JPS62241876A - 窒化珪素焼結体の製造法 - Google Patents
窒化珪素焼結体の製造法Info
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- JPS62241876A JPS62241876A JP61068287A JP6828786A JPS62241876A JP S62241876 A JPS62241876 A JP S62241876A JP 61068287 A JP61068287 A JP 61068287A JP 6828786 A JP6828786 A JP 6828786A JP S62241876 A JPS62241876 A JP S62241876A
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、酸化特性を向上した窒化珪素焼結体およびそ
の製造法に関するものである。
の製造法に関するものである。
（従来の技術）
従来、窒化珪素焼結体の製造方法としては、市販の窒化
珪素原料粉末にＹｇ（Ｌ＋、Ａ １ ｚＯｓ、ＭｇＯ等
の粒界に液相を形成する焼結助剤を添加し、成形後不活
性ガス雰囲気下で焼成する方法が、例えば特公昭５８−
４９５０９号公報において開示されている。
珪素原料粉末にＹｇ（Ｌ＋、Ａ １ ｚＯｓ、ＭｇＯ等
の粒界に液相を形成する焼結助剤を添加し、成形後不活
性ガス雰囲気下で焼成する方法が、例えば特公昭５８−
４９５０９号公報において開示されている。
（発明が解決しようとする問題点）
ところで、酸化物添加物や窒化珪素原料に元来含まれ焼
結助剤として働＜ＳｔＯ□は、粒界相にガラスを形成し
て組織の緻密化や微構造の形成に有効に作用する。しか
しながら原料として使用する市販の窒化珪素原料粉末は
、酸素含有量が少ないと共にロフト間の酸素含有量の変
動が大きいため、全般的に酸化特性の悪い窒化珪素焼結
体が得られることが多く、最近要望が高まっている酸化
特性および高温強度をともに満足する窒化珪素焼結体を
得ることができなかった。
結助剤として働＜ＳｔＯ□は、粒界相にガラスを形成し
て組織の緻密化や微構造の形成に有効に作用する。しか
しながら原料として使用する市販の窒化珪素原料粉末は
、酸素含有量が少ないと共にロフト間の酸素含有量の変
動が大きいため、全般的に酸化特性の悪い窒化珪素焼結
体が得られることが多く、最近要望が高まっている酸化
特性および高温強度をともに満足する窒化珪素焼結体を
得ることができなかった。
本発明の目的は上述した不具合を解消して、高い耐酸化
特性および高い高温強度特性を有する窒化珪素焼結体お
よびその製造法を提供しようとするものである。
特性および高い高温強度特性を有する窒化珪素焼結体お
よびその製造法を提供しようとするものである。
（問題点を解決するための手段）
本発明の窒化珪素焼結体は、Ｙを必須成分とする焼結助
剤を含む窒化珪素焼結体において、該焼結体中に含まれ
るＳｉ以外の金属イオンＭと酸素イオンＯとのモル比が
、Ｍ：０＝１：２〜ｌ：３の範囲内にあり、かつ該焼結
体がＪＣＰＤＳカード３１−１４６２のＸｗＡ回折パタ
ーンと同一と同定されるＹＳｉＯＪ形態の結晶を実質的
に含まない結晶からなることを特徴とするものである。
剤を含む窒化珪素焼結体において、該焼結体中に含まれ
るＳｉ以外の金属イオンＭと酸素イオンＯとのモル比が
、Ｍ：０＝１：２〜ｌ：３の範囲内にあり、かつ該焼結
体がＪＣＰＤＳカード３１−１４６２のＸｗＡ回折パタ
ーンと同一と同定されるＹＳｉＯＪ形態の結晶を実質的
に含まない結晶からなることを特徴とするものである。
また、本発明の窒化珪素焼結体の製造法は、４．５〜７
．５ｓｍｔ％の５ｉ０２を有する窒化珪素粉末を含む窒
化珪素調整粉末を得る調製工程と、前記窒化珪素調製粉
末を成形して成形体を得る成形工程と、前記成形体を窒
素あるいは不活性ガス雰囲気中で焼成する焼成工程とか
らなり、焼結体中に含まれるＳｉ以外の金属イオンＭと
酸素イオン０とのモル比が、Ｍ：Ｏ＝１：２〜１：３の
