JPS62200548A - 電極針の製作法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は複数個の１１！極を備えている電極針の製作法
に関する。

（従来技術） 円盤状の情報記録媒体（ディスク）は他形状の情報記録
媒体１例えばテープ状、シート状の記録媒体に比べて記
録媒体に対する駆動機構が簡単になって再生装置の構成
が簡単安価なものになり、また、記録済み記録媒体も簡
単に複製できる他、無溝形式のディスクでは情報の検索
も容易である等の薄利点を有するために、近年になって
フロッピーディスク、光ディスク、静電容量値の変化検
出型のディスク等として多くの分野における多くの用途
に広く実用されるようになっているが、前記した各種の
ディスクとしては、情報信号の記録済みディスク（再生
専用のディスク）、１回だけユーザが追加して記録でき
るディスク（追記型のディスク）、及び書替え可能なデ
ィスク（消去可能で繰返し記録のできるディスク）等が
知られている。

そして、前記した再生専用のディスクとしては、記録の
対象にされている情報信号に対応した凸部または凹部な
どで形成されたビットをディスクの信号面に設けた形態
のものが光ディスクや静電容菫値の変化検出型のディス
クとして既に実用化されており、その再生専用のディス
クはディスクの原盤の製作に当って使用される記録装置
として。

高い機械精度の駆動機構や高い機械精度の記録素子の送
り機構を有するものを用いて作られた高密度記録のディ
スクの原盤に基づいて大量に複製されるのであり、ディ
スクの原盤から複製された再生専用のディスクは、再生
時にトラッキング制御により再生素子を記録跡に忠実に
辿らせることによって情報信号の高密度記録再生を実現
させることができる。しかし、再生専用のディスクでは
それに記録されている情報信号を消去して新らしい情報
信号を記録することはできない。

また、前記した各種のディスクの内で情報信号を１回だ
け記録できる追記型のディスクも、前記した再生専用の
ディスクと同様にそれに記録されている情報信号を消去
して新らしい情報信号を記録することはできないのであ
る。

情報信号の記Ｄ（書込み）と消去（情報信号の書替え）
及び再生（非破壊読出し）などの可能なディスクとして
は、従来から磁気ディスクが最も一般的に知られており
、各種の機器における記憶装置等に実用されているが、
従来の通常の磁気ディスク装置は磁気ヘッドの送り機構
の機械的精度に依存して、記録時に記録跡を描いたり、
再生時に記録跡を辿ったりするようにしているものであ
ったから、高密度記録再生を行なうことはできなかった
。

そして、近年になってディスクに対する情報信号の高密
度記録の要望が高まるのにつれて、記録跡の狭小化やト
ラッキング制御方式の適用などによって高密度記録の磁
気ディスク装置を得るべく、例えば特開昭５５−９９８
８８号公報に開示されているように、予めトラッキング
参照信号だけが記録されている磁気ディスクを用いて高
密度記録再生を行なうようにするという提案もなされた
が、この既提案のものにおいては記録内容の書替えに際
してトラッキング参照信号だけは消去されないようにす
るために複雑な構成の装置が必要になるという欠点があ
る他、磁気ディスクによって高密度記録を達成するため
には、磁気空隙の寸法が極めて微小な磁気ヘッドが必要
とされるが、そのような磁気ヘッドは製作が困難である
。

情報信号の記０（書込み）と消去（情報信号の書替え）
及び再生（非破壊読出し）などの可能性のあるディスク
として、最近になってレーザ光スポットの照射によりデ
ィスクの記録層に相変化を生じさせ、情報信号の記録再
生を繰返して行なえるようにしたディスクも提案される
ようになったが、この種のディスクは今のところ耐候性
に問題があって長期間の保存に適する記録媒体が得難い
という欠点が指摘されている。

