JPS62204151A - 酸素センサの製造方法 - Google Patents
酸素センサの製造方法Info
- Publication number
- JPS62204151A JPS62204151A JP61047512A JP4751286A JPS62204151A JP S62204151 A JPS62204151 A JP S62204151A JP 61047512 A JP61047512 A JP 61047512A JP 4751286 A JP4751286 A JP 4751286A JP S62204151 A JPS62204151 A JP S62204151A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- oxygen
- manufacturing
- particles
- mixture
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
この発明は、自動車、ボイラ等に実装する酸素センサあ
るいは酸欠モニタとして有用な酸素センサ、特に酸素イ
オン導電性セラミックスを使用した限界電流型の酸素セ
ンサの製造方法に関する。
るいは酸欠モニタとして有用な酸素センサ、特に酸素イ
オン導電性セラミックスを使用した限界電流型の酸素セ
ンサの製造方法に関する。
従来酸素センサを製造する際には、ジルコニア等の酸素
イオン導電性セラミックスを成凰焼成して酸素イオン導
電性セラミックスの焼結体を得たのち、これにスバ、り
あるいはペーストの焼きつけ（酸素イオン導電性セラミ
ックスの焼結温度より低温で）により貴金属の電極づけ
を行って酸素センサを得ていた。酸素イオン導電性セラ
ミックスの焼結温度においては貴金属電極の焼結が進み
過ぎ電極として作用しなくなるので、貴金属電極を酸素
イオン導電性セラミックスの焼成温度と同一温度で処理
することは適当でないからである。
イオン導電性セラミックスを成凰焼成して酸素イオン導
電性セラミックスの焼結体を得たのち、これにスバ、り
あるいはペーストの焼きつけ（酸素イオン導電性セラミ
ックスの焼結温度より低温で）により貴金属の電極づけ
を行って酸素センサを得ていた。酸素イオン導電性セラ
ミックスの焼結温度においては貴金属電極の焼結が進み
過ぎ電極として作用しなくなるので、貴金属電極を酸素
イオン導電性セラミックスの焼成温度と同一温度で処理
することは適当でないからである。
従って従来法では、酸素イオン導電性セラミックスの焼
結と電極形成とを一つの１穆に短縮することは困難であ
り、また酸素センサの構造についても二工程であること
に起因して制約があり、自由な構造を選択できないなど
の欠点があった。
結と電極形成とを一つの１穆に短縮することは困難であ
り、また酸素センサの構造についても二工程であること
に起因して制約があり、自由な構造を選択できないなど
の欠点があった。
この発明は、酸素イオン導電性セラミックスを用いた限
界電流型の酸素センサにおいて、酸素イオン導電性セラ
ミックスの焼成と電極の焼きつけ形成とを同時に行なっ
て、センサの製造工程を短縮することを目的とする。
界電流型の酸素センサにおいて、酸素イオン導電性セラ
ミックスの焼成と電極の焼きつけ形成とを同時に行なっ
て、センサの製造工程を短縮することを目的とする。
この発明は、酸素イオン導電性セラミックスに比し相対
的に難焼結性のセラミックス微粒子を混合した貴金属の
微粒子を焼成して電極を形成するようにし、貴金属の微
粒子を、難焼結性のセラミックス微粒子の焼結防止作用
により酸素イオン導′電性セラミックスの焼結温度にお
いても焼結することなく多孔質に焼成せしめ、良好な電
気化学特性の電極を形成するようにしたものである。
的に難焼結性のセラミックス微粒子を混合した貴金属の
微粒子を焼成して電極を形成するようにし、貴金属の微
粒子を、難焼結性のセラミックス微粒子の焼結防止作用
により酸素イオン導′電性セラミックスの焼結温度にお
いても焼結することなく多孔質に焼成せしめ、良好な電
気化学特性の電極を形成するようにしたものである。