範囲内にあり、かつ焼結体がＪＣＰＤＳカード３１−１
４６２のＸ線回折パターンと同一と同定されるＹＳｉ
ＯＪ形態の結晶を実質的に含まない焼結体を得ることを
特徴とするものである。
．５ｓｍｔ％の５ｉ０２を有する窒化珪素粉末を含む窒
化珪素調整粉末を得る調製工程と、前記窒化珪素調製粉
末を成形して成形体を得る成形工程と、前記成形体を窒
素あるいは不活性ガス雰囲気中で焼成する焼成工程とか
らなり、焼結体中に含まれるＳｉ以外の金属イオンＭと
酸素イオン０とのモル比が、Ｍ：Ｏ＝１：２〜１：３の
範囲内にあり、かつ焼結体がＪＣＰＤＳカード３１−１
４６２のＸ線回折パターンと同一と同定されるＹＳｉ
ＯＪ形態の結晶を実質的に含まない焼結体を得ることを
特徴とするものである。
（作 用）
上述した構成において所定範囲の酸素を含む窒化珪素調
製粉末を使用して酸素含有量の多い窒化珪素焼結体を作
製することにより、酸化による体積膨張が大きな結晶相
は生ぜず、高い耐酸化特性および高い高温強度特性を有
する窒化珪素焼結体を得ることができる。すなわち、酸
素含有量の多い焼結体組成はど耐酸化特性が良好になる
が、あまり多すぎるとその粒界相が結晶化しないため、
高温強度の高くない焼結体となる。従ってＳｉｎｇに換
算して４．５〜７．５ｗｔ％の酸素を含有する窒化珪素
粉末を含んだ窒化珪素調製粉末を使用し、焼結体中に含
まれるＳｉ以外の金属イオンＭと酸素イオンＯとのモル
比がＭ：Ｏ＝１：２〜ｌ：３の範囲に入る焼結体を得た
。なお、本発明において酸素含有量をＳｉＯ□の量に換
算して表わしたのは、焼結助剤および不純物の量まで考
慮すると酸素含有量だけを実際に規定することが困難に
なるためである。 ゛ また、原料としてＳｉＯ□に換算して４．５〜７．５ｗ
ｔ％という従来市販の原料より多い酸素含有量を達成す
るには、原料を所定の条件で仮焼するが後述するスラリ
ー加温法を行って得ると好適である。
製粉末を使用して酸素含有量の多い窒化珪素焼結体を作
製することにより、酸化による体積膨張が大きな結晶相
は生ぜず、高い耐酸化特性および高い高温強度特性を有
する窒化珪素焼結体を得ることができる。すなわち、酸
素含有量の多い焼結体組成はど耐酸化特性が良好になる
が、あまり多すぎるとその粒界相が結晶化しないため、
高温強度の高くない焼結体となる。従ってＳｉｎｇに換
算して４．５〜７．５ｗｔ％の酸素を含有する窒化珪素
粉末を含んだ窒化珪素調製粉末を使用し、焼結体中に含
まれるＳｉ以外の金属イオンＭと酸素イオンＯとのモル
比がＭ：Ｏ＝１：２〜ｌ：３の範囲に入る焼結体を得た
。なお、本発明において酸素含有量をＳｉＯ□の量に換
算して表わしたのは、焼結助剤および不純物の量まで考
慮すると酸素含有量だけを実際に規定することが困難に
なるためである。 ゛ また、原料としてＳｉＯ□に換算して４．５〜７．５ｗ
ｔ％という従来市販の原料より多い酸素含有量を達成す
るには、原料を所定の条件で仮焼するが後述するスラリ
ー加温法を行って得ると好適である。
原料粉末あるいはスラリー状態にて酸素含有量を増加さ
せるのは、均一な酸素含有量の分布を持つ焼結体を得る
ためである。すなわち、成形体を仮焼して酸素含有量を
増加させることも考えられるがこの場合、酸化される層
が表面のみに限られ、中まで充分に酸化しない。これに
対して粉末あるいはスラリーを酸化させた場合、空気あ
るいは水の拡散、分散が充分であるため、均一な酸化反
応が進行するとともに、後工程の混合工程により、さら
に均一な成形体及び焼結体を得ることができるためであ
る。また本発明において仮焼温度を８００〜１２００℃
と規定したのは、８００℃以下だと原料が酸化せず所定
の酸素含有量を達成できないと共に、１２００℃以上だ
と酸化しすぎてしまい同様に所定の酸素含有量を達成で
きないためである。また、スラリー加温時の温度を５０
〜１５０℃と規定したのは、５０℃以下だと酸化反応が
進行せず所定の酸素含有量を達成するためには長時間を
要すると共に、１５０℃以上だとスラリーが乾燥してし
まい同様に反応が進行しなくなるためである。