前述した各種の書替え可能なディスクにおける諸問題点
を良好に解決できるディスクとして、先に特開昭５８−
５６２４５号公報で開示された不揮発性電荷メモリディ
スクがある。すなわち、それは半導体基板上に電荷蓄積
機能を有する絶縁膜が設けられているとともに、トラッ
キング参照信号とディスクの基準の回転位相を示す信号
とにそれぞれ対応している如き空乏域と非空乏域との配
列パターンが通常の記録再生消去等の各動作時には消去
されないような状態で半導体基板に予め形成させである
不揮発性電荷メモリディスクであり、この不揮発性電荷
メモリディスクは、それを所定の回転数で回転させ、不
揮発性電荷メモリディスクの表面に摺接する記録再生針
に設けられている電極を介して記録及び再生ならびに消
去の各動作を行なう際に、記録再生針により不揮発性電
荷メモリディスクに予め記録されているトラッキング参
照信号を再生し、それに基づいて記録再生針をトラッキ
ング制御することができるので、極めて狭い記録跡間隔
（トラックピッチ）で情報信号の記録再生ができ、また
、情報信号の記録、再生に際して使用される記録再生針
に設けられている電極は、極めて薄いものとして構成す
ることができるために、記録波長の極く短い情報信号の
記録再生も良好に行われ、したがって、安定に、かつ、
書替え自在な状態で高密度記録再生が可能となされるの
である。

ところが、前記のように半導体基板上に電荷蓄積機能を
有する絶縁膜が設けられているとともに、トラッキング
参照信号とディスクの基準の回転位相を示す信号とにそ
れぞれ対応している如き空乏域と非空乏域との配列パタ
ーンが通常の記録再生消去等の各動作時には消去されな
いような状態で半導体基板に予め形成されている不揮発
性電荷メモリディスクを所定の回転数で回転させ、前記
の不揮発性電荷メモリディスクの表面に摺接する記録再
生針に設けられている電極によって再生されたトラッキ
ング参照信号に基づいて記録再生針のトラッキング制御
が行なわれるようにしながら、記録及び再生動作を行な
うようにした従来の記録再生装置では、記録再生装置の
記録モード時におけるトラッキング参照信号の再生動作
と情報信号の記録動作とが時分割的に行なわれるように
されていたので１例えば、記録再の対象にされている情
報信号が時間軸上で連続していなければならないもので
は使用することができず、また、記録再生装置の記録モ
ード時においてトラッキング参照信号の再生動作と情報
信号の記録動作とを時分割的に行なわせるための切換え
回路として正確に動作するものが必要とされる他、ディ
スクに回転むらがあった場合にはトラッキング参照信号
の検出が不可能になり、さらに、前記の切換回路は静電
容量値の変化検出回路中の高周波信号の共振回路に接続
されるために、浮遊容量の増加によってトラッキング参
照信号の検出動作が不安定になることもあるなどの欠点
が問題になり、それの改善策として、本出願人会社では
半導体基板上に電荷蓄積機能を有する絶縁膜が設けられ
ているとともに。

トラッキング参照信号とディスクの基準の回転位相を示
す信号とにそれぞれ対応している如き空乏域と非空乏域
との配列パターンが通１°の記録再生消去等の各動作時
には消去されないような状態で半導体基板に予め形成さ
れている不揮発性電荷メモリディスクを所定の回転数で
回転させ、前記の不揮発性電荷メモリディスクの表面に
摺接する記録再生針に設けられている電極を介して記録
及び再生動作が行なわれるようになされている不揮発性
電荷メモリディスクを用いた記録再生装置において、不
揮発性電荷メモリディスクの表面に摺接する記録再生針
は、不揮発性電荷メモリディスクに形成されている記録
跡の延在方向について前後の位置関係にあるとともに互
に略々平行な状態となされている各個別の電極を備えて
いるものとされており、また、前記した２つの電極の内
の一方の電極は、それが記録再生装置に設定された動作
モードとは関係なく少なくともトラッキング参照信号の
再生動作を行ないうるようになされている再生回路に接
続されており、さらに、前記した２つの電極の内の他方
の電極に供給された信号に基づく前記した再生回路に接
続されている電極の回路への漏話成分が、前記した再生
回路に供給されないようにする手段とを備えてなる不揮
発性電荷メモリディスクを用いた記録再生装置を提案し
た。

（発明の解決しようとする問題点） ところで、ディスクに記録されている情報信号を静電容
量値の変化として検出するための素子として従来から一
般的に知られているものは、第４図乃至第６図に例示さ
れているように１個の電極が耐摩耗性の高硬度の物質製
の再生針本体に構成されているものであった。

すなわち、第４図は静電容量値の変化検出型の再生針Ｓ
の一例構成のものの斜視図であって、２は例えばチタン
を用いて作られている直径０．４ｍｍ程度の円柱状の部
材であり、この円柱状の部材２の先端部分には所定の外
周面形状となるように研磨加工された耐摩耗性を有する
高硬度の物質。

