JPS6220093A - 印刷文字等の検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、例えば、各種電子部品、各種電子機器、又は
、その他の各種製品に直接或いはこれらに取付ける銘板
に押捺又は印刷された品名、製造会社名等を表わす文字
或いは商標等（以下、印刷文字と略記する）が鮮明に押
捺又は印刷されているか否か、誤字又は脱字等の有無等
を検査する印刷文字等の検査装置に関するものである。

従来の技術 従来、このような検査は、肉眼を以て行うか、テレビジ
ョンにおける撮像カメラのような光電変換センサを用い
、その光電変換出力信号を２値化して印刷文字の周辺一
定範囲における地膚部分に対応する信号と印刷文字部分
に対応する信号に分離し、標準パターンにおける印刷文
字部分に対応する信号の総量と、被検査パターンにおけ
る印刷文字部分に対応する信号の総量とを比較し、両者
の比から印刷文字の良否を判定する装置を用いて検査を
行っている。

発明が解決しようとする問題点 肉眼による検査の場合は、疲労のために多数の検査を連
続して行うことは不可能であり、前記のような検査装置
においては、次のような欠点を免れることが出来ない。

即ち、印刷機又は押捺機等を用いて文字等の印刷又は押
捺を連続して行う場合、インクの補充直後においては必
要以上に濃く印刷又は押捺が行われ、インクの量が減少
するにしたがって漸次淡くなるのが＝・般である。

第３図における（イ）図は遣い印刷文字の一例を示し、
（ロ）図は淡い印刷文字の一例を示すもので、（ハ）図
は、（イ）図の細い横線で示した走査部分に対応する光
電変換センサの検出出力信号の反転波形を示し、（ニ）
図は、（ロ）図の細い横線で示した走査部分に対応する
光電変換センサの検出出力信号の反転波形で、（ハ）図
及び（ニ）図の各横軸は検出位置Ｐ、各縦軸は階調値Ｔ
であるが、両図から明らかなように、印刷文字の濃淡に
応じて検出信号の大きさが異なるのは当然であるが、地
膚と印刷文字の境界に対応する信号の立上り及び立下り
部分に傾斜を有し、印刷文字が淡い程、立上り及び立下
り部分の傾斜が緩やかとなる傾向を有する。これは光電
変換センサの検出特性に因るもので、現在一般に入手し
得る光電変換センサに共通の現象である。

したがって、（）つ図及び（ニ）図に示した信号を同一
基準レベルを用いて２値化し、この基準レベル以上の信
号に対応するディジタル信号′“１°゛を印刷文字部分
に対応する信号とし、基準レベル以下の信号に対応する
ディジタル信号゛０°゛を地層部分に対応する信号とし
て印刷文字の周辺における一定範囲内のディジタル信号
“１°゛の総数を求めた場合、印刷文字が淡い程ディジ
タル信号”１　ＩＩの総数が小となるから、標準パター
ンよりも淡い印刷文字及び濃い印刷文字はすべて不良品
となり、肉眼による検査結果とは著しく異なったものと
なる。

被検査パターンにおける印刷文字の濃淡に応じて２値化
のための基準レベルを上下に変動せしめることにより、
良品の範囲を拡大せしめることは可能であるが、印刷文
字の濃淡と基準レベルの変動幅の関係を把握する手段を
欠くため、基準レベルの変動幅の設定は全く適当に行う
他はなく、変動幅を拡大し過ぎるときは不良品をも良品
とみなすおそれがあり、肉眼による検査と同等の結果を
得ることは側底不可能である。

更に、印刷機又は押捺機を用い、或は手動て文字等を印
刷又は押捺するに当って、地膚に凹凸がある場合、地膚
に凹凸が無くとも活字面が地膚に均一に圧着されないよ
うな場合、又は地膚と活字面との間に塵埃等が混入介在
したような場合等には、印刷文字の一部に欠落部を生ず
ることとなるが、このような場合には印刷文字部分の面
積に対応する信号の総数を求めるのみでは、印刷文字が
淡い場合と印刷文字の一部に欠落部がある場合との識別
が不可能で、不良品を良品と、逆に良品を不良品と誤っ
て判断するおそれがある。

