JPS622111A - 反射光による表面粗さ計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （ａ）発明の技術分野 この発明は、光源の光を被測定物に照射し、被測定物か
らの鏡面反射光と散乱光とを検出して被測定物の表面の
粗さを測定する場合において、光源以外の自然光や室内
の照明光などが被測定物に入ってきても、光源以外の光
の影響を受けないで被測定物の表面の粗さを測定するこ
とができる表面粗さ計に関するものである。

Ｔａｌ従来技術と問題点 反射光による表面粗さ計は、被測定物に光源の光を照射
し、被測定物からの反射光を検出して被測定物の表面の
粗さを測定する。この場合、測定パラメータとして、鏡
面反射光の光強度と、ある特定の反射方向の散乱光強度
とを求め、これらを比較して被Ｍ１定物の表面の粗さを
測定する。

このような場合の従来技術の構成図を第２図に示す。

第２図の１は光源、２と３は検出器、４は被測定物であ
る。

第２図では、光源１の光を被測定物４に入射角θで照射
し、被測定物４からの鏡面反射光が反射角θで反射して
いる。検出器２は反射角θの鏡面反射光を検出する。

被測定物４からは、表面の粗さに応じて鏡面反　、　　
　　□射光以外の散乱光が発生する。

検出器３は、鏡面反射光以外の特定の反射角に対する散
乱光を検出するためのものである。

第２図のような場合で、光源以外の自然光や室内の照明
光などが被測定物４に入ってくるような条件下では、検
出器２の出力と検出器３の出力の比を求めても、光源以
外の外来光が出力として検出されるので、周囲の明るさ
によって測定結果が変わってしまい、正確な測定ができ
ないという問題がある。

（ｃ）発明の目的 この発明は、測定系を特別に遮蔽しなくても光源以外の
光の影響を受けないで測定をすることができる表面粗さ
計の提供を目的とする。

（ｄ）発明の実施例 この発明による実施例の構成図を第１図に示す。

第１図の５は変調器、６と７はフィルタである。

変調器５は、光源１を変調周波数で変調する。

変調器５で変調された光源１の光はチＩＩ−／プ光とな
って被測定物４を照射し、検出器２と検出器３で検出さ
れる。

光源１以外の光が交流電源で点灯されている場合には、
変調器５の変調周波数を例えば２７０Ｈｚなどのように
交流電源の周波数の整数倍にならないような周波数にす
る。これは、交流電源の影響をな（すためである。

フィルタ６は検出４２の出力に接続されており、検出器
２で検出した鏡面反射光の中から変調周波数の成分だけ
を取り出す。

フィルタ７は検出器３の出力に接続されており、検出器
３で検出した散乱光の中から変調周波数の成分だけを取
り出す。

したがって、フィルタ６の出力とフィルタ７の出力には
光Ｒ１以外の外来光の影響を受けない出力が得られるの
で、被測定物４の表面の粗さを正確に測定することがで
きる。

（ｅ）発明の効果 この発明によれば、光源１を変調器５の変調周波数で変
調し、検出器２の出力と検出器３の出力からそれぞれフ
ィルタ６とフィルタ７で変調周波数を取り出しているの
で、光源１以外の外来光が被測定物４に入ってきても、
外米光の影響を受けることな（、被測定物４の表面の粗
さを測定することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による実施例の構成図、第２図は従来
技術の構成図。 １・・・・・・光源、２・・・・・・検出器、３・・・
・・・検出器、４・・・・・・被測定物、５・・・・・
・変調器、６・・・・・・フィルタ、７・・・・・・フ
ィルタ。 代理人　　弁理士　　小　俣　欽　ｄ１ｊ！１　２　　
図 検出器

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　光源の光を被測定物に照射し、前記被測定物からの
   鏡面反射光と散乱光を検出器で検出する表面粗さ計にお
   いて、 前記光源を変調周波数で変調する変調器と、前記検出器
   の出力から前記変調周波数を取り出すフィルタとを備え
   ることを特徴とする反射光による表面粗さ計。