JPS62246429A - 強靭セラミツクス工具の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は強靭セラミックス工具の製造方法に関する。更
に詳しくいえば、セラミックス焼結体母材とこれに被覆
された薄膜層とからなり、極めて高い耐摩耗性並びに靭
性を有するセラミックス切削工具の製造方法に関するも
のである。

従来の技術 近年、超硬工具材料としてのタングステン資源の枯渇の
ために、これに代る超硬工具材料の開発が活発に行われ
ている。このような新しい材料として耐摩耗性、耐食性
、耐熱性等に優れていることから、切削工具材料として
超硬合金が注目され、ＷＣ−Ｃｏ、　ＷＣ−（ＷＴｉＴ
ａＮｂ）　、Ｃ−Ｃｏ系のＷＣ基超硬合金製の工具が開
発された。また、これ以外にもＴｉ　Ｃ−Ｎｉ−Ｍｏ系
サーメット工具、純＾１□０３またはＡ１□０３＋ＴＩ
Ｃ系等のセラミックス工具および焼結ダイヤモンド工具
などが開発され、実用に供されている。

この中で、セラミックス工具は常温並びに高温での硬度
が高く、高温度下で刃先が酸化されるので切屑の溶着を
回避でき、従って高速度での切削が可能であり、被加工
物（被削材）の適用範囲が広く、取扱い易い等という各
種の利点がある。しかしながら、他方において超硬合金
製工具と比較して特に問題となる点は抗折力、即ち靭性
の点で劣っていることにある。そこで、この抗折力の問
題を解決するために種々の方法が提案されてきた。

例えば、特公昭５３−１３２７６号公報発明にみられる
ように、Ａ１□ｏ３焼結体あるいはＡｌ２Ｏ３に硬質炭
化物および／または硬質窒化物、例えばＴｉ、　Ｚｒ５
Ｈｆ。

Ｂなどの炭化物および／または窒化物を添加して得た焼
結体を母材とし、その表面にＡｌ２Ｏ３膜を被覆したセ
ラミックス工具が知られている。

また、特公昭５９−１３４７５号公報発明はＳｉ３Ｎ、
を主成分とし、焼結助剤としてＭｇＯ１Ｙ２０３、Ｔａ
２０５、ＺｒＯ□、Ａ１□０．などを添加して得た焼結
体の表面に、化学気相蒸着法（ＣＶＤ法）によってＡｌ
２Ｏ３および／またはＡｌ０Ｎの被覆薄膜を形成したセ
ラミックス・スローアウェイチップの製造方法を開示し
ている。

更に、特開昭６０−１２７９０５号公報発明にはＡ１４
０ｓを主成分とし、ｈｏｔを焼結助剤として添加して得
た焼結体の表面に、上記同様にＡｌｚｏｓ被覆薄膜を形
成したセラミックス工具が提案されている。

しかしながら、上記のようなセラミックス焼結体母材と
Ａｌ２Ｏ３の気相堆積膜とで構成される被覆セラミック
ス工具は、依然として靭性、特に耐熱衝撃性並びに耐熱
疲労靭性の点で著しく劣るために、耐摩耗性に極めて優
れているにも拘らず、その適用分野は著しく制限された
ものでしかなかった。

そこで、これら緒特性を改善する目的で、Ａｌ２Ｏ３被
覆薄膜としてＡｌ２Ｏ３にＴｉＣ，ＴｉＮ５Ｔｉ　（Ｃ
Ｏ）、ＶＪＣ，７，ｒＯ□などを添加し、その靭性を改
善した強靭セラミックス工具が開発されている。しかし
ながら、上記添加物を添加することにより確かに靭性の
改善を達成し得るものの、逆に耐摩耗性が犠牲となり、
その劣化は無視できないものであった。

