JPS62198710A - 三次元測定機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は三次元測定機に係り、特に測定対象物と検出子
との相対移動をリニヤモータで駆動するよう形成し、高
精度、取扱容易かつ小型化を図る三次元測定機の改良に
関する。

〔背景技術とその問題点〕

載物台に取り付けられた測定対象物と移動機構に支持さ
れた検出子とを三次元方向に移動させつつ検出した検出
子と測定対象物との相対移動変位量をコンピュータ等を
用いて所定処理し測定対象物の寸法等を測る三次元測定
機が知られ、１μｍ前後の高分解能で高精度測定できる
ことから広く普及しつつある。

従来のモータ駆動方式の三次元測定機を第７図、第８図
を参照して説明すると、載物台１のＺ方向に一対の支柱
３０　（３０Ｒ，３０Ｌ＞が立・設され、支柱３０の上
部側は梁部材３２で連結されている。

梁部材３２にはエヤベアリング７６．７６を介しＸ方向
にＸスライダ３５が摺動自在とされ、またＸスライダ３
５と一体的なＺ軸ケース８にはスピンドル５の先端に設
けられた検出子４がＺ方向に移動可能に支持されている
。そこで一方の支柱３０Ｒの下端側にはＹスライダ１５
が形成され載物台１のＺＸ内面およびガイドレールｌＯ
のＸ２Ｅ内面にそれぞれエヤベアリング？１，７０．７
０で支持され、他方の支柱３０Ｌも同様にＺＸ内面にエ
ヤベアリング７１を介し支持されている。従って両支社
３０Ｒ，３０Ｌに支持されるＸスライダ３５等を含み移
動機構３が形成され、これにより検出子４は載物台１に
取り付けられた測定対象物Ｗに対し三次元方向（Ｘ、Ｙ
、Ｚ）に摺動自在に支持されている。

そして、図に示す従来例の三次元測定機ではＹ方向につ
いてモータ駆動方式とすれるためにＹスライダ１５の移
動すべき方向（Ｙ軸方向）に沿って送りネジ１３を載物
台１に支持させ、かつ送りネジ１３に螺合させたナツト
部材７４を連結部材７２を介し直接的にＹスライダ１５
に連結させていた。このようにして、図示しない駆動回
路を介しシロイスチックあるいは測定プログラムでモー
タ７５を回動させることにより移動機構３の全体がＹ方
向にモータ駆動運転できるよう構成されていた。なお、
梁部材３２に対しＸスライダ３５をモータ駆動するため
、すなわち移動機構３の一部分のモータ駆動のための構
造はＹスライダ１５の場合と同様なため省略している。

従って、図示しないシロイスチックを調整し、あるいは
測定プログラムの指令に基づいて半自動的あるいは全自
動的に検出子４を三次元方向に移動することができる。

そして、移動機構３をＹ方向に円滑に移動させかつ検出
子４の位置精度を維持するためにガイドレール１０のＸ
案内面、載物台１の２案内面および梁部材３２の各側面
を、例えば、真直度を所定値以内に仕上げる等、精巧に
加工していた。

しかしながら、上述の従来三次元測定機には次のような
問題を有していた。

（１）検出子４の位置精度を所定範囲に維持するために
ガイドレール１０、載物台１等を精巧に加工仕上げして
いるものの、移動機構３は連結部材７２、ナンド部材７
４を介し送りネジ７３に直接的に連結されているので、
送りネジ７３の軸振れ、振動等が検出子４に伝達され°
ζしまうから、測定精度の保証が難しかった。

（２）モータ駆動型といえど、移動機構３と送りネジ７
３との螺合を断って検出子４を手動によって高速で移動
させる要請に応えるには、例えば、特開昭４９−１０７
５９号に開示されたようないわゆる粗微動装置を格別に
設けなければならないので測定機が大型化してしまうと
同時にそのナンド部材７４と送りネジ７３との螺合、解
放を都度繰り返さなければならないため測定精度の低下
を招き、さらには、再自動運転に備える移動機構３と送
りネジ７３との位置合わせ作業を必要とするので作業能
率が悪かった。

（３）検出子４の移動変位の精度は、送りネジ７３のピ
ンチ、モータ７５との減速比率等で決定されるので精度
と速度とが反比例しその両者の整合が難しかった。また
、移動機構３のイナーシャを考慮するとモータ７５が大
型となるので、この点も測定機全体を大型化してしまう
という問題もあった。

