JPS5952540B2 - ボンデイング装置における移動台送り装置 - Google Patents
ボンデイング装置における移動台送り装置Info
- Publication number
- JPS5952540B2 JPS5952540B2 JP56211572A JP21157281A JPS5952540B2 JP S5952540 B2 JPS5952540 B2 JP S5952540B2 JP 56211572 A JP56211572 A JP 56211572A JP 21157281 A JP21157281 A JP 21157281A JP S5952540 B2 JPS5952540 B2 JP S5952540B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- feed
- movable
- moving
- feed screw
- bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
- H10P72/0444—Apparatus for wiring semiconductor or solid-state device
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/50—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はボンディング装置においてボンディングアーム
を載架してＸ−Ｙ平面上を移動する移動台の送り装置に
関するものである。
を載架してＸ−Ｙ平面上を移動する移動台の送り装置に
関するものである。
周知の様に、ワイヤボンディング装置は半導体部品のボ
ンディング点にボンディング工具を位置決めするための
移動台を有する。
ンディング点にボンディング工具を位置決めするための
移動台を有する。
この移動台は互いに直交する送り方向を持つ２本の送り
軸のそれぞれ独立した送り動作する２個の移動板の移動
を複合して一つの作業平面内における任意の座標位置ヘ
ボンデイング工具を位置決めすることを可能ならしめる
ものであつて、通常各送り軸は制御装置からの指令信号
に基づいて駆動されるパルスモータと、これに連動して
回転する送りねじ及びこれに螺合してなる送りナットに
よつて構成される。しかるに、従来のワイヤボンディン
グ装置における移動台の送り軸、即ち送り装置は、第１
の送りねじによつて送られる移動板と、この移動板に重
ね合せられ第１の送りねじに直交する第２の送りねじに
よつて移動させられる移動板とよりなる重ね合せ構造で
あるため、第１の送りねじにかかる負荷が過大となり、
送り軸系に悪影響を与えるという欠点があつた。
軸のそれぞれ独立した送り動作する２個の移動板の移動
を複合して一つの作業平面内における任意の座標位置ヘ
ボンデイング工具を位置決めすることを可能ならしめる
ものであつて、通常各送り軸は制御装置からの指令信号
に基づいて駆動されるパルスモータと、これに連動して
回転する送りねじ及びこれに螺合してなる送りナットに
よつて構成される。しかるに、従来のワイヤボンディン
グ装置における移動台の送り軸、即ち送り装置は、第１
の送りねじによつて送られる移動板と、この移動板に重
ね合せられ第１の送りねじに直交する第２の送りねじに
よつて移動させられる移動板とよりなる重ね合せ構造で
あるため、第１の送りねじにかかる負荷が過大となり、
送り軸系に悪影響を与えるという欠点があつた。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたもので、そ
れぞれの送りねじに過大な負荷を与えず、各送り軸系が
最適条件下で動作することが可能なボンディング装置の
移動台送り装置を提供することを目的とする。
れぞれの送りねじに過大な負荷を与えず、各送り軸系が
最適条件下で動作することが可能なボンディング装置の
移動台送り装置を提供することを目的とする。
以下、図面に示す一実施例に基づいて本発明を門詳しく
説明する。
説明する。
第１図はボンディング装置における移動台部分の平面図
、第２図は第１図の１−１線断面図、第３図は第１図の
