JPS6224653A - リ−ドフレ−ム - Google Patents

リ−ドフレ−ム

Info

Publication number
JPS6224653A
JPS6224653A JP60161961A JP16196185A JPS6224653A JP S6224653 A JPS6224653 A JP S6224653A JP 60161961 A JP60161961 A JP 60161961A JP 16196185 A JP16196185 A JP 16196185A JP S6224653 A JPS6224653 A JP S6224653A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
frame
lead frame
air
gate
lead
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60161961A
Other languages
English (en)
Inventor
Sadao Yoshino
定雄 吉野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
Original Assignee
Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd, Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd
Priority to JP60161961A priority Critical patent/JPS6224653A/ja
Publication of JPS6224653A publication Critical patent/JPS6224653A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W70/00—Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
    • H10W70/40—Leadframes
    • H10W70/421—Shapes or dispositions
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071—Connecting or disconnecting
    • H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
    • H10W72/07551—Connecting or disconnecting of bond wires characterised by changes in properties of the bond wires during the connecting
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/50—Bond wires
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W74/00—Encapsulations, e.g. protective coatings
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00—Package configurations
    • H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
    • H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
    • H10W90/756—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink

Landscapes

  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [技術分野] 本発明は、半導体装置、特に樹脂封止型の半導体装置の
製造に用いられるリードフレームに適用して有効な技術
に関する。
[背景技術] ベレットをエポキシ樹脂等の合成樹脂(レジン)で封止
してなる、いわゆる樹脂封止型半導体装置の製造方法に
おいて、上下の金型の間にリードフレームを載置して金
型間にレジンを注入するモールド工程がある。
上記モールド工程では溶融状態のレジンを高圧で注入す
るため、金型内部の空気を注入されるレジンに対応して
外部に逃がしてやらなければならない。
すなわち、金型内の空気の抜けが十分に行われないと、
封止後のレジンに、いわゆるボイドと呼ばれる空気溜ま
りが生じることが多い。このボイドがパッケージ内にあ
ると、パフケージに十分な強度が得られなかったり、外
部からの水分の侵入を促進してワイヤ等の腐食の原因と
なるからであこの点について、金型にエアベントと呼ば
れる凹部を設けて、レジンの注入にともないここから金
型内の空気抜きを行うことが知られている。
しかし、前記金型は種類の異なるリードフレームのモー
ルドに共用されることが多く、そのためエアベントはリ
ードフレームの形状に対応して形成することができなか
った。たとえば、前記エアベントは金型のゲート(レジ
ン注入口)と反対方向のフレーム部に当接する部位にし
か設けることができず、リード方向には設けることがで
きなかった。この結果、金型内の空気抜きが十分でなく
ボイドがなお発生することが本発明者によって明らかに
された。
さらに、上記の方法では、ボイドが最も発生し易い金型
のゲート近傍にエアベントを形成することができない。
そのため、非ゲート方向のフレーム部にどのように広い
エアベントを形成してもボイドの防止を完全に防止する
ことはできないことも同時に本発明者によって明らかに
された。
なお、樹脂封止型半導体装置の技術として詳しく述べで
ある例としては、株式会社工業調査会、1980年1月
15日発行rlc化実装技術」 (日本マイクロエレク
トロニクス協会m)、P149〜P150がある。
「発明の目的J 本発明の目的は、樹脂封止型半導体装置の製造工程の一
つであるモールド工程時におけるボイドの発生を防止で
きるリードフレームを提供することにある。
本発明の他の目的は、パッケージ強度が高く、耐湿性に
優れた信転性の高い半導体装置を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
[発明の概要] 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
すなわち、フレーム部およびダム部の表面にエアベント
としての凹部が形成されたリードフレーム構造とするこ
とにより、モールドに際して金型内の空気抜きを良好に
行うことができるため、安定したレジン注入を行うこと
ができ、ボイドの発生を防止することができる。
[実施例] 第1図は本発明の一実施例であるリードフレームを示す
斜視図、第2図は実施例のリードフレームを用いたモー
ルド工程を示す断面図である。
本実施例のリードフレーム1はデュアルインラインパッ
ケージ形状CDIP)の半導体装置の製造に用いられる
リードフレームであり、中央にペレットを装着するタブ
2を有し、長さ方向のフレーム部3a、3bおよび幅方
向に延設されたフレーム部4a、4bで囲まれた部分を
一単位として複数のものが並列方向に連結されて一つの
リードフレーム1を形成してなるものである。
前記タブ2は長さ方向のフレーム部3a、3bから中央
方向に延設されたタブ吊りリード5区よって支持されて
おり、幅方向のフレーム部4a。
4bからは前記中央のタブ2の方向にタブ2の近傍まで
複数のリード6が延設されている。リード6はその途中
部分でリードフレーム1の幅方向に延設されたタイバー
すなわちダム7により互いに連結された状態となってお
り、このダム7に囲まれた部分はインナーリード8とし
て形成されている。このインナーリード8の部分はワイ
ヤポンディングが行われ、またモールドの際に封止され
る部分であり、この部分にはボンディングを良好に行う
ために金めつき等を施してもよい。
一方、長さ方向のフレーム部3aには表面から裏面方向
に貫通する移送用孔9a、9bが開設されている。すな
わち、リードフレーム1の移送時にはこの移送用孔9a