せるのは、均一な酸素含有量の分布を持つ焼結体を得る
ためである。すなわち、成形体を仮焼して酸素含有量を
増加させることも考えられるがこの場合、酸化される層
が表面のみに限られ、中まで充分に酸化しない。これに
対して粉末あるいはスラリーを酸化させた場合、空気あ
るいは水の拡散、分散が充分であるため、均一な酸化反
応が進行するとともに、後工程の混合工程により、さら
に均一な成形体及び焼結体を得ることができるためであ
る。また本発明において仮焼温度を８００〜１２００℃
と規定したのは、８００℃以下だと原料が酸化せず所定
の酸素含有量を達成できないと共に、１２００℃以上だ
と酸化しすぎてしまい同様に所定の酸素含有量を達成で
きないためである。また、スラリー加温時の温度を５０
〜１５０℃と規定したのは、５０℃以下だと酸化反応が
進行せず所定の酸素含有量を達成するためには長時間を
要すると共に、１５０℃以上だとスラリーが乾燥してし
まい同様に反応が進行しなくなるためである。
さらに、所定量のＳｉｎ、を含む窒化珪素調製粉末から
作製した窒化珪素焼結体は、焼結体中に含まれるＳｉ以
外の金属イオンＭと酸素イオンＯとのモル比が、Ｍ：０
＝１：２〜ｌ：３の範囲内の従来よりは高い範囲の酸素
量を含み、それを含むと耐酸化特性が著しく悪化するＪ
ＣＰＤＳカード３１−１４６２のＸ線回折パターンと同
一と同定されるＹＳｉＯ□Ｎ形態の結晶を実質的に含ま
ない耐酸化特性が良好で高い高温強度を有する窒化珪素
焼結体を得ることができる。
作製した窒化珪素焼結体は、焼結体中に含まれるＳｉ以
外の金属イオンＭと酸素イオンＯとのモル比が、Ｍ：０
＝１：２〜ｌ：３の範囲内の従来よりは高い範囲の酸素
量を含み、それを含むと耐酸化特性が著しく悪化するＪ
ＣＰＤＳカード３１−１４６２のＸ線回折パターンと同
一と同定されるＹＳｉＯ□Ｎ形態の結晶を実質的に含ま
ない耐酸化特性が良好で高い高温強度を有する窒化珪素
焼結体を得ることができる。
さらに、焼結助剤中にＭｇ、 Ｃｅを加えた場合は、Ｍ
ｇの添加は焼結しやすくなると共にＭｇ ＋ Ｃｅの添
加ではさらに焼結しやすくなるため好ましい。
ｇの添加は焼結しやすくなると共にＭｇ ＋ Ｃｅの添
加ではさらに焼結しやすくなるため好ましい。
（実施例）
以下、本発明における窒化珪素焼結体の作製方法につい
て説明する。まず、市販の窒化珪素原料を処理して、４
．５〜７．５ｗｔ％のＳｉｎ、を含む窒化珪素原料粉末
とＹを必須成分とする焼結助剤とからなる窒化珪素調製
粉末を準備する。この調製法としては、市販の窒化珪素
原料を８００〜１２００”Ｃの温度で適当時間仮焼する
方法や、スラリー状態の原料を５０〜１５０℃で６時間
〜１日スラリー状態のまま加温するスラリー加温法が好
適である。上述した調製時の粉砕法としては、湿式のア
トリソジョンミル、ボールミル、振動ミル等が好適であ
る。
て説明する。まず、市販の窒化珪素原料を処理して、４
．５〜７．５ｗｔ％のＳｉｎ、を含む窒化珪素原料粉末
とＹを必須成分とする焼結助剤とからなる窒化珪素調製
粉末を準備する。この調製法としては、市販の窒化珪素
原料を８００〜１２００”Ｃの温度で適当時間仮焼する
方法や、スラリー状態の原料を５０〜１５０℃で６時間
〜１日スラリー状態のまま加温するスラリー加温法が好
適である。上述した調製時の粉砕法としては、湿式のア
トリソジョンミル、ボールミル、振動ミル等が好適であ
る。
次に、得られた窒化珪素調製粉末をスプレードライヤ等
の方法で乾燥した後、ラバープレス、射出成形等の方法
により成形して所望の成形体を得る。さらに、得られた
成形体を好ましくは１６５０〜１８００℃の温度で焼成
して、所定の高い耐酸化特性と高い高温強度を有する窒
化珪素焼結体を得る。
の方法で乾燥した後、ラバープレス、射出成形等の方法
により成形して所望の成形体を得る。さらに、得られた
成形体を好ましくは１６５０〜１８００℃の温度で焼成
して、所定の高い耐酸化特性と高い高温強度を有する窒
化珪素焼結体を得る。
以下、実際の例について説明する。
大隻■工
第１図に示す本実施例のフローチャートにそって説明す