例えばダイヤモンドの再生針本体３が例えば銀ろう等の
導電性を有する接着層によって固着されている。

前記したダイヤモンドの再生針本体３は、それの先端部
付近を拡大して示している第５図から明らかなように、
所定の多角形状に研磨されていて。

それの周面の一つの壁面に例えば硼素イオンを表面から
３０００オングストロームの深さまで打込むことにより
、電極４を形成させている。再生針本体３の底面は多角
形状の摺接面となされているが、摺接面は対角線の長さ
が例えば１０〜２０ミクロン程度の大きさのものである
。

第４図に示されている再生計Ｓは第６図に示されている
ように１合成松脂製のホルダー１の先端部に設けられて
いる孔に嵌入させた後に、前記のホルダー１の上部に突
出している再生針Ｓの部分に、例えば漕青銅の箔で作ら
れているフライリード５の先端部の孔を嵌合させ、次い
で感電性樹脂６によってホルダー１とフライリード５と
再生針Ｓとｔｅｌｉ’ｉｆｉさせる。

前記のように構成されている従来の一般的な構成の再生
針Ｓは、再生針本体部に構成されている電極４が１個で
あり、再生針本体部と導電性物質製の円柱状の部材２と
は１例えば銀ろう等の導電性を有する接ｅＭによってに
電気的に接続されているから、前記した導電性物質製の
円柱状の部材２を前記した電極４に対する導電的接続部
どして使用することができる。

ところが、前記したように、導体基板上に電荷蓄積機能
を有する絶縁膜が設けられているとともに、トラッキン
グ参照信号とディスクの基準の回転位相を示す信号とに
それぞれ対応している如き空乏域と非空乏域との配列パ
ターンが通常の記録再生消去等の各動作時には消去され
ないような状態で半導体基板に予め形成させである不揮
発性電荷メモリディスクに対する記録信号の記録動作と
。

不揮発性電荷メモリからの情報信号の再生動作とが２個
の電極を備えているような記録再生針を用いて行なわれ
るようになされている場合に使用される記録再生針のよ
うに、複数個の電極が電極針本体に設けられている場合
には、複数個の電極に対してそれぞれ個別の導電的接続
部（リード線部）を設けることが必要とされるが、前記
した電極針はそれの寸法が極めて小さいものであるから
、電極針本体に設けられた複数個の電極に対して個々の
リード線を接続するような作業を行なうことは極めて困
難である。

（問題点を解決するための手段） 本発明は、耐摩耗性を有する高硬度の絶縁物質製の電極
針本体部の素材と、絶縁物製のｆｆ！極針支持部材とが
接合固着されてなる電極針の素材における前記した電極
針本体部の素材側の部分を、電極針本体部で必要とされ
る所定の外周面形状に研摩する工程と、前記の研磨加工
によって電極針の素材の先端部に形成された外周面にお
ける互に離隔した特定な複数個所にそれぞれ所定のパタ
ーンを有する導電性の電極を形成させる工程と、前記し
た電極針の素材における前記のような導電性の複数の電
極が形成された電極針本体部を除く部分に導電性物質に
よる薄膜を付着形成させる工程と。

前記した導電性の薄膜における予め定められた部分を除
去することにより、その導電性のｇ膜によって前記した
複数の電極の個々のものに対する導電的接続部を形成さ
せる工程とからなる電極針の製作法を提供して、前記し
たような問題点を解決したものである。

（実施例） 以下、添付図面を参照しながら本発明の電極針の製作法
の内容を具体的に詳細に説明する。第１図は本発明の電
極針の製作法に従って電極針を製作する際の順次の工程
の概略を説明している図であって、第１図の（ａ）は耐
摩耗性を有する高硬度の絶縁物ｌｔｉ製の電極針本体部
の素材Ｍｓと、絶縁物製の電極針支持部材Ｍｅとを接合
固着してなる電極針の素材Ｍを例示したものであり、前
記した耐摩耗性を有する高硬度の絶縁物質製の電極針本
体部の素材Ｍｓとしては１例えばダイヤモンド結晶から
作られた角柱が用いられてもよく、また、前記した絶縁
物製の電極針支持部材Ｍｃとしては、例えばセラミック
ス製の円柱状体が用いられてもよい。

