JPS62196667A - 電子写真感光体 - Google Patents

電子写真感光体

Info

Publication number
JPS62196667A
JPS62196667A JP3879186A JP3879186A JPS62196667A JP S62196667 A JPS62196667 A JP S62196667A JP 3879186 A JP3879186 A JP 3879186A JP 3879186 A JP3879186 A JP 3879186A JP S62196667 A JPS62196667 A JP S62196667A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
barrier layer
light
pbs
conductive substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3879186A
Other languages
English (en)
Inventor
Mutsuki Yamazaki
六月 山崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP3879186A priority Critical patent/JPS62196667A/ja
Publication of JPS62196667A publication Critical patent/JPS62196667A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G5/00Recording-members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat or to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
    • G03G5/14Inert intermediate or cover layers for charge-receiving layers
    • G03G5/142Inert intermediate layers
    • G03G5/144Inert intermediate layers comprising inorganic material
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G5/00Recording-members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat or to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
    • G03G5/02Charge-receiving layers
    • G03G5/04Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
    • G03G5/043Photoconductive layers characterised by having two or more layers or characterised by their composite structure
    • G03G5/0433Photoconductive layers characterised by having two or more layers or characterised by their composite structure all layers being inorganic
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G5/00Recording-members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat or to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
    • G03G5/02Charge-receiving layers
    • G03G5/04Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
    • G03G5/08Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic
    • G03G5/082Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic and not being incorporated in a bonding material, e.g. vacuum deposited

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Photoreceptors In Electrophotography (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) この発明は、光(紫外光、可視光、赤外光、X線、γ線
、等の電磁波)に対して感度を有する電子写真感光体に
関する。
(従来の技術) 電子写真感光体においては、感光体表面にコロナ放電に
より電荷(例えば、正電荷)を付与して帯電させる。次
いで、この感光体表面を所定のパターンで光照射すると
、光導電層における光が照射された領域に電子と正孔と
の対が発生し、表面電荷がこの電子により中和される。
正孔キャリアは光導電層を走行して導電性支持体に到達
する。
一方、感光体表面の光の照射を受けなかった領域には正
電荷が残存しており、これにより、正電荷による静電潜
像が形成される。この感光体表面に現像器からトナーを
静電気的に吸引させて付着させると、感光体表面の静電
潜像が可視化される。
この場合に、感光体と現像器との間に現像バイアスをか
けて、電荷による電場と逆方向の電場が生ずるようにし
である。
このような電子写真感光体においては、コロナ放電によ
り帯電した電荷が光照射後現像されるまで保持されてf
fi荷保持能が^いこと、及び光照射により発生したキ
ャリア対が再結合することなく、その一方が表面電荷を
中和し、他方が迅速に導電性支持体まで走行する等、キ
ャリアの寿命が高くその走行性が良好であることが要求
される。
このような電子写実感光体用材料としては、従来、アモ
ルファスカルコゲナイド系材料が使用されている。この
アモルフ?スカルコゲナイドは大面積化が可能であるが
、光の吸収領域の端部が可視光の中でも紫外光寄りにあ
るため、実用上、可視光に対する光感度が低い。また、
硬度が低いため、寿命が短いという欠点がある。
一方、アモルファスシリコン(以下、a−3tと略す)
は、その吸収波長領域が広いために広い波長領域に亘っ
て高い感度を有し、かつ、硬度が高いために寿命が長い
という利点を有し、更に、製造上人体に有害を及ぼすこ
とがなく安価で大面積のものを得ることができるので、
a−3iは、近時、電子写真感光体材料として注目され
ている。
しかしながら、このa−3iは暗時の比抵抗(以下、暗
抵抗という)が、通常、108乃至1010Ωαと低く
、電荷保持能が低いという欠点を有する。
このような欠点を補うため、従来、感光体の導電性支持
体と先導N層との間に、窒化シリコン及び酸化シリコン
等の絶縁性の層を形成するか、又はp型若しくはn型の
a−8iからなるFa壁層を配設することにより、導電
性支持体から光導電層へのキャリアの注入を防止するよ
うにしている。
なお、後者において正帯電の場合には、正孔のみを通過
させるように、障壁層をp型にし、負帯電の場合には、
障壁層をn型にする。
(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、前者のように絶縁性の層を形成する場合
には、その絶縁層を厚くすると、光導電層から導電性支
持体に流れるキャリアの通過も阻止してしまい、その結
果、残留電位が轟くなるという問題点がある。逆に、絶
縁層を薄くすると、現像バイアスにより、絶縁破壊が発
生しやすい。
一方、後者のように、a−3を層を形成する場合には、
a−8iをp型にするためにa−8iに周期律表の第■
族に属する元素を添加し、a−3iをn型にするために
a−8lに周期律表の第V族に属する元素を添加する必
要がある。しかしながら、この不純物元素の添加により
、a−8i層中の歪みが大きくなり、このa−8i層の
上に光導電層を積層形成した場合に、各層の歪み差が大
きくなり、層の剥離が発生するおそれがある。
この発明はかかる事情に鑑みてなされたものであって、
帯電能及び電荷保持能が高く、残留電位が低く、絶縁破
壊及び層剥離が防止され、紫外光から近赤外光に至る広
い波長範囲に亘って高感度を有し、長寿命の電子写真感
光体を提供することを目的とする。
[発明の構成] (問題点を解決するための手段) この発明に係る電子写真感光体は、導電性支持体と、こ
の導電性支持体の上に硫化鉛で形成された障壁層と、こ
の障壁層の上にアモルファスシリコンで形成された光導
電層とを有することを特徴とする。
(作用) この発明においては、障M1層を構成する硫化鉛(以下
、PbSという)は、その製造条件を適宜選択すること
によって、p型又はn型にすることができる。従って、
PbS障W!層をp型又はn型にするために、この障壁
層に不純物をドーピングする必要はない。また、光導電
層を構成するa−8iは広い波長範囲に亘って高感度で
ある。更に、障壁層のPbSは、このa−3iよりも広
い波長範囲に亘って高い感度を有し、紫外光のような短
波長光から数μmを超える長波長光をも吸収する。この
ため、先導′ri層似て吸収されずに透過してきた光も
十分に吸収するので、導電性支持体からの光の反射が抑
制され、干渉縞の発生が防止される。
(実施例) 以下、添付の図面を参照してこの発明の実流例について
説明する。第1図はこの発明の実施例に係る電子写真感
光体の一部断面図である。ドラム状のl?を性支持体1
としては、例えば、アルミニウム若しくはステンレス鋼
等の金属、又はガラス若しくは高分子フイイルムの表面
に導電性若しくは半導電性物質をコーティングしたもの
を使用することができる。
この導電性支持体1の上に障壁層2が配設されている。
この障壁112はPbSで形成されており、このような
pbsiは真空蒸着又は化学蒸着により形成される。次
に、このPbSの成膜条件の一例について説明する。先
ず、真空蒸着の場合には、ベルジャ内にアルミニウム製
基体(導電性支持体)を加熱蒸着用ボートに平行に設置
し、5o乃至300℃、好ましくは10o乃至250℃
に加熱する。そして、ベルジャ内を5X10−8 トル
以上の真空度に排気した侵、基体を回転させつつ、Pb
Sを含む加熱蒸着用ボートを800乃至1500℃に加
熱して蒸着する。これにより、基体上にPbS層が形成
される。このようにして形成される障壁層2はn型のP
bS層である。一方、この蒸着時に、ベルジャ内に酸素
ガスを導入し、10−6乃至10−3トルの圧力の酸素
ガス雰囲気下で蒸着すると、酸化鉛(PbO)が少量含
有され、障壁層2がn型半導体になる。
次に、化学蒸着の場合には、0.57モルのNaOH溶
液1.2(+)に0.175モルのPb (NO3>2
を0.4(+)添加する。そして、この溶液を5(1)
の脱イオン水で希釈し、洗浄済みの基体をこの溶液中に
浸漬する。次いで、この溶液を攪拌しつつ、1.0モル
の(NH2)2C3を0.4(+)添加し、室温で30
分間放置する。これにより、n型半導体の障壁12が形
成される。
この障壁層2はその製造条件を適宜選択することによっ
て、n型又はn型にすることができ、成膜が容易である
。また、PbSは、広い波長領域に亘って高感度で光を
吸収する。このため、基体における光の反射が少なく、
基体からの反射光と表面にて反射した光との干渉による
干渉縞の発生を抑制することができる。
この障壁層2の上には、光導電層3が形成されている。
この光導電層3は以下のようにして形成される。障壁層
2を成膜した基体1をプラズマCVD装置に設置し、メ
カニカルブースタポンプと油回転ポンプにより10−3
トルまで排気する。
その後、基体を100乃至400℃に加熱し、チャンバ
内に3i元素を含有するガス(例えば、SiHs 、5
i2Hs 、SiF+ガス等)と、必要に応じて周期律
表の第■族又は第V族に属する元素を含有するガス(例
えば、B2 Hs 、8F3、PH3、PF3ガス等)
を導入し、排気系の排気速度を調節してチャンバ内の圧
力を0.1乃至10トルに設定する。定常状態になった
後、チャンバ内の電極間に13.56MHzの高周波電
力を印加し、a−8i光導電層3を形成する。この実施
例においては、S i H4ガスを500SCCM流し
、1.0トルで300Wの高周波電力を印加して2時間
成膜し、20μmの先導ff113を得た。
先導1113の上には、光導1[3の表面を保護する表
面層4が形成されている。この表面層4は、例えば、S
iCからなり、i ooo人の層厚を有する。このSi
C表面lI4は、例えば、5it−1+ガスを1100
5CCとCH4ガスを2008CCM流し、チャンバ内
の圧力を1.0トル、高周波電力を300Wに設定し、
2分間成膜することにより形成する。
上述の各成膜条件で形成された電子写真感光体は、コロ
ナチャージャからアルミニウム基体への流入電流が0.
4μC/CI”である条件下では、5oovの表面電位
が得られ、障壁層にa−8tを使用した感光体に比して
、帯電能が20%以上向上する。また、帯電後、15秒
経過した後の電荷保持率は80%であり、表面電位が6
00vの半減露光量は0.3  lux・秒である。更
に、現象バイアスに対する耐圧は1500V以上になり
、従来のa−8iにおいては約200V絶縁破壊が発生
していたのに対して、耐圧が著しく上昇した。
更に、200万枚繰返し使用した後においても、良好な
画像を得ることができ、感光体の寿命が長い。
[発明の効果] この発明によれば、帯電能及び電荷保持能が高く、残留
電位が低く、絶縁破壊及び層剥離が防止され、紫外光か
ら近赤外光に至る広い波長範囲に亘って高感度を有し、
長寿命の電子写真感光体を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の実施例に係る電子写真感光体の一部
断面図である。 1:導電性支持体、2;障壁層、3;光導電層、4:表
面層。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第1図

