JPH051584B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH051584B2 JPH051584B2 JP61025525A JP2552586A JPH051584B2 JP H051584 B2 JPH051584 B2 JP H051584B2 JP 61025525 A JP61025525 A JP 61025525A JP 2552586 A JP2552586 A JP 2552586A JP H051584 B2 JPH051584 B2 JP H051584B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- charged particle
- microchannel plate
- mcp
- potential
- Prior art date
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Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は荷電粒子ビーム測長機に関し、更に詳
述すれば測長機能と立体走査像の観察を可能にし
た装置に関する。
述すれば測長機能と立体走査像の観察を可能にし
た装置に関する。
［従来技術］
近時、マイクロチヤンネルプレート（以下
MCP）は小型・軽量、高利得、すぐれた時間応
答、磁場の影響をあまり受けない等の特性がある
ため電子ビーム測長機、集束イオンビーム装置等
における荷電粒子検出器として広く使用されてい
る。
MCP）は小型・軽量、高利得、すぐれた時間応
答、磁場の影響をあまり受けない等の特性がある
ため電子ビーム測長機、集束イオンビーム装置等
における荷電粒子検出器として広く使用されてい
る。
第４図はこのような特性を有するMCPを例え
ば電子ビーム測長機に使用した場合の構成断面
図、第５図はMCP４を平面図を示すもので、図
中１は対物レンズ、２は試料３を走査する電子
線、４はMCPで該MCP４は試料より発生する例
えば２次電子ｅを入射電子として増倍する細いガ
ラス管束（チヤンネル）4aと、該チヤンネル4a
によつて増倍された出力電子を検出するコレクタ
―4bとにより形成されている。尚、第４図にお
いては、チヤンネル4aの入射端と出射端の間お
よび前記出射端とコレクタ―4bとの間には、
夫々加速電圧が印加されている。
ば電子ビーム測長機に使用した場合の構成断面
図、第５図はMCP４を平面図を示すもので、図
中１は対物レンズ、２は試料３を走査する電子
線、４はMCPで該MCP４は試料より発生する例
えば２次電子ｅを入射電子として増倍する細いガ
ラス管束（チヤンネル）4aと、該チヤンネル4a
によつて増倍された出力電子を検出するコレクタ
―4bとにより形成されている。尚、第４図にお
いては、チヤンネル4aの入射端と出射端の間お
よび前記出射端とコレクタ―4bとの間には、
夫々加速電圧が印加されている。
このように構成された電子ビーム測長機では、
第５図に示すようにセンタ―ホ―ルタイプの
MCPが使用され、試料３からの例えば２次電子
ｅは試料３に対向して配置されたMCP４によつ
て検出される。そのため、第６図イに示すような
凹凸のある試料３を電子線１で走査した場合、所
謂エツジ効果により２次電子検出信号は第６図ロ
に示すように対称波形を示すこととなるが、これ
は測長精度を高めるために必要なことである。
第５図に示すようにセンタ―ホ―ルタイプの
MCPが使用され、試料３からの例えば２次電子
ｅは試料３に対向して配置されたMCP４によつ
て検出される。そのため、第６図イに示すような
凹凸のある試料３を電子線１で走査した場合、所
謂エツジ効果により２次電子検出信号は第６図ロ
に示すように対称波形を示すこととなるが、これ
は測長精度を高めるために必要なことである。
［発明が解決しようする問題点］
ところで、このように構成された従来の装置で
は、MCP４による２次電子検出が第６図ロに示
すように対称波形であるため、試料上を電子線に
よつて２次元的に走査し、それに伴つてMCP４
から得られた検出信号を図示しない表示装置に供
給して走査像として表示すると、凹凸のある試料
４も立体観のない平面像として表示されることと
なり、試料像観察において不都合を生ずる。
は、MCP４による２次電子検出が第６図ロに示
すように対称波形であるため、試料上を電子線に
よつて２次元的に走査し、それに伴つてMCP４
から得られた検出信号を図示しない表示装置に供