問題点を解決するための手段、実施例 第１図は、本発明の一実施例を示すブロック線図で、１
は光源、２は光電変換センサで、例えば、テレビジョン
における撮像カメラのように、結像面を走査して像の濃
淡に応じた大きさの電気信号を順次送出するように構成
した光電変換センサより成る。又、このようなセンサと
同等の作用効果を呈し得るセンサ、例えば、光学レンズ
の光軸によって被写体２８を走査し、入射光量に応じた
大きさの電気信号を送出するセンサを用いるか、被写体
全域からの光を受光し得るように光学レンズ系を固定し
て設けると共に、光源ｌの発する光を則いビーム状に形
成し、このビーム光線によって被写体２８を走査し、入
射光量に応じた大きさの電気信号を送出するように構成
したセンサを用いてもよい。尚、図には、被写体２８か
らの反射光を光電変換センサ２に入射せしめるように構
成した場合を例示したが、被写体２８の材質によっては
透過光を入射せしめるように構成しても本発明を実施す
ることが出来る。３はアナログ・ディジタル変換回路、
４は階調付画像メモリで、アナログ・ディジタル変換回
路３の出力ディジタル信号を読込み、前記被写体の画素
分布パターンに対応した番地に記憶する。５はゲート回
路、６は階調値分布計算回路で、例えば、複数個のデト
ジタル形比較回路７１乃至７゜（ｎは任意の正の整数）
、各比較回路毎に設けたパルスカウンタ８１乃至８ｎ及
び陰極線オシロスコープ９より成る。尚、アナログ・デ
ィジタル変換回路３の出力ディジタル信号のビット数に
応じて表わし得る階調値の数と比較回路７１乃至７ｎの
個数を一致せしめると共に、各比較回路の比較基準ディ
ジタル値を互に異ならしめである。（例えば、ディジタ
ル出力信号を８ビツト構成とした場合には、比較回路７
１乃至７ｎの数を２５６個に選ぶ。）１０は走査形量閉
回路で、開閉制御パルス信号が加えられる毎にパルスカ
ウンタ８１乃至８ｎの各出力回路を、順次選択的に閉成
する。　”は切換スイッチ、１２及び１３は加算回路、
■４はディジタル形比較回路、１５はｚ値化回路、１６
はディジタル値設定回路で、２値化回路１５は、例えば
、ディジタル形比較回路より成り、ディジタル値設定回
路１６は、例えば、パルスカウンタより成ると共に、２
値化回路１５において階調付画像メモリ４から読出され
たデータ信号をディジタル値設定回路１６の設定ディジ
タル値と比較し、データ信号が設定ディジタル値より大
か一致する場合にディジタル信号“ｔ”を送出し、デー
タ信号が設定ディジタル値より小なる場合にディジタル
信号“°Ｏ゛′を送出する。１７は切換スイッチ、１日
はメモリ、１８はモニタで、テレビジョン受像機より成
り、そのｌフレームの走査周期と同期してメモリ１８か
ら読出されたディジタル信号“１′及びディジタル信号
“０パが導入される。２０はメモリ、２１は排他的論理
和回路、２２はプリセットカウンタ、２３は警報回路、
２４は被写体検出センサで、例えば、被写体からの反射
又は透過光を受けて電気信号を送出する光電変換形セン
サ、或いは被写体を順次送るベルトコンベア等に、被写
体に対応する間隔毎に設けた磁性体片の近接に応じて閉
成するリードスイッチ等より成る。２５は制御信号発生
回路で、例えば、クロックパルス発振回路、その発振出
力の分周回路、この分周回路における出力回路の開閉素
子等より成る。２６は分周回路における出力回路の開閉
素子の手動操作つまみ、２７はリセッ］・信号送出回路
の開閉素子の手動操作つまみである。

尚、制御信号発生回路２５から走査形量閉回路゛１０及
びディジタル値設定回路１６への制御信号発生回路並に
被写体検出センサ２４から制御信号発生回路２５への検
出信号送出回路を除いて光電変換センサ２以下の所要各
回路への制御信号送出回路は、これを図示するのを省略
しである。

切換スイッチ”及び１７を接点Ｓ側に切換え、被写体２
８として標準パターンを選択して光電変換センサ２の前
面に位置せしめると、被写体検出センサ２４からの検出
信号が制御信号発生回路２５に加えられて、これを始動
せしめ、制御信号発生回路２５から光電変換センサ２以
下の所要回路に対して所要のタイミングを以て所要の制
御信号が順次送出される。

