JPS62245924A - 空気質量流量センサおよびその質量流量に関する出力信号発生方法 - Google Patents

空気質量流量センサおよびその質量流量に関する出力信号発生方法

Info

Publication number
JPS62245924A
JPS62245924A JP61280538A JP28053886A JPS62245924A JP S62245924 A JPS62245924 A JP S62245924A JP 61280538 A JP61280538 A JP 61280538A JP 28053886 A JP28053886 A JP 28053886A JP S62245924 A JPS62245924 A JP S62245924A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mass flow
air
resistance
temperature
bridge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP61280538A
Other languages
English (en)
Inventor
ステフアン ジエー.シトロン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Purdue Research Foundation
Original Assignee
Purdue Research Foundation
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Purdue Research Foundation filed Critical Purdue Research Foundation
Publication of JPS62245924A publication Critical patent/JPS62245924A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
    • G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
    • G01F1/6965—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters comprising means to store calibration data for flow signal calculation or correction

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Details Of Flowmeters (AREA)
  • Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は質量流量センサに関し、より詳細には、周囲
の気温の変化により、もたらされる−差を補償する、い
わゆるTCOMP温度補償を有する、金属箔ブリッジ型
の空気質−1に流量センサおよびその質量流量に関する
出力信号発生方法に関する。
(従来の技術) 空気の質量流量センサは自動車業界において内燃機関へ
の大量の吸気を測定するために、ますます利用されて来
ている。次いで、この測定値は、多くの場合マイクロプ
ロセッサに基づく装置である、エンジン制御器によって
利用されて、特に燃料効率を最大にし、かつ%環境汚染
を最小にするということに関してエンジンの性能を最適
化する。従って、空気の質量流量測定値が、技術的に許
容される限り正確であるべきだということは型費である
。
広く利用されている空気質量流量センサの1つは、ブリ
ッジ型の空気質量流量センサとよく称されている高温薄
膜アネモメータである。ブリッジ型の空気質tfL量七
ンサにおいて、電熱回路が利用されて金属箔を特定の一
定温度に保持する。該箔はエンジンの吸気の通路に置か
れる。該気流が箔を通り過ぎる際、熱が箔から構成され
る装置が平衡状態におる場合、箔から失なわれる熱量は
、箔に供給される電気エネルギーの童に等しくなければ
ならない。従って、箔に供給される電気エネルギーを感
知することによって、空気51ii量を表わす出力信号
を発生することができる。
次に第1ないし第3図を用いて従来の技術を詳細に述べ
る。ここで高温薄膜アネモメータ(風速計)、すなわち
ブリッジ型の空気の質量流量センサ8を第1図に示され
る単純回路について考察する。アネモメータの説明で、
薄膜(フィルム)および箔(ホイル)の用語が使用され
るが、これは熱線アネモメータとしての装置を表現する
。該回路はホイートストンブリッジ10および高利得差
動増幅器12から構成されている。増幅器12はその入
力での電圧差をブリッジ10への出力電流に変換する。
ホイートストンブリッジはそれぞれR1e Ra # 
RaおよびR4の抵抗を有する4つの抵抗器14,15
゜16および17から構成される。抵抗器14は箔から
成り、以下で箔14と称される。抵抗器15.16およ
び17はここでは一定値を有する標準抵抗器と考えるこ
とができる。
ブリッジの右側すなわち基準側を形成する抵抗器15と
16は、左側すなわち感知側の抵抗器14と17よりは
るかに大きい抵抗を有する。
このために、ブリッジの右側を通って流れる電流の量を
制限する。抵抗器15と16の値は同等である。
抵抗R8とR1が等しい場合、R8とR1が等しければ
該ブリッジは平衡を保っている。箔14の抵抗R3はそ
の温度により変化する。従って、箔14の温度が、その
抵抗R1がR4に等しいようなものである場合に、該ブ
リッジは平衡を保っている。従って、ブリッジが平衡を
保っている?!!+14の温度は、R,、R,およびR
,を選択することによって一定になる。
回路が平衡状態にあり、ブリッジ10が僅かに不均衡で
ある場合、″増幅器12の入力端子にかかる電圧差が存
在するであろう。ブリッジ不均衡の大きさは増幅器利得
に左右される。利得が無限大に近づくにつれて、ブリッ
ジ不均衡は、明らかに、ゼロに近づく。差の電圧によっ
て増幅器12はブリッジ10に、従って箔14に電流を
供給する。箔14を通って流れる′fIL流は、箔14
を介して流れる空気によって生ずる冷却と等しい電気に
よる加熱を行なうことになる。
空気の流量が増加する場合、気流による冷却もまた増加
し、そして箔14の温度は下降し始める。箔14の低温
によって低い箔抵抗R5を発生し、そのためにブリッジ
10を一層不均衡にさせる。次いで、増幅器12への差
の電圧入力が増加し、そして箔14を通って流れる電流
が増加し、その結果、十分な電気的加熱が生じて増加冷
却を相殺し、ブリッジlOを平衡状態に災す。
空気質量流世上/す8からの出力信号は、箔14を通っ
て流れる*aから得られるが、該電流は箔14にかかつ
て流れる空気の質量流量に関連する。ブリッジの左脚に
おける11i抗(R。
+R4)″′r!会箪1−たこの雷廖はブリッジ電圧v
bを発生する。抵抗R4は一定であり、そして箔14の
抵抗R、は、ブリッジ平衡の要件によって決定されるよ
うな、空気の質量流量動作範囲を通じて、基本的に一定
のままである。従って、ブリッジ電圧vbは箔14を通
って流れる電流によってのみ変動し、その結果、空気の
質量流量センサ8の出力として適している。
自動車のニンジン意は非常に雑音の多い電気的環境であ
り、適切な信号対雑音比を保証するよう注意しなければ
ならないことに注目すべきである。雑音問題を最小にす
るたゆに、ブリッジ電圧vbは、電気的雑音に対して余
り敏感でないAC信号に変換されることができる。
空気の質量流量センサの量的定常状態モデルが展開され
て、さらにその動作について考察する。該モデルは、い
かに空気の1i量流量センサが動作するのか、および周
囲気温の変化のような種々の外部ファクタがいかに装置
の動作に影響を及ぼすのかを、よυ十分に示す役に立つ
であろう。
該モデルは、窒気質量流世上ンサ8が平衡状態におる場
合、箔14に供給された電気エネルギーはW314によ
って失なわれた熱エネルギーと等しくなければならない
、という前述の原理に基づいている。エネルギー平衡と
称されるこの原理は下記の式で表わされる。
Q(ふ)”It”  Rt             
(1)但し。
工、 は箔14に送られる電流 m  は箔14を介する空気の質′17に流量q(+m
)は箔14からの熱損失の総比率箔14を介する空気の
質量流量に依存 して表示される、および R1は箔14の抵抗、である。
定常状態モデルの展開は2つの基本部分から構成される
。熱伝達モデルは熱伝達率Qを予測するために必要とさ
れ、そして電気回路のモデルは箔141に流I、および
それによりブリッジ出力回圧vbを予測するために必要
とされる。
空気が箔14を介して流れる際に、熱エネルギーはそれ
から増り除かれる。この冷却効果は電気エネルギー人力
によって相殺される。定常状態では、これらの量は等し
くなければならない。従って Q(ふ)=工、″RI         (2)定常状
態モデルの展開における第1段階は質量流量ふと熱伝達
Qとの間の関係を見つけることである。箔14からの熱
伝達は、対流および放射的熱伝達から構成されると考え
られる。これらの各々は個別に説明する。
対流熱伝達は、箔14を各して流れる空気の直接結果と
して生ずる熱伝達である。箔14は平行な流れにおける
均一の温度を有する平らな板として作られる。載板から
の対流伝達に対する一般式は次のように誉〈ことができ
る。
qc=h(a+)Af (TI  TI)      
(3)但し、 Af  は箔14の有効面積 h (rn)は平均熱伝達係数(空気の一定熱特性をと
ると熱伝達係数は質量流量だけの 関数となる) Q (c)は対流熱伝達率 Ta  は周囲気温、および T、は箔14の温度、である。
動作中、熱はまた、放射によって箔14から失なわれる
。放射熱伝達は箔14とその周囲との間の放射の正味交
換に等しくなっている。吸気流管(第18図の100.
