JPS62226552A - 走査型電子顕微鏡 - Google Patents
走査型電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS62226552A JPS62226552A JP61069009A JP6900986A JPS62226552A JP S62226552 A JPS62226552 A JP S62226552A JP 61069009 A JP61069009 A JP 61069009A JP 6900986 A JP6900986 A JP 6900986A JP S62226552 A JPS62226552 A JP S62226552A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- scanning electron
- electron microscope
- electrode
- ions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、たとえば、半導体装置などの試料を、破壊す
ることなく、精度良く観測できる走査型電子顕微鏡に関
するものである。
ることなく、精度良く観測できる走査型電子顕微鏡に関
するものである。
従来の技術
最近の半導体装置開発においては、同半導体装置の製造
工程（ウェハープロセス）で、その半導体装置に伺らの
障害を与えずに、また、製造工程を大幅に変更すること
なく、試料面の観測、解析を推進できる手段が必要であ
り、この手段として、走査型電子顕微鏡が有用である。
工程（ウェハープロセス）で、その半導体装置に伺らの
障害を与えずに、また、製造工程を大幅に変更すること
なく、試料面の観測、解析を推進できる手段が必要であ
り、この手段として、走査型電子顕微鏡が有用である。
半導体試料（ウェハー）上に作られている半導体装置は
、半導体材料、絶縁体材料、及び金属材料で組合せられ
た構成が主体である。走査型電子顕微鏡では、この試料
を電子線によって走査し、試料より発生する二次電子を
検出して、必要な信号を得るのであるが、通常の方法で
は、第３図に概念図で示すように、観測試料１０表面に
、不必要な残留イオン２が発生する。
、半導体材料、絶縁体材料、及び金属材料で組合せられ
た構成が主体である。走査型電子顕微鏡では、この試料
を電子線によって走査し、試料より発生する二次電子を
検出して、必要な信号を得るのであるが、通常の方法で
は、第３図に概念図で示すように、観測試料１０表面に
、不必要な残留イオン２が発生する。
発明が解決しようとする問題点
一次電子線の照射によって発生する静電イオンが、観測
する試料表面に残留した状態で、これを除去しないで、
次の電子線を照射しても、正確な信号が得られない。即
ち、正確な像を得ることはできない。
する試料表面に残留した状態で、これを除去しないで、
次の電子線を照射しても、正確な信号が得られない。即
ち、正確な像を得ることはできない。
半導体装置では、前記したように、絶縁物の多層数で構
成された構造となっており、また、測定すべき対、象物
も絶縁物である場合が多いので、残留イオンの影響をう
けて、その測定精度が不正確になる。
成された構造となっており、また、測定すべき対、象物
も絶縁物である場合が多いので、残留イオンの影響をう
けて、その測定精度が不正確になる。
本発明は、この残留イオンを除去することを目的とする
ものである。
ものである。
問題点を解決するための手段
本発明は、試料面に近接して、かつ、同試料面に非接触
の状態で可動自在に配設された残留イオン集収用の電極
をそなえた走査型電子顕微鏡である５゜ 作用 本発明によると、可動の残留イオン集収用電極を、試料
面に沿って、非接触状態で移動操作することによって、
同試料面の残留イオンを速やかに集収餘去することがで
きる。
の状態で可動自在に配設された残留イオン集収用の電極
をそなえた走査型電子顕微鏡である５゜ 作用 本発明によると、可動の残留イオン集収用電極を、試料
面に沿って、非接触状態で移動操作することによって、
同試料面の残留イオンを速やかに集収餘去することがで
きる。
実施例
走査型電子顕微鏡の走査電子線によって試料面に発生す
る残留イオンは、一般には１Ｏ−１２Ａ程度の残留イオ
ン電流として、■ｅの両極性で観測することができる。
る残留イオンは、一般には１Ｏ−１２Ａ程度の残留イオ
ン電流として、■ｅの両極性で観測することができる。
この残留イオンを除去するために第１図乙の平面図、ｂ
の側面概念図に示すような集収イオン電極３を配設する
。これは試料１の上面近くを表面に接しないで、支点Ａ
ｉ軸に扇状に稼動する機構で、電極全体が移動操作でき
る構造となっており、試料１との間に、電源４を通じて
、直流電界又は高周波電界を印加して、必要なイオンを
集め、試料観測が可能な条件を再生する。この電極３は
、試料観測時には走査電子線に接しない位置にあり、残
留イオンの発生があった時に操作できればよい。また、
この機構は二次電子の観測用検出器に障害のない位置に
移動すればよい。イオン集収しない時ないしはイオン集
収操作を必要としない時は、イオン集収電極３の電界は
走査型電子顕微鏡の鏡体と同電位にすることで、通常の
走査型電子顕微鏡の構成に簡易に取付けることを可能と
している。
