JPS6226034U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6226034U JPS6226034U JP11588685U JP11588685U JPS6226034U JP S6226034 U JPS6226034 U JP S6226034U JP 11588685 U JP11588685 U JP 11588685U JP 11588685 U JP11588685 U JP 11588685U JP S6226034 U JPS6226034 U JP S6226034U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- view
- platform
- quartz board
- wafer carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図は本考案に係る半導体ウエハーの移し替
え装置の一実施例の側面図、第２図はその正面図
、第３図は挾持片部分のみを示す一部を切欠いた
平面図、第４図はその側面図、第５図はウエハー
受けの斜視図、第６図はその断面図、第７図はウ
エハーを挾持片で挾持する状態を示す側面図、第
８図はウエハーと挾持片の関係を示す側面図、第
９図は作業順序を示す側面図、第１０図は従来装
置の縦断側面図、第１１図は挾持状態を示す縦断
側面図、第１２図はウエハーの支持状態を示す正
面図である。 １…ウエハーキヤリヤ、３…ウエハー、１５…
ウエハー受け、１７…嵌入溝、３４…挾持片、３
５…挾持溝、５０…乗せ台、５１…石英ボード。
え装置の一実施例の側面図、第２図はその正面図
、第３図は挾持片部分のみを示す一部を切欠いた
平面図、第４図はその側面図、第５図はウエハー
受けの斜視図、第６図はその断面図、第７図はウ
エハーを挾持片で挾持する状態を示す側面図、第
８図はウエハーと挾持片の関係を示す側面図、第
９図は作業順序を示す側面図、第１０図は従来装
置の縦断側面図、第１１図は挾持状態を示す縦断
側面図、第１２図はウエハーの支持状態を示す正
面図である。 １…ウエハーキヤリヤ、３…ウエハー、１５…
ウエハー受け、１７…嵌入溝、３４…挾持片、３
５…挾持溝、５０…乗せ台、５１…石英ボード。
Claims (1)
- 石英ボード５１及びウエハーキヤリヤ１を載置
して前後進させる乗せ台５０と、上面にウエハー
３を嵌入させる多数の嵌入溝１７，１７，…を平
行に設けた石英ボード５１又はウエハーキヤリヤ
１内を昇降するウエハー受け１５と、乗せ台５０
の上方に設置してウエハー３の下面を支持する多
数の挾持溝３５，３５，…を対向位置に設けた回
動開閉する対向した挾持片３４，３４とから成る
半導体ウエハーの移し替え装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11588685U JPS6226034U (ja) | 1985-07-30 | 1985-07-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11588685U JPS6226034U (ja) | 1985-07-30 | 1985-07-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6226034U true JPS6226034U (ja) | 1987-02-17 |
Family
ID=30999961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11588685U Pending JPS6226034U (ja) | 1985-07-30 | 1985-07-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6226034U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04354349A (ja) * | 1991-05-31 | 1992-12-08 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウエーハの自動エッチング装置 |
-
1985
- 1985-07-30 JP JP11588685U patent/JPS6226034U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04354349A (ja) * | 1991-05-31 | 1992-12-08 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウエーハの自動エッチング装置 |
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