JPS6220346A - 収納治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は、収納治具、特にペレット等のチップ状の電子
部品の収納治具に適用して有効な技術に関する。

［背景技術１ 半導体べＩ／ソＩ・のようにウェハから分割された状態
のチップ状の電子部品は、リードフレームもしくはパッ
ケージ基板等への取付けに際して、複数の収納空間を有
する皿状の治具に載置されて移送されることが多い。

このような収納治具とＬ７では、熱硬化性の合成樹脂も
しくはアルミニウムの如き金属等からなり、各収納空間
の底部が平坦に構成され”ζいるものが知られている。

ところが、ウェハ分割工程でアルコール等がペレットに
付着することがあるが、ペレット裏面にアルコールが付
着したまま収納治りに載置されると、収納底面が平坦で
あるために、−耽収容したペレットの裏面が前記収容治
具の底部に貼り付いてしまい、コレット等の真空吸着に
よっても取り出すことが困難となる場合があり、場合に
よっては取り出しミスを起こす原因となることが本発明
者によって明らかにされた。

この点について、本出願人の特開昭５８−１１１３３７
号公報に記載されているように、各収納空間の底部中心
に凹部を形成して載置されるペレットと収納底部との間
に空間を形成してペレットの貼り付きを防止することも
考えられる。

しかし、収納されるペレットの寸法が種々あるために、
小形のペレットでは前記収納底面の凹部にはまり込んで
しまい、かえってペレットの取り出しが困難になったり
、一方、ペレットが大形の場合には、凹部が小さすぎる
ため、ペレットの貼り付きを防止できないことが本発明
者によって明らかにされた。

さらに、収納底面に貼り付いたペレットを取り出すため
に、コレットの真空吸引力を増加させてコレットへのペ
レットの吸着を強引に行うことも考えられるが、かかる
手段ではペレットが損傷し易いことも同時に本発明者に
よって明らかにされた。

［発明の目的］ 本発明の目的は、収納空間底部への被収納物の貼り付き
を防止して被収納物の取り出しを容易に行うことのでき
る収納治具を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

Ｃ発明の概要コ 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、被収納物を収納する収納空間の底部を粗面で
形成することにより、被収納物の裏面が収納底面に対し
て非密着状態で収納されるため、被収納物の収納底面へ
の貼り付きを防止して被収納物の取り出しを容易に、し
かも確実に行うことができる。

［実施例］ 第１図は本発明の一実施例である収納治具の収納穴を示
す拡大平面図、第２図は第１図のｍ−ｎ線における拡大
断面図、第３図は本実施例の収納治具全体を示す斜視図
である。

本実施例の収納治具１は半導体装置に用いられる半導体
ペレット（以下単にペレット２という）を収納する収納
治具であり、複数の収納空間を備えた治具本体３を有し
ている。

治具本体３は、たとえば熱硬化性の合成樹脂を図示しな
い金型等により一体成形して得られるものであり、その
表面には縦横方向に複数のペレット収納穴４が形成され
ている。この収納穴４は第２図に示すように平面四角形
状で、かつ底部にいくにしたがって小面積となる逆テー
パ状の側面５を有している。ここで、この収納穴イの側
面５は各面が平坦な状態で形成されているのに対し、底
面６は第１図に示すように梨子地状の小凹凸が多数形成
され、底面６全体としては粗面に形成されている。この
ような粗面の形成は、この収納治具ｌを成形する金型（
図示せず）の底面６に整合する部位に予め薬液処理等の
手段により型子地模様を食刻しておくことにより容易に
形成することができるものである。

次に、本実施例の作用について説明する。

図示しない半導体ウェハから分割されたペレット２は回
路形成面を上面にした状態で、手作業あるいはコレット
等の移送手段により収納治具１の各収納穴４内に載置さ
れる。このとき、ペレット２の裏面が当接する収納穴４
の底面６は前記のように梨子地状の小凹凸が形成された
粗面となっている。したがって、第２図に示すようにペ
レット２の裏面は収納穴４の底面６とは全面で密着する
状態とはならない。そのため、ペレット２の裏面にウェ
ハ分割工程でのアルコール液等が被着していたとしても
ペレット２が収納穴４の底面６に密着することがなく、
収納穴４からのペレットの取り出しを容易に行うことが
できる。

このように、本実施例によれば収納穴４の底面６が一様
な梨子地状の粗面で形成されているため、収納穴４に如
何なる大きさのペレットを収納した場合であっても収納
穴底面６へのペレットの貼り付きを防止でき、ペレット
の取り出しが容易かつ確実な収納治具を提供することが
できる。

また、上記のように収納穴イの底面６を形成することに
より、コレットの真空吸引力を増加させることなくペレ
ット２の取り出しを行うことができるため、取り出しの
際のペレット２の損傷を防止できる。

［効果］ （１）、被収納物を収納する収納空間の底部を粗面で形
成することにより、被収納物の裏面が収納底面に対して
密着状態で収納されることを防止できるため、被収納物
の収納底面への貼りイ」きを防止することができる。

（２）、前記（１）により、収納治具からの被収納物の
取り出しが容易となるため、取り出しの際の真空吸引力
を低減でき、被収納物の取り出し７の際の１■傷を防止
することができる。

（３）、前記（１）により、収納治具からの被収納物の
取り出しを確実に行うことができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではな（、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることばいうまでもない。

たとえば、実施例では粗面の形状について梨了地状乙こ
形成した場合についてのみ説明したが、これに限らず他
の如何なる形状で形成してもよい。

［利用分野］ ）？ｌ上の説明では主七して本発明者によってなされた
発明をその利用分野である、半導体装置に用いられるベ
レッＩ・を収納する収納治具に適用した場合について説
明したが、これに限定されるものではなく、他のチップ
状部品の収納治具に適用し７ても有効な技術である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である収納治具の収納部を牙
くず拡大平面図、 第２図は第１図■−■線における拡大断面図、第３図は
実施例の収納治具全体を示す斜視図である。 １・・・収納治具、２・・・ペレット、３・・・治具本
体、４・・・収納穴、５・・・側面、６・・・底面。 一一−」

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被収納物を収納する収納空間の底面が粗面で形成さ
   れていることを特徴とする収納治具。 ２、粗面が梨子地状に形成されていることを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載の収納治具。 ３、被収納物が半導体ペレットであることを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載の収納治具。