の側面概念図に示すような集収イオン電極３を配設する
。これは試料１の上面近くを表面に接しないで、支点Ａ
ｉ軸に扇状に稼動する機構で、電極全体が移動操作でき
る構造となっており、試料１との間に、電源４を通じて
、直流電界又は高周波電界を印加して、必要なイオンを
集め、試料観測が可能な条件を再生する。この電極３は
、試料観測時には走査電子線に接しない位置にあり、残
留イオンの発生があった時に操作できればよい。また、
この機構は二次電子の観測用検出器に障害のない位置に
移動すればよい。イオン集収しない時ないしはイオン集
収操作を必要としない時は、イオン集収電極３の電界は
走査型電子顕微鏡の鏡体と同電位にすることで、通常の
走査型電子顕微鏡の構成に簡易に取付けることを可能と
している。
試料１とイオン集収電極３との間に印加する電圧は０〜
１０ＯＯＶの範囲であり、簡易に走査型電子顕微鏡の機
構の中に作ることができる。
１０ＯＯＶの範囲であり、簡易に走査型電子顕微鏡の機
構の中に作ることができる。
高倍率を求める走査型電子顕微鏡の機構で、対物レンズ
と試料の間に、イオン集収電極を位置する距離がない場
合は、レンズや試料に影響のない位置に本発明の集収電
極を移動しておけばよい。
と試料の間に、イオン集収電極を位置する距離がない場
合は、レンズや試料に影響のない位置に本発明の集収電
極を移動しておけばよい。
との場合、第２図の概要断面図で示すように、試料１の
近くに接しない程度の構成のイオン集収電極３を作れば
、同様に残留イオンを除去することが可能である。すな
わち、小さな試料１の場合、試料１を包む程度のリング
状の電極３を構成させても、その目的を満足させること
ができる。この図で、電子線５の発生手段、対物レンズ
６、二次電子検出型子ならびに試料ホルダ８は、通常の
走査型電子顕微鏡に共通の構成要素である。
近くに接しない程度の構成のイオン集収電極３を作れば
、同様に残留イオンを除去することが可能である。すな
わち、小さな試料１の場合、試料１を包む程度のリング
状の電極３を構成させても、その目的を満足させること
ができる。この図で、電子線５の発生手段、対物レンズ
６、二次電子検出型子ならびに試料ホルダ８は、通常の
走査型電子顕微鏡に共通の構成要素である。
発明の効果
本発明によれば、走査型電子顕微鏡の観測試料表面に発
生する電荷を、比較的簡単な構成の可動自在なイオン集
収用電極を操作することによって、除去することができ
るため、同試料を非破壊で精密に観測することができる
。
生する電荷を、比較的簡単な構成の可動自在なイオン集
収用電極を操作することによって、除去することができ
るため、同試料を非破壊で精密に観測することができる
。
第１図ａ、ｂは本発明実施例の要部平面図、側面概念図
、第２図は本発明の他の実施例概要断面図、第３図は従
来例概念図である。 １・・・・・・試料、２・・・・・残留イオン、３・・
・・・・集収電極、４・・・・・・電源、５・・・・・
・電子線、６・・・・・・対物レンズ、７・・・二次電
子検出器。 第１図 第２図 第３図
、第２図は本発明の他の実施例概要断面図、第３図は従
来例概念図である。 １・・・・・・試料、２・・・・・残留イオン、３・・
・・・・集収電極、４・・・・・・電源、５・・・・・
・電子線、６・・・・・・対物レンズ、７・・・二次電
子検出器。 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 試料面に近接し、かつ、同試料面に非接触の状態で可動
自在に配設された残留イオン集収用の電極をそなえた走
査型電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61069009A JPH071683B2 (ja) | 1986-03-27 | 1986-03-27 | 走査型電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61069009A JPH071683B2 (ja) | 1986-03-27 | 1986-03-27 | 走査型電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62226552A true JPS62226552A (ja) | 1987-10-05 |
| JPH071683B2 JPH071683B2 (ja) | 1995-01-11 |
Family
ID=13390166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61069009A Expired - Lifetime JPH071683B2 (ja) | 1986-03-27 | 1986-03-27 | 走査型電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH071683B2 (ja) |
-
1986
- 1986-03-27 JP JP61069009A patent/JPH071683B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH071683B2 (ja) | 1995-01-11 |
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