第22図の200)は完全に箔14を包囲しており、か
つ、抜管を通って流れるを気は放射プロセスに影脣を与
えないと考えられるので、放射熱伝達は下記のように表
わすことができる。
qr=giyAf(TI’  T6’)      (
4)但し、 qr  は放射熱伝達、 1 は箔の放射率。
σ はステファン−ボルツマン♀1およびTsは流管の
表面温度、である。
余熱伝達は対流および放射の熱伝達の合計となっている
。
Q=  qe+q r               
(5)式3,4および5を結合すると下記が生ずるQ 
(m)=h (’n)Af (T1−T4)+a th
t (T−−T!l’)  (6)弐6は、箔14に影
響を与える熱伝達プロセスのモデルを与える。該モデル
を利用することにより、対流が熱伝達の主要モードであ
ることが示される。
第2図は、従来技術のブリッジ型における空気の質量流
量センサ18の用単純回路を概略的に示す。
空気の質量流量センサ18にはブリッジ回路19がある
。ブリッジ回路19Fi、実例として、第1と第2の直
列接続の一部20と22を備えており、該1141にl
Stよ第3と第4の直列接続の脚部24と26 V(、
並列に接続している。第1脚部20は、図例では、抵抗
R,を有する金属箔素子28から成る。第2゜第3およ
び第4の脚部22.24.26  はそれぞれ図例では
抵抗器25,21.23から成るが、それらは各自、抵
抗R4,R,およびR3を有する。連続を保つため、ブ
リッジ回路19の抵抗は、第1図のブリッジ回路10の
抵抗と同じ名称R1s ”* * R1+ p、を与え
られている。
脚部24と26の接続点は差動増幅器32のプラス(ト
)入力端子30に接続する。脚部20と22の接続点は
差動増IIQ器32のマイナス(→入力端子34に接続
する。差動増flB器32の出力端子36はトランジス
タ38のペースに接aする。
トランジスタ38のエミッタはアースに接続し、そして
トランジスタ38のコレクタはブリッジ回路19の脚部
22.26の接続点4oに接続する。ブリッジ回路19
の脚部20.24の接続点42は電源の正端子B+に接
続するが、図示されていない。
第2図に示される嚇純電気回路は、箔28の抵抗R11
ブリツジ19の電圧vbおよヒ箔28を通って流れる電
流工、■間の関係を展開するために利用される。下記の
変数は次のように定義されている。
R1は箔28の抵抗、 T、は箔28の温度、 ■、は箔28を通って流れる′ft流、vb は直列接
続の脚部20.22と直列接続の脚部24.26の並列
接続にかか つて取られたブリッジ電圧。
vB はアースに関するトランジスタ38のペースにお
ける電圧、 Vc  はアースに関するトランジスタ38のコレクタ
における電圧、 ・+はアースに関する演算増幅器32の端子30におけ
る入力電圧、 C−はアースに関する演算増1−器32の端子34にお
ける入力電圧、 A は演算増幅器32の利得、および ・0 はアースに関する演算増幅器32の出力端子36
における出力電圧、である。
抵抗器21,23.25の抵抗R,,R畠およびR4は
それぞれ、すべてこの点では一定であると考えられる。
第2図に示された回路の動作を特徴づける式は、ここで
明らかになる。電圧・−は電圧VaプラスR6にかかる
電圧降下となっている。R4にかかる電圧降下は、vb
の電圧分割により明らかになる。従って電圧・−は下記
のように表わすことができる、 同様に、電圧6+は次のようになる、 演算増幅器32の出力電圧・。は、入力差動電圧と演算
増幅器利得の関数として表わすことができ、下記のよう
になる。
・6 = A (e”−e−)         (9
)式7と8および・o=VBという事実を利用して、式
9はブリッジ出力電圧として解くことができ、下記を与
える。
B トランジスタの動作は、ペースにおける′FjLEEv
B%従って60が基本的には一定であるようなものとな
っている。式10は、ブリッジ’lit王vbの冷抵抗
R,との間の所望の関係を与える。
式2のエネルギー平衡における利用のために、箔28を
通って流れる電流を求めねばならない。
電流I、はブリッジ電圧vbおよび抵抗R3とR4から
得ることができる。
箔28におけるエネルギー平衡を形成するために必要な
全ての量は、ここで2つを除けば手に入れることができ
る。冷抵抗R1と箔温度T1の間の関係は、出力電圧/
周波数変換器(図示されていない)の特徴のように1%
定されねばならない。箔温度と抵抗間の関係は既知であ
ると考えられていて、従って次のように表わすことがで
きる。
R1=  R1(’rt )           (
12)電圧/同波数変換器は電圧制御発掘器(にO)で
あり、その直線的入力/出力関係は下記で与えられる。
f =CI V b + Ct           
(13)但し、 C,、C,は装置定数、 f は出力周波数、および vb  はブリッジ電圧、である。
モデルを説明する6つの式、すなわち式2゜6.10,
11,12および13は番号を付は変えられて、以下に
記載される。
J ;Rt (’[’l )           (
14)Q(2=h !Af (TI−T4)−)−gσ
Af (T−−Ts’)   (15)Q(み) ” 
RRt             (16)vb=xt
 (R1+R4)           (17)V)
1 上記関係によって6つの未知数f、 Vb、 R1、T
、、I、およびQ、既知のm、TaおよびTaに対する
6つの式を与える。これらの式の一般解手順の説明に進
行する前に、なお別の@祭を行なうこともできる。式1
8はvbを%VB(アースに関するトランジスタのベー
スにおける’I!(If)、A(演算増幅器利得)およ
びブリッジを形成する4つの抵抗の関数として与えてい
る。これらのうち、Rye R1,R,、Ajlpよび
vBは一定テ6ると考えられtRlは未知数となってい
る。
演算増幅器の利得は非常に大きく、無限大とされること
もよくある。そこでこの想定が回路モデルを簡素化する
のに利用される口 演算増幅器利得が無限大に接近することを許容される場
合、vbが有限のままであるためには、下記の式が有効
でなければならない。
式20をたすき掛けした後、式を整理して以下のブリッ
ジ平衡式(21)を得る。
従って、定常状態箔抵抗R1は抵抗R,,R1、九 に
よって固定される。箔28の抵抗が固定する場合には%
箔28の温度T1 もまた、式14によって固定妊れる
。R1e RmおよびR,を選定することによって、箔
28が作動する温度、すなわちブリッジ19と均衡する
抵抗を箔28が有している際のm麻が選宇貞れ禍スー空
気の質P流量を測るセンサー8の流管(図示されていな
い)についての周囲気温Taおよび表面温度Tsが既知
である場合には、式15は箔28からの全熱伝達Qを、
質量流量二の関数として与える。全熱伝達が質量流量の
関数として既知である場合vcl−i、エネルギー平衡
、すなわち式16が、箔抵抗R1と一緒に利用されて、
箔28を通って流れる電流工、を計算することができる
。
式17と22を結合することによって、ブリッジ電圧が
得られる。
この式を調べることにより、ブリッジ電圧は、Q、R,
およびR1の関数だけであることが判明する。2つの抵
抗が一定であれば、(式(21)参照)、ブリッジ電圧
は、質量流量の関数でbるQの関数にすぎない。従って
この場合、演算増幅器利得は無限大であると考えられて
おり、ブリッジ電圧と空気の質量流量との間の直接関係
は容易に理解することができる口さらに、出力周波数は
ブリッジ電圧に直線的に関係する。
従って、出力周波数は質量流量の直接関数となっている
。
上述の近似計算は納得できるけれども実際には、演算増
幅器は無限大利得を有してはいない。
従って、6つの系統式、すなわち式14−19の同時解
が要求される。それらの式は反復手順によって解かれる
。この解法手続きによって、空気の質量流量センサ18
の流管温度および周囲気温とは既知であることから、質
量流量に対する空気質量流量センサ18の出力電圧と周
波数が既知となる。
また、これまでにコンピュータシミュレーションからの
多くの応用される結果が提示されている。これらの結果
を得るために利用される電気回路および熱伝達モデルは
、すでに提示されたものとは幾分異なる。第3図に示さ
れる新規の電気回路は、前述のホイートストンブリッジ
をなお有してはいるが、使用中の回路のうちでもより典
型的なものであるよう選択されている。
該回路性能は前述の単純回路のそれと同様であり、骸単
純回路に関する性能の説明が適用される。従って、第2
図に示された回路を引用することになろう。新規熱伝達
モデルは前のモデルに準拠するが、修正されて実験デー
タに一致するようになっている。
回路モデルを実現するためには、ブリッジ回路19のパ
ラメータについて評細に述べる必要がある。選定された
値は空気3![量流童センサ18において使用される実
際値を表わす。抵抗器21と23の抵抗器、とR島は、
1352.73オームおよび1417.91オームがそ
れぞれ選択されている。抵抗器25の抵抗R1は5.0
281オームと特定されており、箔28は95℃の温度
で4.797オームの抵抗を有する。演算増@532の
利得Aは100.000となっている。ブリッジ平衡の
要件のために、ブリッジは約9scoa度の箔28を有
して動作する。
空気質量流量センサの動作範囲は、2 t / sから
1402/sであるとされている。空気質量fLt七ン
サのモデルは、周囲気温を一定の20℃に保ちながら、
この流量範囲にわたる出力電圧を予測するのに利用され
てφる。この結果は第4図に示される。すでに述べたよ
うに、ブリッジ電圧は周波数に変換され−C1信号の雑
音妨害を最小化する。該モデルによって予測される、出
力周波数は第5図に示される。
実例として、仝気質輩流世上ンサは、−40℃から80
℃までの温度にわたる空気質量流量を測定しなければな
らない。従って、周囲気温における変化が、空気質t重
量センサの出力に与える効果は考慮すべき重要な問題で
ある。
シだニレ−ジョンを利用して、空気質量流量に対する空
気質量流量センサ18の鞠波数出力のプロット&−を旭
5【ヅr夷り貞鉛−でいス−rのシミニレ−ジョンにお
いて、周囲気温は20℃となっている。−40℃、20
℃および80℃の周囲気温における同じシミュレーショ
ンからの結果は、第6図で示される。
第6図に示される結果により、−室空気質量流量におい
て1周波数出力の大きい変化は周囲気温の変化によりひ
き起されることが明らかである。従って、空気質量流量
センサ18の出力は空気質量流量だけでなく、r*囲気
温にも依存する。このことは望ましくはない。周囲気温
に対する空気質量流量セン?18の出力の感度は、次の
ように説明することができる。
第1に、ブリッジ回路19が設けられているので、周囲
気温が変化しても、温度TIは変化しない。そこで出力
周波数の周囲気温への依存度は下記の単純熱伝達モデル
を検査することによって説明され得る。
Q(2=h(QAf (Tl−T4)+aaAf (T
、’−Tl’)(24)対流熱伝達は箔温度マイナス周
囲気温の関数となっている。放射による熱損失は箔温度
の4乗マイナス流管(第18図の100.第22図の2
00)の表面温度の4乗となっている。該流管の温度は
周囲気温に関連する。
気温が高くなるにつれて、対流ならびに放射の両方によ
る熱損失は減少する。低減した熱損失のために、箔28
の温度を保持するために必要な電流は少なくて済むよう
になる。ブリッジ電圧、従って空気質量流量セy?18
の周波数出力は、減少する。気温が低下すると上述の逆
の現象が起こる。これらの直観的解釈は、第6図に示さ
れる結果によって支持される。空気質量流量セン−9′
18が有用な装置であるためには、周囲温度に対するそ
の感度を低減する何らかの手段を導入せねばならない。
TCOMP方法と称嘔れる、この結論を達成するだめの
従来技術による受動的補償末は、以下で示される。TC
OMP技術を利用することでかなりの誤差が低減される
が、一層の誤差の低減が所望されており、この発明によ
る誤差修正技術が必要とされるに至る口 主となる熱伝達モードは対流である。熟眠達モデル(式
24)と注目することによって、箔28と空気間の一定
温度差を保持することによって、対流熱伝達における周
囲気温変化の効果を填り除くであろうことが明らかにな
る。
放射熱伝達は箔温度の4乗と流管温度の4乗間の差に依
存するのであるが、但し、流管温度は周囲気温に依存す
る。従って%吊28と周囲気温の温度差を一定にしても
5周囲温度の変化から独立の放射項にはならない。むし
ろ、ある基準周囲温度に関連して、周囲温度の増加に対
して原型以上の放射熱伝達を生じ、かつ、周囲温度の減
少に対してa型以下の放射熱伝達を生ずる。
別の誤差源は、空気の熱特性は温度によって変化し、前