１１−１１線の断面図である。第１図に示す様に、移動
台２は矢印Ｂ及び矢印Ｃで示す互いに直交する送り方向
を有する独立した２つの送り軸系（以下、送り軸Ｂ、送
り軸Ｃという）の複合した送り動作によつて所定の移動
平面内の任意の座標位置に移動することができる。
、第２図は第１図の１−１線断面図、第３図は第１図の
１１−１１線の断面図である。第１図に示す様に、移動
台２は矢印Ｂ及び矢印Ｃで示す互いに直交する送り方向
を有する独立した２つの送り軸系（以下、送り軸Ｂ、送
り軸Ｃという）の複合した送り動作によつて所定の移動
平面内の任意の座標位置に移動することができる。
この２つの送り軸を構成する送り装置は全く同一の構造
を有するため、以下の説明は送り軸Ｂについて行う。た
だし、必要に応じて送り軸Ｃに言及する場合は、説明の
重複をさけるために同一用途に供される構造物は符号に
付点を付して区別するものとする。さて、支持台４にブ
ラケツト６を介して固定されたパルスモータ１２は、図
示しない制御装置から出力される指令信号にもとづいて
駆動され、その出力回転軸１２ａの回転をカツプリング
１４を介して送りネジ１６に伝える。
を有するため、以下の説明は送り軸Ｂについて行う。た
だし、必要に応じて送り軸Ｃに言及する場合は、説明の
重複をさけるために同一用途に供される構造物は符号に
付点を付して区別するものとする。さて、支持台４にブ
ラケツト６を介して固定されたパルスモータ１２は、図
示しない制御装置から出力される指令信号にもとづいて
駆動され、その出力回転軸１２ａの回転をカツプリング
１４を介して送りネジ１６に伝える。
送りネジ１６は両端の回転支持部１６ａ，１６ｂと中央
の所定りードを持つねじ部１６Ｃとからなり、ネジ部１
６Ｃには送リナツト１８が螺合している。このねじ部１
６Ｃのもつ１リード分の移動量をパルスモータ１２の１
回転あたりの駆動パルス数で除した値は、その送り系に
おける最小移動量となり、送りナツト１８はこれを単位
として送り量が与えられる。送りネジ１６は支持台４に
固定されたブラケツト６に畝装されたラジアル軸受２０
と、同様に支持台に固定されたハウジング８に敢装され
たラジアル軸受２２によつて回転可能に支承されている
。またさらに送りネジ１６の回転支持部１６ｂに．は回
転輪２６が筬装され、回転輪２６は回転支持部１６ｂの
端部に固定された抑えねじ２４に設けられた押しねじ２
４ａによつて送りネジ１６に固定されている。
の所定りードを持つねじ部１６Ｃとからなり、ネジ部１
６Ｃには送リナツト１８が螺合している。このねじ部１
６Ｃのもつ１リード分の移動量をパルスモータ１２の１
回転あたりの駆動パルス数で除した値は、その送り系に
おける最小移動量となり、送りナツト１８はこれを単位
として送り量が与えられる。送りネジ１６は支持台４に
固定されたブラケツト６に畝装されたラジアル軸受２０
と、同様に支持台に固定されたハウジング８に敢装され
たラジアル軸受２２によつて回転可能に支承されている
。またさらに送りネジ１６の回転支持部１６ｂに．は回
転輪２６が筬装され、回転輪２６は回転支持部１６ｂの
端部に固定された抑えねじ２４に設けられた押しねじ２
４ａによつて送りネジ１６に固定されている。
また回転輪２６は、回転輪２６の左方に設けられハウジ
ング８に筬装される第１固，定輪２８と、これらに挟持
される第１ボール群３０と、回転輪２６の図において右
方に設けられハウジング８に筬装される第２固定輪３２
と、これらに挟持される第２ボール群３４とによつて構
成される一対のスラスト玉軸受によつて軸方向に支４持
されている。これは、締付けねじ３６ａと突張りねじ３
６ｂとを備えた押し輪３６により、第２固定輪３２を軸
方向に送りネジ１６の起動トルクが過大にならない範囲
の力で押圧して送りネジ１６の軸方向の取付ガタを抑え
、さらにその支持剛性を向上させるための構造である。
さて送リナツト１８を保持する筒体３８の下方には、送
りネジ１６に垂直な軸線のまわりに回転自在な第１軸受
４０が設けられている。
ング８に筬装される第１固，定輪２８と、これらに挟持
される第１ボール群３０と、回転輪２６の図において右
方に設けられハウジング８に筬装される第２固定輪３２
と、これらに挟持される第２ボール群３４とによつて構