〔発明の目的〕

本発明は、上記の問題点を解消し、取扱容易で小型化を
図りつつ高精度の測定を保障できる三次元測定機を提供
することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段および作用〕（手段） 本発明は、従来三次元測定機が移動機構と、送りネジ等
利用の駆動装置と、が直接的に連結されていることから
諸問題が生じていることに着目し、その両者を非接触方
式として前記問題点を解決するものである。

このために、第１の発明を、載物台に取り付けられた測
定対象物と移動機構に支持された検出子とを三次元方向
に移動させつつ検出した検出子と測定対象物との相対移
動変位量を所定処理して測定対象物の寸法等を測る三次
元測定機において、前記移動機構を固定部材とこの固定
部材の長手方向に移動可能に案内された前記検出子を支
持する可動構造体とから形成し、該固定部材に固定部材
の長手方向に沿って静止体を取り付けるとともに該可動
構造体に該静止体と対応する可動体を取り付は該静止体
と可動体とで形成されるリニヤモータをリニヤモータ駆
動装置でコントロールして前記測定対象物と検出子とを
相対移動できるよう構成し、前記目的を達成しようとす
るものである。

また、第２の発明を、載物台に取り付けられた測定対象
物と移動機構に支持された検出子とを三次元方向に移動
さゼつつ検出した検出子と測定対象物との相対移動変位
量を所定処理して測定対象物の寸法等を測る三次元測定
機において、前記移動機構を、前記載物台のＸ軸方向両
側端にＹ軸方向に延在配設された一対のガイドレールか
ら形成した固定部材とガイドレールの第１のガイドレー
ルにＸ軸およびＸ軸方向が位置規制されＹ軸方向に移動
可能とされた第１のＹスライダと、第２のガイドレール
にＸ軸方向が位置規制されＹ軸方向に移動可能とされた
第２のＹスライダとを含み形成された可動構造体とから
構成し、該第１のガイドレールに設けられた静止体と第
１のＹスライダに設けられた可動体とから形成されたリ
ニヤモータを備え、リニヤモータ駆動装置によって該リ
ニヤモータを制御して測定対象物と検出子とを相対移動
できるよう構成し、前記目的を達成しようとするもので
ある。

〔実施例〕

本発明に係る三次元測定機の一実施例を図面を参考しな
がら詳細に説明する。

この実施例は第１図ないし第５図に示され、基台２には
上面が水平に位置出しされた載物台１が取り付けられ、
Ｘ軸方向の両側には第１図においてその右側に第１のガ
イドレールＩＯＲが、その左側には第２のガイドレール
ＩＯＬが設けられ、この一対をもってガイドレール１０
が形成されている。第１のガイドレールＩＯＲには第１
のＹスライダ１５Ｒが案内されており、また、第２のガ
イドレールＩＯＬにも第２のＹスライダ１５Ｌが案内さ
れている。このガイドレール１０には、各Ｙスライダ１
５Ｒ，１５Ｌに対応した支柱３０Ｒ１３０Ｌがそれぞれ
立設されている。そして、支柱３０の上端部には調整ネ
ジ３３．３３で水平、垂直に位置調整した梁部材３２が
渡架され、またその下方において、梁部材３２の調整時
の安定性と通常運転時の機械的強度を上げるための補強
部材３１で連結されている。梁部材３２にはＸスライダ
３５がＸ軸方向い移動可能に装着されており、このＸス
ライダ３５には、先端に検出子４が取り付けられたスピ
ンドル５をＸ軸方向に移動可能に支持するＺ軸ケース８
が一体的に設けられているにこに、この実施例では、ガ
イドレール１０　（ｌ０１？、ｌ０Ｌ）が固定部材１０
０とされ、一方Ｙスライダ１５　（１５，１５１）とこ
のＹスライダ１５に一体的に設けられた支柱３０　（３
０Ｒ，３０Ｌ）、梁部材３２、Ｘスライダ３５およびＺ
軸ケース８を含み可動構造体２００とされている。