ると、まず市販の窒化珪素原料を第１表に示す条件で仮
焼した後、Ｙを必須成分としＭｇ、Ｃｅを適当量含む焼
結助剤とともに湿式アトリソジョンミルにより湿式粉砕
し、第１表に示す種々の組成の窒化珪素調製粉末を得た
０次に、得られた窒化珪素調製粉末をスプレードライヤ
により乾燥した後、ラバープレスにより６０Ｘ６０Ｘ７
ｇｉｍの直方体形状に成形して成形体を得た。さらに、
得られた成形体をＮ２雰囲気、１７５０℃の条件で焼成
して、所望の試験片を得た。
ると、まず市販の窒化珪素原料を第１表に示す条件で仮
焼した後、Ｙを必須成分としＭｇ、Ｃｅを適当量含む焼
結助剤とともに湿式アトリソジョンミルにより湿式粉砕
し、第１表に示す種々の組成の窒化珪素調製粉末を得た
０次に、得られた窒化珪素調製粉末をスプレードライヤ
により乾燥した後、ラバープレスにより６０Ｘ６０Ｘ７
ｇｉｍの直方体形状に成形して成形体を得た。さらに、
得られた成形体をＮ２雰囲気、１７５０℃の条件で焼成
して、所望の試験片を得た。
得られた試験片に対して、焼結体中に含まれるＳｉ以外
の金属イオンと酸素イオンとのモル比、１２００℃にお
けるＪＩＳ Ｒ−１６０１ｒファインセラミックスの曲
げ強さ試験法」に準する四点曲げ強度および耐酸化特性
として８００℃、１００時間保持後の破壊の有無をそれ
ぞれ測定した。結果を第１表に示す。なお第１表の耐酸
化特性中、○は８００℃、１００時間保持後も破壊しな
かったものを、×は８００℃、１００時間以内で破壊し
たものを示す。
の金属イオンと酸素イオンとのモル比、１２００℃にお
けるＪＩＳ Ｒ−１６０１ｒファインセラミックスの曲
げ強さ試験法」に準する四点曲げ強度および耐酸化特性
として８００℃、１００時間保持後の破壊の有無をそれ
ぞれ測定した。結果を第１表に示す。なお第１表の耐酸
化特性中、○は８００℃、１００時間保持後も破壊しな
かったものを、×は８００℃、１００時間以内で破壊し
たものを示す。
第１表の結果から明らかなように、本発明の範囲内の試
料はすべて良好な耐酸化特性と共に高い高温強度を有し
ているのに対し、一つでも本発明の条件を満たしていな
い試料は所定の耐酸化特性又は高温強度を満たさなかっ
た。
料はすべて良好な耐酸化特性と共に高い高温強度を有し
ているのに対し、一つでも本発明の条件を満たしていな
い試料は所定の耐酸化特性又は高温強度を満たさなかっ
た。
大嵐■叉
第２図に示す本実施例のフローチャートにそって説明す
ると、まず市販の窒化珪素原料とＹを必須成分としＭＬ
Ｃｅを適当量含む焼結助剤とを湿式アトリソジョンミル
により湿式粉砕し、第２表に示す種々の温度に所定時間
保持してスラリー加温処理して第２表に示す種々の組成
の窒化珪素調製粉末を得た。次に、得られた窒化珪素調
製粉末をスプレードライヤにより乾燥した後、ラバープ
レスにより６０Ｘ６０Ｘ ７ 鰭の直方体形状に成形し
て成形体を得た。さらに、得られた成形体をＮｔ雰囲気
、１７５０℃の条件で焼成して、所望の試験片を得た。
ると、まず市販の窒化珪素原料とＹを必須成分としＭＬ
Ｃｅを適当量含む焼結助剤とを湿式アトリソジョンミル
により湿式粉砕し、第２表に示す種々の温度に所定時間
保持してスラリー加温処理して第２表に示す種々の組成
の窒化珪素調製粉末を得た。次に、得られた窒化珪素調
製粉末をスプレードライヤにより乾燥した後、ラバープ
レスにより６０Ｘ６０Ｘ ７ 鰭の直方体形状に成形し
て成形体を得た。さらに、得られた成形体をＮｔ雰囲気
、１７５０℃の条件で焼成して、所望の試験片を得た。
得られた試験片に対して、焼結体中に含まれるＳｉ以外
の金属イオンと酸素イオンとのモル比、１２００℃にお
けるＪＩＳ Ｒ−１６０１ｒファインセラミックスの曲
げ強さ試験法」に準する四点曲げ強度および耐酸化特性
とし−ｅ ｇｏｏ℃、１００時間保持後の破壊の有無を
それぞれ測定した。結果を第２表に示す。なお第２表の
耐酸化特性中、○は８００℃、１００時間保持後も破壊
しなかったものを、×は８００℃、１００時間以内で破
壊したものを示す。
の金属イオンと酸素イオンとのモル比、１２００℃にお