また、最近の材料開発の成果として、＾１２０．の代り
に５ｉｓＮ＜を主成分とするセラミックス工具が提案さ
れてきた。このＳｉ３Ｎ、系セラミックスは、Ａｌ２Ｏ
３系セラミックスと比較して耐熱衝撃性並びに耐熱疲労
靭性の点で極めて優れているので、従来のセラミックス
材料と比較して著しく優れたセラミックス材料といえる
。しかしながら、このように優れた特性の５ｉ３Ｎａ系
セラミツクス材料も切削工具用材料として考えた場合に
は、被削材としての鉄とが反応することから、切屑の工
具表面への拡散が問題となる鋼の切削には全く利用でき
ず、切屑の工具表面への拡散が問題とならない鋳物のみ
の切削に利用できるに過ぎない。ところで、鋳物の切削
において最も重要な点は、高温における硬度であるが、
Ｓｉ３Ｎ、はＡｌ２Ｏ３と比較するとこの点において劣
っているために、鋳物の切削においても従来多用されて
きたＡｌ２Ｏ＊／ＴｉＣ焼結体切削工具と比較すると靭
性の点では確かに格段に優れているものの、耐摩耗性の
点では比較にならないものであった。

以上述べてきたように、５１３Ｎ４を主成分とするセラ
ミックス工具は、Ａｌ２Ｏ３焼結体切削工具（ご比べて
、靭性の点では改善されたものの、切削工具として重要
なもう一つの特性である耐摩耗性が劣化した。この点を
改善するために、従来技術においては、この靭性に優れ
たセラミックス焼結体を母材と゛し、その表面に数μｍ
の厚さのＡ１□０３薄膜を被覆した被覆セラミックス工
具が提案されている。

発明が解決しようとする問題点 バイト等の切削工具としての、特にセラミックス工具に
要求される特性は抗折力、即ち靭性と耐摩耗性である。

前述のようにＡ　Ｉ　２０３系の工具は耐摩耗性に優れ
るが靭性の点で不十分であり、そこで種々の解決策が提
案されたが、いずれも不満足であり、例えばＳｉ３Ｎ、
系工具のように靭性が改善されはしたものの逆に耐摩耗
性が犠牲となりＡｌａＯｓ系工具に比して著しく劣るも
のとなった。このような情況の下で、靭性の点で有利な
Ｓｉ３Ｎ４系セラミックス焼結体を母材とし、その表面
を耐摩耗性の点で性別なＡｌ２Ｏ３薄膜を設けた被覆セ
ラミックス工具が提案されている。

このように、セラミックス工具として母材（靭性の高い
もの）に耐摩耗性の良好なＡｌ２Ｏ３薄膜を被覆するこ
とにより、母材の低い耐摩耗性が補償される。実際特に
、例えば３１３Ｎ４系の焼結体表面にＡｌ２Ｏ３を約１
μｍ被覆したセラミックス工具によれば、セラミックス
工具に必要とされる強靭性と耐摩耗性とを兼備した工具
が実現でき、鋳物切削の分野で広く実用に供されている
。

しかしながら、この切削工具では耐摩耗性の＾１□０゜
被覆が約１μｍと極めて薄いために、フランク摩耗があ
る程度以上に進行するとＡｌ２Ｏ３の被覆効果が著しく
低下してしまうという欠点を有している。

そこで、このような従来のセラミックス工具の呈する諸
欠点を解決し、強靭かつ耐摩耗性に優れたセラミックス
工具を開発することは、セラミックス工具の有する特性
を十分に生かして、鋼、鋳鉄等の切削加工を実施する上
で極めて重要であり、当業界においても重要な課題とな
っている。本発明の目的はこのようなセラミックス工具
の製造方法を提供することにあり、また強靭かつ高い耐
摩耗性の耐用寿命の長いセラミックス工具を提供するこ
とも本発明の目的の一つである。

問題点を解決するための手段 本発明者等はセラミックス工具の上記のような現状に鑑
みて、靭性並びに耐摩耗性両者の点で優れたセラミック
ス工具を開発すべく種々検討・研究した結果、セラミッ
クス焼結体母材の靭性を維持し、耐摩耗性を確保すると
共に耐用寿命を改善するためには母材と薄膜被覆層との
間の密着強度を高くすることにより目的とする優れた特
性のセラミックス工具を実現できるとの着想の下に、こ
の密着強度の改善が被覆処理温度の十分な制御により達
成しく尋ることを見出し、本発明を完成した。

即ち、本発明の強靭セラミックス工具の製造方法はセラ
ミックス焼結体母材を１１５０〜１５００℃の範囲内の
温度にて加熱保持し、該母材の表面を化学気相蒸着法に
よって厚さ０．５〜２０μｍのＡｌ２Ｏ３薄膜で被覆す
ることを特徴とするものである。

