JPS62258404A - カラ−フイルタ−の製造方法 - Google Patents
カラ−フイルタ−の製造方法Info
- Publication number
- JPS62258404A JPS62258404A JP61102502A JP10250286A JPS62258404A JP S62258404 A JPS62258404 A JP S62258404A JP 61102502 A JP61102502 A JP 61102502A JP 10250286 A JP10250286 A JP 10250286A JP S62258404 A JPS62258404 A JP S62258404A
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- Japan
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- color filter
- dyed
- resin layer
- light
- red
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- Pending
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- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、カラー撮像素子やカラー液晶ディスプレイの
色分解に用いられるカラーフィルターの各カラーフィル
ター要素間に設ける遮光部の製造方法に関するものであ
る。
色分解に用いられるカラーフィルターの各カラーフィル
ター要素間に設ける遮光部の製造方法に関するものであ
る。
本発明は、カラーフィルター要素間に異なる分光特性の
樹脂層を重ねることによって形成する樹脂層のうち少な
くとも一層を、カラーフィルター要素の樹脂層と同時に
形成することによって、工程数の低減を行なうものであ
る。
樹脂層を重ねることによって形成する樹脂層のうち少な
くとも一層を、カラーフィルター要素の樹脂層と同時に
形成することによって、工程数の低減を行なうものであ
る。
従来からの製造方法においては、カラーフィルター要素
間の遮光部の樹脂層の一層とカラーフィルター要素の樹
脂層の形成は、別々に行なわれていた。
間の遮光部の樹脂層の一層とカラーフィルター要素の樹
脂層の形成は、別々に行なわれていた。
しかし、前述の従来技術では、遮光部のないカラーフィ
ルターに比べて遮光部を作るための工程数が増えるとい
う問題点を有する。そこで本発明は、このような問題点
を解決するもので、その目的とするところは、工程数の
増加をなるべく少なくして、カラーフィルター要素間の
遮光部を形成するところにある。
ルターに比べて遮光部を作るための工程数が増えるとい
う問題点を有する。そこで本発明は、このような問題点
を解決するもので、その目的とするところは、工程数の
増加をなるべく少なくして、カラーフィルター要素間の
遮光部を形成するところにある。
本発明のカラーフィルターの製造方法は、複数種の分光
特性から成るカラーフィルター要素が複数と、各カラー
フィルター要素間の遮光部から成り、かつ各カラーフィ
ルター要素とカラーフィルター要素間の遮光部が染色さ
れた樹脂層によって形成され、カラーフィルター要素間
の遮光部が分光特性の異なる樹脂層が一層されて形成さ
れているカラーフィルターにおいて、遮光部の少なくと
モ一層の樹脂層を いずれかのカラーフィルター要素形
成時に同時に形成することを特徴とする。
特性から成るカラーフィルター要素が複数と、各カラー
フィルター要素間の遮光部から成り、かつ各カラーフィ
ルター要素とカラーフィルター要素間の遮光部が染色さ
れた樹脂層によって形成され、カラーフィルター要素間
の遮光部が分光特性の異なる樹脂層が一層されて形成さ
れているカラーフィルターにおいて、遮光部の少なくと
モ一層の樹脂層を いずれかのカラーフィルター要素形
成時に同時に形成することを特徴とする。
第１例として、本発明による、赤、青、緑の三色の樹脂
層から成るカラーフィルターにおいて、赤、青、緑の三
層を重ねて遮光部とするカラーフィルターの製造方法を
第１図に示す。
層から成るカラーフィルターにおいて、赤、青、緑の三
層を重ねて遮光部とするカラーフィルターの製造方法を
第１図に示す。
第１図（ａ）は、基板上に染色性を持つ感光性樹脂層を