給して走査像として表示すると、凹凸のある試料
４も立体観のない平面像として表示されることと
なり、試料像観察において不都合を生ずる。
本発明は以上の点に鑑みなされたもので、試料
に対向して配置された複数のMCPにより試料の
測長と立体走査像をも観察することができる荷電
粒子ビーム測長機を提供することを目的としてい
る。
に対向して配置された複数のMCPにより試料の
測長と立体走査像をも観察することができる荷電
粒子ビーム測長機を提供することを目的としてい
る。
［問題点を解決するための手段］
本目的を達成するための本発明は、荷電粒子線
を試料に照射し該試料より発生する２次荷電粒子
を該試料に対向して配置されゐ該２次荷電粒子を
検出するマイクロチヤンネルプレートにより検出
する装置において、該マイクロチヤンネルプレー
トを少なくとも２つ以上に分割して配置し、測長
時に該夫々のマイクロチヤンネルプレートの２次
荷電粒子入射端を電位を正に切換え、立体走査像
観察時に一方のマイクロチヤンネルプレートの２
次荷電粒子入射端の電位を正に、他方のマイクロ
チヤンネルプレートの２次荷電粒子入射端の電位
を負に切換える手段を設けたことを特徴としてい
る。
を試料に照射し該試料より発生する２次荷電粒子
を該試料に対向して配置されゐ該２次荷電粒子を
検出するマイクロチヤンネルプレートにより検出
する装置において、該マイクロチヤンネルプレー
トを少なくとも２つ以上に分割して配置し、測長
時に該夫々のマイクロチヤンネルプレートの２次
荷電粒子入射端を電位を正に切換え、立体走査像
観察時に一方のマイクロチヤンネルプレートの２
次荷電粒子入射端の電位を正に、他方のマイクロ
チヤンネルプレートの２次荷電粒子入射端の電位
を負に切換える手段を設けたことを特徴としてい
る。
［実施例］
以下本発明の実施例を図面に基づき詳述する。
第１図は本発明の一実施例の構成断面図であ
り、第２図は第１図の実施例装置に使用される
MCPの平面図である。尚、第４図に示す従来装
置と同一構成要素には同一番号を付してその説明
を省略する。第１図及び第２図において、チヤン
ネル10a及びコレクター10bから形成されるMCP
１０とチヤンネル11a及びコレクター１１ｂから
形成されるMCP１１とが電気的に絶縁されて試
料３に対向して配置されている。１２はMCP１
０に正負の電圧（例えば±10V）を切換えて与え
るための電源で、１３はMCP１１に正負の電圧
（例えば±10V）を切換えて与えるための電源で
ある。１４は極性切換え回路であり、該極性切換
え回路１４によつてMCP１０とMCP１１に印加
される電圧の電力の極性が切換えられる。
り、第２図は第１図の実施例装置に使用される
MCPの平面図である。尚、第４図に示す従来装
置と同一構成要素には同一番号を付してその説明
を省略する。第１図及び第２図において、チヤン
ネル10a及びコレクター10bから形成されるMCP
１０とチヤンネル11a及びコレクター１１ｂから
形成されるMCP１１とが電気的に絶縁されて試
料３に対向して配置されている。１２はMCP１
０に正負の電圧（例えば±10V）を切換えて与え
るための電源で、１３はMCP１１に正負の電圧
（例えば±10V）を切換えて与えるための電源で
ある。１４は極性切換え回路であり、該極性切換
え回路１４によつてMCP１０とMCP１１に印加
される電圧の電力の極性が切換えられる。
このように構成された装置では、測長時のよう
に対称波形が必要な場合は極性が切換え回路１４
によつてMCP１０とMCP１１の双方のMCPの
極性を正の電位（例えば十10V）になるように切
り換える。このように、双方のMCPの極性を切
換えするることによつて、MCP１０とMCP１１
の双方のMCPよつて試料３よりの２次電子ｅが
検出されるため、この検出信号を加算すれば従来
装置と同様に第６図ロに示すような対称波形を得
ることができ、従つて、測長装置として使用する
ことができる。
に対称波形が必要な場合は極性が切換え回路１４
によつてMCP１０とMCP１１の双方のMCPの
極性を正の電位（例えば十10V）になるように切
り換える。このように、双方のMCPの極性を切
換えするることによつて、MCP１０とMCP１１
の双方のMCPよつて試料３よりの２次電子ｅが
検出されるため、この検出信号を加算すれば従来
装置と同様に第６図ロに示すような対称波形を得
ることができ、従つて、測長装置として使用する
ことができる。
又、立体走査像を観察したい場合には、極性切
換え回路１４によつて例えばMCP１０には電源