に想定したように一定ではないという事実に起因する。
空気の熱%性にh・ける変動は対流熱伝達係数に、従っ
て対流熱伝達に、直接に影響する。気温が上昇するにつ
れて、対流係数も上昇し、所定の空気質量流量ならびに
温度差に対して相当量の熱損失を生ずる。上で説明した
ように、放射項も同様に、周囲温度に依存している。
従って、箔28と周囲気温との間に一定の温度差がある
場合に対して、対流および放射の熱伝達項は、なお周囲
温度に依存している。周囲気温が上昇するにつれて、熱
伝達の画形式ともより有効になり、全熱伝達が増加する
。低い周囲温度では、逆も真である。低い周囲温度およ
び高い周囲温度という用語は、20℃の基準周囲温j(
に関連する。
高い周囲温度における箔28と周囲の空気との間の温度
差を低減し、かつ、低い周囲温度におけるそれを増加す
ることによって、この変化する熱伝達効率を補償するで
あろう。熱損失の変動は修正された温度差によって相殺
されるであろうし、ブリッジの周波数出力は周囲温度に
余り左右されなくなるでろろう。
ト記の論点によって、第7図は利用しようとする箔28
の温度と周囲気温間の差のプロットを提供する。一定の
温度差から調整する最大量がTCOMPと称され、そし
て周囲温度による温度差の変動は直線的である。
この型式の箔2Bの温度関数は、抵抗器21の抵抗R1
を@!i囲気温によって変化させることによって達成さ
れる。定常状態動作における箔28の抵抗は、他のブリ
ッジ抵抗器21,23゜25の値によって決定されるの
で、抵抗器21の抵抗Rオを変えることによって、ブリ
ッジ回路19が平衡を保つ箔抵抗R1を変化させ、従っ
て箔28の動作温度を変化させる。
抵抗R9は2つの抵抗器によって発生される。
第1抵抗器は周囲温度によって変るよう要求される。第
2抵抗器は周囲温度が変る際、一定のままとなる。Rよ
を単−IXA度依存抵抗器として特定することは望まし
いように思われるが、−f:のような構成のために、装
置を生成する場合に満たすのが困難な制限となり得るよ
うな、抵抗と温度間の特定関数関係を強いることにもな
る。
これら2つの抵抗器を含むブリッジ回路19の脚部24
は、脚部20に比較して非常に高い抵抗を有しており、
従って非常に僅かの電流を流す。その結果、可変抵抗器
は非常に小さい自己加熱効果を持つことになり、空気流
の中に置かれると、管を通って流れろ空気の温度に非常
に近い温度になる。
空気質量流量センサ18のディジタルコンピュータ7ミ
ユレーシヨ/の結果は、第8図に示される。この結果は
、定常状態動作において、かつ、TCOMP=11℃で
のTCOMP温度補償計画を含むよう修正されている。
質量流量が動作範囲にわたって変化する間、気温−40
℃、20℃そして80℃に対する結果が示されている。
第8図の結果をvJG図の補償されていない結果と比較
してみると、TCOMP[慣を加えることによって、周
囲気温の変化による出力周波数の変動をかなり低減して
いることが理解できる。
この図例にとってTCOMP=lICの値が選定された
理由は後で述べることとする。
(発明が解決しようとする問題点) ブリッジ型の空気質量流量センサのための基本的回路に
関する問題は、エンジンの吸気のIA]囲温度が変る際
に、与えられた空気at流量に対して、金属箔から失な
われる熱の量もまた変化する。従って、金属箔を一定温
度に保持するのに必要な電気エネルギーは、周囲の気温
が変化するにつれて変化する。これによって空気質量流
量の測定値に誤差をもたらすが、それは出力信号が空気
質量流量だけでなく、周囲の気温にも関連するからであ
る。
周囲の気温の変化を補償する1つの従来技術は、周囲気
温と金属箔が保持されている温度との間の差が周囲気温
の変化に関して直線的に変化する場合に、胸囲気温の変
化によりもたらされる誤差は最小化されるというi理に
基づいている。TCOMPと称するこの計画は、ブリッ
ジ型の空気質量流量センサに、周囲気温感知素子を組込
んでいる。周囲気温が変化する場合、周囲気温感知素子
は、金属箔が保持されている特定一定温度を変えること
によって反応し、従って該一定温度と周囲気温との差は
、周囲気温の変化と共に直線的に変る。
しかし、金属箔から伝達された熱量は周囲気温の変化に
より直線的に変化しないで、より高次の関数に従って変
化する。さらに、このTCOMP計画は、空気の熱特性
が温度に関係なく一定のままであるとしている。実際は
、そうではない。その結果、TCOMP計画によって、
周囲気温の変化によりもたらされ九誤差をかなり低減し
てはいるが、なお誤差が残される。
上記のような事情に鑑みて本発明はブリッジ型の空気質
量流量センサにおける周囲気温の変化に対して改善した
補償を行なうため周囲気温の変化によってもたらされる
誤差が、TCOMP温度補償のみによって達成され得る
低減より以上に低減されるブリッジ型の空気質量流量セ
ンサを提供することを目的としている〇 また、本発明の別の目的は、周囲気温が変るにつれて一
畝伝、凛Vrかけス兆直繍響什九ち出する誤差を補償す
る方法によって、ブリッジ型の空気質量流量センサにお
ける温度補償を改善することである。
(問題点を解決するための手段) 上記目的を達成するためセンサを通過する質量流量に関
連する出力信号を発生する本発明の質量流量センサは、
温度関連誤差および質量流量関連誤差を含む、第1質量
流量関連信号を発生する第1手段と、温度差動誤差修正
を行なう第2信号を発生する第2手段と、質量流量誤差
修正を行なう第3信号を発生する第3手段と、および第
1.第2(″して第3手段を共に、作動的に結合して、
出力信号を発生する手段とを備えている。
質量流量に関連する出方信号を発生する方法は、温度関
連誤差と質量流量関連誤差を含む第1質量流量関連信号
を発生する段階と、温度差動誤差修正を行なう第2信号
を発生する段階と、質量流量誤差修正を行なう第3信号
を発生する段階と、および第1.第2そして第3信号を
結合して、出力信号を発生する段階、とから成っている
。
(作用) 空気質量流量センサ18の周波数出力が周囲温度により
変えることが明らかとなった。空気質量流量センサ18
の周波数出力はまた、据付け、老化、製造許容度および
他のファクタによっても影譬を与えられる。周波数出力
の変化を表示された空気質量流量誤差に関連づける方法
が必要である。先ず、空気質量流量誤差が下記のように
定義される。
町 −ml  ★ MAS誤差=、7   Zoo     (25)m。
但し、 旨 は実際の空気質量流量、および 紙 は表示された空気質量流量、である。
周波数対受気買量流量の標準曲線が存在すること、およ
びこの曲線は、製造された全9気質量流量感知装置に対
する入力/出力関係として利用されていることを想定す
る。標準動作条件における標準空気質量流量の出力周波
数が既知である場合、該曲線は空気質量流量を決定する
のに利用することができる。また、特定空気質量流量セ
ンサは、標準曲線とは異なる出力曲線を有しているが、
この曲線は未知であると考えられる。標準曲線がこの特
定空気質量流量センサの出力周波数を空気質量流量へ変
換するのに利用される場合、ある量の誤差が生ずるでち
ろうO 空気質量流量セ/?の標準出力曲線の表示および、個別
9気質量流量センサにとっての出力曲線である別の曲線
が第9因に示される。第9図で明らかなように、iの流
量である場合に、個別空気質量流量センサは標準空気質
型流量セ/′!jとは異なる出力周波数を発生する。個
別空気質量流量センサが二1の空気流量で横歪される場
合、装置の周波数出力は、第9図に示される個別曲線を
利用すればf、となるであろう。
しかし、標準人力/出力曲線のみが利用されて出力周波
数を入力質量流量に変換するので、この周波数fRは、
真の流量み、ではなくて質量流量ふ!が入力されている
ことを意味する。
この結果の誤差を計算するために、検査点ち1における
標準曲線の傾斜は、下記のように近似することができる
。
ml  −f!11 式25と26を結合すると、誤差は次のように表わすこ
とができる。
式27は周囲気温の変化によシ生じた誤差を判定するの
に利用することができる。核計其に必要な量はf3 と
fts計算点での標準曲線の傾斜、および質量流量から
成る。シミュレーションは、標準周囲温度において31
j量流量み、テ発生する周波数f1、ならびにこの空気
質量流量での標準曲線の傾斜を計算するのに利用され1
a、mL61403f−1+hXItrk−b−ト2M
JIILJM−自一、−1^、−ム本−する周波数f、
もまた7ミ二レーシヨンから計算される。ここで必要な
量のすべてが既知となり%周囲温度による空気質量流量
誤差は1式27を利用して計算することができる。
上述の手続きによって、様々な周囲気温に対する空気質
量流量誤差対質量流量の曲線が得られる。七とで、との
手続きを利用して、TCOMP温度補償計画の効用を説
明する。
’rcomp補償方法は上述の通りであって、箔28の
温度と周囲気温との間の差を一定に保持するという考え
を説明して来た。これによって、空気質量流量センサ1
8の出力の周囲気温への移存度を低減し得ることが主張
されている。第7図は、該温度差を一定に保持すること
はTCOMP=OCという値をもするTCOMP法を利
用することに等しいことを示す。
補償されていない空気質量流量センサの質量流量誤差の
表示が(R3〆R1(T’s))第10図に示されてい
る。2本の曲線は−400と80℃のAム計の両極4+
有に丸・H入阻典か裏拙ナー甲r’ n 、V p=θ
℃による補償された空気質量流量センサの空気質量流量
誤差の表示は、第11図に示される。この2つの図を比
較することによって、TCOMP補償により達成された
誤差の低減が明らかになる。
上述のように、TCOMPの正の値は誤差をさらに低減
するために必要である。TCOMPの値が0℃、6℃、
11℃および13℃である場合の結果は%それぞれ、第
11図〜第14図で示される。
TCOMPが0℃から増加するにつれて、平均誤差は減
少し、かつ、−40℃と80℃の周囲温度における誤差
曲線は、互にその誤差を縮める方向に移動し始める。T
COMP=6℃の値では(第12図)、誤差曲線は交差
している。
TCOMFがさらに11℃まで増加すると(第13図)
、高い流量では一40cでの誤差を正で、かつ、80℃
での誤差を負となり、誤差曲線が交差する。TCOMP
がさらに13℃に増加すると(第14図)、誤差曲線は
なお離れて移動し続けるが、以前に最低質量流量で発生
した最大誤差は減少する。
TCOMP=11℃を利用した結果は前に示されている
が、七の理由は、との値が最大と平均の誤差間で良好な
妥協の結果を与えており、流量2〜140f/sの範囲
を通じて両者を±20チ範囲内に保持するからである。
そのような決定は、周囲温度の範囲にわたって、低流量
での空気質量流量センサ誤差と高流量での空気IEL量
流童センサ誤差との均衡をとろうとする所望を反映して
いる(第13図参照)。
(実施例) この発明の誤差修正計画で利用するために、を気質量流
量セン4j誤差曲線は、TCOMP=11℃ ではなく
%TCOMP=13℃を利用することによって一層分離
されている。その結果は第14図に示され石。空気質量
流量センサ誤差の無い基準周囲温度(Tar)t3 T
ar=Ta=20℃となっている。基準m囲温度が、全
質量流量範囲にわたって、当該温度範囲におりて中央に
位置するように選択される。第14図からTa=−40
℃における空気質量fLitセンサ出力は高すぎて(正
の誤差)、−万、T a = 80 Cにおいては空気
質量流量センサ出力は低すぎる(負の誤差2ということ
が理解される。
従って、ブリッジ電圧vbに、下記の要件M1)Oj4
)20℃に対して    (284)Ve=OTa=2
0Cに対して    (28b)VeくOTa(20℃
に対して    (281)を有する修正電圧Veを加
算することによって、ブリッジ電圧vbを修正する結果
、周囲気温変化によりもたらされた誤差を減少すること
になる。T a r = 20℃ではには0でめるべき
だという要件は、それに対して他の全部が測定されるこ
とになっている標準出力として基準温度T a = 2
0℃での出力を定めるということから帰結され九もので
ある。従って、基準周囲気温では。
基準温度以外の周囲気温に対して要求される修正の量は
、周囲気温および質量流量の両方によって変ることが予
想されるので Vout yVb十K(Ta、m )Me    (2
9)所望の結果は、ブリッジ出力電圧Voutは二だけ
に依存し、かつ、基準温度、この場合Ta=20℃、の
付近の周囲温度における変動とは独立であるべあるべき
だ、とりうことになる。
K(Ta、m)という量は、Taおよび二が変る際にこ
れを達成するのに要する修正利得である。
Veを発生するためには、Veを下記のようにする。
Vc=V1−V4 =It  (Rt −ILi ) 