形成し、ガラスマスクを用いて所定の領域について選択
的に総光したのち、これを現像して、赤色の分光特性を
持つカラーフィルター要素と各カラーフィルター要素間
の領域について樹脂層残して、これを染色し、ざらをこ
防染膜ないし防染剤によって防染処理を行なって、赤色
に染色された樹脂Ｎ１が形成されたところを示している
。
形成し、ガラスマスクを用いて所定の領域について選択
的に総光したのち、これを現像して、赤色の分光特性を
持つカラーフィルター要素と各カラーフィルター要素間
の領域について樹脂層残して、これを染色し、ざらをこ
防染膜ないし防染剤によって防染処理を行なって、赤色
に染色された樹脂Ｎ１が形成されたところを示している
。
第１図（ｂ）は、さらにこの上に 同様の工程絹よって
、緑色の分光特性を持つカラーフィルター要素と各カラ
ーフィルター要素間の領域に 緑色に染色された樹脂層
２が形成されたところを示している。
、緑色の分光特性を持つカラーフィルター要素と各カラ
ーフィルター要素間の領域に 緑色に染色された樹脂層
２が形成されたところを示している。
第１図（ｃ）は、さらにこの上に 同様の工程によって
青色の分光特性を持つカラーフィルター要素と各カラ
ーフィルター要素間の領域に 青色に染色された樹脂層
３が形成されたところを示している。第１図（ｄ）に
そのときの断面図を示す。
青色の分光特性を持つカラーフィルター要素と各カラ
ーフィルター要素間の領域に 青色に染色された樹脂層
３が形成されたところを示している。第１図（ｄ）に
そのときの断面図を示す。
このとき 各カラーフィルター要素間は、赤。
緑、青の三種の樹脂層が一層されている。三種の樹脂層
とそれらが重なった領域の分光特性を 第５図に示す。
とそれらが重なった領域の分光特性を 第５図に示す。
赤、緑、青の三層が重なったときの分光特性１３より、
各カラーフィルター要ｘ間の領域は、遮光領域であると
いうことができる。
各カラーフィルター要ｘ間の領域は、遮光領域であると
いうことができる。
また、第１図に示した方法によりカラーフィルターを作
った場合には、遮光部を作るために増加する工程数はな
い。
った場合には、遮光部を作るために増加する工程数はな
い。
第２例として、本発明Ｇこよる、赤、青、緑の三色の樹
脂層から成るカラーフィルターにおいて、赤、青の二層
を重ねて遮光部とするカラーフィルターの製造方法を第
２図に示す。
脂層から成るカラーフィルターにおいて、赤、青の二層
を重ねて遮光部とするカラーフィルターの製造方法を第
２図に示す。
第２図（α）は、基板上に染色性を持つ感光性樹脂層を
形成し、ガラスマスクを用いて所定の領域について選択
的に露光したのち、これを現像して、赤色の分光特性を
持つカラーフィルター要素と各カラーフィルター要素間
の領域について樹脂層残して、これを染色し、ざらに防
染膜ないし防染剤によって防染処理を行なって、赤色に
染色された樹脂層１が形成されたところを示している。
形成し、ガラスマスクを用いて所定の領域について選択
的に露光したのち、これを現像して、赤色の分光特性を
持つカラーフィルター要素と各カラーフィルター要素間
の領域について樹脂層残して、これを染色し、ざらに防
染膜ないし防染剤によって防染処理を行なって、赤色に
染色された樹脂層１が形成されたところを示している。
第２図（ｂ）は、さらにこの上に 同様の工程によって
緑色の分光特性を持つカラーフィルター要素の領域に
緑色に染色された樹脂層２が形成されたところを示し
ている。
緑色の分光特性を持つカラーフィルター要素の領域に
緑色に染色された樹脂層２が形成されたところを示し
ている。
第２図（Ｃ）は、さらにこの上に 同様の工程によって
青色の分光特性を持つカラーフィルター！ｌｉｉ累と
各カラーフィルター要素間の領域に 青色に染色された
樹脂層３が形成されたところを示している。第２図（ｄ
）に そのときの断面図を示す。
青色の分光特性を持つカラーフィルター！ｌｉｉ累と
各カラーフィルター要素間の領域に 青色に染色された
樹脂層３が形成されたところを示している。第２図（ｄ
）に そのときの断面図を示す。
このとき 各カラーフィルター要素間は、赤と青の二種
の樹脂層が一層されている。この二種の樹脂層とそれら
が重なった領域の分光特性を 第６図に示す。赤、青の
二層が重なったときの分光特性１４より、各カラーフィ
ルター要素間の領域は、遮光領域であると言うことがで
きる。
の樹脂層が一層されている。この二種の樹脂層とそれら