成される一対のスラスト玉軸受によつて軸方向に支４持
されている。これは、締付けねじ３６ａと突張りねじ３
６ｂとを備えた押し輪３６により、第２固定輪３２を軸
方向に送りネジ１６の起動トルクが過大にならない範囲
の力で押圧して送りネジ１６の軸方向の取付ガタを抑え
、さらにその支持剛性を向上させるための構造である。
さて送リナツト１８を保持する筒体３８の下方には、送
りネジ１６に垂直な軸線のまわりに回転自在な第１軸受
４０が設けられている。
第１軸受４０は円板４６の上面部に形成された直線案内
部４６ａに沿つて回転移動し送リナツト１８の移動方向
を案内する。円板４６は支持台４に形成された案内穴４
ａに筬合してなり、腕４６ｂ（なお、゛４６ｂは図示さ
れていなく、４６″ｂのみ図示されている）の操作によ
つて旋回することができ、また図示しないクランプねじ
によつて任意旋回位置で支持台４に固定されている。ま
た筒体３８の上方にはやはり送りネジ１６に垂直な軸線
のまわりに回転し送りネジ１６の軸方向に所定距離を置
いて設けられる第２軸受４２及び第３軸受４４が備えら
れ、これによつて駒４８が第４図にその部分平面図を示
す如く挟持されている。
部４６ａに沿つて回転移動し送リナツト１８の移動方向
を案内する。円板４６は支持台４に形成された案内穴４
ａに筬合してなり、腕４６ｂ（なお、゛４６ｂは図示さ
れていなく、４６″ｂのみ図示されている）の操作によ
つて旋回することができ、また図示しないクランプねじ
によつて任意旋回位置で支持台４に固定されている。ま
た筒体３８の上方にはやはり送りネジ１６に垂直な軸線
のまわりに回転し送りネジ１６の軸方向に所定距離を置
いて設けられる第２軸受４２及び第３軸受４４が備えら
れ、これによつて駒４８が第４図にその部分平面図を示
す如く挟持されている。
駒４８は送りネジ１６の上方にあつてその゛軸方向に伸
びる軸方向案内路５０に沿つて移動可能な移動板５２に
形成された穴５２ａに回転可能に筬装され、そのフラン
ジ部４８ａより挿通される止ネジ４８ｂによつて固定さ
れる。さて移動台２はかかる構造になる送り軸Ｂ及び送
り軸Ｃによつて送り動作を与えられる。
びる軸方向案内路５０に沿つて移動可能な移動板５２に
形成された穴５２ａに回転可能に筬装され、そのフラン
ジ部４８ａより挿通される止ネジ４８ｂによつて固定さ
れる。さて移動台２はかかる構造になる送り軸Ｂ及び送
り軸Ｃによつて送り動作を与えられる。
送り軸Ｃにおける移動板５２″にはさらに第３図に明示
されるように直交案内路５４″が設けられ、移動台２は
その直交案内路５４″に対して移動可能にこれに載架さ
れている。一方、送り軸Ｂにおける移動板５２の移動台
２側の一端には、送りネジ１６に垂直な軸線のまわりに
回転し、また送りネジ１６の軸方向に所定距離を置いて
設けられた第４軸受５６及び第５軸受５８が具備される
。また移動台２の側には棒状レール６０が固定され、第
４軸受５６及び第５軸受５８がこれを挟持している。さ
らに第４軸受５６は移動板５２に偏心スリーブ５６ａを
介して取付けられている。次に、こうした送り装置にな
る移動台の送り動作について説明する。
されるように直交案内路５４″が設けられ、移動台２は
その直交案内路５４″に対して移動可能にこれに載架さ
れている。一方、送り軸Ｂにおける移動板５２の移動台
２側の一端には、送りネジ１６に垂直な軸線のまわりに
回転し、また送りネジ１６の軸方向に所定距離を置いて
設けられた第４軸受５６及び第５軸受５８が具備される
。また移動台２の側には棒状レール６０が固定され、第
４軸受５６及び第５軸受５８がこれを挟持している。さ
らに第４軸受５６は移動板５２に偏心スリーブ５６ａを
介して取付けられている。次に、こうした送り装置にな
る移動台の送り動作について説明する。
移動台２を或る座標位置から次の座標位置へ送ろうとす
ると、制御装置はそのために必要な送り軸Ｂ及び送り軸
Ｃのそれぞれの移動量を計算し、これをパルスモータ１
２，１２″を駆動するパルスの数に換算して、そのパル
ス数に対応する回転角を出力回転軸１２ａ、１２″ａに
与える。送り軸Ｂについて述べると、出力回転軸１２ａ
の回転は送りネジ１６の回転となり送リナツト１８に必
要移動量の送りが与えられる。ただし、この時送リナツ
ト１８の実際の移動量は制御装置から出力される移動量
の指令，値に対．し、前にも述べた様な種々の機械的誤
差によつて僅少な偏差を生じる。そのひとつである送り
ネジ１６の累積リード誤差による偏差は次の要領でこれ
を補償する。即ち、円板４６を腕４６ｂ（なお、４６ｂ
は図示されていなく、４６″ｂのみ図１示されている）
の操作によつて送りネジ１６と送リナツト１８との間に
存在するガタ量の範囲内で旋回せしめると、これに形成
された直線案内部４６ａは送りネジ１６の中心軸に対し
て僅少なな角度の差を生じる。一方、送リナツト１８は
第１軸１受４０によつてその送り方向が直線案内部４６
ａの伸張方向に一致するため、累積リード誤差を含んだ
移動量はこの直線案内部４６ａの伸張方向について現出
し、本来の送り方向である送りネジ１６の中心軸方向に
おける移動量は累積リード誤差，を含んだ移動量に直線
案内部４６ａと送りネジ１６との間の僅少な角度の余弦
を乗じた値となる。したがつて累積リード誤差を予め目
標値に対して大ならしめる公差内で送りネジ１６を製作
することにより、円板４６の旋回動作によつて容易にこ
の累積リード誤差による移動量偏差が補償される。実験
によれば、送りネジ１６と送リナツト１８に適正なガタ
量を与えて円板４６をその範囲内で最大量旋回せしめる
ことにより、送リナツト１８の移動量２０ｍｍに対し、
約０．００５ｍｍの移動量の変化が得られた。通常２０
ｍｍの長さの送りネジ１６を製作するのに０．００５ｍ
ｍ以下の累積リード誤差を要求することは困難であるた
め、この補償手段は極めて有効なものと評価できる。さ
て、移動量偏差を生むその他の機械的原因のひとつであ
る送りネジ１６の軸方向における取付けガタ、撓み等は
既に・述べた特殊な構造を有するスラスト玉軸受によつ
て送りネジ１６を軸方向に固定することにより、その起
動トルクを過大ならしめることなく取付けガタを除去し
、剛性を向上せしめ撓み等を殆ど完全に抑えることによ
つて移動量偏差の発生原因そのものを解消している。
ると、制御装置はそのために必要な送り軸Ｂ及び送り軸
Ｃのそれぞれの移動量を計算し、これをパルスモータ１
２，１２″を駆動するパルスの数に換算して、そのパル
ス数に対応する回転角を出力回転軸１２ａ、１２″ａに
与える。送り軸Ｂについて述べると、出力回転軸１２ａ
の回転は送りネジ１６の回転となり送リナツト１８に必
要移動量の送りが与えられる。ただし、この時送リナツ
ト１８の実際の移動量は制御装置から出力される移動量
の指令，値に対．し、前にも述べた様な種々の機械的誤
差によつて僅少な偏差を生じる。そのひとつである送り
ネジ１６の累積リード誤差による偏差は次の要領でこれ
を補償する。即ち、円板４６を腕４６ｂ（なお、４６ｂ
は図示されていなく、４６″ｂのみ図１示されている）
の操作によつて送りネジ１６と送リナツト１８との間に
存在するガタ量の範囲内で旋回せしめると、これに形成
された直線案内部４６ａは送りネジ１６の中心軸に対し
て僅少なな角度の差を生じる。一方、送リナツト１８は
第１軸１受４０によつてその送り方向が直線案内部４６
ａの伸張方向に一致するため、累積リード誤差を含んだ
移動量はこの直線案内部４６ａの伸張方向について現出
し、本来の送り方向である送りネジ１６の中心軸方向に
おける移動量は累積リード誤差，を含んだ移動量に直線
案内部４６ａと送りネジ１６との間の僅少な角度の余弦
を乗じた値となる。したがつて累積リード誤差を予め目
標値に対して大ならしめる公差内で送りネジ１６を製作
することにより、円板４６の旋回動作によつて容易にこ
の累積リード誤差による移動量偏差が補償される。実験
によれば、送りネジ１６と送リナツト１８に適正なガタ
量を与えて円板４６をその範囲内で最大量旋回せしめる
ことにより、送リナツト１８の移動量２０ｍｍに対し、
約０．００５ｍｍの移動量の変化が得られた。通常２０
ｍｍの長さの送りネジ１６を製作するのに０．００５ｍ
ｍ以下の累積リード誤差を要求することは困難であるた
め、この補償手段は極めて有効なものと評価できる。さ
て、移動量偏差を生むその他の機械的原因のひとつであ
る送りネジ１６の軸方向における取付けガタ、撓み等は
既に・述べた特殊な構造を有するスラスト玉軸受によつ