なお、Ｚ軸ケース８には、スピンドル５を固定するため
のスピンドル固定ネジ７と、検出子４を固定するための
固定ネジ６とが設けられている。

また、右側のＹスライダ１５Ｒには、軸部材２７、微動
ネジ２６およびクランプネジ２５からなる移動機構３の
可動側構造体２００をＹ軸方向に手動送りする場合の微
動手段２８が設けられ、同様に支柱（３０Ｒ，３０Ｌ）
間に渡るシャフト３６、クランプネジ３８および微動ダ
イヤル３２から形成されたＸスライダ３５をＸ軸方向に
手動で微動送りするための微動手段３９が設けられてい
る。両微動手段２８．３９は公知ゆえ詳細説明は省略す
る。

次に、主に第３図ないし第５図を参照して、リニヤモー
タ４０、変位検出装置ｃｊ１と移動機構３との関係を説
明する。載物台１の右側の第１のＹスライダ１５Ｒは、
機枠１６と車輪１７．１８．１９とからなり、第１のガ
イドレールＩＯＲの水平面である上部１１に軸２１で回
転可能に支持された車輪１７が案内され、垂直面である
雨上側部１４．１４には、垂直な軸２２．２２に回転可
能に支持された車輪１８．１９がそれぞれ案内されてい
る。従って、第１のＹスライダ１５ＲはＹ軸方向に移動
可能かつＸ軸およびＸ軸方向に変位不能として第１のガ
イドレールＩＯＲに案内されるよう支持されている。ま
た、第１のガイドレール１０Ｒの左側部１３には二次導
体としての静止体４１がその長手方向に沿って取り付け
られており、一方静止体４１に対向する位置で一次側す
なわちステータに相当する可動体４２が第１のＹスライ
ダ１５Ｒの機枠１６（第３図で左側方向）に取り付けら
れ、この静止体４１と可動体４２とから、誘導形の平板
片側式のリニヤモータ４０が形成される。第１のガイド
レールＩＯＨの右側部１２には、その長手方向に沿って
μｍオーダーの光学格子が刻設されたスケール５２が固
着され、第１のＹスライダ１５Ｒの機枠１６にはスケー
ル５２と対面し相応する光学格子を存するインデックス
スケール、発光器、受光器（図示省略）を含み形成され
たセンサ５３が取り付けられている。このセンサ５３は
、第１のＹスライダ１５Ｒが第１のガイドレールＩＯＲ
に対しＹ軸方向に変位したときにサイクリックなアナロ
グ信号を発するものである。なお、ｆｌ整ビス４７は、
スケール５２と前記インデックススケールとの両光学格
子の相対位置を調整するためにセンサ５３の僅かの位置
変更を行うものである。

一方、第５図に示す通り第２のＹスライダＩ５Ｌは、軸
２１に回転可能に支持された車輪２０で第２のガイドレ
ールＩＯＬの上部１１の水平面に案内され、Ｙ軸方向に
移動可能のみならずＸ軸方向にも変位可能である。これ
は両支社３ＯＲ，３０Ｌの間隔が例えば熱的変動があっ
たときにも支障のないようするためである。なお、第１
のＹスライダ１５Ｒについては、Ｘ軸およびＸ軸方向に
移動不能に第１のガイドレールＩＯＲに案内されている
ので、リニヤモータ４０の静止体４１と可動体４２との
隙間ならびにスケール５２とセンサ５３に内蔵された図
示しないインデックススケールとの隙間は規定値を維持
できる。ところで第１のＹスライダ１５Ｒには上記のよ
うにリニヤモータ４０を形成するための可動体４２が設
けられているので、その安定した動力を得るために可動
体４２の一定の大きさくＹ軸方向）と、安定支持のため
の車輪１７．１８．１９はＹ軸方向に一定距離を隔てた
２組が設けられていることを考慮して第２図で見る通り
、図示しない第２のＹスライダ１５ＬよりもＹ軸方向に
長く形成されている。従って、第１のガイドレールＩＯ
Ｒは第２のガイドレールＩＯＬより長大とされている。

なお、第１のＹスライダ１５Ｒの金具２３は基台２に設
けられた一対のリミットスイッチ２４．２４と協働し第
１のガイドレールＩＯＲおよび載物台ｌに対する第１の
Ｙスライダ１５Ｒの移動方向の左限と右限を検出するた
めのものである。また、支柱３０Ｒ，３０Ｌのそれぞれ
の上部に設けられたリミットスイッチ２９．２９はＺ軸
ケース８と協働し、Ｘスライダ３５の梁部材３２に対す
る左限と右限とを検出するためのものである。