が重なった領域の分光特性を 第６図に示す。赤、青の
二層が重なったときの分光特性１４より、各カラーフィ
ルター要素間の領域は、遮光領域であると言うことがで
きる。
また、第５図を第６図と比較すると、赤青の二層の一層
と赤青緑の三層の一層では遮光効果にほとんど差がない
。これにより 遮光効果は、赤と青の二層を重ねること
により十分得られることがわかる。
と赤青緑の三層の一層では遮光効果にほとんど差がない
。これにより 遮光効果は、赤と青の二層を重ねること
により十分得られることがわかる。
第２例に示した方法によりカラーフィルターを作った場
合には、遮光部を作ること（こよる工程数の増り日はな
い。
合には、遮光部を作ること（こよる工程数の増り日はな
い。
また、第２例に示した方法Ｑこよって作ったカラーフィ
ルターは、第１例に示した方法によって作ったカラーフ
ィルターに比べて 遮光部とカラーフィルター要素との
樹脂層の厚みの差が少ない特徴がある。
ルターは、第１例に示した方法によって作ったカラーフ
ィルターに比べて 遮光部とカラーフィルター要素との
樹脂層の厚みの差が少ない特徴がある。
第３例として、本発明による、シアンと黄色の二色の樹
脂層から成るカラーフィルターＱこおいて、赤とシアン
の二層を重ねて遮光部とするカラーフィルターの製造方
法を第６図に示す。
脂層から成るカラーフィルターＱこおいて、赤とシアン
の二層を重ねて遮光部とするカラーフィルターの製造方
法を第６図に示す。
第３図（α）は、基板上（こ染色性を持つ感光性樹脂層
を形成し、ガラスマスクを用いて所定の領域について選
択的に露光したのち、これを現像しして、各カラーフィ
ルター要素間の領域について樹脂層残して、これを染色
し、さらに防染膜ないし防染剤による防染処理を行なっ
て、赤色に染色された樹脂層１が形成されたところを示
している第３図Ｃｂ＞は、さらにこの上に 同様の工程
によって シアンの分光特性を持つカラーフィルター要
素と各カラーフィルター要素間の領域にシアンに染色さ
れた樹脂層７が形成されたところを示している。
を形成し、ガラスマスクを用いて所定の領域について選
択的に露光したのち、これを現像しして、各カラーフィ
ルター要素間の領域について樹脂層残して、これを染色
し、さらに防染膜ないし防染剤による防染処理を行なっ
て、赤色に染色された樹脂層１が形成されたところを示
している第３図Ｃｂ＞は、さらにこの上に 同様の工程
によって シアンの分光特性を持つカラーフィルター要
素と各カラーフィルター要素間の領域にシアンに染色さ
れた樹脂層７が形成されたところを示している。
第３図ＣＣ）は、さらにこの上に 同様の工程によって
黄色の分光特性を持つカラーフィルター要素の領域に
黄色に染色された樹脂ｆＷＪ ８が形成されたところ
を示している。第３図（ｄ）にそのときの断面図を示す
。
黄色の分光特性を持つカラーフィルター要素の領域に
黄色に染色された樹脂ｆＷＪ ８が形成されたところ
を示している。第３図（ｄ）にそのときの断面図を示す
。
このとき 各カラーフィルター要素間は、シアンと赤の
二種の樹脂層が一層され、遮光領域となっている。
二種の樹脂層が一層され、遮光領域となっている。
また、第５図に示す方法によりカラーフィルターを作っ
た場合、遮光部を作るために樹脂層を所定の領域に形成
し、染色する工程が１回必斐であり、工程数の増加を招
く。
た場合、遮光部を作るために樹脂層を所定の領域に形成
し、染色する工程が１回必斐であり、工程数の増加を招
く。
第４例として、従来の、樹脂層を重ねて遮光部とするカ
ラーフィルターの製造方法を第４図に示す。
ラーフィルターの製造方法を第４図に示す。
第４図（ａ）は、基板上Ｇこ染色性を持つ感光性樹脂層
を形成し、ガラスマスクを用いて所定の領域について選
択的に露光したのち、これを現像して、各カラーフィル
ター要素間の領域について樹脂層残して、これを染色し
、さらに防染膜ないし防染剤によって防染処理を行なっ
て 赤色に染色された樹脂層１が形成されたところを示
している第４図Ｃｂ’）は、さらにこの上に 同様の工
程によって各カラーフィルター要素間の領域に 青色に
染色された樹脂層２が形成されたところを示している。
を形成し、ガラスマスクを用いて所定の領域について選
択的に露光したのち、これを現像して、各カラーフィル
ター要素間の領域について樹脂層残して、これを染色し
、さらに防染膜ないし防染剤によって防染処理を行なっ
て 赤色に染色された樹脂層１が形成されたところを示