   (30)式21のブリッジ平衡関係を、便宜上、
下記に阿ひ示す。
R鵞 詰==  R,−(a2) s 基準温度ではR1は1t4に等しい、すなわち、基準温
度ではR1はR1に等しい、とする。なお、TCOMP
修正計画を利用することによりR1=Re (T4) 
        (32:)を生じ、従ってT&が増加
するにつれて、R2も増加する。
式31と32から、Taが基準温度から増加するにつれ
て、R1もまた増加し、 R1>R4を生ずるというこ
とになる。従って、周囲基準温度の20℃より大きいT
aに対して、式30はV c ) 0を生ずる。基準温
度より小さいTaに対してはh R1<R4およびV 
e (0となる。最後に、基準温度ではR,=R4であ
るので、式32から、この温度ではV c = 0とな
る。このように、式28で特定された修正電圧に対する
安住の全部が満たされたわけである。
Veの展開においてもう1つの改善が要求される。一般
に、すでに行なわれた想定とは反対に、設計と調達のプ
ロセスによって、周囲基準気温Tarにおいて、抵抗R
1とR6が等しくならないことがある。これが実情であ
れば、周囲基準気温において%YaFi要求通り0には
ならないであろう。
この難点を克服するために、周囲基準気温Tarにおい
て、修正電圧には下記によって与えられることに注目さ
れたい(式30参照)。
Ve (Ta r、 rn)=v1−v、=j、 (T
a r、 m) (Rt−&) (33)また、式11
から、基準温度におけるブリッジ電圧vbは下記によっ
て与えられることを想起されたい。
Vb (Tar、 m)=V、+v4+=+In (T
ar、 m) (R1+R4) (34)2つの電圧、
゛電流I 1 (Tar、 m) の比率を形成するこ
とによって相殺し、次のようになる。
上記の式では、該比率はR,を介して質量流量に依存す
るだけでめる口これは%R1がT。
の関数であり、T、は質量15Vi1、量に依存するか
らである。しかし、実際には、フィードバック回路にお
ける高い演算増幅器利得のために、この依存度は極めて
小さい(第2図参照)。従って、該比率は全質量流量に
対して、周囲基準温度において一定であるように取るこ
とができる。この値は式35ではKgと称される。次い
で、式30で与えられたように%周囲基準気温において
Vcを0にするために必要な電圧修正は、それからKz
Vbを減算することによって、すなわち下記のように、
単純に決定される。
Me −V、 −V、−KzVb       (36
)このように、修正電圧は、存在する信号v、。
■、およびvbのいずれの2つを利用しても発生するこ
とができる。
アナログ実施 式29に従って、計画を実行し、修正ブリッジ出力を発
生するために残されているのは、利用すべき修正利得K
 (T a、 m )を決定することである。そのため
に、流れの範囲にわたって、する周囲気温の2つの極値
での出力誤差を零にする修正利得が決定される。この場
合、それはTa=800およびTa=−40℃ となっ
ている。
従って、当然みによって変化する利得は、それぞれ、K
(80C,m)およびK (−40Co m )と称さ
れる。
Kに対する1つの単純かつ納得のゆく選定は。
極限の温度において誤差を零にするために必要な値の平
均値となっている、各二での値を利用することである。
す々わち、 式37から直接に決定された修正利得を実現することは
確かにム■能であり、ディジタル実施の章で説明するこ
とにする。
しかし、この場では、式37はアナログ実施のための修
正利得の選択への案内を行なう。修正利得社二によって
変るので、 K(rn)を、当然みる。実際には、実施
を容易にするために、単純な直線関係で十分であるとす
る。
上記でモデルとなった装置に適用する手続きを説明し、
そして前述のTCOMP=13Cを利用すると、修正利
得関数は下記のように選択される。
式38により与えられるKの形は、アナログ実施しやす
く選定されている。Kが、07から、45までの範囲で
ある場合、vbによるKの直線変化は、質量流斂が22
(ダラム/ a (秒)から15 f /sへ変る@に
生じ、その後、利得は一定に保持される。vbによるK
O変動は第15図に示される。みによるKの対応する変
動は第16図に示される。最後に1式35から Kz−−−02350(39) 今決定されたKz を利用して式36からVeを形成し
、そして式38からのVe、!:Kを利用して式29か
ら修正ブリッジ出力電圧Voutを発生することによっ
て、第17図に示される空気質量流量センサ誤差曲線が
得られる。従来技術およびTCOMP=11℃の値を利
用することから生ずる第13図の誤差に比較して、かな
りの誤差低減が得られる。(2つの結果を比較する際、
g17図の縦の目盛は第13図で利用されるそれの10
分の1となっていることに注目されたい)。
代りの実施方法として、第12図に示される従来技術と
TCOMP=6°を利用することから生ずる誤差曲線を
考察してみる。約50 f / aを超える流量に対す
る誤差が受入れられる場合には。
次のアプローチを利用することができる。50P/a以
下の流量に対しては、Ta=80Cでの出力は為すぎる
が、−万%Ta=−40℃に対しては低すぎる。従って
、前に利用されたと同じ考えをこの場合にも利用するこ
とができる。この場合、修正利得Kに関して式38に匹
敵できる式の有する利得の大きさは、最低流量で高く開
始し、次いでブリッジ電圧vbによって、50t/sに
関するブリッジ電圧で0にまで直線的に下向変化し、そ
の後はゼロの値を保持するようなものとなるであろう。
アナログ回路によるこの発明の修正計画を実施するため
に必要な構成要素は、 1、  KzVbで与えられる、式36において修正電
圧を相殺するだめの固定利得による電圧増幅 2、式36により与えられる修正電圧Veを形成する電
圧加算器。
3、 修正利得関数Kを形成するための関数発生器(式
38参照)。
4、KVe、で与えられる、式29におけるブリッジ電
圧に修正を行なうためのアナログ電圧乗算。
5、式29により与えられる修正ブリッジ出十#工IF
 −、、&也2u elf斗14ハーニ翰1臂肥第18
図は、この発明の修正計画を実現するアナログ装置のブ
ロック図である。誤差修正空気質量流量センサ101は
、TCOMP温度補償を有する空気質量流量センサ10
2を含む。空気質量流量上/す102への入力信号は、
周囲温度Taおよび空気質量流量二となっている。
第2図に示された空気質量流量センサの簡略図では、空
気質量流量センサ102からの出力信号vb、 v、お
よびV、は、それぞれ、ブリッジ電圧Vb、 R,にか
かる電圧およびR,にががる電圧を有している。ブリッ
ジ電圧vbは、利得Kzを有する一定利得増幅器104
によって増幅されて、式36におけるKzVbにより与
えられる修正電圧相殺を発生する。この結果の信号K 
z V bは、次いで電圧加X器106によってV。
と−v4を加算され、式36により与えられる修正電圧
Vcを発生する。
ブリッジ電圧vbはまた、Kをvbの関数として測定す
る関数発生器110への入力信号も備えている。関数発
生器110からの出力信号はアナログ乗算器108に結
合される。アナログ乗算器108は修正電圧MeにKを
乗算して。
式29で要求されるようにブリッジ電圧vbに修正電圧
kVc を発生する。電圧加算器112はブリッジ電圧
vbに修正電圧kVcを加算して、修正ブリッジ電圧V
outを発生する。次にこのVout値は、Voutを
エンジン制御目的に利用するエンジン制御装置(図示さ
れていない)に与えられる。そのようなエンジン制御装
置は通常、例えばマイクロプロセッサのようにディジタ
ル式であるので、加算器112とエンジン制御装置との
間にA/Di換器を挿入することができる。
ディジタル実施 この発明の修正計画はまたディジタル的に実現すること
もできる。前車と同様、便宜上、式36の修正電圧を再
び記載するが。
Vc =V、−V4−KzVb       (40)
さらに式29の修正ブリッジ出力電圧も再び繰返して。
Vout==vb+K(Ta、m)Vc     (4
1)の両方が使用される。
利得がディジタル形式で設定されるので、アナログ実施
計画におけるよりはるかに正確に利得が制御され得るこ
とが重要な差異となっている。
比較目的から、修正利得として式37で与えられた利得
をとる。すなわち、前と同様%2つの極限温度における
修正値の平均値が利得として使用される。
特に、式42で特定される利得は、当該流量範囲にわた
る15の標準流量点の各々で決定されたものとする。こ
の図例では二は22/sがら140 t/aにわたって
いる。標準流量点は、Tar=20℃のW4I!5基準
気温における流量点で生ずるブリッジ電圧vbで特徴づ
けられる0従って、15の標準流量点の各々において、
基準ブリッジ電圧値Vbref(f)  および対応す
る修正利得K(1)がある。
基準値間のブリッジ電圧で、ブリッジtEEによる利得
ファクタの直接的変動が考えられる。
従って、1番目と1+1番目の基準ブリッジ電圧間の領
域において、修正利得は下記で与えられる。
動作中、現存するブリッジ電圧はテーブルに記憶された
値と、式43による直線的補間によって判定された修正
利得と比較される。式43で与えられるvbによるKの
変動は、第19図に示される。二によるKの対応変動は
、第20図に示される。
アナログ実施(TCOMP=130)を説明するのに使
用した同じ装置について、ディジタル手続きを使用した
結果が旭21図に示貞すLふ。埴17図で示されるアナ
ログ実施によって得たものよりなお、かなりの1差低減
が生じている。
なおもう1つの強化もされている。式28から1周囲気
温Taが周囲基準気温Tarより上である場合、Veの
記号は正であり、Taが基準温度より下である場合、該
記号は負であることに注目されたい。従って、vcの記
号によって選択し、2つの修正利得ベクトルを利用して
ディジタル方法を実現することは容易である。各周囲気
温の補助領域に対する修正利得ベクトルを「個別化する
」能力のために、対応して強調される1差低減を期待す
ることができる。
との発明の修正計画をディジタル的に実現するための構
成要素は下記の通りである01、 3つの電圧信号V、
、V4およびvbのうちの2つをディジタル論理装置に
入力するための関連マルチプレクサを有するアナログ/
ディジタル変換器。
2、入力ディジタル電圧信号を処理し、式43に従って
修正利得Kを形成し、次に式4゜に従って電圧修正Vc
を形成し、さらに式41に従って修正ブリッジ出力電圧
Voutを決定するための適切なメモリを有する、マイ
クロプロセッサのようなディジタル論理回路。
第22図は、この発明の修正計画を実現するディジタル
装置のブロック図である。誤差修正空気質量流量上/?
201は、TCOMP温度補償を行なう空気質量流量セ
ンサ202を含む。
空気質量iiセンサ202への入力信号は、周囲温度T
aおよび空気3I[量流量二となっている。
第2図では、空気質量流量セン+j202からの出力信
号v1 とV、は、それぞれR,とR1にかかる電圧を
備えている。vlとV、の両方はマルチプレクサ204
に結合され、該マルチプレクサはアナログ/ディジタル
変換器(A/D )206への入力としてviとv4を
交互に発生する。A / D変換器206はV、とV、
の信号をディジタル化し、そしてマイクロクロセッサ2
08にディジタル値を与える。マイクロクロセッサ20
8の有しているプログラムは、式43を利用して修正利
得Kを発生し、式40を利用して電圧修正・Vcを発生
し、次いで式41を利用して%前述のように修正ブリッ
ジ出力電圧値Voutを決定する。次にこのVout値
はエンジン制御装置(図示されていない)に与えられ、
該制御装置によってエンジンの制御万策に利用される。
(発明の効果) 上述した構成から、本発明の質量流量上ンサは、エンジ
ンの吸気の周囲温度が変る際、与えられた空気質量流量
に対して、金属箔の温度変化を生じないように一定温度
に保持させるので。
周囲温度の変化によってもたらされる測定誤差を防ぐこ
とができる。
また金属箔から伝達された熱量は周囲温度の変化により
非直線的に変化するが、この変化に対して修正し、誤差
を補償する方法を用いたので温度補償を施し九正確な出
力信号を発生させて空気の質量a量を測定することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来技術のブリッジ型空気質量流量センサのた
めの簡素化回路の概略図。 第2図は従来技術のブリッジ型空気質量流量センサのた
めの簡素化回路の概略図。 第3図は従来技術のブリッジ型空気質量流量センサのた
めの回路の概略図、 第4図はブリッジ電圧対空気質量流量を示すシミュレー
ション結果−1 第5図は周波数対空気質量流量を示すシミュレーション