本発明の方法において有用なセラミックス焼結体母材と
しては、特にＡ１□０３を主成分とするものおよび５１
３Ｎ４を主成分とするものを例示でき、前者は更に５〜
５０重量％の割合でＴｉＣ，ＴｉＮ、　Ｔｉ（ＣＯ　）
、ＷＣおよびＺｒＯ２からなる群から選ばれる少なくと
も１種の成分を含むことができ、また後者では同様に５
〜５０重量％の割合でＺｒ０ｚ　、ＴｉＮ、Ｙ２Ｏ３、
Ａｌ２Ｏ３およびＡｌＮからなる群から選ばれる少なく
とも１種の成分を含むものであり得る。ここで上記の添
加物を５重量％に満だない量で使用した場合には靭性が
不十分となり、また５０重量％を越えて使用した場合に
は耐摩耗性が不十分となり、いずれも好ましくない。本
発明においては、上記の例示のものの他、Ａｌ２Ｏ３焼
結体の靭性を改善したものであればいかなるものであっ
ても母材としてイ吏用できることはいうまでもない。

本発明の方法において、＾ｉ２ｏ、＋薄膜被覆層の形成
温度は、既に述べたように極めて重要であり、臨界的な
条件となる。叩ら、下限の１１５０℃に満たない温度下
で被覆層を形成した場合には十分なＡｌ２Ｏ３被覆の耐
用寿命を、即ち十分な密着強度を確保できず、一方１５
００℃を越える温度の下で薄膜形成を行った場合には被
覆層のＡｌ２Ｏ３粒子径が５μｍ以上の巨大なものとな
ってしまい耐摩耗性が劣化するために好ましくない。

また、本発明の強靭セラミックス工具におＧ）てへ１□
０３薄膜被覆層の厚さも臨界的であり、上記範囲内の値
とすることが好ましい。即ち、下限の０．５μｍに満た
ない厚さではＡｂＯｓ被覆による耐摩耗性の改善効果が
期待できない。一方、上限の２０μｍはそれ程重要では
なく、これ以上の厚さで適用したとしてもＡ１゜０３被
覆による効果が飽和するため、経済的、工業生産的観点
から２０μｍ以下とすることが有利である。

本発明の方法で使用するセラミックス焼結体母材は常法
に従って所定の成分を混合し、所定の形状に成形し、次
いで焼成し、必要ならば寸法調整等の加工を施すことに
より容易に作製することができる。

次いで、該セラミックス母材表面上にＡｌ２Ｏ３薄膜被
覆を施すが、これは各種ＣＶＤ法、イオンブレーティン
グ法などの物理的蒸着法がいずれも使用できる。ここで
、物理蒸着法で得られる堆積膜に比較して、同一温度で
被覆処理を行ったＣＶＤ法により得られる膜は一般に母
材との密着強度に劣ると考えられるが、本発明の方法に
従って上記範囲の温度条件下で被覆処理を実施すること
により、通常の化学蒸着法で十分な強度並びに成長速度
が達成できる。また、このＣＶＤ法は付き回り性に優れ
ているために複雑な形状の母材を被覆するのに有利であ
る。

作用 以上述べたように、セラミックス工具を実用化するため
に最も重要な点は高い靭性と耐摩耗性とを併せ持つ構成
とすることであり、そのために従来から広範な研究がな
されてきた。中でも最も改良が図られたとされている靭
性に富むセラミックス母材と耐摩耗性の点で有利なＣＶ
Ｄ法等で形成されたＡｌ２０ｉ、Ａｌ０Ｎなどの薄膜と
で構成されるセラミックス工具にあっそも、フランク摩
耗がある程度以上進行すると被覆効果が低下し、十分な
耐摩耗性を維持できなくなってしまう。

そこで、本発明者等は以下のような切削試験を行い、そ
の際の摩耗曲線を得、切削時間とフランク摩耗との関係
を調べ、結果を添付第１図にプロットした。この切削試
験において被削材としては鋳鉄（Ｆ　Ｃ２５）を用い、
切削工具の形状は型番Ｓ　Ｎ　Ｇ　Ｎ１２０４０８、ホ
ルダーＦ　ＮＩＩＲ−４４Ａとし、切削剤を使用するこ
となしに以下の条件下で実施した。