している第４図Ｃｂ’）は、さらにこの上に 同様の工
程によって各カラーフィルター要素間の領域に 青色に
染色された樹脂層２が形成されたところを示している。
以上の工程により、遮光部が形成される。
第４図＜ｃ＞は、さらに各カラーフィルター要素に、赤
、緑、青の所定の色で染色された樹脂層１〜３が形成さ
れたところを示している。
、緑、青の所定の色で染色された樹脂層１〜３が形成さ
れたところを示している。
第４図に示す方法によりカラーフィルターを作った場合
、遮光部を作るために樹脂層を所定の領域に形成し、染
色する工程が２回必髪であり、工程数の増加を招く。
、遮光部を作るために樹脂層を所定の領域に形成し、染
色する工程が２回必髪であり、工程数の増加を招く。
複数種の分光特性から成るカラーフィルター要素が複数
と各カラーフィルター要素間の遮光部から構成され、か
つ各カラーフィルター要素とカラーフィルター要素間の
遮光部が染色された樹脂層によって形成され、カラーフ
ィルター要素間の遮光部が分光特性の異なる樹脂層が一
層されることによって形成されているカラーフィルター
において、遮光部の少なくとも一層の樹脂層を いずれ
かのカラーフィルター要素形成時に同時に形成するよう
にしたため、遮光部の樹脂層を形成する工程数の低減が
図れるという効果がある。
と各カラーフィルター要素間の遮光部から構成され、か
つ各カラーフィルター要素とカラーフィルター要素間の
遮光部が染色された樹脂層によって形成され、カラーフ
ィルター要素間の遮光部が分光特性の異なる樹脂層が一
層されることによって形成されているカラーフィルター
において、遮光部の少なくとも一層の樹脂層を いずれ
かのカラーフィルター要素形成時に同時に形成するよう
にしたため、遮光部の樹脂層を形成する工程数の低減が
図れるという効果がある。
第１図（ｄ）〜（ｄ）は、本発明によるところの赤、青
、緑の三色の樹脂層から成るカラーフィルターにおいて
、赤、青、緑の三層を重ねて遮光部とするカラーフィル
ターの製造方法を示す図である。 第２図（α）〜（ｄ）は、本発明によるところの赤、青
、緑の三色の樹脂層から成るカラーフィルターにおいて
、赤、青の二層を重ねて遮光部とするカラーフィルター
の製造方法を示す図である第３図（（Ｚ）〜（ｄ）は、
本発明によるところのシアンと黄色の二色の樹脂層から
成るカラーフィルターにおいて、赤とシアンの二層を重
ねて遮光部とするカラーフィルターの製造方法を示す図
である。 第４図（α）〜（ｄ）は、従来の 樹脂層を重ねて遮光
部とするカラーフィルターの製造方法を示す図である。 第５図に 赤、緑、青それぞれに染色された樹脂層と
それら三層が重なったときの分光特性を示す図。 第６図に 赤、青それぞれに染色された樹脂層と それ
ら二層が重なったときの分光特性を示す図。 １・・・・・・赤色に染色された樹脂層２・・・・・・
緑 〃 ３・・・・・・青 ４・・・・・・赤色に染色された樹脂層と緑色に染色さ
れた樹脂層の重なり ５・・・・・・赤色に染色された樹脂層と緑色に染色さ
れた樹脂層と青色に染色された樹脂層との重なり ６・・・・・・赤色に染色された樹脂層と青色に染色さ
れた樹脂層との重なり ７・・・・・・シアンに染色された樹脂層８・・・・・
・黄色に染色された樹脂層９・・・・・・シアンに染色
された樹脂層と黄色に染色された樹脂層との重なり １０・・・赤色に染色された樹脂層の分光特性１１・・
・緑色に染色された樹脂層の分光特性１２・・・青色に
染色された樹脂層の分光特性１３・・−赤、緑、青それ
ぞれに染色された樹脂層が三層型なったときの分光特性 １４・・・赤、青それぞれに染色された樹脂層が二層型
なったときの分光特性 以 上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士最上務（他１名） ４００ ５００
Ｂｏｏ ７００５皮長 （ｎ
ｍ） ５皮長 （ｎｍ）
、緑の三色の樹脂層から成るカラーフィルターにおいて
、赤、青、緑の三層を重ねて遮光部とするカラーフィル
ターの製造方法を示す図である。 第２図（α）〜（ｄ）は、本発明によるところの赤、青
、緑の三色の樹脂層から成るカラーフィルターにおいて
、赤、青の二層を重ねて遮光部とするカラーフィルター
の製造方法を示す図である第３図（（Ｚ）〜（ｄ）は、
本発明によるところのシアンと黄色の二色の樹脂層から
成るカラーフィルターにおいて、赤とシアンの二層を重