結果図、 第6図は%−40C,20Cおよび80Cの周囲気温に
おける周波数対空気質量流量を示す7ミユレ一シヨン結
果図。 第7図は、素子と周囲空気の温度対TCOMP温度補償
計画で利用される周囲気温の差を表わす図、 第8図は、第7図の周囲気温におけるTCOMP温度補
償を有する従来技術ブリッジ型空気質量流量センサのた
めの周波数対空気質量流量を示すシミニレ−ジョン鱒果
図、 第9図は従来技術ブリッジ型の空気質量流量センサのた
めの標準出力曲線、および、個々の従来技術ブリッジ歴
の空気質量流量センサのだめの出力曲線を示す周波数対
空気質量a t Ifjj性図、 第10図は補償されていない従来技術ブリッジ型空気質
量流量センサのための質量流量誤差を示すシミニレ−ジ
ョン結果図、 第11図は、TCOMP補償が0℃である場合、−40
℃と80℃の周囲気温に対する従来技術TCOMP補償
ブリッジ型空気質量流量センサのための空気質量流量誤
差を示すシミニレ−ジョン結果図。 第12図は、TCOMP補償が6℃である場合、−40
℃と80℃の周囲気温に対する従来技術TCOMP補償
ブリッジ型の空気質量流量センサのための空気質量流量
誤差を示すシミュレーション結果図、 第13図は、TCOMP補償が11℃の場合、−40℃
と80℃の周囲気温に対する従来技術TCOMP補償ブ
リッジ型の空気質′1を流量センサのための質量流量誤
差を示すシミュレーション結果図、 第14図は、TCOMP補償が13℃である場合、−4
0℃と80℃の周囲気温に対する従来技術TCOMP補
償ブリッジ型の空気質量流量センサに対する質量流量誤
差を示す7ミ工レーシヨン結果図、 第15図は本発明のアナログ実施によシ決定された修正
利得の%13℃のTCOMPを有するTCOMP補償ブ
リッジ型空気質量流量センサに印加されたブリッジ電圧
との関係を示すシミュレーション結果図、 第16因は本発明のアナログ実施により判定された修正
利得の、13℃のTCOMPを有する従来技術TCOM
P補償ブリッジ型窒気質量流量センサに加えられた空気
質量流量との関係を示すシミュレーション結果図、 第17図は、本発明の温度補償計画のアナログ実施を利
用する%TCOMPが13℃である場合の一40℃と8
00の周囲気温に対してTCOMP補償ブリッジ型の空
気質量流量センサのための質量i量誤差を示すシミュレ
ーション結果図。 第18図は、この発明の温度補償計画のアナログ実施に
よる、TCOMP補償ブリッジ型の空気質量流量センサ
を示す装置のブロック図、第19図はこの発明のディジ
タル実施により判定された修正利得の、13CのTCO
MPを有するTCOM?補償ブリッジ型の空気rli1
7に流量センサに印加されたブリッジ電圧との関係を示
すシミュレーション結果図。 第20図は本発明のディジタル実施により決定された修
正利得の、13CのTCOMPを有する従来技術TCO
MP補償ブリッジ型空気實tit流量センサに与えられ
た空気j′R蛍流量との関係を示スシミュレーション結
来図、 第21図は、本発明の温度補償計画のディジタル実施を
利用する、TCOMPが13℃である場合の一40℃と
80℃の周囲気温に対するTCOMP補償ブリッジ型の
空気質量流量センサのための質量流量誤差を示すシミュ
レーション結果図、そして 第22図は、本発明の温度補償計画のディジタル実施に
よる、TCOMP補償ブリッジ型の空気質量流量センサ
を示す装置のブロック図である。 100.200・・・・・・内燃機関空気取入口101
.201・・・・・・誤差修正l気質量流世上ンサ 102.202・・・・・・ TCOMP温度補償によ
る空気質量流量センサ 104・・・・・・一定利得増幅器 106、−112・・・・・・電圧加算器108・・・
・・・ アナログ乗算器 110・・・・・・関数発生器 204・・・・・・マルチプレクサ 206・・・・・・ A/D変換器 208・・・・・・ マイクロプロセッサブ′り啼ジ”
tBミVb FIθノI I−レジA

Claims (24)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)空気の質量流量に関する出力信号を発生するブリ
    ッジ型の空気質量流量センサであつて、脚部を有するブ
    リッジ回路を備えており、 該ブリッジ回路は、脚部内に空気の質量流量を感知する
    第1素子を有し、 該第1素子は、その抵抗が該素子の温度が変化するにつ
    れて変化する第1抵抗器を備えており、該第1素子は温
    度を変えることによつて空気流量の変化に応答しており
    、 前記ブリッジ回路は第1素子が特定温度である場合に平
    衡が保たれていて、 第1抵抗器の抵抗は、第1素子が該特定温度である場合
    にブリッジの平衡を保たせており、さらにブリッジ回路
    を平衡に保たせる第1抵抗器の抵抗を決定するため前記
    ブリッジ回路の脚部に、周囲の気温を感知するように設
    けられ、周囲気温の変化に応答し、かつ、ブリッジ回路
    が平衡を保つている該第1素子の抵抗を変え、これによ
    り前記特定温度を変える手段を有する前記第2素子と、 第1素子の抵抗の変化によつて生じたブリッジ回路不均
    衡に応答して第1素子に供給された電力を変更し、第1
    素子を特定温度に保持する手段を有する、ブリッジ回路
    に動作電圧を供給する手段と、 第1素子に与えられた電流を感知し、第1素子によつて
    感知された空気の質量流量に関する出力信号を発生する
    手段と、 ブリッジが平衡を保つている第1素子の抵抗における変
    化を感知し、かつ、修正ファクタを発生する手段と、お
    よび該修正ファクタを出力信号に与える手段、 とを備えていることを特徴とする空気質量流量センサ。
  2. (2)ブリッジ回路は、第3と第4の直列接続脚部と並
    列に接続されている第1と第2の直列接続脚部を備えて
    おり、第1と第2脚部のうちの1つは第1素子を備え、
    第3と第4脚部のうちの1つは第2素子を備えているこ
    とを特徴とする、特許請求の範囲第1項記載の空気質量
    流量センサ。
  3. (3)第2、第3および第4の脚部はそれぞれ、第2、
    第3および第4の抵抗器を備えており、ブリッジ回路が
    平衡を保つている第1素子の抵抗は、第2、第3および
    第4の抵抗器の抵抗によつて決定され、周囲気温感知素
    子は、温度により変化する抵抗を有する第2、第3およ
    び第4の抵抗器のうちの1つを備えており、ブリッジ回
    路が平衡を保つている第1素子の抵抗を変える手段は、
    第2、第3および第4の抵抗器のうちの前記1つを備え
    ていることを特徴とする、特許請求の範囲第2項記載の
    空気質量流量センサ。
  4. (4)ブリッジが平衡を保つている第1素子の抵抗の変
    化を感知し、かつ、修正ファクタを発生する手段は、ブ
    リッジ回路の複数の脚部にかかる電圧降下を感知し、該
    感知電圧降下を結合して修正ファクタを発生する手段を
    有していることを特徴とする、特許請求の範囲第3項記
    載の空気質量流量センサ。
  5. (5)ブリッジ回路の第1脚部は第1素子を備え、ブリ
    ッジ回路の第3脚部は第2素子を備えていることを特徴
    とする、特許請求の範囲第3項記載の空気質量流量セン
    サ。
  6. (6)ブリッジが平衡を保つている第1素子の抵抗の変
    化を感知し、かつ、修正ファクタを発生する手段は、ブ
    リッジ回路の第1と第2の脚部のうちの一方の少なくと
    も一部分にかかる第1電圧を感知する手段と、ブリッジ
    回路の第1と第2の脚部のうちの他方の少なくとも一部
    分にかかる第2電圧を感知する手段と、および第1と第
    2の感知電圧を結合する手段とを有していることを特徴
    とする、特許請求の範囲第5項記載の空気質量流量セン
    サ。
  7. (7)第1素子に与えられる電流を感知し、かつ、出力
    信号を発生する手段は、第1素子に与えられる電流を感
    知し、かつ、第1素子で感知された空気の質量流量に関
    連する出力信号を発生する手段を備えており、さらに出
    力信号に修正ファクタを加える手段は、出力信号を修正
    ファクタに結合して修正出力信号を発生する手段を備え
    ていることを特徴とする、特許請求の範囲第6項記載の
    空気質量流量センサ。
  8. (8)空気の質量流量に関する出力信号を発生するブリ
    ッジ型の空気質量流量センサであつて、第3と第4の直
    列接続脚部と並列に接続されている第1と第2の直列接
    続脚部を有するブリッジ回路を備え、該ブリッジ回路の
    第1脚部は空気の質量流量を感知する素子を有し、該素
    子はその温度により変化する抵抗を有しており、 ブリッジ回路の第3脚部は、周囲気温により変化する抵
    抗を有する周囲気温感知素子を有しており、空気質量流
    量感知素子は、周囲気温感知素子の抵抗によつて少なく
    とも部分的に決定される特定温度における特定抵抗を有
    しており、さらに、 空気質量流量感知素子の抵抗の変化によつて生じたブリ
    ッジ回路不均衡に応答して、空気質量流量感知素子に与
    えられた電流を増減させて、空気質量流量感知素子をブ
    リッジが平衡を保つ特定温度に保持する手段を有する空
    気質量流量感知素子に電力を与える手段と、空気質量流
    量感知素子に与えられた電流を感知し、かつ、空気質量
    流量感知素子によつて感知された空気の質量流量に関す
    る出力信号を発生する手段と、 ブリッジ回路が平衡を保つている空気質量流量感知素子
    の特定抵抗の変化を感知し、かつ、習性ファクタを発生
    する手段と、および該修正ファクタを出力信号に加える
    手段、 とを備えていることを特徴とする空気質量流量センサ。
  9. (9)ブリッジ回路が平衡を保つている空気質量流量感
    知素子の抵抗の変化を感知する手段は、ブリッジ回路の
    2つの脚部により与えられる2つの電圧を感知し、かつ
    、感知した電圧を結合して修正ファクタを発生する手段
    を備えていることを特徴とする、特許請求の範囲第8項
    記載の空気質量流量センサ。
  10. (10)ブリッジ回路が平衡を保つている空気質量流量
    感知素子の抵抗の変化を感知する手段は、ブリッジ回路
    の第1と第2の脚部で発生された第1電圧を感知する手
    段と、第1と第2の脚部の1つで発生された第2電圧を
    感知する手段と、および第1と第2の電圧を結合して修
    正ファクタを発生する手段とを備えていることを特徴と
    する、特許請求の範囲第8項記載の空気質量流量センサ
    。
  11. (11)ブリッジ回路が平衡を保つている空気質量流量
    感知素子の抵抗の変化を感知する手段は、ブリッジ回路
    の第1脚部で発生された第1電圧を感知する手段と、ブ
    リッジ回路の第2脚部で発生された第2電圧を感知する
    手段と、および第1と第2の電圧を結合して修正ファク
    タを発生する手段とを備えていることを特徴とする、特
    許請求の範囲第8項記載の空気質量流量センサ。
  12. (12)空気の質量流量に関する出力信号を発生するブ
    リッジ型空気質量流量センサにおいて、該センサは第3
    と第4の直列接続脚部と並列で接続された第1と第2の
    直列接続脚部を有するブリッジ回路と、温度により変化
    する抵抗を有する、ブリッジの脚部にある周囲気温感知
    素子と、温度により変化する抵抗を有する、空気質量流
    量を感知する素子とを有しており、該ブリッジ回路は空
    気質量流量感知素子が特定温度に対応する抵抗を有する
    場合に平衡を保ち、空気質量流量感知素子の抵抗は周囲
    気温感知素子の抵抗によつて部分的に決定されており、
    さらに前記センサは、空気質量流量感知素子に電流を与
    える電流供給手段を有しこの電流供給手段は、空気質量
    流量感知素子の抵抗の変化によつて生じたブリッジ回路
    の不均衡に応答して空気質量流量感知素子に与えられた
    電流を変化させ、空気質量流量感知素子を、ブリッジが
    平衡を保つている特定温度に保持する手段を有しており
    、さらに空気質量流量感知素子に与えられた電流を感知
    し、かつ、空気質量流量感知素子によつて感知された空
    気質量流量に関する出力信号を発生する出力信号を発生
    する手段を備えており、その改良装置は、ブリッジが平
    衡を保つている空気質量流量感知素子の抵抗の変化を感
    知し、そこから修正ファクタを発生する手段と、該修正