次に図面にもとづいて、この発明の詳細な説明する。８
モル％のイツトリア（ＹｚＯｓ ）で安定化したジルコ
ニア（ＺｒＯｚ）の超微粒子原料０粒径２００Ａ）を重
量で１００、有機溶剤を（資）、分散剤を１、消泡剤を
０．５、バインダを１７、可塑剤を９の割合で秤量し、
ボットミルで約Ｕ時間混合１分散せしめてジルコニアの
スラリを調製した。スラリは減圧処理で脱泡したあとテ
ープキャスト工程に移る。
モル％のイツトリア（ＹｚＯｓ ）で安定化したジルコ
ニア（ＺｒＯｚ）の超微粒子原料０粒径２００Ａ）を重
量で１００、有機溶剤を（資）、分散剤を１、消泡剤を
０．５、バインダを１７、可塑剤を９の割合で秤量し、
ボットミルで約Ｕ時間混合１分散せしめてジルコニアの
スラリを調製した。スラリは減圧処理で脱泡したあとテ
ープキャスト工程に移る。
テープキャストは、ドクタブレード法を用い、ポリエス
テル製のキャリアテープ上にスラリを約１５０μｍの厚
さに引き伸ばすことによって行ない、これによってジル
フェアのテープ状成型体を得た。
テル製のキャリアテープ上にスラリを約１５０μｍの厚
さに引き伸ばすことによって行ない、これによってジル
フェアのテープ状成型体を得た。
テープ状成型体は、自然乾燥後所定の昇温速度で赤外線
による乾燥を行ない、次にキャリアテープよりの剥離及
び切断を行ない、５種のグリーンシート１（第２図）、
２（第３図）、３（第４図）。
による乾燥を行ない、次にキャリアテープよりの剥離及
び切断を行ない、５種のグリーンシート１（第２図）、
２（第３図）、３（第４図）。
４（第５図）、１６（第９図）を得た。
次はパンチ工程である。グリーンシート１，４には、第
２図、第５図に示すように角穴シ、２５をそれぞれパン
チした。グリーンシート２，３には、第３図または第４
図に示すようにスルーホール１０゜１１をそれぞれパン
チした。グリーンシート１６には第９図に示すように窓
（貫通した小孔）１７をパンチした。また窓１７より径
の小さい窓１８をパンチしたグリーンシー１−１６Ａ
（図示せず）も作製した。
２図、第５図に示すように角穴シ、２５をそれぞれパン
チした。グリーンシート２，３には、第３図または第４
図に示すようにスルーホール１０゜１１をそれぞれパン
チした。グリーンシート１６には第９図に示すように窓
（貫通した小孔）１７をパンチした。また窓１７より径
の小さい窓１８をパンチしたグリーンシー１−１６Ａ
（図示せず）も作製した。
次は印刷玉稿である。グリーンシート２には、白金／ロ
ジウム合金ペーストを用い、第３図に示すパターンで厚
膜リード５を印刷し乾燥した。このトキスルーホール１
０の内壁にも白金／ロジウム合金ペーストが印刷される
。さらにグリーンシート２には４００メ、シ、のステン
レススクリーンを用い、第３図に示すパターンに従い、
電極用ペーストを印刷乾燥し、電極８を得た。このとき
電極８は第１図に示すように、ジルコニア微粒子２４Ａ
と、バインダ２４Ｂと、白金の超微粒子２４Ｃの混合体
列となっている、電極８の印刷に用いる電極用ペースト
は次のようにして調製される。直径約１００Å〜２００
Ａの大きさの白金の超微粒子２４Ｃと、粒径が６００Å
〜９００Ａの範囲にある８モル％イットリアで安定化さ
れたジルコニア微粒子２４Ａを重量で９２対８の割合で
混合したのち、バインダ２４Ｂ及び溶剤（図示せず）と
閉封１０対加の割合で混合かつ分散せしめる。
ジウム合金ペーストを用い、第３図に示すパターンで厚
膜リード５を印刷し乾燥した。このトキスルーホール１
０の内壁にも白金／ロジウム合金ペーストが印刷される
。さらにグリーンシート２には４００メ、シ、のステン
レススクリーンを用い、第３図に示すパターンに従い、
電極用ペーストを印刷乾燥し、電極８を得た。このとき
電極８は第１図に示すように、ジルコニア微粒子２４Ａ
と、バインダ２４Ｂと、白金の超微粒子２４Ｃの混合体
列となっている、電極８の印刷に用いる電極用ペースト
は次のようにして調製される。直径約１００Å〜２００
Ａの大きさの白金の超微粒子２４Ｃと、粒径が６００Å
〜９００Ａの範囲にある８モル％イットリアで安定化さ
れたジルコニア微粒子２４Ａを重量で９２対８の割合で