て送りネジ１６を軸方向に固定することにより、その起
動トルクを過大ならしめることなく取付けガタを除去し
、剛性を向上せしめ撓み等を殆ど完全に抑えることによ
つて移動量偏差の発生原因そのものを解消している。
こうして送リナツト１８がその正しい送り方向、即ち送
りネジ１６の中心軸方向において指令値に等しい移動量
を得ると、筒体３８、第２軸受４２、第３軸受４４もま
た同時に移動する。そして駒４８を介して移動板５２が
移動する。この時、移動板５２は第２軸受４２、第３軸
受４４とによつて挟持される駒４８の前記軸受外周間距
離に対する寸法誤差によるスキマ、即ち送り方向におけ
るガタによつて正しい移動量を得られないことがある。
この際には、第４図に明らかな様に駒４８を旋回せしめ
て前記両軸受外周にこれを接しさせ送り方向のガタを取
り除く。なお、゛こうした筒体３８と移動板５２の連結
方法は前述した送りナツト１８の実際の移動方向と送り
ネジ１６の中心軸方向、即ち軸方向案内路５０に沿つた
移動板５２の移動方向とのズレを駒４８と前記両軸受と
の接線方向の自由度によつて逃げることを可能ならしめ
ている。他方、送り軸Ｃについても同様に移動板５２″
に正しい移動量が与えられる。
りネジ１６の中心軸方向において指令値に等しい移動量
を得ると、筒体３８、第２軸受４２、第３軸受４４もま
た同時に移動する。そして駒４８を介して移動板５２が
移動する。この時、移動板５２は第２軸受４２、第３軸
受４４とによつて挟持される駒４８の前記軸受外周間距
離に対する寸法誤差によるスキマ、即ち送り方向におけ
るガタによつて正しい移動量を得られないことがある。
この際には、第４図に明らかな様に駒４８を旋回せしめ
て前記両軸受外周にこれを接しさせ送り方向のガタを取
り除く。なお、゛こうした筒体３８と移動板５２の連結
方法は前述した送りナツト１８の実際の移動方向と送り
ネジ１６の中心軸方向、即ち軸方向案内路５０に沿つた
移動板５２の移動方向とのズレを駒４８と前記両軸受と
の接線方向の自由度によつて逃げることを可能ならしめ
ている。他方、送り軸Ｃについても同様に移動板５２″
に正しい移動量が与えられる。
移動台２は結果的に移動板５２″に載架されているため
、これによつて送り軸Ｃ方向に移動台２は正しく移動す
る。また送り軸Ｂについては移動板５２の正しい移動に
対し、第４軸受５６、第５軸受５８とに挟持された棒状
レール６０を介して移動台２は移動板５２″に設けられ
た送りネジ１６の中心軸方向に伸張する直交案内路５４
″に沿つて送り軸Ｂ方向に移動台２は正しく移動する。
なお説明するまでもなく、送り軸Ｃ方向の移動台２の移
動に対して移動板５２と移動台２との連結は第４軸受５
６、第５軸受５８の棒状レール６０に沿う回転によつて
これに自由度を与えている。また棒レール６０と前記両
軸受とのガタは偏心リーフ５６ａの旋回調整により第４
軸受５６の回転軸を移動せしめてこれを除去する。以上
の様に本発明によれば、それぞれの送りねじに過大な負
荷を与えず各送り系を最適条件下で動作せしめることを
可能とするボンデイング装置における移動台の送り装置
を提供することができる。
、これによつて送り軸Ｃ方向に移動台２は正しく移動す
る。また送り軸Ｂについては移動板５２の正しい移動に
対し、第４軸受５６、第５軸受５８とに挟持された棒状
レール６０を介して移動台２は移動板５２″に設けられ
た送りネジ１６の中心軸方向に伸張する直交案内路５４
″に沿つて送り軸Ｂ方向に移動台２は正しく移動する。
なお説明するまでもなく、送り軸Ｃ方向の移動台２の移
動に対して移動板５２と移動台２との連結は第４軸受５
６、第５軸受５８の棒状レール６０に沿う回転によつて
これに自由度を与えている。また棒レール６０と前記両
軸受とのガタは偏心リーフ５６ａの旋回調整により第４
軸受５６の回転軸を移動せしめてこれを除去する。以上
の様に本発明によれば、それぞれの送りねじに過大な負
荷を与えず各送り系を最適条件下で動作せしめることを
可能とするボンデイング装置における移動台の送り装置
を提供することができる。
第１図は本発明の一実施例になるボンデイング装置にお
ける移動台部分の平面図、第２図は第１図のＩ−１線断
面図、第３図は第１図の１１−１１線断面図、第４図は