リニヤモータ駆動装置４３は、−次側である可動体４２
のコイルに順次和項り換えして電圧を印荷するスイッチ
ング回路４４とその励磁相を指定制御する位相制御回路
４５とこれに指令する操作回路４６とから形成され、こ
の操作回路４６には、切替回路４８を介し第１のＹスラ
イダ１５Ｒすなわち移動機構３に支持された検出子４を
所定量だけ半自動方式で移動させるためのジョイスチツ
ク４９または全自動方式をするためのデータ処理装置６
０の制ｉ１１回路６２から駆動指令信号ＳＩが入力され
るようなっている。

データ処理装置６０は、測定プログラムを含む測定回路
６２と制御プログラムを含む制御回路６３と一定の手順
でリニヤモータ４０を駆動して検出子４を移動させて所
定の測定を行わせるための手順プログラムを含むシーケ
ンス回路６１とから形成されている。従って、全自動方
式による運転の場合には、シーケンス回路６１からの指
令に基づいて制御回路６３から切替回路４８を介し、第
１のＹスライダ１５Ｒを移動させるべき移動量とその移
動方向の指定を含む駆動指令信号Ｓ、が出力される。

ところで、変位検出装置５１は、スケール５２、このス
ケール５２に対面し第１のＹスライダ１５ＲのＹ軸方向
移動変位量相当のアナログ信号を出力するセンサ５３、
そのアナログ信号を所定の分割処理してデジタル信号と
変換するパルス化回路５４、その移動方向を弁別する位
相弁別回路５５および位相弁別回路５°５からの所定の
分解能とされたパルス信号を計数する可逆カウンタ５６
とから形成され、この実施例では１μｍで１パルス信号
が発するようされている。従って、カウンタ５６での計
数値が第１のＹスライダ１５Ｒの移動変位量となる。カ
ウンタ５６の計数値はデータ処理装置６０の測定回路６
２に入力され、検出子４が載物台１に載置された測定対
象物Ｗの測定面に関与するたびに発せられる検出子４か
らの関与信号でその都度ラッチされる。検出子４はタッ
チ信号プローブとされている。また、６８はＣＲＴ、プ
リンタ等を含む表示装置で測定値を表示するものである
。なお、第１のＹスライダ１５Ｒの移動速度を一定化す
るために備え変位検出装置５１の位相弁別回路５５から
のパルス信号の周波数Ｆを電圧信号Ｖに変換するＦ／Ｖ
変換器６９が準備されている。このＦ／Ｖ変換器６９を
操作回路４６に接続するときは、カウンタ５６からの計
数値相当信号Ｓ２と制御回路６３からの駆動指令信号Ｓ
。

とも比較して位相制御回路４５に出力する信号の変化率
または周波数を調整することができる。

このように構成された実施例の三次元測定機は以下のよ
うい取り扱われる。

（？ｌｌり定４Ｘ備） 測定対象物Ｗを載物台１に取り付け、載物台ｌに対する
検出子４の原点チェックを公知の方法によって行う。

（手動運転） 手動運転とは移動機構３、具体的にはスピンドル５等を
オペレータが把持して人力による手送りで検出子４を移
動させる運転である。この手動運転は、す・ニヤモータ
駆動装置４３を停止させて行うからリニヤモータ４００
機能は発渾されない。

従って、ガイドレール１０　（ＩＯＲ，ｌ０Ｌ）上をＹ
スライダ１５　（Ｌ５Ｒ，１５Ｌ）が車輪１７１Ｂ、１
９．２０で案内されて移動されることになる。なお、変
位検出装置５１、データ処理装置６０のシーケンス回路
６１．測定回路６２および表示装置６８は起動され、測
定が行われる。なお、検出子４の微動は、Ｙ軸方向につ
いては微動手段２８、Ｘ軸方向については微動手段３９
によって行うことができる。

（半自動運転） 半自動運転は、上記手動運転に対し、検出子４の移動を
人力でなくジョイスチック４９で掻作してリニヤモータ
駆動装置４３、リニヤモータ４０を起動して行うもので
ある。変位検出装置５１、データ処理装置６０および表
示装置６８については手動運転の場合と同様に機能する
。