混合したのち、バインダ２４Ｂ及び溶剤（図示せず）と
閉封１０対加の割合で混合かつ分散せしめる。
・ グリーンシート３には、グリーンシート２の印刷に
用いたものと同一の白金／ロジウム合金ペーストを用い
、第４図に示すパターンに従い厚膜リード６．６Ａを印
刷し乾燥した。このときスルーホール１１の内壁も同時
印刷される。グリーンシート３の裏側には、厚膜リード
６と対称の位置に厚膜リード７を印刷し乾燥した。さら
にグリーンシート３の同じ裏側には、グリーンシート２
の電極の印刷に用いたものと同一の電極用ペーストを用
い、第４図に示すパターンに従い印刷乾燥を行ない、電
極９を得た。この場合も電極９は電極８と同じように混
合体路を形成している。
用いたものと同一の白金／ロジウム合金ペーストを用い
、第４図に示すパターンに従い厚膜リード６．６Ａを印
刷し乾燥した。このときスルーホール１１の内壁も同時
印刷される。グリーンシート３の裏側には、厚膜リード
６と対称の位置に厚膜リード７を印刷し乾燥した。さら
にグリーンシート３の同じ裏側には、グリーンシート２
の電極の印刷に用いたものと同一の電極用ペーストを用
い、第４図に示すパターンに従い印刷乾燥を行ない、電
極９を得た。この場合も電極９は電極８と同じように混
合体路を形成している。
次は積層工程である。積層工程では、先づ最初にグリー
ンシート２．３間に、第６図および第７図に示す位置に
白金ワイヤ１３ 、１３Ａを配置し、ホ。
ンシート２．３間に、第６図および第７図に示す位置に
白金ワイヤ１３ 、１３Ａを配置し、ホ。
ドブレスの手法によりグリーンシート２とグリーンシー
ト３を接着せしめて白金ワイヤ１３ 、１３Ａをグリー
ンシート２とグリーンシート３０間に挾持せしめた。次
にグリーンシート１，４を先に接着重合せしめたグリー
ンシート２，３の上側及び下側にそれぞれ配置し、ホ、
ドブレスの手法で、グリーンシートｌ、２，３．４の全
部を接着重合せしめ、第７図に示すようにグリーンシー
トの積層体１２を得た。第６図に積層の状態を示す。
ト３を接着せしめて白金ワイヤ１３ 、１３Ａをグリー
ンシート２とグリーンシート３０間に挾持せしめた。次
にグリーンシート１，４を先に接着重合せしめたグリー
ンシート２，３の上側及び下側にそれぞれ配置し、ホ、
ドブレスの手法で、グリーンシートｌ、２，３．４の全
部を接着重合せしめ、第７図に示すようにグリーンシー
トの積層体１２を得た。第６図に積層の状態を示す。
次は焼成工程である。グリーンシートの積層体１２は、
空気中で１時間あたり１２５℃の速度で５００℃まで上
昇し、バインダを酸化燃焼せしめた。
空気中で１時間あたり１２５℃の速度で５００℃まで上
昇し、バインダを酸化燃焼せしめた。
５００℃以上は前と同様空気中で１時間２５０℃の速度
で１５００℃まで昇温し、ここで１時間保持し、角溝ｎ
、２３を有するジルコニアの焼結体を得た。
で１５００℃まで昇温し、ここで１時間保持し、角溝ｎ
、２３を有するジルコニアの焼結体を得た。
この工程で電極の焼つけ形成も同時に行なわれる。
最後にジルコニア焼結体の片側表面にプラズマ溶射の手
法でスピネル等のセラミ、レスを溶射してセラミ、クコ
−ティング１４を形成し、第８図に示すような溶射セラ
ミ、クコ−ティングつき酸素センサ１５を得た。また積
層工程でグリーンシート１．２，３．４を積層重合した
あとこの積層重合体の下側には第９図に示す窓１７をパ
ンチしたグリーンシート１６．上側には窓１７より径の
小さい窓１８をパンチしたグリーンシート１６Ａ（図示
せず）を配置シ、ホ、ドブレスの手法でグリーンシート
１６Ａ。
法でスピネル等のセラミ、レスを溶射してセラミ、クコ
−ティング１４を形成し、第８図に示すような溶射セラ
ミ、クコ−ティングつき酸素センサ１５を得た。また積
層工程でグリーンシート１．２，３．４を積層重合した
あとこの積層重合体の下側には第９図に示す窓１７をパ
ンチしたグリーンシート１６．上側には窓１７より径の
小さい窓１８をパンチしたグリーンシート１６Ａ（図示
せず）を配置シ、ホ、ドブレスの手法でグリーンシート
１６Ａ。
１ 、２ 、３ 、４ 、１６の６枚全部を接着重合さ