１２より負の電圧（例えば―10V）を、MCP１
１には正の電圧（例えば十10V）を印加するよう
に切り換える。この切換えによつて、試料３を第
３図イのように走査すると、MCP１１のみが２
次電子を検出できることになり、その結果、
MCP１１に近い試料の突起部3aと、MCP１１に
遠い試料の突起部3bから夫々発生する２次電子
の量が同等であつても、MCP１１に近い突起部
3aからの２次電子はより多く検出されることに
なり、MCP１１の検出信号波形は第３図ロのよ
うになる。従つて、立体走査像を観察することが
できる。
換え回路１４によつて例えばMCP１０には電源
１２より負の電圧（例えば―10V）を、MCP１
１には正の電圧（例えば十10V）を印加するよう
に切り換える。この切換えによつて、試料３を第
３図イのように走査すると、MCP１１のみが２
次電子を検出できることになり、その結果、
MCP１１に近い試料の突起部3aと、MCP１１に
遠い試料の突起部3bから夫々発生する２次電子
の量が同等であつても、MCP１１に近い突起部
3aからの２次電子はより多く検出されることに
なり、MCP１１の検出信号波形は第３図ロのよ
うになる。従つて、立体走査像を観察することが
できる。
上記実施例は例示であり、他の態様で実施する
ことができる。上記実施例ではMCPを２つに分
割したがこれに限定されず複数分割であれば良
い。又、試料にイオンビームを照射して、試料よ
りの２次イオンを検出して２次イオン像を観察す
るようにしても良い。
ことができる。上記実施例ではMCPを２つに分
割したがこれに限定されず複数分割であれば良
い。又、試料にイオンビームを照射して、試料よ
りの２次イオンを検出して２次イオン像を観察す
るようにしても良い。
［発明の効果］
以上詳述したように本発明によれば、試料に対
向して配置されるMCPを分割して配置し、且つ、
測長時に該夫々のマイクロチヤンネルプレートの
２次荷電粒子入射端の電位を正に切換え、立体走
査像観察時に一方のマイクロチヤンネルプレート
の２次荷電粒子入射端の電位を正に、他方のマイ
クロチヤンネルプレートの２次荷電粒子入射端の
電位を負に切換える手段を設けたため試料よりの
２次荷電粒子検出信号波形を対称又は非対称で検
出できるため、測長機能と立体走査像の観察機能
を有する荷電粒子ビーム測長機が提供される。
又、立体走査像を得る場合、一方のマイクロチヤ
ンネルプレートの２次荷電粒子入射端の電位を正
に、他方のマイクロチヤンネルプレートの２次荷
電粒子入射端の電位を負に切換えるだけで良く、
各マイクロチヤンネルプレートからの検出信号の
差を求めるような引算回路が不要となる。その
為、製造コスト的に有利となる。
向して配置されるMCPを分割して配置し、且つ、
測長時に該夫々のマイクロチヤンネルプレートの
２次荷電粒子入射端の電位を正に切換え、立体走
査像観察時に一方のマイクロチヤンネルプレート
の２次荷電粒子入射端の電位を正に、他方のマイ
クロチヤンネルプレートの２次荷電粒子入射端の
電位を負に切換える手段を設けたため試料よりの
２次荷電粒子検出信号波形を対称又は非対称で検
出できるため、測長機能と立体走査像の観察機能
を有する荷電粒子ビーム測長機が提供される。
又、立体走査像を得る場合、一方のマイクロチヤ
ンネルプレートの２次荷電粒子入射端の電位を正
に、他方のマイクロチヤンネルプレートの２次荷
電粒子入射端の電位を負に切換えるだけで良く、
各マイクロチヤンネルプレートからの検出信号の
差を求めるような引算回路が不要となる。その
為、製造コスト的に有利となる。
第１図は本発明の概略構成図、第２図は第１図
で使用されるMCPの平面図、第３図イ，ロは本
発明を説明するための図、第４図は従来装置の概
略構成図、第５図は従来のMCPの平面図、第６
図イ，ロは従来装置を説明するための図である。 １：対物レンズ、２：電子線、３：試料、１
０，１１：MCP、１２，１３：電源、１４：極
性切り換え回路。
で使用されるMCPの平面図、第３図イ，ロは本
発明を説明するための図、第４図は従来装置の概
略構成図、第５図は従来のMCPの平面図、第６
図イ，ロは従来装置を説明するための図である。 １：対物レンズ、２：電子線、３：試料、１
０，１１：MCP、１２，１３：電源、１４：極
性切り換え回路。
Claims (1)
- １ 荷電粒子ビームを試料に照射し該試料より発
生する２次荷電粒子を、該試料に対向して配置さ
れるマイクロチヤンネルプレートにより検出する
荷電粒子ビーム測長機において、前記マイクロチ
