JPS62201930U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62201930U JPS62201930U JP1986090368U JP9036886U JPS62201930U JP S62201930 U JPS62201930 U JP S62201930U JP 1986090368 U JP1986090368 U JP 1986090368U JP 9036886 U JP9036886 U JP 9036886U JP S62201930 U JPS62201930 U JP S62201930U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- developing device
- nozzle
- piping
- hole
- photoresist developing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図はこの考案の一実施例によるフオトレジ
スト現像装置のノズル装置の構成図、第２図は従
来の現像装置の全体の断面図、第３図は従来のノ
ズル装置の構成図である。 ７：ノズル、７ａ：ノズル口、１０：サツクバ
ツク装置、１２：穴、１３：配管、１５：逆流防
止弁。なお、図中同一符号は同一又は相当部分を
示す。
スト現像装置のノズル装置の構成図、第２図は従
来の現像装置の全体の断面図、第３図は従来のノ
ズル装置の構成図である。 ７：ノズル、７ａ：ノズル口、１０：サツクバ
ツク装置、１２：穴、１３：配管、１５：逆流防
止弁。なお、図中同一符号は同一又は相当部分を
示す。
Claims (1)
- 回転台上に吸着して載置したウエハ上にノズル
から滴下した現像液を塗布する現像装置において
、上記ノズルのノズル口とは別に先端下面に穴を
あけ、この穴にサツクバツク装置と接続した配管
を連通すると共に、配管の途中に逆流防止弁を備
えたことを特徴とするフオトレジストの現像装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986090368U JPS62201930U (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986090368U JPS62201930U (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62201930U true JPS62201930U (ja) | 1987-12-23 |
Family
ID=30950162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986090368U Pending JPS62201930U (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62201930U (ja) |
-
1986
- 1986-06-13 JP JP1986090368U patent/JPS62201930U/ja active Pending