せることができる。これを焼成することにより、第１０
図に示すような空間１９ 、２０を有する窓つき酸素セ
ンサ２１を得ることもできる。
せることができる。これを焼成することにより、第１０
図に示すような空間１９ 、２０を有する窓つき酸素セ
ンサ２１を得ることもできる。
以上のようにスラリ調製、テープキャスト、パンチ、印
刷、積層、焼成の工程により酸素センサ１５、または酸
素センサ２１を得る。
刷、積層、焼成の工程により酸素センサ１５、または酸
素センサ２１を得る。
次に作用を説明する。イツ） ＩＪア（ＹｚＯｓ ）で
安定化したジルコニアの超微粒子は、 １５００℃で１
時間の焼成を行なうと焼結した酸素イオン導電性セラミ
、レスとなる。厚膜リードとして使用する白金／ロジウ
ム合金は、ロジウムを含有しているため耐熱性に優れ、
１５００℃で焼成したとき電気的に良好な導通を示す厚
膜リードとなる。
安定化したジルコニアの超微粒子は、 １５００℃で１
時間の焼成を行なうと焼結した酸素イオン導電性セラミ
、レスとなる。厚膜リードとして使用する白金／ロジウ
ム合金は、ロジウムを含有しているため耐熱性に優れ、
１５００℃で焼成したとき電気的に良好な導通を示す厚
膜リードとなる。
電極用ペーストは白金の超微粒子２４Ｃの他にバインダ
２４Ｂとジルコニア微粒子２４Ａを含んでおり、これを
印刷乾燥するとジルコニア微粒子２４Ａと白金の超微粒
子２４Ｃがそれぞれバインダ２４Ｂに被包された状態で
相互に接着した混合体路が形成される。この混合体路を
焼成するとバインダは燃焼揮散し、あとにジルコニア微
粒子と白金の超微粒子が残るが、このときジルコニア微
粒子は粒径が６００Å〜９００Ａと大きく自ら焼結し難
いうえ白金の超微粒子に対し焼結防止剤として働く。従
って混合体Ｕを酸素イオン導電性セラミ、レス薄板とな
るジルコニアの超微粒子（粒径２００ Ａ ）の焼結温
度と同一の温ｉ １５００℃で焼成すると、白金の超微
粒子は焼結することなく多孔質の状態に焼成され、電気
的にも導通状態でかつ電気化学的にも活性な電極が形成
される。
２４Ｂとジルコニア微粒子２４Ａを含んでおり、これを
印刷乾燥するとジルコニア微粒子２４Ａと白金の超微粒
子２４Ｃがそれぞれバインダ２４Ｂに被包された状態で
相互に接着した混合体路が形成される。この混合体路を
焼成するとバインダは燃焼揮散し、あとにジルコニア微
粒子と白金の超微粒子が残るが、このときジルコニア微
粒子は粒径が６００Å〜９００Ａと大きく自ら焼結し難
いうえ白金の超微粒子に対し焼結防止剤として働く。従
って混合体Ｕを酸素イオン導電性セラミ、レス薄板とな
るジルコニアの超微粒子（粒径２００ Ａ ）の焼結温
度と同一の温ｉ １５００℃で焼成すると、白金の超微
粒子は焼結することなく多孔質の状態に焼成され、電気
的にも導通状態でかつ電気化学的にも活性な電極が形成
される。
このようにして酸素イオン導゛晟性セラミ、レスの焼結
と、良好な特性の１！極の焼付は王権とを同一の温度で
実施できるので、この２工程を個別に行なう必要はなく
、単一の工程に鉛線して実施することが可能となり、従
来の２工程の製造工程に比して製造コストを低減できる
。
と、良好な特性の１！極の焼付は王権とを同一の温度で
実施できるので、この２工程を個別に行なう必要はなく
、単一の工程に鉛線して実施することが可能となり、従
来の２工程の製造工程に比して製造コストを低減できる
。
次に酸素センサの動作を説明する。第８図に示すような
酸素センサ１５においては、ｆ極８と電極９０間には定
電位が印加され、電極８はカソード、電極９はアノード
として動作する。セラミックコーティング１４は、スピ
ネル等の多孔質厚膜で酸素拡散制限手段である。酸素ガ
スは、このセラミックコーティング１４のボアを拡散し
て電極８（カソード）に到達する。ここで（１）の反応
によって酸素イオンとなる。
酸素センサ１５においては、ｆ極８と電極９０間には定
電位が印加され、電極８はカソード、電極９はアノード
として動作する。セラミックコーティング１４は、スピ
ネル等の多孔質厚膜で酸素拡散制限手段である。酸素ガ
スは、このセラミックコーティング１４のボアを拡散し