けるＪＩＳ Ｒ−１６０１ｒファインセラミックスの曲
げ強さ試験法」に準する四点曲げ強度および耐酸化特性
とし−ｅ ｇｏｏ℃、１００時間保持後の破壊の有無を
それぞれ測定した。結果を第２表に示す。なお第２表の
耐酸化特性中、○は８００℃、１００時間保持後も破壊
しなかったものを、×は８００℃、１００時間以内で破
壊したものを示す。
第２表の結果から明らかなように、本発明の範囲内の試
料はすべて良好な耐酸化特性と共に高温強度を有してい
るのに対し、一つでも本発明の条件を満たしていない試
料は所定の耐酸化特性又は高温強度を満たさなかった。
料はすべて良好な耐酸化特性と共に高温強度を有してい
るのに対し、一つでも本発明の条件を満たしていない試
料は所定の耐酸化特性又は高温強度を満たさなかった。
（発明の効果）
以上詳細に説明したところから明らかなように、本発明
の窒化珪素焼結体およびその製造法によれば、従来の含
有量より多い所定量の酸素を含有する窒化珪素調製粉末
を出発原料として窒化珪素焼結体を作製しているため、
高い耐酸化特性および高い高温強度を共に満足する窒化
珪素焼結体を得ることができる。
の窒化珪素焼結体およびその製造法によれば、従来の含
有量より多い所定量の酸素を含有する窒化珪素調製粉末
を出発原料として窒化珪素焼結体を作製しているため、
高い耐酸化特性および高い高温強度を共に満足する窒化
珪素焼結体を得ることができる。
第１図および第２図はそれぞれ本発明の一実施例を示す
フローチャートである。 手 続 補 正 書 昭和６２年 ５月 ６日 キ許庁長官 黒 １） 明 雄 殿十の表示 昭和６１年特許願第６Ｅ１２Ｂ７号 １の名称 二をする者 事件との関係 特 許 出 願 人 理人 １、明細書第１頁第３行〜第２頁第２０行間の特許請求
の範囲を下記の通り訂正する。 「２、特許請求の範囲 １、 Ｙを必須成分とする焼結助剤を含む窒化珪素焼
結体において、該焼結体中に含まれるＳｉ以外の金属イ
オンＭと酸素イオンＯとのモル比が、Ｍ：０＝ｌ：２〜 １：３の範囲内にあり、かつ該焼結体がＪＣＰＤＳカー
ド３１−１４６２のＸ線回折パターンと同一と同定され
るＹＳｉＯＪ形態の結晶を実質的に含まない結晶からな
ることを特徴とする窒化珪素焼結体。 ２、前記焼結助剤がＭｇを含む特許請求の範囲第１項記
載の窒化珪素焼結体。 ３、 前記焼結助剤がＭｇおよびＣｅを含む特許請求の
範囲第１項記載の窒化珪素焼結体。 ４、 ４．５〜？、５ｗｔ％のＳｉＯ□を含む窒化珪素
調整粉末を得る調製工程と、前記窒化珪素調製粉末を成
形して成形体を得る成形工程と、前記成形体を窒素ある
いは不活性ガス雰囲気中で焼成する焼成工程とからなり
、焼結体中に含まれるＳｉ以外の金属イオンＭと酸素イ
オンＯとのモル比が、Ｍ：Ｏ＝１：２〜１：３の範囲内
にあり、かつ焼結体がＪＣＰＤＳカード３１−１４６２
のＸ線回折パターンと同一と同定されるＹＳｉＯ□Ｎ形
態の結晶を実質的に含まない焼結体を得ることを特徴と
する窒化珪素焼結体の製造法。 ５、前記調製工程が、窒化珪素−を１」！先≧２化珪素
調製粉末を得る工程よりなる特許請求の範囲第４項記載
の窒化珪素焼結体の製造法。 ６、前記調製工程が、窒化珪素−此ま湧した亡−３１４
ＭしにΦ−スラリーを５０〜１５（ＦＣに加温する工呈
を春むことを ′ とｔ工前記窒化珪素調製粉末を得る
工程よりなる特許請求の範囲第４項記載の窒化珪素焼結
体の製造法。」 ２、明細書第５頁第１５行の「粒界相が結晶化しないた
め、」を「粒界相が十分に結晶化せずガラス相が残存す
るため、」に訂正する。 ３、同第６頁第１行の「本発明において酸素」をｒ本発
明において窒化珪素調整粉末中の酸素」に訂正する。 ４、同第７頁第７行の［達成するためには長時間を要す
ると共に、」を「達成できないと共に、」に訂正する。
フローチャートである。 手 続 補 正 書 昭和６２年 ５月 ６日 キ許庁長官 黒 １） 明 雄 殿十の表示 昭和６１年特許願第６Ｅ１２Ｂ７号 １の名称 二をする者 事件との関係 特 許 出 願 人 理人 １、明細書第１頁第３行〜第２頁第２０行間の特許請求