ねて遮光部とするカラーフィルターの製造方法を示す図
である。 第４図（α）〜（ｄ）は、従来の 樹脂層を重ねて遮光
部とするカラーフィルターの製造方法を示す図である。 第５図に 赤、緑、青それぞれに染色された樹脂層と
それら三層が重なったときの分光特性を示す図。 第６図に 赤、青それぞれに染色された樹脂層と それ
ら二層が重なったときの分光特性を示す図。 １・・・・・・赤色に染色された樹脂層２・・・・・・
緑 〃 ３・・・・・・青 ４・・・・・・赤色に染色された樹脂層と緑色に染色さ
れた樹脂層の重なり ５・・・・・・赤色に染色された樹脂層と緑色に染色さ
れた樹脂層と青色に染色された樹脂層との重なり ６・・・・・・赤色に染色された樹脂層と青色に染色さ
れた樹脂層との重なり ７・・・・・・シアンに染色された樹脂層８・・・・・
・黄色に染色された樹脂層９・・・・・・シアンに染色
された樹脂層と黄色に染色された樹脂層との重なり １０・・・赤色に染色された樹脂層の分光特性１１・・
・緑色に染色された樹脂層の分光特性１２・・・青色に
染色された樹脂層の分光特性１３・・−赤、緑、青それ
ぞれに染色された樹脂層が三層型なったときの分光特性 １４・・・赤、青それぞれに染色された樹脂層が二層型
なったときの分光特性 以 上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士最上務（他１名） ４００ ５００
Ｂｏｏ ７００５皮長 （ｎ
ｍ） ５皮長 （ｎｍ）
Claims (1)
- 複数種の分光特性から成るカラーフィルター要素が複数
と各カラーフィルター要素間の遮光部から構成され、か
つ各カラーフィルター要素とカラーフィルター要素間の
遮光部が染色された樹脂層によって形成され、カラーフ
ィルター要素間の遮光部が分光特性の異なる樹脂層が一
層されることによって形成されているカラーフィルター
において、遮光部の少なくとも一層の樹脂層をいずれか
のカラーフィルター要素形成時に同時に形成することを
特徴とするカラーフィルターの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61102502A JPS62258404A (ja) | 1986-05-02 | 1986-05-02 | カラ−フイルタ−の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61102502A JPS62258404A (ja) | 1986-05-02 | 1986-05-02 | カラ−フイルタ−の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62258404A true JPS62258404A (ja) | 1987-11-10 |
Family
ID=14329180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61102502A Pending JPS62258404A (ja) | 1986-05-02 | 1986-05-02 | カラ−フイルタ−の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62258404A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6340101A (ja) * | 1986-08-06 | 1988-02-20 | Kyodo Printing Co Ltd | 液晶カラ−表示装置用フイルタ |
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-
1986
- 1986-05-02 JP JP61102502A patent/JPS62258404A/ja active Pending
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| US11632511B2 (en) | 2009-02-17 | 2023-04-18 | Nikon Corporation | Backside illumination image sensor, manufacturing method thereof and image-capturing device |
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