JPS62235954A - プリント配線基板の露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、液状フォトレジストを用いてプリント配線基
板に写真法によって高密度で信頼性の高いレジスト画像
を形成するためのプリント配線基板の露光装置に関する
ものである。

（従来の技術） 従来、特開昭６０−２５０６８９号公報に示されるプリ
ント配４１！基板用全自動露光処理システムがある。こ
の露光処理システムは、プリント配線基板の製作におい
て、まず基板上に液状フォトレジストをコーティングし
、ついで、露光用フィルムを前記レジスト面と非接触の
状態に保持したまま、そのフィルムを通してレジスト面
へ紫外線の露光を行ない、さらにこれを現像して高精度
の画像を形成するシステムである。

具体的には第４図に示されるように液状フォトレジスト
１１を塗布されたプリント配線基板１２を定！８１３上
に位置決めし、一方、ガラス枠１４により支持されたガ
ラス板１５の下面に露光用フィルム１６を位置決めして
真空吸着し、前記液状フォトレジスト１１と前記フィル
ム１６との間に僅かな間隙を保った状態で、前記ガラス
枠１４上の光源からガラス板１５およびフィルム１６を
通して前記基板１２上の液状フォトレジスト１１に乎行
紫外線を照射し、この紫外線が当ったレジストのみを硬
化さぜるようにしている。

このような露光処理システムにおいて、従来は前記公報
にも記載されているように基板上に液状フォトレジスト
をコーティングする手段としてローラコータを使用し、
２本の回転ローラ間に供給された液状フォトレジストを
そのローラ問から基板上に塗布するようにしている。

（発明が解決しようとする問題点） ところがローラコータを使用して前記レジストを塗布し
た場合は、均一なレジストの塗布が困難であり、塗布面
に基板の流れる方向の縦縞が入り、完成したプリント配
線基板に絶縁不良が生じたり、耐薬品性が劣る問題があ
る。また前記ローラコータではレジスト膜を薄く塗布で
きず、露光したとき解像性が劣り、細かいパターンの形
成に支障がある。さらに基板にミシン目が設けられてい
る場合は、ローラコータではそのミシン目の延長上には
レジストが塗布されない問題がある。

本発明の目的は、この従来のローラコータに代えて液状
フォトレジストの塗布機としてスクリーン印刷機を採用
することにより、Ｏ−ラコータが有する問題点を一挙に
解決することにある。

（発明の構成〕 （問題点を解決するための手段） 本発明は、液状フォトレジスト１１のｔＪｆｌ＋された
プリント配ａｍ板１２に写真法によってレジスト画像を
形成するプリンミル配線基板の露光装置において、露光
装置本体２３の基板搬入側に、プリント配線基板１２に
液状フォトレジスト１１を塗布するためのスクリーン印
刷機２１を配設したものである。

（作用） 本発明は、前記スクリーン印刷機２１により基板１２に
液状フォトレジスト１１を均一に薄く塗布し、そしてこ
の液状フォトレジスト１１を前記露光装置本体２３内で
露光する。

（実施例） 以下、本発明を図面に示される実施例を参照して詳細に
説明する。

第１図に示されるように、スクリーン印刷機２１に基板
搬送コンベヤ２２を介して露光装置本体２３を接続する
。

第２図に示されるように前記スクリーン印刷機２１は、
本体３１上の支軸３２により可動基枠３３の一端部が回
動自在に軸支され、この可動基枠３３の他端部は第３図
に示される基板セット用上下動シリンダ３３ａによって
上下動自在に支持され、基板搬入出時に上昇されるとと
もにレジスト塗布時に下降される。

前記可動基枠３３には第３図に示されるように左右一対
のガイドロッド３４が一体的に設けられ、このロッド３
４間にスライダ３５が移動自在に設けられ、このスライ
ダ３５に第２図に示されるようにエアシリンダ３６によ
って上下動されるスクレーパ３７が設けられている。

前記可動基枠３３には版枠取付枠３８が一体に設けられ
、この取付枠３８によって版枠３９が一体的に支持され
、この版枠３９の内部メツシュ部分の下面に第３図に示
されるマスキング用の版４０が貼着される。

また前記可動基枠３３の内部ではほぼ全長にわたって図
示しない無端チェノが設けられ、この無端チェノの一部
に前記スライダ３５が連結され、そして前記無端チェノ
を張設したスプロケットは前記可動基枠３３の一端部に
取付けられた電動モータ４１から回転伝動部４２を介し
正転と逆転とを交互に与えられ、前記スライダ３５を往
復駆動する。

前記可動基枠３３は、第２図に２点鎖線で示されるよう
に版４Ｇを交換するとぎなどに版セット用シリンダ４３
によって版枠３９とともに前記支軸３２を支点として上
方に大きく回動される。また前記版枠３９の下側にはプ
リント配線基板１２の載せ台４４が与板位置決め機構４
５によって移動自在に設けられている。

液状フォトレジストは第３図に示される位置４６に供給
され、このレジストは前記スクレーパ３１によって版４
０の全面に引伸ばされる。

そうして、基板１２が載ぜ台４４上に搬入されたら、ス
クレーパ３７を前記シリンダ３６によってメツシュ面に
下降するとともに、前記図示しない無端ヂエンにより一
側部から他側部に水平に摺動して、前記液状レジストを
マスキング用の版４０を通して基板１２のほぼ全面に均
一に塗布する。前記スクレ−バ３７を戻すとぎは前記シ
リンダ３６によってこのスクレーパ３７を上方に上げ前
記−側部に水平移動する。このようにしてこのスクリー
ン印刷機によって液状フォトレジスト１１を均一に薄く
塗布されたプリント配線基板１２は、前記コンベヤ２２
を経て前記露光装置本体２３内に搬入し、露光処理する
。

〔発明の効采〕

本発明によれば、スクリーン印刷機を用いてプリント配
線基板に液状フォトレジストを塗布するようにしたから
、従来のローラコータの欠点を全て解決でき、基板の全
面に均一で薄い液状フォトレジストの塗布ができる。そ
してこれは完成基板の絶縁性、耐薬品性、露光時の解像
性等の向上につながる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の露光装置の一実施例を示す概略図、第
２図はそのスクリーン印刷機の正面図、第３図はその平
面図、第４図はその露光装置本体の内部の拡大断面図で
ある。 １１・・液状フォトレジスト、１２・・プリント配線基
板、２１・・スクリーン印刷機、２３・・露光装置本体
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）液状フォトレジストの塗布されたプリント配線基
   板に写真法によってレジスト画像を形成するプリント配
   線基板の露光装置において、露光装置本体の基板搬入側
   に、プリント配線基板に液状フォトレジストを塗布する
   ためのスクリーン印刷機を配設したことを特徴とするプ
   リント配線基板の露光装置。