の範囲を下記の通り訂正する。 「２、特許請求の範囲 １、 Ｙを必須成分とする焼結助剤を含む窒化珪素焼
結体において、該焼結体中に含まれるＳｉ以外の金属イ
オンＭと酸素イオンＯとのモル比が、Ｍ：０＝ｌ：２〜 １：３の範囲内にあり、かつ該焼結体がＪＣＰＤＳカー
ド３１−１４６２のＸ線回折パターンと同一と同定され
るＹＳｉＯＪ形態の結晶を実質的に含まない結晶からな
ることを特徴とする窒化珪素焼結体。 ２、前記焼結助剤がＭｇを含む特許請求の範囲第１項記
載の窒化珪素焼結体。 ３、 前記焼結助剤がＭｇおよびＣｅを含む特許請求の
範囲第１項記載の窒化珪素焼結体。 ４、 ４．５〜？、５ｗｔ％のＳｉＯ□を含む窒化珪素
調整粉末を得る調製工程と、前記窒化珪素調製粉末を成
形して成形体を得る成形工程と、前記成形体を窒素ある
いは不活性ガス雰囲気中で焼成する焼成工程とからなり
、焼結体中に含まれるＳｉ以外の金属イオンＭと酸素イ
オンＯとのモル比が、Ｍ：Ｏ＝１：２〜１：３の範囲内
にあり、かつ焼結体がＪＣＰＤＳカード３１−１４６２
のＸ線回折パターンと同一と同定されるＹＳｉＯ□Ｎ形
態の結晶を実質的に含まない焼結体を得ることを特徴と
する窒化珪素焼結体の製造法。 ５、前記調製工程が、窒化珪素−を１」！先≧２化珪素
調製粉末を得る工程よりなる特許請求の範囲第４項記載
の窒化珪素焼結体の製造法。 ６、前記調製工程が、窒化珪素−此ま湧した亡−３１４
ＭしにΦ−スラリーを５０〜１５（ＦＣに加温する工呈
を春むことを ′ とｔ工前記窒化珪素調製粉末を得る
工程よりなる特許請求の範囲第４項記載の窒化珪素焼結
体の製造法。」 ２、明細書第５頁第１５行の「粒界相が結晶化しないた
め、」を「粒界相が十分に結晶化せずガラス相が残存す
るため、」に訂正する。 ３、同第６頁第１行の「本発明において酸素」をｒ本発
明において窒化珪素調整粉末中の酸素」に訂正する。 ４、同第７頁第７行の［達成するためには長時間を要す
ると共に、」を「達成できないと共に、」に訂正する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、Ｙを必須成分とする焼結助剤を含む窒化珪素焼結体
において、該焼結体中に含まれるＳｉ以外の金属イオン
Ｍと酸素イオンＯとのモル比が、Ｍ：Ｏ＝１：２〜１：
３の範囲内にあり、かつ該焼結体がＪＣＰＤＳカード３
１−１４６２のＸ線回折パターンと同一と同定されるＹ
ＳｉＯ＿２Ｎ形態の結晶を実質的に含まない結晶からな
ることを特徴とする窒化珪素焼結体。 ２、前記焼結助剤がＭｇを含む特許請求の範囲第１項記
載の窒化珪素焼結体。 ３、前記焼結助剤がＭｇおよびＣｅを含む特許請求の範
囲第１項記載の窒化珪素焼結体。 ４、４．５〜７．５ｗｔ％のＳｉＯ＿２を含む窒化珪素
調整粉末を得る調製工程と、前記窒化珪素調製粉末を成
形して成形体を得る成形工程と、前記成形体を窒素ある
いは不活性ガス雰囲気中で焼成する焼成工程とからなり
、焼結体中に含まれるＳｉ以外の金属イオンＭと酸素イ
オンＯとのモル比が、Ｍ：０＝１：２〜１：３の範囲内
にあり、かつ焼結体がＪＣＰＤＳカード３１−１４６２
のＸ線回折パターンと同一と同定されるＹＳｉＯ＿２Ｎ
形態の結晶を実質的に含まない焼結体を得ることを特徴
とする窒化珪素焼結体の製造法。 ５、前記調製工程が、窒化珪素原料粉末を空気中で８０
０〜１２００℃に仮焼した後、Ｙを必須成分とする焼結
助剤と共に湿式粉砕して前記窒化珪素調製粉末を得る工
程よりなる特許請求の範囲第４項記載の窒化珪素焼結体
の製造法。 ６、前記調製工程が、窒化珪素原料粉末とＹを必須成分
とする焼結助剤とを湿式粉砕してスラリーを得た後、該
スラリーを５０〜１５０℃に加温して前記窒化珪素調製
粉末を得る工程よりなる特許請求の範囲第４項記載の窒
化珪素焼結体の製造法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61068287A JPS62241876A (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | 窒化珪素焼結体の製造法 |