    ファクタを出力信号に加える手段とを備えていることを
    特徴とする、空気質量流量センサ。
  13. (13)センサ(8、18、102、202)を通過す
    る質量流量(■)に関する出力信号(Vout)を発生
    する質量流量センサ(8、18、102、202)であ
    つて、該センサは、温度関連誤差(例えば、T_1−T
    a、T_1−Ts(Ta))および質量流量関連誤差(
    MAS誤差)を含む第1質量流量関連信号(Vb)を発
    生する第1手段(19、102、202)と、温度誤差
    修正(TCOMP)を行なう第2信号(R_2(Ta)
    )を発生する第2手段(R_2)と、質量流量(■)誤
    差(MAS誤差)修正を行なう第3信号(Vc)を発生
    する第3手段(R_1、R_4)とおよび、第1(19
    、102、202)、第2(R_2)および第3(R_
    1、R_4)の手段を共に作動的に結合して出力信号(
    Vout)を発生する手段(19、30、32、34、
    36、38、40、B+;および第18図の102、1
    04、106、108、110、112;および第22
    図の202、204、206、208)とを備えている
    ことを特徴とする、質量流量センサ。
  14. (14)内燃機関空気取入れ口(第18図の100、第
    22図の200)、およびセンサ(8、18、102、
    202)を該取入口(第18図の100、第22図の2
    00)に取付ける手段とを備えていることを特徴とする
    、特許請求の範囲第13項記載の質量流量センサ。
  15. (15)第1(19、102、202)と第2(R_2
    )および第3(R_1、R_4)の手段を共に作動的に
    結合して出力信号(Vout)を発生する手段(19、
    30、32、34、36、38、40、B+;第18図
    の102、104、106、108、110、112お
    よび第22図の202、204、206、208)はブ
    リッジ回路(19、102、202)を備えていること
    を特徴とする、特許請求の範囲第13項記載の質量流量
    センサ。
  16. (16)ブリッジ回路(19、102、202)は、第
    1(28−R_1)、第2(21−R_2)、第3(2
    3−R_3)および第4(25−R_4)の抵抗回路成
    分を備えた第1(20)、第2(22)、第3(24)
    および第4(26)の脚部から成つており、第1手段(
    19、102、202)は第1抵抗成分(28−R_1
    )から成り1第2手段(R_2)は第2抵抗成分(21
    −R_2)から成り、そして第3手段(R_1、R_4
    )は第4抵抗成分(25−R_4)から成つていること
    を特徴とする、特許請求の範囲第15項記載の質量流量
    センサ。
  17. (17)第1(102)、第2(R_2)および第3(
    R_1、R_4)の手段を共に作動的に結合する手段(
    19、30、32、34、36、38、40、B+;第
    18図の102、104、106、108、110、1
    12および第22図の202、204、206、208
    )はさらに第1信号(Vb)に第1乗数(Kz)を乗算
    する手段(104)と、第2乗数(K)を発生する手段
    (110)と、第1手段(102)を、第1信号(Vb
    )を乗算する手段(104)に結合する手段と、信号(
    V_1、V_4、KzVb)を結合する第1手段(10
    6)と、第1信号(Vb)を乗算する手段(104)を
    第1結合手段(106)に結合する手段と、第3手段(
    R_1、R_4)を、第3信号(Vc)を発生する第1
    結合手段(106)に結合する手段と、第3信号(Vc
    )に第2乗数(K)を乗算する手段(108)と、信号
    (Vb、KVc)を結合する第2手段(112)と、第
    3信号(Vc)に第2乗数(K)を乗算する手段(10
    8)を第2結合手段(112)に結合する手段と、およ
    び第1信号(Vb)を出力信号(Vout)を発生する
    第2結合手段(112)に結合する手段、 とを備えていることを特徴とする、特許請求の範囲第1
    6項記載の質量流量センサ。
  18. (18)第1(202)、第2(R_2)、および第3
    (R_1、R_4)の手段を共に作動的に結合する手段
    (19、30、32、34、36、38、40、B+:
    第18図の102、104、106、108、110、
    112および第22図の202、204、206、20
    8)はさらに、アナログ/ディジタル(A/D)変換器
    (206)と、第1(Vb)および第3(Vc)信号に
    関する信号(V_1、V_4)をA/D変換器(206
    )に交互にゲートする手段(204)と、A/D変換器
    をゲート手段(204)に結合する手段と、出力信号(
    Vout)を計算する手段(208)と、およびA/D
    変換器(206)を出力信号(Vout)を計算する手
    段(208)に結合する手段とを備えていることを特徴
    とする特許請求の範囲第16項記載の質量流量センサ。
  19. (19)温度関連誤差(例えば、T_1−Ta、T_1
    −Ts(Ta))および質量流量関連誤差(MAS誤差
    )を含む第1質量流量関連信号(Vb)を発生する段階
    と、温度誤差修正(TCOMP)を行なう第2信号(R
    _2(Ta))を発生する段階と、質量流量(■)誤差
    (MAS誤差)修正を行なう第3信号(Vc)を発生す
    る段階と、および第1(Vb)、第2(R_2(Ta)
    および第3(Vc)信号を共に結合して(19、30、
    32、34、36、38、40、B+;第18図の10
    2、104、106、108、110、112および第
    22図の202、204、206、208)、出力信号
    (Vout)を発生する段階とから成る質量流量に関す
    る出力信号を発生する方法。
  20. (20)さらに質量流量(■)センサ(8、18、10
    2、202)内燃機関空気取入口(第18図の 100、第22図の200)に取付ける段階を含むこと
    を特徴とする、特許請求の範囲第19項記載の方法。
  21. (21)第1(Vb)、第2(R_2(Ta))および
    第3(Vc)の信号を結合して(19、30、32、3
    4、36、38、40、B+;第18図の102、10
    4、106、108、110、112および第22図の
    202、204、206、208)、出力信号(Vou
    t)を発生する段階はブリッジ回路(19、102、2
    02)を供給する段階から成ることを特徴とする、特許
    請求の範囲第19項記載の方法。
  22. (22)ブリッジ回路(19、102、202)は、第
    1(28−R_1)、第2(21−R_2)、第3(2
    3−R_3)および第4(25−R_4)の抵抗回路成
    分を備える、第1(20)、第2(22)、第3(24
    )および第4(26)の脚部から成つており、第1信号
    (Vb)を発生する段階は第1抵抗成分(28−R_1
    )にかかる電圧を発生する段階から成り、第2信号(R
    _2(Ta)を発生する段階は第2抵抗成分(21−R
    _2)にかかる電圧を発生する段階から成り、そして第
    3信号(Vc)を発生する段階は第4(25−R_4)
    抵抗成分にかかる電圧を発生する段階から成ることを特
    徴とする、特許請求の範囲第21項記載の方法。
  23. (23)第1(Vb)、第2(R_2(Ta))および
    第3(Vc)の信号を結合する段階(19、32、34
    、36、38、40、B+;第18図の102、104
    、106、108、110、112および第22図の2
    02、204、206、208)は、第1信号(Vb)
    に第1乗数(Kz)を乗算する段階(104)と、第2
    乗数(K)を発生する段階(110)と、第1(Vb)
    、第2(R_2(Ta))および第3(Vc)の信号に
    関する信号(V_1、V_4、KzVb)を結合する段
    階(106)と、第3信号(Vc)を発生する段階(1
    06)と、第3信号(Vc)に第2乗数(K)を乗算す
    る段階(108)と、第1と第3信号に関連する信号(
    Vb、KVc)を結合する段階(112)と、および出
    力信号(Vout)を発生する段階(112)とから成
    ることを特徴とする特許請求の範囲第22項記載の方法
    。
  24. (24)第1(Vb)、第2(R_2(Ta))および
    第3(Vc)の信号を組合わせる段階(19、30、3
    2、34、36、38、40、B+;第18図の102
    、104、106、108、110、112および第2
    2図の202、204、206、208)はさらに第1
    (Vb)と第3(Vc)信号に関する信号(V_1、V
    _4)を交互にゲートする段階(204)と、該交互に
    ゲートした(204)信号(V_1、V_4)をアナロ
    グ/ディジタル変換する段階(206)と、および交互
    にゲートした(204)関連信号(V_1、V_4)か
    らの出力信号(Vout)を計算する段階(208)と
    から成ることを特徴とする、特許請求の範囲第22項記
    載の方法。
JP61280538A 1986-04-11 1986-11-25 空気質量流量センサおよびその質量流量に関する出力信号発生方法 Pending JPS62245924A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/850,511 US4807151A (en) 1986-04-11 1986-04-11 Electrical technique for correcting bridge type mass air flow rate sensor errors resulting from ambient temperature variations
US850511 1986-04-11

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62245924A true JPS62245924A (ja) 1987-10-27

Family

ID=25308337

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61280538A Pending JPS62245924A (ja) 1986-04-11 1986-11-25 空気質量流量センサおよびその質量流量に関する出力信号発生方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4807151A (ja)
EP (1) EP0240637B1 (ja)
JP (1) JPS62245924A (ja)
DE (1) DE3686818D1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006258676A (ja) * 2005-03-18 2006-09-28 Hitachi Ltd 熱式流量計

Families Citing this family (75)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4974563A (en) * 1988-05-23 1990-12-04 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Apparatus for estimating intake air amount
JP2717665B2 (ja) * 1988-05-31 1998-02-18 株式会社豊田中央研究所 内燃機関の燃焼予測判別装置
JPH01315643A (ja) * 1988-06-15 1989-12-20 Mitsubishi Electric Corp エンジンの燃料制御装置
US4956793A (en) * 1988-06-24 1990-09-11 Honeywell Inc. Method and apparatus for measuring the density of fluids