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)導電性支持体と、この導電性支持体の上に硫化鉛
    で形成された障壁層と、この障壁層の上にアモルファス
    シリコンで形成された光導電層とを有することを特徴と
    する電子写真感光体。
  2. (2)前記障壁層は真空蒸着により形成することを特徴
    とする特許請求の範囲第1項に記載の電子写真感光体。
  3. (3)前記障壁層は化学蒸着により形成することを特徴
    とする特許請求の範囲第1項に記載の電子写真感光体。
  4. (4)真空度が10^−^5乃至10^−^3トルの酸
    素ガス雰囲気下で蒸着することを特徴とする特許請求の
    範囲第2項に記載の電子写真感光体。
JP3879186A 1986-02-24 1986-02-24 電子写真感光体 Pending JPS62196667A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3879186A JPS62196667A (ja) 1986-02-24 1986-02-24 電子写真感光体

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3879186A JPS62196667A (ja) 1986-02-24 1986-02-24 電子写真感光体

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62196667A true JPS62196667A (ja) 1987-08-31

Family

ID=12535126

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3879186A Pending JPS62196667A (ja) 1986-02-24 1986-02-24 電子写真感光体

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62196667A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS61100759A (ja) 光導電部材
US4484809A (en) Glow discharge method and apparatus and photoreceptor devices made therewith
JPS62196667A (ja) 電子写真感光体
JPS6180160A (ja) 電子写真感光体
US4729937A (en) Layered amorphous silicon electrophotographic photosensitive member comprises BN surface layer and BN barrier layer
US4724193A (en) Photoconductive membrane for exhibiting photoconductivity upon illumination by electromagnetic light in the visible to ultraviolet range
US4741801A (en) Glow discharge method and apparatus and photoreceptor devices made therewith
JPS6194054A (ja) 光導電部材
JPS62196668A (ja) 電子写真感光体
JPH0535425B2 (ja)
JPH0616178B2 (ja) 光導電部材
JPH058420B2 (ja)
JPS59176750A (ja) 電子写真感光体
JP2662707B2 (ja) ドラム形感光体の作製方法
JPH0760271B2 (ja) 光導電部材
JPH01156758A (ja) 電子写真感光体
JPS61126558A (ja) 光導電部材
JPH0588836B2 (ja)
JP2000214617A (ja) 画像形成装置
JPH0760272B2 (ja) 光導電部材
JPH0554673B2 (ja)
JPS60128457A (ja) 光導電部材
JPS59185344A (ja) 光導電部材
JPS62151856A (ja) 光導電部材
JPS62106466A (ja) 光導電体