光電変換センサ２としてテレビジョンにおける撮像カメ
ラと同様のカメラを用いた場合には、光電変換センサ２
に加える水平及び垂直同期信号、アナログ・ディジタル
変換回路３に加える変換制御信号及び階調付画像メモリ
４に加える読込信号として互いに同期した信号を加える
と、光電変換センサ２の結像面を走査して取出された出
力信号はアナログ・ディジタル変換回路３によりディジ
タル信号に変換され、階調付画像メモリ４に読込まれ、
被写体２８の画素分布パターンに対応して記憶される。

次いで、階調付画像メモリ４に読出開始信号が送られる
と同時にゲート開閉制御信号がゲート回路５に送られる
と、ゲート回路５が導通し、読出開始信号に続く読出信
号により、階調付画像メモリ４の記憶データ信号が順次
読出され、ゲート回路５を介して階調値分布計算回路６
におけるディジタル形比較回路７１乃至７ｎに並列に加
えられ、比較基準ディジタル値と一致する比較回路から
一致（ｊ号が送出される。この一致信号はパルスカウン
タ８１乃至８ｎの中、一致信号を送出した比較回路に対
応するパルスカウンタに導入計数される。

比較回路７１乃至７ｎの各比較基準ディジタル値を、例
えば、７１から７０に到るにしたがって人となるように
選定しておけば、パルスカウンタ８１乃至８ｎの最終計
数値を陰極線オシロスコープ９に導入すると、その映像
面には、例えば、第２図に示すようなヒストグラムが描
かれる。

第２図において、横軸は階調値Ｔ、縦軸はパルスカウン
タ８Ｉ乃至８ｎの計数値Ｃで、第２図は、黒色の地層に
白色の文字等を印刷した場合の標準パターンのヒストグ
ラムの一例で、図面に向って右側の山形分布は印刷文字
部分に対応し、左側の山形分布は地層部分に対応する。

階調付画像メモリ４からのデータ信号の読出し送出が一
巡すると、制御信号発生回路２５から反復読出信号が階
調付画像メモリ４に送られると同時にゲート開閉制御信
号がゲート回路５に送られ、ゲート回路５をｇ断する。

即ち、階調値分布計算回路６には階調付画像メモリ４の
零番地乃至最終番地の記憶データ信号が１回のみ導入さ
れるが、２値化回路１５には階調付画像メモリ４の零番
地乃至最終番地の記憶データ信号が反復加えられる。

次に、制御信号発生回路２５における開閉素子の手動開
閉操作つまみ２６の抑圧復旧を繰返して走査形量閉回路
１０に開閉制御パルス信号を送出すると、パルスカウン
タ８１乃至８ｎの出力回路が、例えば、８ｏ側から順次
選択的に閉成され、各計数信号が走査形量閉回路ｌＯ及
び切換スイッチ”の接点Ｓ側を介して順次加算回路１２
に加えられる。

制御信号発生回路２５からの開閉制御パルス信号は走査
形量閉回路】０へ送られると共に、ディジタル値設定回
路ＩＳを構成するパルスカウンタへ導入計数されるから
、その計数値は計数開始から逐次増加し、常に加算回路
１２の加算回数に一致したものとなる。

一方、階調付画像メモリ４から順次繰返し読出されたデ
ータ信号は、２値化回路１５において、ディジタルイ（
ｖ設定回路１６の設定ディジタル値と比較され、データ
信号がｉｉＱ定ディジタル値より大なるか、又は〜・致
する場合にディジタル信号“Ｉ　”が送出され、データ
信号が設定ディジタル値より小なる場合にはディジタル
信号“０パが送出される。

ｚ値化回路１５からのディジタル信号“１”及びディジ
タル信号゛Ｏ“は、切換スイッチ１７の接点Ｓ側を介し
てメモ１月８に読込まれると共に、モニタ１９における
１フレームの走査周期に同期してメモリ１８の記憶信号
が読出され、モニタ１９に導入される。