DE3841637C1 (ja) * 1988-12-10 1990-05-10 Gebr. Schmidt Fabrik Fuer Feinmechanik, 7742 St Georgen, De
DE4004552C2 (de) * 1989-02-14 1994-07-07 Mitsubishi Electric Corp Signalverarbeitungsverfahren für einen thermischen Durchflußsensor
JPH02308950A (ja) * 1989-05-25 1990-12-21 Japan Electron Control Syst Co Ltd 内燃機関の制御装置における空気漏れ自己診断装置及び空気漏れ学習補正装置
JPH0760107B2 (ja) * 1989-07-11 1995-06-28 三菱電機株式会社 熱式流量センサの信号処理方法
US5237523A (en) * 1990-07-25 1993-08-17 Honeywell Inc. Flowmeter fluid composition and temperature correction
JPH04311643A (ja) * 1991-04-10 1992-11-04 Hitachi Ltd エンジンの気筒流入空気量算出方法
DE4120388C2 (de) * 1991-06-19 2001-05-03 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Temperaturerfassung
US5259424A (en) * 1991-06-27 1993-11-09 Dvco, Inc. Method and apparatus for dispensing natural gas
DE4324040B4 (de) * 1992-07-21 2009-09-17 Robert Bosch Gmbh Massenstromsensor
US5263369A (en) * 1992-07-24 1993-11-23 Bear Medical Systems, Inc. Flow sensor system and method
US5383357A (en) * 1993-12-20 1995-01-24 Doll; John A. Mass air flow sensor device
WO1995034753A1 (en) * 1994-06-13 1995-12-21 Hitachi, Ltd. Apparatus and method for measuring air flow rate
US5460039A (en) * 1994-07-12 1995-10-24 Bear Medical Systems, Inc. Flow sensor system
DE4432714C1 (de) * 1994-09-14 1995-11-02 Deutsche Forsch Luft Raumfahrt Verfahren zur Größenbestimmung luftgetragener Wassertropfen
DE19501347C2 (de) * 1995-01-18 1996-12-19 Draegerwerk Ag Vorrichtung zur Messung des Durchflusses in einem Fluidkanal
US5585553A (en) * 1995-07-28 1996-12-17 Caterpillar Inc. Apparatus and method for diagnosing an engine using a boost pressure model
US6907383B2 (en) 1996-03-28 2005-06-14 Rosemount Inc. Flow diagnostic system
US7949495B2 (en) * 1996-03-28 2011-05-24 Rosemount, Inc. Process variable transmitter with diagnostics
US7623932B2 (en) 1996-03-28 2009-11-24 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Rule set for root cause diagnostics
US7630861B2 (en) * 1996-03-28 2009-12-08 Rosemount Inc. Dedicated process diagnostic device
US8290721B2 (en) * 1996-03-28 2012-10-16 Rosemount Inc. Flow measurement diagnostics
US7085610B2 (en) 1996-03-28 2006-08-01 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Root cause diagnostics
US7254518B2 (en) * 1996-03-28 2007-08-07 Rosemount Inc. Pressure transmitter with diagnostics
US5654507A (en) * 1996-07-03 1997-08-05 Board Of Trustees Operating Michigan State University Pulse width modulated constant temperature anemometer
US6434504B1 (en) * 1996-11-07 2002-08-13 Rosemount Inc. Resistance based process control device diagnostics
EP0890827A1 (en) * 1997-07-08 1999-01-13 Hitachi, Ltd. Thermal type flow measuring instrument and temperature-error correcting apparatus thereof
US6220747B1 (en) * 1997-08-14 2001-04-24 Michael Gosselin Proportional pump system for viscous fluids
US6611775B1 (en) 1998-12-10 2003-08-26 Rosemount Inc. Electrode leakage diagnostics in a magnetic flow meter
US6615149B1 (en) 1998-12-10 2003-09-02 Rosemount Inc. Spectral diagnostics in a magnetic flow meter
US7010459B2 (en) * 1999-06-25 2006-03-07 Rosemount Inc. Process device diagnostics using process variable sensor signal
EP1247268B2 (en) 1999-07-01 2009-08-05 Rosemount Inc. Low power two-wire self validating temperature transmitter
US6556145B1 (en) 1999-09-24 2003-04-29 Rosemount Inc. Two-wire fluid temperature transmitter with thermocouple diagnostics
US6470741B1 (en) * 2000-06-23 2002-10-29 Instrumentarium, Inc. Hot wire anemometer gas flow sensor having improved operation and compensation
US6970003B2 (en) 2001-03-05 2005-11-29 Rosemount Inc. Electronics board life prediction of microprocessor-based transmitters
US6859755B2 (en) 2001-05-14 2005-02-22 Rosemount Inc. Diagnostics for industrial process control and measurement systems
US6629059B2 (en) 2001-05-14 2003-09-30 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Hand held diagnostic and communication device with automatic bus detection
US6772036B2 (en) 2001-08-30 2004-08-03 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Control system using process model
US6813570B2 (en) * 2002-05-13 2004-11-02 Delphi Technologies, Inc. Optimized convection based mass airflow sensor circuit
JP3808038B2 (ja) 2003-01-14 2006-08-09 株式会社日立製作所 周波数出力型熱線式流量計
RU2324171C2 (ru) * 2003-07-18 2008-05-10 Роузмаунт Инк. Диагностика процесса
US7018800B2 (en) * 2003-08-07 2006-03-28 Rosemount Inc. Process device with quiescent current diagnostics
US7627441B2 (en) * 2003-09-30 2009-12-01 Rosemount Inc. Process device with vibration based diagnostics
US7523667B2 (en) * 2003-12-23 2009-04-28 Rosemount Inc. Diagnostics of impulse piping in an industrial process
US7054767B2 (en) * 2004-02-12 2006-05-30 Eldridge Products, Inc. Thermal mass flowmeter apparatus and method with temperature correction
US6920799B1 (en) 2004-04-15 2005-07-26 Rosemount Inc. Magnetic flow meter with reference electrode
US7046180B2 (en) 2004-04-21 2006-05-16 Rosemount Inc. Analog-to-digital converter with range error detection
US7205781B2 (en) * 2005-01-12 2007-04-17 Visteon Global Technologies, Inc. Mass air flow circuit having pulse width modulation feedback control
US8112565B2 (en) * 2005-06-08 2012-02-07 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Multi-protocol field device interface with automatic bus detection
US20070068225A1 (en) * 2005-09-29 2007-03-29 Brown Gregory C Leak detector for process valve
US7653503B2 (en) * 2006-04-20 2010-01-26 Tao Of Systems Integration, Inc. Temperature-compensating sensor system
US7953501B2 (en) 2006-09-25 2011-05-31 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Industrial process control loop monitor