、9bに移送機構のフック(図示せず)を係合させるよ
うにして各製造工程間を移送されるのである。
なお、上記形状のリードフレーム1は、たとえば427
0イ、コバールもしくは銅等からなる薄板状(0,25
mm程度)の導電性金属板に、プレス切断もしくは薬液
によるエツチング処理を施すことにより所定形状に加工
される。
前記リードフレームlの表面にはエアベント10として
の凹部が複数箇所に形成されている。たとえば、後述す
る金型のゲート11に当接するフレーム部3bと反対方
向のフレーム部3aには幅広のエアベント10aが形成
されている。このエアベン)IOaは前記移送用孔9a
を避けるように形成されている。そのため、モールド後
に、移送用孔9a内にレジンが付着してリードフレーム
1の移送が困難になることはない。
また、ゲート11側のフレーム部3bにもエアベントI
Obが形成されているが、このゲート11側のエアベン
トIOaはフレーム部3b内を経由して非封止領域、す
なわちインナーリード8の外部方向に空気を抜くように
構成されている。このように、エアベントlObを迂回
させて形成したのは、ゲー)11側のフレーム部3b側
では金型の構造上、ゲー[1が形成されているために、
ゲート方向に空気抜きを行うことができないためである
。
さらに、ダム7上のリード連結部分にも各々幅狭のエア
ベント10cが形成されている。これらの各エアベント
10a、10b、10cはリードフレーム1の表面から
例えば、20μm〜40μm程度の深さで形成されてお
り、このような構造の加工はエツチング処理等により行
うことが可能である。
次に本実施例の作用について説明する。
上記構造のリードフレーム1は、第2図に示すように、
まず中央のタブ2の上にペレット12が取付けられ、さ
らにベレット12とインナーリード8間にワイヤボンデ
ィングがなされてペレット12とリード6との電気的導
通が図られる。このワイヤボンディングは、例えば金等
からなるワイヤ13の一端を加熱して溶融ポールを形成
し、この溶融ボールをベレット12上の所定位置に押圧
して第一ボンディングを行う。次にワイヤ長さを所定量
確保した後にワイヤ13の他端を超音波振動を印加しな
がらインナーリード8の所定位置に押圧し、さらにワイ
ヤ13の余線部分を切断することにより行われるもので
ある。
このようにしてベレット12およびワイヤ13の取付け
られたリードフレーム1はモールド金型14の間に載置
される。このモールド金型14は上型14aと下型14
bとでキャビティ15を形成する一対構造を有しており
、下型1・4bには前記キャビティ15内へのレジン注
入口としてのゲート11が開設されている。
次に、前記リードフレーム1が上型14aと下型14b
に挟持された状態でキャビティ15内に封止材であるレ
ジン17が溶融状態でゲート16より高圧注入される。
このレジン17の注入にともなって、キャビティ15内
の空気18はリードフレーム1に形成された各エアベン
ト10a、10b、10cを流通して外部に排出される
。
このように、本実施例では金型14にではなく、リード
フレーム1自体にエアベントを有する構造であるため、
リードフレーム1の形状に対応したエアベント10a、
10b、10cをリードフレーム1上にそれぞれ形成す
ることができる。
特に、本実施例では非ゲート側のフレーム部3aのみな
らず、ダム7の表面およびゲート1工側にもエアベント
10b、locが各々開設されているため、レジン圧に
よりキャビティ15内の残留空気18を平面四方向に排
出することができる。
したがって、効率良く空気18を抜くことができ、注入
されたレジン内でのボイドの発生を有効に防止すること
ができる。
[効果] (1)、フレーム部およびダム部の表面にエアベントと
しての凹部が形成されたリードフレーム構造とすること
により、リードフレームの形状に応じたエアベントを形
成することができるため、モールドに際して金型内の空
気抜きを良好に行うことができ、ボイドの発生を防止す
ることができる。
(2)、エアベントとしての凹部を封止部分を囲むフレ
ーム部もしくはダム部の四方向に形成することによって
、金型のキャビティ内の残留空気を効率よく外部に排出
することができるため、ボイドの発生を効率的に防止す
ることができる。
(3)、フレーム部のゲート側のエアベントを、フレー
ム部の表面をフレームの長さ方向に延設し、非ゲート方
向にエアを逃がすように形成することにより、キャビテ
ィ内のゲート近傍の空気を外部に排出することができる
ため、ゲート近傍に発生し易いボイドを効果的に防止す
ることができる。
(4)、前記+11〜(3)により、樹脂封止型半導体
装置におけるパッケージ内のボイドの発生を防止するこ
とができるため、パッケージ強度が高く、耐湿性に優れ
た信幀性の高い半導体装置を提供することができる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
たとえば、実施例では第1図に示したように8本のリー
ドを有するリードフレームについてのみ説明したが、こ
れに限らず、これ以下の本数もしくはこれ以上の本数を
有するものであってもよい。
[利用分野] 以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその利用分野である、いわゆるデュアルインラインパ
ッケージ形状の半導体装置の製造に用いられるリードフ
レームにに適用した場合について説明したが、これに限
定されるものではなく、レジンモールドされてなる半導
体装置であれば、たとえばフラットパッケージ形状(P
PP)もしくはリード付チップキャリアパッケージ形状
(PLCC)等の半導体装置のリードフレームに適用し
ても有効な技術である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例であるリードフレームを示す斜
視図、 第2図は実施例のリードフレームを用いたモールド工程
を示す断面図である。 1・・・リードフレーム、2・・・タブ、3a。 3b・・・フレーム部、4a、4b・・・フレーム部、
5・・・タブ吊りリード、6・・・リード、7・・・ダ
ム、8・・・インナーリード、9a。 9b・・・移送用孔、10a、10b、10c・・・エ
アベント、11・・・ゲート、12・・・ベレット、1
3・・・ワイヤ、14・・・金型、14a・・・上型、
14b・・・下型、15・・・キャビティ、17・・・
レジン、18・・・空気(残留空気)。 第   1  図 第  2  図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、樹脂封止型半導体装置の製造に用いられるリードフ
    レームであって、フレーム部およびダム部の表面にエア
    ベント用の凹部が形成されてなることを特徴とするリー
    ドフレーム。 2、前記凹部が封止部分を囲むフレーム部もしくはダム
    部の四方向に形成されていることを特徴とすることを特
    徴とする特許請求の範囲第1項記載のリードフレーム。 3、前記凹部がエッチング処理により形成されてなるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のリードフレ
    ーム。 4、フレーム部のゲート側の凹部がフレーム部の表面を
    フレームの長さ方向に延設され、非ゲート方向にエアを
    逃がすように形成されていることを特徴とする特許請求
    の範囲第1項記載のリードフレーム。
JP60161961A 1985-07-24 1985-07-24 リ−ドフレ−ム Pending JPS6224653A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60161961A JPS6224653A (ja) 1985-07-24 1985-07-24 リ−ドフレ−ム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60161961A JPS6224653A (ja) 1985-07-24 1985-07-24 リ−ドフレ−ム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6224653A true JPS6224653A (ja) 1987-02-02