切削速度（Ｖ）　＝　５００ｍ／ｍｉｎ送り速度（ｆ　
）　＝０．３６ｍｍ／回転切込み（ｄ）＝２ｍｍ 第１図において曲線（ａ）はＳｉ３Ｎ＜を主成分とする
セラミックス焼結体工具を用いた結果であり、曲線（ｂ
）は（ａ）で使用した工具にＣＶＤ法によりＡｌ２Ｏ。

を厚さ１μｍで被覆した工具による結果であり、さらに
曲線（Ｃ）はＡｌ２Ｏ３／Ｔｉｃのセラミックス焼結体
工具による結果である。この結果から、従来のセラミッ
クス工具による結果（曲線う））は５１３Ｎ４を主体と
する工具の結果（曲線（ａ））と比較した場合、耐摩耗
性の点で著しい改善が認められるものの、切削時間が２
５分以上、フランク摩耗が０．３ｍｍ以上となると、Ａ
ｌｚＯ３被覆による耐摩耗性改善効果が失われることを
理解できる。

このような短い耐用寿命を改善するためには、Ａ１□０
３被覆膜の膜厚を増大させることが考えられる。そこで
、Ａｌ２Ｏ３被覆膜々厚を種々変化させて、フランク摩
耗のＡｌ２Ｏ３被覆の膜厚依存性を検討した。母材とし
ては３１３Ｎ４を主成分とする焼結体を用い、また得ら
れた製品につき第１図と同様な条件下で切削試験を行い
、フランク摩耗が０．３＋ｍｍに達する時間を測定し、
これをＡ１□０３膜々厚に対して添付第２図にプロット
した。この結果は、Ａ１□０３膜々厚が１μｍに達する
までは膜厚の増加に伴って耐摩耗性は増大するが、膜厚
が１μｍを越えると耐摩耗性は急激に低下することを示
している。

これは膜厚が１μｍを越えると、切削時に被覆膜が剥離
してしまうためであると考えられ、更に膜厚が３μｍを
越えると剥離が逆に切欠き効果を生じ、未被覆の場合よ
りも摩耗が大きくなるものと思われる。膜厚が厚くなる
と、被覆膜と母材とは剛性に差があるため、当然の結果
として剥離し易くなることは当業者に良く知られた事実
である。

このような状況の下で、本発明者等は上記試験結果を深
く考察し、検討し従来法の呈する問題を解決するために
は、母材と被覆膜との密着強度の改善を図ることが有利
であることを知った。

上記母材と被覆膜との密着強度を改善するためには様々
な方法が考えられるが、本発明の方法におけるように被
覆処理の際の処理温度を特定範囲とすることが最も有効
である。

そこで、まず種々の被覆法に従って作製した被覆セラミ
ックス工具の母材と被覆膜との密着強度を、スイス時計
研究所製のレイテスト／オートマチックを用いて測定し
た。この測定原理は、荷重を掛けたダイヤモンドコーン
により被覆膜をひっかき、膜を破壊するのに要する荷重
を超音波吸収測置で検出し、この荷重〔臨界荷重：　Ｌ
　ｃ　（ｃｒｉｔｉｃａｌｌｏａｄと呼ばれる）〕の大
小から接着強度を評価するものである。サンプルとして
は５ｉｉＮ＊を主成分とする焼結体母材に、ＣＶＤ法イ
オンブレーティング法およびプラズマＣＶＤ法によって
、種々の温度条件下で、厚さ１μｍのＡｌ２Ｏ３薄膜を
被覆した工具を用いた。結果を添付第３図に示したが、
この結果から被覆方法の種類とは無関係にほぼ被覆温度
のみによって密着強度が決定され、被覆温度が高い程密
着強度も高くなることがわかる。

ところで、従来のセラミックス工具の製造方法に右ける
この被覆処理温度の上限は約１０００℃に制限されてい
た。これは元来、この種の被覆工具作製技術が被覆超硬
合金から進展したものであって、一般に母材が超硬合金
であったため、１０００℃以上の高温に保持すると結合
和合ＲＣＯの流動性が大きくなり、被覆操作中に被覆膜
中に拡散するＣｏの量が無視できなくなり、このＣｏの
拡散のために耐摩耗性の改善がまったく期待できなくな
る。そのため、被覆処理温度の上限は約１０００℃とさ
れ、これがセラミックス焼結体にそのまま適用されてい
たものと考えられる。

そこで、本発明の方法では上記のような被覆超硬合金工
具にみられたＣｏの流動化・拡散の問題を解決するため
に、このような高温で流動化する成分を含まない、ある
いは極く少量でのみ含有するセラミックス焼結体を母材
として選択した。このことは更に、本発明の方法におけ
るように、従来法よりも一層高温度下での被覆処理を、
上記のような問題を伴うことなしに実施することを可能
とする。

かくして、本発明の方法によれば、被覆処理温度を特定
範囲とし、被覆膜々厚を制限し、かつセラミックス焼結
体母材の組成を上記のように精選したことの総合的な結
果として、靭性並びに耐摩耗性両者の点で満足でき、十
分に実用に耐え得るセラミックス工具を実現することが
できる。このような意味から上記３つの要件はいずれも
本発明の方法において臨界的であり、所定範囲内の条件
下で本発明の方法を実施することにより所期の効果を達
成できる。

また、本発明の方法によれば、上記条件に従うことによ
り、被覆処理方法の選択範囲が拡大され、一般には高い
密着強度が期待できないとされるＣＶＤ法によっても十
分な強度の製品が得られる。

このＣＶＤ法は他の物理的被覆法とし比較して経済的で
あり、工業生産的に有利であるので、ＣＶＤ法を利用で
きることは本発明の方法を生産性の点でも好ましいもの
とする。

実施例 以下実施例により本発明の方法を更に具体的に説明する
と共に、本発明の方法の効果を立証するが、本発明の範
囲は以下の例により何等制限されるものではない。

実施例１ ２ｒＯｚ２９．５重量％、ＭｇＯ０，５重量％および残
部のＡｌ２Ｏ３からなるセラミックス焼結体（型番：Ｓ
　Ｎ　Ｇ　Ｎ　１２０４０８）を作製し、この母材を１
２００℃に加熱保持してＡｌＣｌ３３容量％、ＣＯ□１
．５容量％、残部のＨ２からなる混合ガスを１０Ｔｏｒ
ｒにて１時間流し、Ａｌ２Ｏ３を５μｍの厚さで被覆し
た（工具Ａ）。

この工具Ａと同一の母材を１０００℃にて５μｍのＡｌ
２Ｏ，で被覆し、得られた工具をＢとする。

かくして得た工具Ａ、Ｂにつき、上記の如くレイテスト
／オートマチックで被覆膜と母材との密着強度を測定し
たところ、工具Ａは荷重Ｌｃは４２Ｎであったのに対し
て、工具Ｂでは２１Ｎにすぎなかった。

また、工具ＡおよびＢ１比較のための同一の母材に１０
００℃にてＡｌ２Ｏ３を１μｍ被覆して得た工具Ｃおよ
び母材のみからなる工具りにつき以下のような条件下で
切削テストを行った。

被削材：　　ＳＣＭ４３５（Ｈａ　＝２８０）Ｖ＝　６
００ｍ／ｍ１ｎ ｆ　＝　０．３６ｍｍ　／回転 ｄ　＝　２　ｍｔｎ ホルダー：　Ｆ　ＮＩＩＲ−４４Ａ 切削剤　：使用せず 切削時間：１０分 この切削試験の結果、工具Ａはフランク摩耗が０．３１
ｍであったのに対して、工具Ｂは２分１５秒間の切削時
点でフランク摩耗が０．５ｎ以上となり切削不能となっ
てしまい、工具Ｃは６分１１秒の切削時点でやはりフラ
ンク摩耗が０．５１１１ｆｆ１以上となってしまい、工
具りにあっては３分３８秒の切削後フランク摩耗は０．
５ｍｍ以上となりいずれも切削不能となった。この結果
は本発明の有効性を十分に立証するものである。

実施例２ ３１３Ｎ４８５重量％、ＺｒｏｚｌＯ重Ｉ％、Ｙ２Ｏ３
５重量％からなるセラミックス焼結体く型番：　５ＮＧ
Ｎ１２０４０８＞を作製し、この母材を１１５０℃に加
熱保持してＡｌＣｌ３２．５容量％、ＣＯ２２容量％、
残部のＨ２からなる混合ガスを１５Ｔｏｒｒにて１時間
流し、Ａｌ２Ｏ３を４μｍ被覆したく工具Ｅ）。工具Ｅ
と同一の母材に、１０００℃にてＡｌ２Ｏ３を４μｍ被
覆して工具Ｆを得、更に同様に１０００℃でＡｌ２Ｏ３
を１μｍ被覆した工具Ｇを作製した。かくして、得られ
た工具Ｅ〜Ｇにつき以下の切削条件下で切削テストを行
った。

被削材：　鋳鉄Ｆ　Ｃ２５ Ｖ＝　７００ｍ／ｍ１ｎ ｆ　＝０．３６ｍｍ　／回転 ｄ　＝＝　２ｍｒｎ ホルダー：　Ｆ　ＮＩＩＲ−４４Ａ 切削剤　：使用せず 切削時間：５分 この切削テストの結果、工具Ｅのフランク摩耗が０．２
４ｍであったのに対して、工具ＦおよびＧのフランク摩
耗は夫々０．７２ｍ＋ｎおよび１順以上であり、更に工
具Ｇではフランク摩耗１　ａｏｎに達するのにわずか３
分１４秒であった。尚、市販のＡｌ２Ｏ３／ＴＩＣ製焼
結体工具では４分６秒間の切削により欠損を生じた。

実施例３ 実施例２と同一の母材に種々の条件でＡｌ２Ｏ３被覆を
設け１１個のサンプルＨ−Ｒを作製した。被覆温度、Ａ
ｌ２Ｏ５膜厚および実施例２と同一条件下で行った切削
テスト結果は以下の表に示す通りであった。

第１表 発明の効果 以上詳しく述べたように、本発明の方法によれば、セラ
ミックス焼結体母材を精選し、被覆Ａｌ２Ｏ３膜々厚を
所定範囲内に制限し、かつ該Ａｌ２Ｏ３被覆処理温度を
特定の範囲内の値としたことに基き、セラミックス工具
にとって重要な２つの要件、即ち耐摩耗性と靭性に対す
る要件を同時に満足する、実用化に十分耐え寿る被覆セ
ラミックス工具を提供することができた。これはセラミ
ックス焼結体母材とＡ１□０．被覆層との密着強度を上
記のような３つの要件、中でも特に被覆処理温度を従来
法よりも高くしたことにより達成されたものであり、市
販のＡｌ２０３／Ｔｔ　Ｃ系の焼結体工具と１ヒ較して
大巾に改善されたフランク摩耗等の緒特性を有するもの
である。

また、本発明の方法では生産性、経済性の観点から有利
なＣＶＤ法が通常の条件下で十分な堆積速度で利用でき
るので、本発明の方法はセラミックス工具の製造コスト
、量産性の点でも満足し得るものである。

【図面の簡単な説明】

添付第１図は、従来のセラミックス工具による鋳鉄の切
削テスト結果をプロットしたグラフであり、 第２図は、従来法で得た被覆セラミックス工具の被覆膜
々厚に伴う、フランク摩耗が０．３ｍｍに達するまでの
時間の変動をプロットしたグラフであり、 第３図は各種成膜法による被覆膜の形成温度と、接着強
度（臨界荷重＋Ｌｃ）との関係をプロットしたグラフで
ある。 特許出願人　　住友電気工業株式会社 ；刀　肖ｉ　　ｇ守　間　　（分） 第１図 Ａｌ２Ｏ３梳ｍａ厚　（声） Ｗ覆ｎ　度　（”Ｃ）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）セラミックス焼結体母材を１１５０〜１５００℃
   の範囲内の温度に加熱保持し、その表面を化学気相蒸着
   法によって０．５〜２０μｍの厚さのＡｌ＿２Ｏ＿３薄
   膜で被覆することを特徴とする強靭セラミックス工具の
   製造方法。
2. （２）上記セラミックス焼結体母材がＡｌ＿２Ｏ＿３を
   主成分とし、ＴｉＣ、ＴｉＮ、Ｔｉ（ＣＯ）、ＷＣおよ
   びＺｒＯ＿２からなる群から選ばれる少なくとも１種の
   成分を５〜５０重量％の割合で含むものであることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の強靭セラミックス
   工具の製造方法。
3. （３）上記セラミックス焼結体母材がＳｉ＿３Ｎ＿４を
   主成分とし、ＺｒＯ＿２、ＴｉＮ、Ｙ＿２Ｏ＿３、Ａｌ
   ＿２Ｏ＿３およびＡｌＮからなる群から選ばれる少なく
   とも１種を５〜５０重量％の割合で含むものであること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の強靭セラミッ
   クス工具の製造方法。