ジョイスチソク４９の操作枠の傾斜によって移動変位量
相当パルス数とその方向の特定された信号Ｓ、が切替回
路４８を介しリニヤモータ駆動装置４３の操作回路４６
に入力されると、位相制御回路４５は励磁相の切り換え
方向とその相特定をしてスイッチング回路４４を作動さ
せる。従って、スイッチング回路４４に接続されたリニ
ヤモータ４０の一次側すなわち第１のＹスライダ１５Ｒ
に取り付けられた可動体４２のコイルに順次電圧が印荷
される。可動体４２と二次導体たる静止体４１とは軸方
向磁束切り換えによりリニヤモータ４０として機能する
から静止体４１に対し可動体４２がＹ軸方向に移動する
。そして、検出子４が測定対象物Ｗの測定面に順次移動
し両者が当接するようジョイスチック４９を操作して行
う。

従って、検出子４をモータ駆動方式により移動させても
移動機構３の固定部材１００であるガイドレール１０と
、一体的な支柱３０等を含みＹスライダ１５とされた可
動構造体２００とは、リニヤモータ４０の静止体４１と
可動体４２とが非接触とされているから検出子４に振れ
や振動を伝達することがない。従って、精度の高い測定
を行うことができる。また、リニヤモータ４０を利用し
たデジタルサーボ機構を形成するためのフィードバック
信号も分解能１μｍとされたカウンタ５６からの計数値
が利用できるから格別のフィードバック用検出器を設け
ずして正確な検出子４の移動ができ、検出子４自体も過
大オーバストローク特性を有するものとしなくともよい
からその適用種別拡大ができ三次元測定としての機能拡
大に役立つ。

（全自動運転） 全自動運転とは、検出子４の移動および測定をデータ処
理装置６０によって自動的に行うものである。

まず、測定回路６２の測定プログラムとの関連からシー
ケンス回路６１の手順プログラムに基づき、検出子４の
移動方向と移動速度がさだめられ、制御回路６３の制御
プログラムに基づいて信号Ｓ４が切替回路４８を介しリ
ニヤモータ駆動装置４３に入力される。

その後の移動および測定は上記半自動の場合と同様であ
る。

（切替運転） 切替運転とは、半自動もしくは全自動運転から手動運転
へまたはその逆に切り替えることをいう。

この実施例では、駆動モータを非接触な静止体４１と可
動体４２とのリニヤモータ４０としているから、従来の
送りネジとナンド部材との分離、螺合等作業を必要とせ
ずリニヤモータ駆動装置４３を停止状態とすれば、ただ
ちに手動運転にまたは半自動もしくは全自動運転に切り
替えることができる。

以上の如くこの実施例によれば、リニヤモータ４０の採
用により固定部材１００と可動構造体２００とが従来の
モータ駆動するために螺合等接触型とされていたのに対
し非接触であるからモータ移動のための軸振れ、振動等
が検出子４に伝達されるということがないので高Ｉ＃　
＆な測定を保証できる。ガイドレール１０はモータ駆動
するか否かにかかわらず車輪１７．１８，１９．２０の
案内のために真直度等精密加工されているが、これにリ
ニヤモータ４０の二次導体たる静止体４１が固着されて
いるのでその精密加工品を有効に利用できこの点からも
高精度測定を助長できる。また、特に、三次元測定機で
は構造の複雑化、大型化は構造物の撓みに直結し測定精
度を劣悪化させるがリニヤモータ採用により動力伝達機
構やその支持構造物も必要ないから小型化することがで
きるばかりか騒音を発せず取り扱いも容易かつメンテナ
ンスも容易である。固定部材１００と可動構造体２００
とはリニヤモータ駆動装置４３を停止するだけで分離さ
れ、一方、リニヤモータ駆動装置４３を起動させるだけ
で結合されるから従来の送りネジとナツト部材の螺合・
解放による複雑かつ大型の粗微動手段を設けずしてたた
らに手動−自動切替が可能となる。

また、デジタルサーボ機構を形成するためのフィードバ
ック信号として高分解能のカウンタ５６からの計数値相
当信号を利用できるし必要によってカウンタ５６以前の
パルス信号をＦ／Ｖ変換器６９を介し速度安定用信号と
して利用できるからそれらための格別の位置センサ、速
度センサ等が必要なくこの点も小型化に役立つ。

以上の実施例によれば、リニヤモータを誘導形の平板状
片側式としたが要は移動機構の固定部材と可動構造体と
を駆動系が非接触となるよう形成すればよいから同期形
あるいは直流形とする原理および平板両側式等とする構
造はこれに限定されない。