前記したｗ１極針本体部の素材Ｍｓと、電極針支持部材
Ｍｃとは絶縁性の接着剤によって強固に固着されている
。前記した電極針本体部の素材Ｍｓと、電極針支持部材
Ｍｅとの固着の態様としては、電極針支持部材Ｍｃに穿
設した孔に電極針本体部の素材Ｍｓの一部を嵌合させる
ようにして両者間を絶絶縁性の接着剤によって強固に固
着させるような［着のＳ様が望ましい。

第１図の（Ａ）に示されている１８極針の素材Ｍは、そ
れの電極針本体部の素材側の端部分に研磨加工を施こす
ことにより、第１図の（ｂ）、（０）に例示されている
ように電極針本体部の素材Ｍｓから電極針支持部材Ｍｅ
にかけて、電極針本体部で必要とされる所定の外周面形
状を備えている状態のものとする。ｆｉ１図示の例にお
いては、前記した外周面形状として６つの側面を備えた
角錐状のものとなされており、第１図の（ｂ）は側面図
であり。

また、第１図の（Ｑ）は底面図である。

次に、前記の研磨加工によって第１図の（ｂ）。

（ｃ）に例示されているように電極針本体部の素材Ｍｓ
から電極針支持部材Ｍ　ｃにかけて、電極針本体部で必
要とされる所定の外周面形状を備えている状態のものと
された電極針本体部外周面における互に離隔した特定な
複数個所の局面のＡ　ｓ　ｇ　Ｂ　ｓの部分にそれぞれ
所定のパターンを有する導電性の電極ａ、ｂを形成させ
ると、第１図の（ｄ）、（ｅ）に例示されているような
状態のものが得られるが、第１図の（ｄ）は側面図であ
り、また第１図の（ｅ）は底面図である。

前記した工程において導電性の電極ａ、ｂを形成させる
のには、電極を形成させるべき部分に表面から約３００
０オングストロームの深さまで、例えば硼素イオンを打
込むようにすればよい、なお、電極の部分以外の硼素が
打込まれた部分は研磨によって容易に除去することがで
きる。

次いで、前記した電極針の素材Ｍにおける導電性の電極
ａ、ｂが形成された電極針本体部を除く部分に導電性物
質による薄膜Ｔを付着形成させると、第１図の（ｆ）、
（ｇ）に例示されているような状態のものが得られるが
、第１図の（ｆ）は側面図であり、また、第１図の（ｇ
）は底面図である。

前記した工程における導電性物質による薄膜Ｔの付着形
成は、電極針の素材Ｍにおける導電性の電極ａ、ｂが形
成されている電極針本体部にマスク剤を塗布した後に、
蒸着法あるいはスパッタリング法を適用して導電性物質
による所定の厚さの薄ｇ’ｒを付着形成させた後に、前
記したマスク剤を除去することによって容易にできる。

次に、前記した導電性の薄Ｉｔ！ＸＴにおける予め定め
られた部分を、例えば研磨あるいは切削することによっ
て除去することにより、その導電性の薄［Ｔによって前
記した複数の電極の個々のものに対する導電的接続部Ｔ
ａ、Ｔｂが形成された状態の第１図の（ｈ）、（ｉ）に
例示されているような状態のものが得られるが、第１図
の（ｈ）は側面図であり、また、第１図の（ｉ）は底面
図である。

第１図の（ｋ）は前記した第１図の（ｈ）に示されてい
る点線図示の枠にの部分における縦断正面図であって、
この第１図の（ｋ）によって明らかなように、ｉｔｔ極
針本体部に形成されているｆｔｔｔ４ａ（電［ｂでも同
じ）と導電的接続部Ｔ　ａ　（導電的接続部Ｔｂでも同
じ）とは、重複部分によって両者間の電気的な接続が良
好なものとなされている。

第１図の（ｊ）は前記した第１図の（ｈ）、（ｉ）に例
示されているような状態のものの先端の部分に研磨加工
を施こして摺接面ｆを形成させた状態のものの底面図で
ある。このようにして作られた電極針における摺接面ｆ
の寸法は、それの対角線の長さが例えば１０〜２０ミク
ロン程度である。

