態で、しかも比較的高速で回
転せしめられるようになっているので、この回転中に該
ディスク基板１０がその板厚方向に振れるようなことが
ある。しかしながら、加圧ヘッド１６は前述した如く平
行板ばねを構成する支持アーム１８によって支持されて
いるから、該加圧へラド１６がこの振動によって共振し
たりすることがなく、確実にディスク基板１０に押し当
てた状態に保持することかできるようになり、従って、
このディスク基板の振動による研摩むらの発生をも防止
することができるようになり、ディスク基板１０を極め
て精度良く仕上げることができるようになる。

次に、第５図は本発明の第２の実施例を示し、この実施
例ではディスク基板１０の表裏の両面を研摩するように
した研摩装置が示されている。

而して、この研摩装置は前述の第１の実施例で示した送
り出しリール１４．巻取りリール１５及びその間を走行
する研摩テープ１３と、該研摩テープ１３をディスク基
板１０の表裏各面に押し付けるための加圧部材１７を各
一対設け、これらの各部材を単一のボールねし装置３０
のボールねじ３１に嵌合されて、往復動せしめられるボ
ールナツト３２に支持される構成となっている。

このように構成すれば、ディスク基板１ｏを加圧部材１
７．１７によって挟持した状態でその表裏両面を同時に
研摩することができるようになり、研摩効率がさらに向
上する。そして、この場合、各加圧部材１７のそれぞれ
の加圧ヘッド１６がその当接面１６ａ全体でディスク基
板１０を両側から挟み込むように押圧するので、該ディ
スク基板ｌＯに余分な力が加わることがない。

なお、前述の各実施例においては、磁性体被膜を形成す
る前のディスク基板を研摩するための装置として説明し
たか、この磁性体被膜形成後において、その膜厚を一定
にするための研摩を行うための装置としても用いること
かでき、また光ディスク等信のディスク部材の研摩にも
使用することかできるのはいうまでもない。さらに、加
圧部材をその加圧力を調整する調整機構を介して往復動
部材に取付けるようにしたものを示したが、それを直接
往復動部材に取付けるようにしてもよい。

さらにまた、往復動部材はボールねじ装置に限らず、シ
リンダ装置等によってもそれを構成することができる。

［発明の効果］ 以上詳述した如く、本発明に係るディスク基板の研摩装
置は、研摩テープをディスク基板に押し付ける加圧ヘッ
トを平行板ばねかうなる支持アームに取付けることによ
って加圧部材を形成し、この加圧部材を往復動部材によ
り支持させるように構成したから、研摩テープをディス
ク基板に面接触させた状態で該研摩テープをそのディス
ク基板への当接面全体に均一な加圧力をもって押し付け
ることができるようになり、研摩むらを生じることなく
、効率的に研摩することができるようになり、またディ
スク基板が回転中にその板厚方向に振動しても加圧部材
に共振を生じさせることがなくなり、該ディスク基板を
極めて高精度に研摩仕上げを行うことができるようにな
る。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第４図は本発明の第１の実施例を示し、第１
図は研摩装置の全体構成図、第２図は第１図の平面図、
第３図は加圧部材の拡大斜視図。 第４図（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ異なる作動状態を示
す加圧部材の作動説明図、第５図は本発明の第２の実施
例を示す研摩装置の全体構成図、第６図は従来技術の研
摩装置の構成説明図である。 １０：ディスク基板、１１：チャック部材、１２：モー
タ、１３：研摩テープ、１６：加圧ヘッド、１７：加圧
部材、１８：支持アーム、１８ａ：板ばね、２０，３０
：ボールねじ装置、２２，３１：ボールねじ、２３，３
２：ボールナツト。 第１図 第２図 Ｉ 第３図 第４図 （ｂ） 第５図 第６図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）ディスク基板を回転させながら、加圧部材により
   研摩テープを該ディスク基板の表面に押し当てて、該加
   圧部材及び研摩テープを往復動部材に連結させることに
   より前記ディスク基板の半径方向に往復動させることに
   よってその表面を研摩するものにおいて、基端部を前記
   往復動部材に支持させた支持アームの先端部に前記研摩
   テープをディスク基板に押し当てる加圧ヘッドを装着す
   ることによって前記加圧部材を形成し、該支持アームを
   前記ディスク基板と平行となるように設置した２枚の板
   ばねからなる平行板ばねで形成し、該平行板ばねによっ
   て前記加圧ヘッドに前記ディスク基板に対する加圧力を
   加える構成としたことを特徴とするディスク基板の研摩
   装置。
2. （２）前記加圧部材を一対設け、該各加圧部材のそれぞ
   れの加圧ヘッドにより前記研摩テープを前記ディスク基
   板の表裏各面に押し当てることによって該ディスク基板
   の両面を研摩するように構成したことを特徴とする特許
   請求範囲第（１）項記載のディスク基板の研摩装置。
3. （３）前記支持アームによる前記加圧ヘッドの前記ディ
   スク基板への加圧力を調整する調整部材を介して該支持
   アームを前記往復動部材に連結したことを特徴とする特
   許請求範囲第（１）項または第（２）項のいずれかに記
   載のディスク基板の研摩装置。