また、固定部材をガイドレールとし可動構造体を支柱、
梁部材等を含みＸスライダとしたが、検出子を移動可能
に支持する方を可動構造体としてこの可動構造体に対す
るものを固定部材とするから、Ｘスライダを可動構造体
とし梁部材を固定部材として梁部材に対するＸスライダ
の移動をリニヤモータで行う場合にも本発明に属するも
のであること明らかである。また、変位検出装置は、光
学格子を有する光学型としたが静電容量式等でもよい。

〔発明の効果〕

本発明は、検出子のモータ移動を非接触状態で行なえる
ようしているから、動力伝達の振動等が検出子に影響せ
ず高精度な測定を保証できるとともに自動−手動切替が
迅速な取扱性の良い構造簡易かつ小型化できるという優
れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る三次元測定機の一実施例を示す正
面図、第２図は同じく第１図に対応させた側面図、第３
図は同じく第２図に示す切断線Ａ−Ａから見た第１のＸ
スライダの断面図、第４図は同じく第２図に示す切断線
Ｂ−Ｂから見た第１のＸスライダの断面図、第５図は同
じく第守図の切断線Ａ−Ａに対応する位置における第２
のＸスライダの断面図、第６図は同じく全体回路図、第
７図は従来の三次元測定機の正面図および第８図は第７
図に対応させた三次元測定機の側面図である。 ■・・・載物台、３・・・移動８＃ｌＢ、　４・・・検
出子、Ｉｏ・・・ガイドレール、１５・・・Ｘスライダ
、３０・・・支柱３２・・・梁部材、３５・・・Ｘスラ
イダ、４０・・・リニヤモータ、４１・・・静止体、４
２・・・可動体、４３・・・リニヤモータ駆動装置、５
１・・・変位検出装置、５３・・・センサ、６０・・・
データ処理装置、１００・・・固定部材、２００・・・
可動構造体。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）載物台に取り付けられた測定対象物と移動機構に
   支持された検出子とを三次元方向に移動させつつ検出し
   た検出子と測定対象物との相対移動変位量を所定処理し
   て測定対象物の寸法等を測る三次元測定機において、 前記移動機構を固定部材とこの固定部材の長手方向に移
   動可能に案内された前記検出子を支持する可動構造体と
   から形成し、該固定部材に固定部材の長手方向に沿って
   静止体を取り付けるとともに該可動構造体に該静止体と
   対応する可動体を取り付け、該静止体と可動体とで形成
   されるリニヤモータをリニヤモータ駆動装置でコントロ
   ールして前記測定対象物と検出子とを相対移動できるよ
   う構成したことを特徴とする三次元測定機。
2. （２）載物台に取り付けられた測定対象物と移動機構に
   支持された検出子とを三次元方向に移動させつつ検出し
   た検出子と測定対象物との相対移動変位量を所定処理し
   て測定対象物の寸法等を測る三次元測定機において、 前記移動機構を前記載物台のＸ軸方向両側端にＹ軸方向
   に延在配設された一対のガイドレールから形成した固定
   部材と該ガイドレールの第１のガイドレールにＸ軸およ
   びＺ軸方向が位置規制されＹ軸方向に移動可能とされた
   第１のＹスライダと第２のガイドレールにＺ軸方向が位
   置規制されＹ軸方向に移動可能とされた第２のＹスライ
   ダとを含み形成された可動構造体とから構成し、該第１
   のガイドレールに設けられた静止体と第１のＹスライダ
   に設けられた可動体とから形成されたリニヤモータを備
   え、リニヤモータ駆動装置によって該リニヤモータを制
   御して測定対象物と検出子とを相対移動できるよう構成
   したことを特徴とする三次元測定機。
3. （３）前記特許請求の範囲第２項において、前記可動構
   造体の第１のガイドレールには相互に直交する平面が設
   けられ、前記リニヤモータの静止体は前記検出子のＹ輪
   方向用の移動変位検出器のスケールが取り付けられてい
   ない該第１のガイドレールの１つの平面に固着されてい
   ることを特徴とする三次元測定機。
4. （４）前記特許請求の範囲第２項または第３項において
   、前記可動構造体の第１のガイドレールは第２のガイド
   レールよりもＹ軸方向い長大とされていることを特徴と
   する三次元測定機。