WO2008042290A2 (en) 2006-09-29 2008-04-10 Rosemount Inc. Magnetic flowmeter with verification
US7321846B1 (en) 2006-10-05 2008-01-22 Rosemount Inc. Two-wire process control loop diagnostics
US7775091B2 (en) * 2007-04-17 2010-08-17 Gm Global Technology Operations, Inc. Method and apparatus for determining intake air mass
JP5094212B2 (ja) * 2007-05-25 2012-12-12 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式流量計と制御方法
JP4467603B2 (ja) * 2007-05-29 2010-05-26 日立オートモティブシステムズ株式会社 ガス流量計及び内燃機関制御システム
US8898036B2 (en) * 2007-08-06 2014-11-25 Rosemount Inc. Process variable transmitter with acceleration sensor
US7590511B2 (en) * 2007-09-25 2009-09-15 Rosemount Inc. Field device for digital process control loop diagnostics
US8197133B2 (en) * 2008-02-22 2012-06-12 Brooks Instruments, Llc System and method for sensor thermal drift offset compensation
JP4993311B2 (ja) 2008-05-30 2012-08-08 株式会社デンソー 空気流量測定装置、空気流量補正方法、および、プログラム
US7921734B2 (en) * 2009-05-12 2011-04-12 Rosemount Inc. System to detect poor process ground connections
US8201442B2 (en) * 2009-09-25 2012-06-19 Cummins Inc. System and method for estimating EGR mass flow rates
US9207670B2 (en) 2011-03-21 2015-12-08 Rosemount Inc. Degrading sensor detection implemented within a transmitter
GB2499577A (en) * 2011-11-29 2013-08-28 Eaton Aerospace Ltd Aircraft on board inert gas generation system
DE102011088902A1 (de) * 2011-12-16 2013-06-20 Continental Automotive Gmbh Sensor zur Erfassung des Massenstroms und der Temperatur eines Fluidstromes
US9052240B2 (en) 2012-06-29 2015-06-09 Rosemount Inc. Industrial process temperature transmitter with sensor stress diagnostics
US9602122B2 (en) 2012-09-28 2017-03-21 Rosemount Inc. Process variable measurement noise diagnostic
EP2899519B1 (en) * 2014-01-24 2016-11-16 Siemens Schweiz AG Temperature sensing apparatus
US10436157B2 (en) * 2017-11-09 2019-10-08 Quirt Evan Crawford Apparatus for improving engine performance
US10761153B2 (en) * 2018-05-07 2020-09-01 Infineon Technologies Ag Magnetic sensor with an asymmetric wheatstone bridge
CN115542717A (zh) * 2022-06-29 2022-12-30 浙江中控技术股份有限公司 回路平衡pid控制方法、装置、电子装置和存储介质

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US31906A (en) * 1861-04-02 Improvement in varnishing photographs on paper
JPS5330343B2 (ja) * 1972-10-09 1978-08-26
US4102199A (en) * 1976-08-26 1978-07-25 Megasystems, Inc. RTD measurement system
US4057755A (en) * 1976-09-10 1977-11-08 Bodenseewerk Perkin-Elmer & Co., Gmbh Thermal conductivity detector circuit
US4063447A (en) * 1977-03-14 1977-12-20 Honeywell, Inc. Bridge circuit with drift compensation
JPS53131326A (en) 1977-04-22 1978-11-16 Hitachi Ltd Control device of internal combustn engine
JPS5453877A (en) * 1977-10-07 1979-04-27 Hitachi Ltd Temperature compensation circuit of semiconductor strain gauge
US4192005A (en) * 1977-11-21 1980-03-04 Kulite Semiconductor Products, Inc. Compensated pressure transducer employing digital processing techniques
JPS5618721A (en) * 1979-07-24 1981-02-21 Hitachi Ltd Air flow meter
DE3106508C2 (de) * 1981-02-21 1986-07-31 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Luftmassenmeßeinrichtung bei einer Brennkraftmaschine
US4399515A (en) * 1981-03-31 1983-08-16 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Self-correcting electronically scanned pressure sensor
JPS58114199A (ja) * 1981-12-26 1983-07-07 株式会社東芝 2線式圧力差圧伝送器
JPH0613859B2 (ja) * 1983-03-24 1994-02-23 日本電装株式会社 内燃機関の制御装置
US4487063A (en) * 1983-07-11 1984-12-11 General Motors Corporation Solid state mass air flow sensor
CA1214876A (en) * 1983-11-16 1986-12-02 Toshio Kondo Apparatus for measuring a flow rate of intake air for an engine
JPS60195342A (ja) * 1984-03-19 1985-10-03 Hitachi Ltd エンジン制御装置
JPS60236025A (ja) * 1984-05-09 1985-11-22 Nippon Soken Inc 空気流量センサ
JPH0625560B2 (ja) * 1985-06-17 1994-04-06 日本電装株式会社 エンジンの制御装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006258676A (ja) * 2005-03-18 2006-09-28 Hitachi Ltd 熱式流量計

Also Published As

Publication number Publication date
US4807151A (en) 1989-02-21
EP0240637B1 (en) 1992-09-23
DE3686818D1 (de) 1992-10-29
EP0240637A1 (en) 1987-10-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0240637B1 (en) Electrical technique for correcting bridge type mass air flow rate sensor errors resulting from ambient temperature variations
US7653503B2 (en) Temperature-compensating sensor system
US6905242B2 (en) Sensor temperature control in a thermal anemometer
CN114061684B (zh) 一种基于环境测温补偿的流量传感器流量计算方法
CN109668674A (zh) 一种硅压阻式压力传感器的高精度温度补偿电路及方法
US4872339A (en) Mass flow meter
GB2201791A (en) Transducer signal conditioner
US5189362A (en) High frequency signal measurement circuits utilizing temperature-sensitive devices
JPH02276914A (ja) 内燃機関用吸入空気流量計測装置
JPH08507863A (ja) 可制御熱伝導形真空計における温度補償法
US4854167A (en) Mass fluid flow sensor
US7331237B2 (en) Technique for improving Pirani gauge temperature compensation over its full pressure range
JPH0690062B2 (ja) 熱式流速検出装置
WO2003098162A1 (en) Optimized convection based fluid flow sensor circuit
US5656938A (en) Temperature compensation in mass flow sensors employing the hot-wire anemometer principle
EP0234298A1 (en) Symmetrical bridge circuit for measuring mass air flow
JP2616150B2 (ja) 熱式空気流量計
JP3153787B2 (ja) 抵抗体による熱伝導パラメータセンシング方法及びセンサ回路
JPH0674802A (ja) 感熱式流量センサ
JPH01502392A (ja) 内燃機関の吸気管内の空気流量を測定する方法および回路装置
US7249516B2 (en) Method of operating a resistive heat-loss pressure sensor
Wang et al. Design and optimization of interface circuits of MEMS thermal wind speed sensor based on a macro model
JP2879256B2 (ja) 熱式流量計
JPH07139985A (ja) 熱式空気流量測定装置
JPH075009A (ja) エンジンの空気流量測定装置、燃料噴射制御装置及びこれらに用いる流量センサ