メモリ１８に読込まれるディジタル信号は、ディジタル
値設定回路１Ｂの設定ディジタル値の変化に応じて、デ
ィジタル信号“１パの一部がディジタル信号”　Ｑ　”
に変化し、この変化に応じてモニタ１８の映像面に描か
れる画像も°また変化して、漸次標準パターンに近付く
こととなる。

モニタ１９の映像面における画像を標準パターンと照合
して、両者が一致又はほぼ一致したことを確かめた際に
制御信号発生回路２５におけるつまみ２Ｂの抑圧を停止
して、走査形量閉回路１０及びディジタル値設定回路１
６へのパルス信号の送出を断つと、以後、メモリ１８に
読込まれるディジタル信号が更新されることなく、メモ
リ１８に記憶されるディジタル信号“１”は、標準パタ
ーンおける印刷文字部分の分布パターンに一致又はほぼ
一致したものとなる。

ここで標準パターンを除き、切換スイッチ”及び１７を
接点Ｔ側へ切換え、被検査パターンを、ベルトコンベア
等によって間欠的に光？Ｅ変換センサ２の前面に送ると
、被検査パターンが光電変換センサ２の前面に静止する
毎に、被写体検出センサ２４の検出信号が制御信号発生
回路２５に送られて、これを始動せしめ、制御信号発生
回路２５から送出されるリセット信号により、階調値分
布計算回路６におけるパルスカウンタ８Ｉ乃至８ｏ、走
査形量閉回路１０、加算回路１３、ディジタル値設定回
路１６及びプリセットカウンタ２２がリセットせしめら
れ、次いで、前記学習時と全く同様にして階調付画像メ
モリ４に被検査パターンに対応するディジタル信号が読
込まれ、その記憶内容が被検査パターンの画素分布パタ
ーンに対応したものに置換えられる。

階調付画像メモリ４かも読出されたデータ信号は、学習
時と全く同様にして階調値分布計算回路６において各階
調の頻度が求められ、制御信号発生回路２５からの自動
開閉制御パルス信号により走査形量閉回路１０が開閉さ
れると、パルスカウンタ８Ｉ乃至８ｎの各計数信号が８
０側から順次走査形量閉回路１０及び切換スイッチ”の
接点Ｔ側を介して加算回路Ｉ３に導入加算され、この加
算計数値はディジタル形比較回路Ｉ４において加算回路
１２に記憶されている学習時の最終計数値と逐次比較さ
れ、百計数値が一致するに到ると比較回路１４から一致
信号が制御信号発生回路２５に送出され、以後、走査形
量閉回路１０への自動開閉制御パルス信号の送出が停止
されると共に、ディジタル値設定回路１Ｂを構成するパ
ルスカウンタへのパルス送出も停止される。

一方、階調付画像メモリ４から繰返し読出されたデータ
信号が２値化回路１５に導入され、ディジタル値設定回
路１６の設定ディジタル値との比較が行われ、データ信
号が設定ディジタル値より大又は一致した場合にディジ
タル信号°“１″が、データ信号が設定ディジタル値よ
り小なる場合にはディジタル信号パ０”が、それぞれ送
出され、切換スイッチ１７の接点Ｔ側を介してメモリ２
０に読込まれる。

この場合にも学習時と同様、ディジタル値設定回路１６
における設定ディジタル値の変化に応じて、メモリ２０
の記憶内容が逐次更新されるが、前記のようにディジタ
ル形比較回路１４の一致信号の送出に応じてディジタル
値設定回路１８へのパルス送出が停止され、設定ディジ
タル値が一定に保持されるに到ると、メモリ２０の記憶
内容も更新されることなく、安定することとなる。

メモリ２０の記憶内容の安定後、制御信号発生回路２５
から送られる読出し信号によりメモリ１８及び２０の各
対応する番地から記憶情報が順次同期して読出され、排
他的論理和回路２１において比較され、両信号が一致し
ない場合に回路２１から送出される不一致信号がプリセ
ットカウンタ２２に導入され、その計数値がプリセット
値に達した際に送出される桁上信号により警報回路２３
が動作して被検査パターンが不良品であることを報知し
、更に、必要に応じて不良被検査パターンの除去指令信
号を送出する。尚、プリセットカウンタ２２のプリセー
、１・値は所要の検査精度に応じて適当１こ設定し、特
別に高い検査精度を要求される場合には、プリセット値
を零に設定して排他的論理和回路２１からの最初の不一
致信号により直ちに警報回路２３を動作せしめるように
構成すればよい。

上記の繰返しによって所要数の被検査パターンの検査を
終り、別の標準パターンについて学習を行う場合には、
まず、手動操作つまみ２７を押圧して加算回路１２にリ
セット信号を加えてこれをリセットせしめ、以後、前記
学習時と同様の動作を行わせる。

以上は、加算回路１２及び１３、メモリ１８及び２０に
、それぞれ印刷文字部分に対応するディジタル信号を導
入した場合を例示したが、パルスカウンタ８１乃至８ｎ
の中、階調値の低い側（暗い側）のパルスカウンタ（前
記の例においては８＋）からの計数出力信号を順次送出
せしめ、又、２値化回路１５における比較結果が、ディ
ジタル値設定回路１８の設定ディジタル値より階調付画
像メモリ４からのデータ信号が小なる場合、又は、両者
が一致する場合にディジタル信号”１　ＩＩを送出し、
設定ディジタル値よりデータ信号が大なる場合にディジ
タル信号＋４０”を送出せしめるように構成し、加算回
路１２及び１３、メモリ１８及び２０にそれぞれ地層部
分に対応する信号を導入するようにしても本発明を実施
することが出来る。

又、オシロスコープ９の代りに、例えば、ＸＹ記録計を
用いてヒストグラムを描かせてもよく、これらを省いて
も本発明を実施し得る。

更に、以上は、階調値分布計算回路６を複数個のディジ
タル形比較回路７１乃至７ｎ、　Ａ）レスカウンタ８１
乃至８ｎ及び陰極線オシロスコープ９を以て構成し、２
値化回路１５をディジタル形比較回路を以て構成すると
共に、ディジタル値設定回路１６をパルスカウンタを以
て構成した場合を例示したが、何れもこれらと同等の作
用を呈し、本発明の目的を達し得るものであれば、従来
公知の他の適当な回路を以て構成しても差支えなく、更
に、加算回路１２．１３、メモ１月８．２０、ディジタ
ル形比較回路１４、排他的論理和回路２１、プリセット
カウンタ２２及び制御信号発生回路２５等の作動をコン
ビ、ｌＺ−タに行わせるようにしても本発明を実施する
ことが出来る。

発明の効果 本発明においては、学習に際して、モニタ１９の映像面
に描かれた印刷文字部分（又は地膚部分）の像と標準パ
ターンにおける印刷文字部分（又は地膚部分）の像を肉
眼で照合して加算回路１２の加算合計値を補正し、検査
時には加算回路１３の加算値が加算回路１２の加算合計
値と一致した際のディジタル値設定回路１６における設
定ディジタル値を基準として被検査パターンに対応する
データ信号を２値化するように構成しであるので、被検
査パターンにおける印刷文字のｅ淡に応じて印刷文字の
等価面積を自動的に補正し、以て印刷文字の太さを、常
に標準パターンにおける印刷文字の太さと等価的にほぼ
一致せしめ、更に、メモリ１８及び２０に読込ませたｚ
値化信号を順次比較することにより、位置情報を以て被
検査パターンの検査を行い得るから、印刷文字の濃さ又
は淡さの異常、欠落部の有無、誤字又は脱字等の判定を
適確に行って、肉眼による検査に極めて近い検査結果を
得ることが出来、ｉ１！！膚と印刷文字との色彩の組合
せも白黒のみならず任意の色の組合せより成るパターン
の自動的検査がｊｉｆ能である。