て電極８（カソード）に到達する。ここで（１）の反応
によって酸素イオンとなる。
Ｏｚ＋４ｅ→２０２− ｉｌｌ酸素
イオンｒｏ２−）は導電性セラミ、レスであるジルコニ
アの薄板５の内部を拡散して電極９（アノード）に到達
し、ここで（２）の反応によって酸素分子（０２）とな
る。
イオンｒｏ２−）は導電性セラミ、レスであるジルコニ
アの薄板５の内部を拡散して電極９（アノード）に到達
し、ここで（２）の反応によって酸素分子（０２）とな
る。
２０ →０２ ＋ ４ ｅ （２１
この酸素分子は酸素センサの系外に去る。このときセラ
ミ、クコ−ティング１４が酸素拡散制限手段となってい
るため、セラミ、クコ−ティング１４のボアを拡散して
電極８の裏面に到達する酸素ガスの量は雰囲気の酸素ガ
スの分圧に依存するので、酸素イオン導電性セラミ、レ
スの内部を拡散する酸素イオン電流の大きさは、雰囲気
の酸素分圧に比例することになる。
この酸素分子は酸素センサの系外に去る。このときセラ
ミ、クコ−ティング１４が酸素拡散制限手段となってい
るため、セラミ、クコ−ティング１４のボアを拡散して
電極８の裏面に到達する酸素ガスの量は雰囲気の酸素ガ
スの分圧に依存するので、酸素イオン導電性セラミ、レ
スの内部を拡散する酸素イオン電流の大きさは、雰囲気
の酸素分圧に比例することになる。
第１０図に示すような酸素センサ２１におい【は、酸素
ガスは窓１８を拡散して電極８に到達する。以下の動作
は第８図の場合と同様である。ここで窓１８は酸素拡散
制限手段である。また酸素センサ２１においては、電極
８，９は酸素イオン導電性セラミ、レスの内部に設けら
れている。これは酸素イオン導電性セラミ、レスと電極
とを同時焼成することによってはじめて達成可能な構造
である。電極８，９の印刷に用いられる電極用ペースト
は貴金属の微粒子として白金の他ロジウム、イリジウム
等の貴金属の微粒子を用いてもよく、またそれらの合金
の微粒子を用いてもよい。焼結防止剤としては、酸素イ
オン導電性セラミックスに対し相対的に難焼結性のセラ
ミ、レス、例えばアルミナ（Ａｌ３２０ｓ ） 、
ｌ’リア（Ｔｈ０２ ）等の適当な粒度の微粒子を用い
ることができる。
ガスは窓１８を拡散して電極８に到達する。以下の動作
は第８図の場合と同様である。ここで窓１８は酸素拡散
制限手段である。また酸素センサ２１においては、電極
８，９は酸素イオン導電性セラミ、レスの内部に設けら
れている。これは酸素イオン導電性セラミ、レスと電極
とを同時焼成することによってはじめて達成可能な構造
である。電極８，９の印刷に用いられる電極用ペースト
は貴金属の微粒子として白金の他ロジウム、イリジウム
等の貴金属の微粒子を用いてもよく、またそれらの合金
の微粒子を用いてもよい。焼結防止剤としては、酸素イ
オン導電性セラミックスに対し相対的に難焼結性のセラ
ミ、レス、例えばアルミナ（Ａｌ３２０ｓ ） 、
ｌ’リア（Ｔｈ０２ ）等の適当な粒度の微粒子を用い
ることができる。
この発明では、酸素イオン導電性セラミ、レスに対し相
対的に難焼結性のセラミックス微粒子を混合した貴金属
の微粒子を焼成して電極を形成したので、貴金属の微粒
子は難焼結性のセラミックス微粒子の焼結防止作用によ
り、酸素イオン導電性セラミ、レスの焼結温度において
も焼結することなく多孔質に焼成され、良好な電気化学
特性の電極が形成されることになり、その結果酸素イオ
ン導電性セラミ、レスの焼結と電極の焼付形成とを別工
穆で行なうことなく単一の焼成工程で実施して、センサ
の裂造工穆を短縮することが可能になる。
対的に難焼結性のセラミックス微粒子を混合した貴金属
の微粒子を焼成して電極を形成したので、貴金属の微粒
子は難焼結性のセラミックス微粒子の焼結防止作用によ
り、酸素イオン導電性セラミ、レスの焼結温度において
も焼結することなく多孔質に焼成され、良好な電気化学
特性の電極が形成されることになり、その結果酸素イオ
ン導電性セラミ、レスの焼結と電極の焼付形成とを別工
穆で行なうことなく単一の焼成工程で実施して、センサ
の裂造工穆を短縮することが可能になる。
また難焼結性のセラミックス微粒子を混合した貴金属の
微粒子を焼成して電極を形成し、酸素イオン導電性セラ
ミ、レスの焼結と電極の焼付形成とを単一の焼成工程で
実施することにした結果。
微粒子を焼成して電極を形成し、酸素イオン導電性セラ
ミ、レスの焼結と電極の焼付形成とを単一の焼成工程で
実施することにした結果。
電極を酸素イオン導電性セラミ、レスの内部に設けるこ
とが可能となり、酸素センサの構造につき選択の巾を広
げる効果も得られる。
とが可能となり、酸素センサの構造につき選択の巾を広
げる効果も得られる。
第１図はこの発明の実施例の難焼結性のセラミックス微
粒子としてのジルコニア微粒子と、バインダと、貴金属
の微粒子としての白金の超微粒子の混合体の混合の状態
を示す説明図、第２図はこの発明の実施例の角穴つきシ
ートを示し％（ａｔはその平面図、（ｂ）はその側面図
、第３図はこの発明の実施例の電極つきシートを示し、
（ａ）はその平面図。 （ｂｌはそのＣＤ切断面図、第４図はこの発明の実施例
の他の電極つきシートを示し、（ａ）はその平面図。 （ｂｌはそのＥＦ切断面図、第５図はこの発明の他の角
穴つきシートを示し、（ａ）はその平面図、（ｂ）はそ
の側面図、第６図はこの発明の実施例のグリーンシート
積増体１２の積層の状態を示す積層配宜図、第７図はこ
の発明の実施例のグリーンシート積層体を示しくａ）は
その平面図、（ｂ）はその側面図、第８図はこの発明の
実施例の溶射セラミ、クコ−ティングつき酸素センサを
示し、（ａｔはその平面図、（ｂ）はその中央切断面図
、第９図はこの発明の実施例の窓（貫通小孔）つきグリ
ーンシートラ示し、ｆａ）はその平面図、（ｂ）はその
側面図、第１０図はこの発明の実施例の窓つき酸素セン
サを示し、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその中央切断
面図である。 ２４Ａ・・・ジルコニア微粒子、 ２４Ｂ・・・バイン
ダ、２４Ｃ・・・白金の超微粒子、囚・・・電極となる
べき混合体、２・・・ジルコニアのグリーンシート。 第１図 （ａ） （ｂ） ｐＪ２図 （ａ） （ｂ） 第４ズ ２５（Ｇ） （ｂ） 第５図 Ｂ６図 第７図 第８図 （ａ ） （ｂ ）第９図 （ａ） （ｂ） 第１０図
粒子としてのジルコニア微粒子と、バインダと、貴金属
の微粒子としての白金の超微粒子の混合体の混合の状態
を示す説明図、第２図はこの発明の実施例の角穴つきシ
ートを示し％（ａｔはその平面図、（ｂ）はその側面図
、第３図はこの発明の実施例の電極つきシートを示し、
（ａ）はその平面図。 （ｂｌはそのＣＤ切断面図、第４図はこの発明の実施例
の他の電極つきシートを示し、（ａ）はその平面図。 （ｂｌはそのＥＦ切断面図、第５図はこの発明の他の角
穴つきシートを示し、（ａ）はその平面図、（ｂ）はそ
の側面図、第６図はこの発明の実施例のグリーンシート
積増体１２の積層の状態を示す積層配宜図、第７図はこ
の発明の実施例のグリーンシート積層体を示しくａ）は
その平面図、（ｂ）はその側面図、第８図はこの発明の
実施例の溶射セラミ、クコ−ティングつき酸素センサを
示し、（ａｔはその平面図、（ｂ）はその中央切断面図
、第９図はこの発明の実施例の窓（貫通小孔）つきグリ
ーンシートラ示し、ｆａ）はその平面図、（ｂ）はその
側面図、第１０図はこの発明の実施例の窓つき酸素セン
サを示し、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその中央切断
面図である。 ２４Ａ・・・ジルコニア微粒子、 ２４Ｂ・・・バイン
ダ、２４Ｃ・・・白金の超微粒子、囚・・・電極となる
べき混合体、２・・・ジルコニアのグリーンシート。 第１図 （ａ） （ｂ） ｐＪ２図 （ａ） （ｂ） 第４ズ ２５（Ｇ） （ｂ） 第５図 Ｂ６図 第７図 第８図 （ａ ） （ｂ ）第９図 （ａ） （ｂ） 第１０図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １） 酸素イオン導電性セラミックスの薄板と、該セラ
ミックス薄板表面に設けられかつ電流をとり出す作用を
営なむ電極と、該電極への酸素の供給を制限する酸素拡
散制限手段とを備えた限界電流型の酸素センサの製造方
法において、酸素イオン導電性セラミックスに比し相対
的に難焼結性のセラミックス微粒子と、バインダと、貴
金属の微粒子との混合体を形成し、かつこれを焼成して
前記電極を形成することを特徴とする酸素センサの製造
方法。 ２） 特許請求の範囲第１項記載の製造方法において、
難焼結性のセラミック微粒子として粒径６００Å〜９０
０Åの大きさのイットリア安定化ジルコニアを用いるこ
とを特徴とする酸素センサの製造方法。 ３） 特許請求の範囲第１項記載の製造方法において、
貴金属の微粒子として粒径１００Å〜２００Åの白金を
用いることを特徴とする酸素センサの製造方法。 ４） 特許請求の範囲第１項記載の製造方法において、
混合体は有機溶剤に難焼結性のセラミックス微粒子とバ
インダと貴金属の微粒子を分散させてペーストを調製し
、これを所定厚に印刷しかつ乾燥して形成することを特
徴とする酸素センサの製造方法。 ５） 特許請求の範囲第１項記載の製造方法において、
混合体の焼成は１４００℃〜１５００℃の範囲内の温度
で少なくとも１時間行なうことを特徴とする酸素センサ
の製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61047512A JPS62204151A (ja) | 1986-03-05 | 1986-03-05 | 酸素センサの製造方法 |
| US07/008,655 US4762605A (en) | 1986-02-01 | 1987-01-30 | Oxygen sensor |
| DE19873702838 DE3702838A1 (de) | 1986-02-01 | 1987-01-30 | Sauerstoffsensor und verfahren zu seiner herstellung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61047512A JPS62204151A (ja) | 1986-03-05 | 1986-03-05 | 酸素センサの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62204151A true JPS62204151A (ja) | 1987-09-08 |
Family
ID=12777160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61047512A Pending JPS62204151A (ja) | 1986-02-01 | 1986-03-05 | 酸素センサの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62204151A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006202601A (ja) * | 2005-01-20 | 2006-08-03 | Kyocera Corp | セラミックヒーターおよびその製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5578246A (en) * | 1978-12-06 | 1980-06-12 | Bosch Gmbh Robert | Production of cermet electrode of gas sensor |
| JPS59163558A (ja) * | 1983-03-09 | 1984-09-14 | Ngk Insulators Ltd | 電気化学的装置 |
| JPS59166856A (ja) * | 1982-11-12 | 1984-09-20 | Hitachi Ltd | 酸素センサの製造方法 |
-
1986
- 1986-03-05 JP JP61047512A patent/JPS62204151A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5578246A (en) * | 1978-12-06 | 1980-06-12 | Bosch Gmbh Robert | Production of cermet electrode of gas sensor |
| JPS59166856A (ja) * | 1982-11-12 | 1984-09-20 | Hitachi Ltd | 酸素センサの製造方法 |
| JPS59163558A (ja) * | 1983-03-09 | 1984-09-14 | Ngk Insulators Ltd | 電気化学的装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006202601A (ja) * | 2005-01-20 | 2006-08-03 | Kyocera Corp | セラミックヒーターおよびその製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6319626B1 (en) | Cathode composition for solid oxide fuel cell | |
| EP0134136B1 (en) | A method of producing ceramics | |
| JPH08509570A (ja) | 改善された固体電解質／電極境界面を有する耐熱性燃料セルおよびこの境界面の製造法 | |
| CA2450679A1 (en) | Nano-composite electrodes and method of making the same | |
| WO2013015115A1 (ja) | 固体酸化物形燃料電池 | |
| JPH0437944B2 (ja) | ||
| US6548203B2 (en) | Cathode composition for solid oxide fuel cell | |
| JP2003197219A (ja) | 固体酸化物形燃料電池および製造方法 | |
| JP3542802B2 (ja) | 焼結電解質にサーメット電極層を取り付ける方法 | |
| JP3372195B2 (ja) | ＮＯｘガス濃度検出器及び検出器に用いる電極の製造方法 | |
| US4762605A (en) | Oxygen sensor | |
| JPH04166757A (ja) | 酸素センサ素子の製造方法 | |
| JP4456839B2 (ja) | ＮＯｘ検知用セル及びその製造方法並びに該セルを備えたＮＯｘ検出装置 | |
| JPS6126022B2 (ja) | ||
| JPH08213029A (ja) | 固体電解質型燃料電池の燃料電極 | |
| CN108700544A (zh) | 用于形成气体传感器电极的金属糊 | |
| DE3726479C2 (de) | Verfahren zur Erzeugung von elektrisch-isolierenden Bereichen oder Schichten in oder auf O·2··-·-Ionen leitenden Festelektrolytsubstraten sowie Zusammensetzung zur Durchführung des Verfahrens | |
| JPS62204151A (ja) | 酸素センサの製造方法 | |
| TWI648537B (zh) | Gas sensing electrode and method of manufacturing same | |
| JP2025089100A (ja) | 固体酸化物形電気化学セル製造用電解質粒子及びその製造方法、電解質形成用分散液、並びに、電解質焼結体及びその製造方法 | |
| JPH05190183A (ja) | 固体電解質型燃料電池 | |
| JP3635191B2 (ja) | ガスセンサ | |
| JPH067119B2 (ja) | 空燃比センサ | |
| JPH1022166A (ja) | 多層セラミックコンデンサーの製造方法 | |
| JPH0574465A (ja) | 固体電解質型燃料電池の製造方法 |