JPS62196341U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は、この考案の一実施例に
係る支持テーブルの平面図および縦断面図、第３
図は、別実実施例に係る支持テーブルの平面図で
ある。 １０，１１０：支持テーブル、１２，１１２：
テーブル支持面、１４，１１４：支持テーブルの
凹部、１６，１１６：負圧孔、１８：連結溝、２
０：切換え弁、２２：真空ポンプ（負圧源）、３
０：シリコンウエーハ（試料）、３２：シリコン
ウエーハのパターン面、４０：支持テーブルのベ
ース、４２：支持テーブルのサポートプレート、
４４：連通孔、４６：連通手段、４８：連通用円
形凹部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 試料面との接触を避ける凹部が、テーブル
   支持面に設けられていることを特徴とする支持テ
   ーブル。 (2) 凹部が、試料形状に相似な凹部である実用
   新案登録請求の範囲第１項記載の支持テーブル。 (3) 支持テーブルは、連通孔の形成されたベー
   スと、ベース上に取付けられ、凹部、および、テ
   ーブル支持面に開口する負圧孔の形成されたサポ
   ートプレートとを備え、負圧孔の位置が変動して
   も負圧孔を、ベースに形成された連結孔に連通さ
   せる連通手段が、ベースとサポートプレートとの
   間に設けられている実用新案登録請求の範囲第１
   項または第２項記載の支持テーブル。 (4) 連通手段が、ベースの上面で、ベースのほ
   ぼ全面にわたつて形成された円形の中央凹部を持
   つ実用新案登録請求の範囲第３項記載の支持テー
   ブル。 (5) 連通手段が、サポートプレートの裏面に形
   成されて負圧孔に連通する円形の中央凹部と、中
   央凹部と交差可能に、連通孔からベースの中央方
   向にのびた直線溝とを持つ実用新案登録請求の範
   囲第３項記載の支持テーブル。