又、被写体の走査を密ならしめると共に、アナログ・デ
ィジタル変換回路３の出力ディジタル信号のビット数を
増し、各ディジタル回路の構成をこのビット数に対応せ
しめることによって検査精度を任意に高めることが出来
る等の特長を有するもので実用上の効果甚だ大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例を示すブロック線図、第２
図は、その作動説明のための波形図、第３図は、従来装
芒の作動説明のための波形図で、１：光源、２：光電変
換センサ、３：アナログ・ディジタル変換回路、４：”
）３’調付画像メモリ、５：ゲート回路、６：階調値分
布計算回路、７１乃至７ｎ及び１４：ディジタル形比較
回路、８１乃至ト１：パルスカウンタ、９：陰極線オシ
ロスコープ、１０：走査形量閉回路、”及び１７：切換
スイッチ、１２及び１３：加算回路、１５：２値化回路
、１８：ディジタル値設定回路、１８及び２０：メモリ
、１９：モニタ、２１：排他的論理和回路、２２ニブリ
セツトカウンタ、２３：警報回路、２４：被写体検出セ
ンサ、２５：制御信号発生回路、２６及び２７：開閉素
子の手動開閉操作つまみ、２８：被写体である。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）被写体の一定範囲を走査して、その階調に応じた
   電気信号を送出する光電変換センサと、この光電変換セ
   ンサの出力アナログ信号をディジタル信号に変換するア
   ナログ・ディジタル変換回路と、このアナログ・ディジ
   タル変換回路の出力信号を前記被写体の画素分布パター
   ンに対応して記憶する階調付画像メモリと、この階調付
   画像メモリから読出されたデータ信号の階調値別頻度を
   計算する階調値分布計算回路と、前記被写体が標準パタ
   ーンの場合、前記階調値分布計算回路において求められ
   た階調値別頻度の中、最高階調値から適宜階調値迄の範
   囲における各階調値の頻度を加算記憶する第１の加算回
   路と、前記被写体が被検査パターンの場合、前記階調値
   分布計算回路において求められた階調値別頻度の中、最
   高階調値の頻度から加算を開始して加算値が前記第１の
   加算回路の加算値に達する迄加算を行う第２の加算回路
   と、前記被写体が標準パターンの場合、前記第１の加算
   回路の加算回数に応じたディジタル値を設定し、前記被
   写体が被検査パターンの場合、前記第２の加算回路の加
   算回数に応じたディジタル値を設定するディジタル値設
   定回路と、前記階調付画像メモリから読出されるデータ
   信号を前記ディジタル値設定回路の設定ディジタル値と
   比較し、前記データ信号が前記設定ディジタル値より大
   又は一致する場合にディジタル信号“１”を送出し、前
   記データ信号が前記設定ディジタル値より小なる場合に
   ディジタル信号“０”を送出する２値化回路と、前記被
   写体が標準パターンの場合における前記２値化回路の出
   力ディジタル信号を読込む第１のメモリと、この第１の
   メモリから読出されたディジタル信号の導入されるテレ
   ビジョン受像機より成るモニタと、前記被写体が被検査
   パターンの場合における前記２値化回路の出力ディジタ
   ル信号を読込む第２のメモリと、前記第１及び第２のメ
   モリから各読出されたディジタル信号が導入される排他
   的論理和回路と、この排他的論理和回路の送出する不一
   致信号によって被検査パターンの良否を判定する回路と
   より成ることを特徴とする印刷文字等の検査装置。
2. （２）第１の加算回路が、階調値分布計算回路において
   求められた階調値別頻度の中、最低階調値から適宜階調
   値迄の範囲における各階調値の頻度を加算記憶し、第２
   の加算回路が、階調値分布計算回路において求められた
   階調値別頻度の中、最低階調値の頻度から加算を開始し
   て加算値が第１の加算回路の加算値に達する迄加算を行
   い、２値化回路が、階調付画像メモリから読出されるデ
   ータ信号がディジタル値設定回路の設定ディジタル値よ
   り小又は一致する場合にディジタル信号“１”を送出し
   、データ信号が設定ディジタル値より大なる場合にディ
   ジタル信号“０”を送出するように、各構成された特許
   請求の範囲第１項記載の印刷文字等の検査装置。
3. （３）階調値分布計算回路が、階調付画像メモリから読
   出されたデータ信号が並列に加えられ、互に比較基準デ
   ィジタル値の異なる複数個のディジタル形比較回路と、
   各比較回路に対応して設けられ、各対応する比較回路の
   送出する一致信号を計数する複数個のパルスカウンタよ
   り成る特許請求の範囲第１項記載の印刷文字等の検査装
   置。
4. （４）２値化回路がディジタル形比較回路より成り、デ
   ィジタル値設定回路が第１及び第２の加算回路の加算制
   御用パルスの加えられるパルスカウンタより成る特許請
   求の範囲第１項記載の印刷文字等の検査装置。