Family

ID=15745358

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60161961A Pending JPS6224653A (ja) 1985-07-24 1985-07-24 リ−ドフレ−ム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6224653A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5293065A (en) * 1992-08-27 1994-03-08 Texas Instruments, Incorporated Lead frame having an outlet with a larger cross sectional area than the inlet

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5293065A (en) * 1992-08-27 1994-03-08 Texas Instruments, Incorporated Lead frame having an outlet with a larger cross sectional area than the inlet

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108987367B (zh) 在每个引线上具有焊料可附着的侧壁的qfn预模制的引线框
KR100390094B1 (ko) 반도체장치 및 그 제조방법
JP2875139B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JP3218933U (ja) プリフォームリードフレーム及びリードフレームパッケージデバイス
KR100252737B1 (ko) 수지봉합형 반도체 장치 및 그 제조방법
US20210098358A1 (en) Semiconductor package
JP3688440B2 (ja) 半導体装置
JP2662991B2 (ja) 混成集積回路パッケージ
JP2003234436A (ja) マトリクス基板及び樹脂モールド方法
JP3747991B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JPS6281737A (ja) 半導体装置の製造方法及びリ−ドフレ−ム
JPH05218508A (ja) 光半導体装置の製造方法
JPH11340400A (ja) 半導体装置およびその製造方法並びにそれに使用されるリードフレーム
JPS6248375B2 (ja)
JPH07101726B2 (ja) リ−ドフレ−ム
JP2855787B2 (ja) 樹脂封止型半導体装置製造用金型並びにそれを用いた樹脂封止型半導体装置の製造方法
JPS6197955A (ja) リ−ドフレ−ム
JPH1027870A (ja) 半導体装置およびその製造方法
JPH11220087A (ja) リードフレームおよびそれを用いた半導体装置ならびにその製造方法
JPS63131558A (ja) レジン封止型半導体装置用リ−ドフレ−ム
JP2917556B2 (ja) 絶縁物封止型電子部品の製造方法
KR100239708B1 (ko) 비엘피 패키지의 제조방법
JPH02202042A (ja) 樹脂封止型半導体装置
JPH098209A (ja) 半導体装置およびモールド金型
KR100537716B1 (ko) 리드 프레임 및 그를 이용한 반도체 패키지