| DE19873709137 DE3709137A1 (de) | 1986-03-28 | 1987-03-20 | Siliciumnitrid-sinterkoerper, verfahren zu ihrer herstellung und siliciumnitridpulver |
| DE3744692A DE3744692C2 (de) | 1986-03-28 | 1987-03-20 | Siliciumnitridpulver und Verfahren zu seiner Herstellung |
| US07/028,724 US4818733A (en) | 1986-03-28 | 1987-03-23 | Silicon nitride sintered bodies and a method of producing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61068287A JPS62241876A (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | 窒化珪素焼結体の製造法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4016398A Division JP2577155B2 (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 窒化珪素焼結体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62241876A true JPS62241876A (ja) | 1987-10-22 |
| JPH0321500B2 JPH0321500B2 (ja) | 1991-03-22 |
Family
ID=13369400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61068287A Granted JPS62241876A (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | 窒化珪素焼結体の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62241876A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02107509A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-04-19 | Bayer Ag | 表面特性が改善された窒化硅素粉末及びその製造法 |
| JP2007230788A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-13 | Kyocera Corp | 窒化珪素質焼結体 |
-
1986
- 1986-03-28 JP JP61068287A patent/JPS62241876A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02107509A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-04-19 | Bayer Ag | 表面特性が改善された窒化硅素粉末及びその製造法 |
| JP2007230788A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-13 | Kyocera Corp | 窒化珪素質焼結体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0321500B2 (ja) | 1991-03-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |