JPS62220893A - 微小回転装置 - Google Patents
微小回転装置Info
- Publication number
- JPS62220893A JPS62220893A JP6412786A JP6412786A JPS62220893A JP S62220893 A JPS62220893 A JP S62220893A JP 6412786 A JP6412786 A JP 6412786A JP 6412786 A JP6412786 A JP 6412786A JP S62220893 A JPS62220893 A JP S62220893A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- micro
- actuator
- present
- thin plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、露光装置のマスク、ウェハ位置合わせ機構、
高精度加工機、精密測定機、半導体製造装置等に適用す
る微小回転装置に関する。
高精度加工機、精密測定機、半導体製造装置等に適用す
る微小回転装置に関する。
（従来の技術）
従来の被加工物が塔載されたテーブルを微小角度だけ回
転させる機構としては、通常、パルスモータの回転をウ
オームギヤ及び送りネジ等を介してテーブルに伝達する
構造のものが使用されている。しかし、このような構造
のものは、ギヤ及びネジのバックラッシュ或いはパルス
モータの回転分解能等によってテーブルの回転精度９分
解能を高めることは殖しかった。
転させる機構としては、通常、パルスモータの回転をウ
オームギヤ及び送りネジ等を介してテーブルに伝達する
構造のものが使用されている。しかし、このような構造
のものは、ギヤ及びネジのバックラッシュ或いはパルス
モータの回転分解能等によってテーブルの回転精度９分
解能を高めることは殖しかった。
これに対して例えば、特開昭６０−１３１１３９号公報
や特開昭６０−１３１１４０号公報には圧電素子の伸縮
を微小回転の駆動源に利用することによって回転精度を
向上させた微小回転装置が記載されている。
や特開昭６０−１３１１４０号公報には圧電素子の伸縮
を微小回転の駆動源に利用することによって回転精度を
向上させた微小回転装置が記載されている。
しかし、これらの微小回転装置は４つ若しくは６つの圧
ｉｔ素子を順次伸張、収縮させて尺取虫の如く繰り返し
行なうことによって回転させるものであるため、構造が
複雑となり、応答速度も遅い等の問題が生じていた。
ｉｔ素子を順次伸張、収縮させて尺取虫の如く繰り返し
行なうことによって回転させるものであるため、構造が
複雑となり、応答速度も遅い等の問題が生じていた。
（発明が解決しようとする問題点）
上述したごとく、従来の微小回転装置では圧電素子の数
も多く構造が複雑で応答速度が遅いといった問題が生じ
ていた。
も多く構造が複雑で応答速度が遅いといった問題が生じ
ていた。
目的とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明の微小回転装置は、おおまがな位置決めのなされ
るベースにテーブルを薄肉板を介して回転可能に支持し
、テーブルに回転モーメントを与えるアクチュエータを
具備して構成している。
るベースにテーブルを薄肉板を介して回転可能に支持し
、テーブルに回転モーメントを与えるアクチュエータを
具備して構成している。
（作 用）
このように構成された微小回転装置は、テーブルに回転
モーメントを与えるアクチュエータを駆動することによ
り、テーブルをベースに連結している薄肉板をわずかに
変形させテーブルをベースに対して微小に回転させるこ
とができる。
モーメントを与えるアクチュエータを駆動することによ
り、テーブルをベースに連結している薄肉板をわずかに
変形させテーブルをベースに対して微小に回転させるこ
とができる。
（実施例）
以下図面を参照しながら本発明の第１の実施例を説明す
る。
る。
第１図は、本発明の微小回転装置の第１の実施例を示す
平面図、第２図は第１図のＡＯＢ線断面図である。
平面図、第２図は第１図のＡＯＢ線断面図である。
第１図と第２図において、固定側であるベース１は、周
知の移動機構によりおおまがな位置決めがなされるもの
で、この移動機構については図示及び説明は省略する。
知の移動機構によりおおまがな位置決めがなされるもの
で、この移動機構については図示及び説明は省略する。
ベース１は略中央部に円形状の凸部１ａを有し、凸部１
ａの周囲には微小間隙を有してテーブル２が配置されて
いる。このベース１とテーブル２は弾性を有する薄肉板
３を介して連結され、テーブル２はベース１の周囲に回
動可能に支持されている０図示の実施例においては、一
体構造のベース１とテーブル２を例えばワイヤーカット
放電加工機等で溝部７をくりぬくようにして形成してい
る。
ａの周囲には微小間隙を有してテーブル２が配置されて
いる。このベース１とテーブル２は弾性を有する薄肉板
３を介して連結され、テーブル２はベース１の周囲に回
動可能に支持されている０図示の実施例においては、一
体構造のベース１とテーブル２を例えばワイヤーカット
放電加工機等で溝部７をくりぬくようにして形成してい
る。
そしてテーブル２の周囲に腕部２ａを突設し、一端がベ
ース１に固定されたアクチュエータ４の他の一端が腕部
２ａに取付けられている。アクチュエータ４は例えば圧
電素子がら構成され電圧を印加 ゛することによ
って伸縮可能である。アクチュエータ４を伸縮させてテ
ーブル２に回転モーメントを与えることにより、直接テ
ーブル２を回転させるためベース１に対してテーブル２
を微小かつ高精度に応答速度をはやく回転させることが
できる。
ース１に固定されたアクチュエータ４の他の一端が腕部
２ａに取付けられている。アクチュエータ４は例えば圧
電素子がら構成され電圧を印加 ゛することによ
って伸縮可能である。アクチュエータ４を伸縮させてテ
ーブル２に回転モーメントを与えることにより、直接テ
ーブル２を回転させるためベース１に対してテーブル２
を微小かつ高精度に応答速度をはやく回転させることが
できる。
この微小回転装置の構成として、テーブル２をベース１
に連結支持する薄肉板３及びテーブル２の腕部２ａ、そ
して腕部２ａに取付けられるアクチュエータ４は、望ま
しくは、第１図に示すように各々対象に略等間隔で２ケ
所及び２個以上設けるのがよいが、これに限られたもの
ではない、つまり。
に連結支持する薄肉板３及びテーブル２の腕部２ａ、そ
して腕部２ａに取付けられるアクチュエータ４は、望ま
しくは、第１図に示すように各々対象に略等間隔で２ケ
所及び２個以上設けるのがよいが、これに限られたもの
ではない、つまり。
ベース１に対してテーブル２が回転可能なように支持さ
れ、テーブル２に回転モーメントが与えられるようなア
クチュエータを設けることによって簡単な構成で本発明
の作用効果を得ることができる。
れ、テーブル２に回転モーメントが与えられるようなア
クチュエータを設けることによって簡単な構成で本発明
の作用効果を得ることができる。
次に第３図と第４図を参照して本発明の第２の実施例を
説明するが、第１図及び第２図と同一部分若しくは相当
する部分には同一符号を付してその説明は省略する。
説明するが、第１図及び第２図と同一部分若しくは相当
する部分には同一符号を付してその説明は省略する。
第３図と第４図においては、微小回転のみならずテーブ
ル２の平面度も調整できるようにしたものである。ベー
ス１の凸部１ａの外周側で薄肉板３の近傍に上下方向に
変形可能な薄肉部８を形成して、これに上下方向に伸縮
可能な例えば圧電素子等から成るアクチュエータ５を取
付けている。この薄肉部８を薄肉板３と同数、平面度を
調整するには３ケ所以上設ければよい。
ル２の平面度も調整できるようにしたものである。ベー
ス１の凸部１ａの外周側で薄肉板３の近傍に上下方向に
変形可能な薄肉部８を形成して、これに上下方向に伸縮
可能な例えば圧電素子等から成るアクチュエータ５を取
付けている。この薄肉部８を薄肉板３と同数、平面度を
調整するには３ケ所以上設ければよい。
以上筒１の実施例及び第２の実施例に共通して薄肉板３
は移動側のテーブル２にもぐり込ませた構成となってい
る。これは例えば第５図に示すような構成にしたもの、
つまり薄肉板３をテーブル２にもぐり込ませずに、ベー
ス１とテーブル２を単純に連結したものと比較すると小
型化が可能であると供に強度的にも優れたものとなって
いる。
は移動側のテーブル２にもぐり込ませた構成となってい
る。これは例えば第５図に示すような構成にしたもの、
つまり薄肉板３をテーブル２にもぐり込ませずに、ベー
ス１とテーブル２を単純に連結したものと比較すると小
型化が可能であると供に強度的にも優れたものとなって
いる。
第６図と第７図は、本発明の微小回転装置の変形例を示
すものであり、第１図と同一部分若しくは相当する部分
については同一符号を付して説明は省略している。
すものであり、第１図と同一部分若しくは相当する部分
については同一符号を付して説明は省略している。
第６図においては、薄肉板３は固定側のベース１にもぐ
り込ませた構成となっており、テーブル２にもぐり込ま
せた構成と同様な作用効果を得ることができる。
り込ませた構成となっており、テーブル２にもぐり込ま
せた構成と同様な作用効果を得ることができる。
第７図においては、ベース１の凸部１ａ、テーブル２の
形状が円形に限らず角形のテーブル２にも応用できるこ
とを示しており、本発明の作用効果を同様に得ることが
できるに のように本発明はその要旨を変更しない範囲において種
々変形して用いることができる。
形状が円形に限らず角形のテーブル２にも応用できるこ
とを示しており、本発明の作用効果を同様に得ることが
できるに のように本発明はその要旨を変更しない範囲において種
々変形して用いることができる。
以上詳述してきたように本発明によれば、簡単な構造で
小型かつ応答速度の速い微小回転装置が得られる。
小型かつ応答速度の速い微小回転装置が得られる。
第１図は、本発明の微小回転装置の第１の実施例を示す
平面図、第２図は、第１図におけるＡＯＢ線断面図、第
３図は、本発明の微小回転装置の第２の実施例を示す平
面図、第４図は、第３図におけるＡＯＢ線断面図、第５
図は、本発明の詳細な説明するための平面図、第６図と
第７図は、本発明の微小回転装置の変形例を示す平面図
である。 １・・・ベース ２・・・テーブル３・・・薄
肉板 ４・・・アクチュエータ５・・・アクチ
ュエータ 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 第 １ 図 第２図 第 ３ 図 第 ４ 図
平面図、第２図は、第１図におけるＡＯＢ線断面図、第
３図は、本発明の微小回転装置の第２の実施例を示す平
面図、第４図は、第３図におけるＡＯＢ線断面図、第５
図は、本発明の詳細な説明するための平面図、第６図と
第７図は、本発明の微小回転装置の変形例を示す平面図
である。 １・・・ベース ２・・・テーブル３・・・薄
肉板 ４・・・アクチュエータ５・・・アクチ
ュエータ 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 第 １ 図 第２図 第 ３ 図 第 ４ 図
Claims (2)
- （１）ベースとこのベースに対して回転可能なテーブル
と、このテーブルを前記ベースに回転可能に支持する薄
肉板と、前記テーブルに回転モーメントを与えるアクチ
ュエータとを具備したことを特徴とする微小回転装置。 - （２）前記テーブルを前記ベースに対して上下動させる
アクチュエータを具備したことを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の微小回転装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6412786A JPS62220893A (ja) | 1986-03-24 | 1986-03-24 | 微小回転装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6412786A JPS62220893A (ja) | 1986-03-24 | 1986-03-24 | 微小回転装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62220893A true JPS62220893A (ja) | 1987-09-29 |
Family
ID=13249094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6412786A Pending JPS62220893A (ja) | 1986-03-24 | 1986-03-24 | 微小回転装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62220893A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5342563A (en) * | 1976-09-29 | 1978-04-18 | Fujitsu Ltd | Rotary stage |
| JPS587111B2 (ja) * | 1980-09-29 | 1983-02-08 | シャープ株式会社 | 髪形選定装置 |
| JPS60131140A (ja) * | 1983-12-17 | 1985-07-12 | Omron Tateisi Electronics Co | 回転装置 |
-
1986
- 1986-03-24 JP JP6412786A patent/JPS62220893A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5342563A (en) * | 1976-09-29 | 1978-04-18 | Fujitsu Ltd | Rotary stage |
| JPS587111B2 (ja) * | 1980-09-29 | 1983-02-08 | シャープ株式会社 | 髪形選定装置 |
| JPS60131140A (ja) * | 1983-12-17 | 1985-07-12 | Omron Tateisi Electronics Co | 回転装置 |
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