駒調整機構を示す部分平面図である。 ２・・・・・・移動台、４・・・・・・支持台、１２・
・・・・・パルスモータ、１６送りねじ、１８・・・送
リナツト、５０・・・・・・軸方向案内路、５２・・・
・・・移動板、５４・・・・・・直交案内路、５６・・
・・・・第４軸受、５８・・・・・・第５軸受、６０・
・・・・・棒状レール。
ける移動台部分の平面図、第２図は第１図のＩ−１線断
面図、第３図は第１図の１１−１１線断面図、第４図は
駒調整機構を示す部分平面図である。 ２・・・・・・移動台、４・・・・・・支持台、１２・
・・・・・パルスモータ、１６送りねじ、１８・・・送
リナツト、５０・・・・・・軸方向案内路、５２・・・
・・・移動板、５４・・・・・・直交案内路、５６・・
・・・・第４軸受、５８・・・・・・第５軸受、６０・
・・・・・棒状レール。
Claims (1)
- １ 支持台に固定されたモータと、このモータによつて
駆動されて回転する送りねじと、この送りねじに螺合す
るナットと、このナットにより直線的に移動させられる
移動板とより構成された送り軸系を２組有し、これら２
組の送り軸系を前記支持台に平面的に、かつ前記２本の
送りねじが直交するように配設してなるボンディング装
置における移動台送り装置において、前記２組の送り軸
系の一方の第２の移動板にこの第２の移動板と直交する
方向に移動可能に移動台を載置し、この移動台と他方の
第１の移動板とを前記移動台が前記一方の第２の移動板
の移動方向に移動可能に連結してなるボンディング装置
における移動台送り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56211572A JPS5952540B2 (ja) | 1981-12-30 | 1981-12-30 | ボンデイング装置における移動台送り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56211572A JPS5952540B2 (ja) | 1981-12-30 | 1981-12-30 | ボンデイング装置における移動台送り装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12779176A Division JPS5353257A (en) | 1976-10-26 | 1976-10-26 | Feeding device for moving bed in wireebonding apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57145336A JPS57145336A (en) | 1982-09-08 |
| JPS5952540B2 true JPS5952540B2 (ja) | 1984-12-20 |
Family
ID=16607991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56211572A Expired JPS5952540B2 (ja) | 1981-12-30 | 1981-12-30 | ボンデイング装置における移動台送り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5952540B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6090648A (ja) * | 1979-11-10 | 1985-05-21 | Hiroshi Teramachi | 微動および早送り可能な移送装置 |
| JPS6161428A (ja) * | 1984-09-03 | 1986-03-29 | Toshiba Seiki Kk | Ｘｙテ−ブル駆動方法 |
-
1981
- 1981-12-30 JP JP56211572A patent/JPS5952540B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57145336A (en) | 1982-09-08 |
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