前記のようにして作られた電極針は第３図に示されてい
るように、それの電極針支持部の端部を合成樹脂製のホ
ルダー１の先端部に設けられている孔に嵌入させた後に
、前記のホルダー１の上部に突出している電極針支持部
に１例えば第２図に示されているような構成の可撓性印
刷配線基板によるフライリード８の先端部の孔１１を嵌
合させ、次いで前記したフライリード８における接続端
部１２と、電極針における導電的接続部Ｔａとを導電性
の接着剤１６によって接着し、また、フライリード８に
おける接続端部１３と、電極針における導電的接続部Ｔ
ｂとを導電性の接着剤１７によって接着する。

前記したフライリード８は第２図に例示されて　　−い
るように、可撓性を有する簿い合成樹脂基板９に、導電
性物質による所定のパターンの薄膜が付着形成されてい
るものであって、第２図示の例においては、前記した導
電性物質による所定のパタ−ンの簿膜は、接続端部１２
，１３、端子１４゜１５．リード線部１０などを有する
ものとして構成されている。前記した端子１４．１５は
記録再生装置における記録回路と再生回路とにそれぞれ
接続されるものである。

（°効果） 以上、詳細に説明したところから明らかなように１本発
明の電極針の製作法は耐摩耗性を有する高硬度の絶縁物
質製の電極針本体部の素材と、絶縁物製の電極針支持部
材とが接合固着されてなる電極針の素材における前記し
た電極針本体部の素材側の部分を、電極針本体部で必要
とされる所定の外周面形状に研摩する工程と、前記の研
磨加工によって電極針の素材の先端部に形成された外周
面における互に離隔した特定な複数個所にそれぞれ所定
のパターンを有する導電性の電極を形成させる工程と、
前記した電極針の素材における前記のような導電性の複
数の電極が形成された電極針本体部を除く部分に導電性
物質によるｆＩｌ膜を付着形成させる工程と、前記した
導電性の薄膜における予め定められた部分を除去するこ
とにより、その導電性の薄膜によって前記した複数の電
極の個々のものに対する導電的接続部を形成させる工程
とからなる電極針の製作法であるから、この本発明の電
極針の製作法によれば、電極針本体に複数個の電極を容
易に形成できるとともに、前記した複数個の電極の個々
のものに対する電気的な配線も容易に行なうことができ
る電極針を容易に製作することができるのであり、この
本発明によれば既述した従来の諸間運点は良好に解決で
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の電極針の製作法による電極針の製作工
程の説明図、第２図はフライリードの一例構成を示す平
面図、第３図は本発明の電極針の製作法に従って製作さ
れた電極針をホルダーに組付けた状態を説明する斜視図
、第４図は従来の再生針の構成例を示す斜視図、第５図
は従来の再生針の一部の拡大斜視図、第６図は従来の再
生針をホルダーに組付けた状態を説明する斜視図である
。 Ｍｓ・・・耐摩耗性を有する高硬度の絶縁物質製の電極
針本体部の素材、Ｍｅ・・・絶縁物製の電極針支持部材
１Ｍ・・・電極針の素材、Ｓ・・・再生針、ａ、ｂ・・
・電極、Ｔ・・・導電性の薄膜、Ｔａ、Ｔｂ・・・複数
の電極の個々のものに対する導電的接続部、１・・・合
成樹脂製のホルダ、８・・・可撓性印刷配線基板による
フライリード、１２，１３・・・フライリード８におけ
る接続端部、１６，１７・・・導電性の接着剤、特許出
願人　　日本ビクター株式会社 ＜Ｄ 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 耐摩耗性を有する高硬度の絶縁物質製の電極針本体部の
   素材と、絶縁物製の電極針支持部材とが接合固着されて
   なる電極針の素材における前記した電極針本体部の素材
   側の部分を、電極針本体部で必要とされる所定の外周面
   形状に研摩する工程と、前記の研磨加工によって電極針
   の素材の先端部に形成された外周面における互に離隔し
   た特定な複数個所にそれぞれ所定のパターンを有する導
   電性の電極を形成させる工程と、前記した電極針の素材
   における前記のような導電性の複数の電極が形成された
   電極針本体部を除く部分に導電性物質による薄膜を付着
   形成させる工程と、前記した導電性の薄膜における予め
   定められた部分を除去することにより、その導電性の薄
   膜によって前記した複数の電極の個々のものに対する導
   電的接続部を形成させる工程とからなる電極針の製作法
   。