ヤンネルプレートを少なくとも２つ以上に分割し
て配置し、測長時に該夫々のマイクロチヤンネル
プレートの２次荷電粒子入射端の電位を正に切換
え、立体走査像観察時に一方のマイクロチヤンネ
ルプレートの２次荷電粒子入射端の電位を正に、
他方のマイクロチヤンネルプレートの２次荷電粒
子入射端の電位を負に切換える手段を設けた荷電
粒子ビーム測長機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61025525A JPS62184752A (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 | 荷電粒子ビ−ム測長機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61025525A JPS62184752A (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 | 荷電粒子ビ−ム測長機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62184752A JPS62184752A (ja) | 1987-08-13 |
| JPH051584B2 true JPH051584B2 (ja) | 1993-01-08 |
Family
ID=12168464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61025525A Granted JPS62184752A (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 | 荷電粒子ビ−ム測長機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62184752A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5202348A (en) * | 1989-12-07 | 1993-04-13 | The University Of British Columbia | Thiarubrine antifungal agents |
| PL207199B1 (pl) | 2003-04-17 | 2010-11-30 | Politechnika Wroclawska | Układ detekcyjny elektronów wtórnych do skaningowego mikroskopu elektronowego |
| PL210038B1 (pl) * | 2004-01-21 | 2011-11-30 | Politechnika Wroclawska | Sposób i układ do kierunkowej detekcji elektronów w skaningowym mikroskopie elektronowym |
| US7531812B2 (en) | 2003-10-27 | 2009-05-12 | Politechnika Wroclawska | Method and system for the directional detection of electrons in a scanning electron microscope |
| EP3203494B1 (en) * | 2014-09-24 | 2019-12-18 | National Institute for Materials Science | Energy-discrimination electron detector and scanning electron microscope in which same is used |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60124852U (ja) * | 1984-02-01 | 1985-08-22 | 日本電子株式会社 | 電子線装置 |
-
1986
- 1986-02-07 JP JP61025525A patent/JPS62184752A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62184752A (ja) | 1987-08-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |