JPS62265738A - 低温度領域で結露氷結しないウエハ−計測用装着台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 集積電子回路のウェハーの状態でブロービング計測をす
る時、低温度高温度迄の測定条件で、しかも大気中に於
いて、これらの温度環境を作り出すウェハー装着台に関
するしのである。

従来ウェハーの低温度領域でのブロービング計測でわ大
気中の水分が結露して、更に氷結ずろために計測を不可
能にしている、しから大気の存在は熱の侵入あるいは放
出を招き、氷点下１００℃を越える低温度の場を大気中
で作り出す構造は無かった。

〔発明の構成〕

本発明は大気中に於いて、これらのＬ１的の低温度領域
を作り出す構造を提供ずろらので、その一実施例の構成
を図面を追。て説明をする。

ウェハーの装着台Ｉの表面周縁以下を気密構造の容器２
とし、この外周を断熱材３て被覆をする、これに上って
外部からの大気の浸入を防ぎ、しかし容器外周の結；に
を防止する、そしてこの気密な容器２の内部に魔法瓶・
１を設置する、装着台１の下ｉＭ糧に金属帯５を接続、
これを吊り下げてその先端ＩＭ≦を魔法瓶４の中に挿入
ずろ、この魔法瓶４の人口に外部より寒村の導入管６を
接続、この導入管にｊ；って液化ガスを魔法瓶４内に送
り込む、装着台ｌに吊り下げられている金属帯５が寒村
によって冷却され装着台Ｉの熱を移送する、装着台ｌを
冷やした熱量分の寒キオか気化して気密構造の容器２の
内部に充満する、更に気化するガスは排出管７を通り途
中で電熱ヒーター９で加熱されて装着台１の全表面に平
行に噴射される、これによって装着台１の表面とを大気
し隔離し、大気中の水分の結露並びに氷結を防ぐ、更に
装着台Ｉの裏側に電熱ヒーター１１を固着、これによっ
て装着台Ｉを任怠の温度に制御することができる。

〔発明の効果〕

寒村の容器として魔法瓶を内蔵したことて液化ガスか大
気の温度の影！ツを直接受けにくくなり、しかも容器全
体を気密な構造としたことで徒に寒村の大気中えの放散
がＳＩ＋Ｃ＜なり、しから空気の寒村えの混入を防ぎ、
そして気化したガスを適度に加熱して装着台の表面に噴
射して排出するために装若したウェハーと大気との間に
気相で分離されるために大気中の水分による結露ら無く
、しかしこの構造は液化ガスを中心にその周囲に気化ガ
ス、そして人気と二ｔｅｌの温度段階が構成されて、熱
の拡１牧を防ぐと共に熱の交換効率に良い働きをして、
大気中にら拘わらず安定した低温度領域を作り出Ｕる、
寒村に液体窒素を用いた実・験の結果、低１１′五度側
でマイナス１【０℃の領域迄到達しｆ二、更に高温度側
は２５０℃の温度を得ろことに成功しており、しかし構
成１１り品か少なく全体の規模も小さく特に消耗する部
品が無いため、この実用効果は極めて大きい。

〔その他の実施例〕

１、金属帯５は、断面の形状による熱の移送の効果の優
劣は無い、又金属帯の設置数は金属帯の断面の積の総和
に比例して熱の移送効率か高くなるが限界か有る。

２、容器２は、気密性が問題であって樹脂、金属など素
材の違いによる効果はあまり変わらない１．３、寒村の
容器魔法瓶４は、発泡スチロールのような断熱性の高い
材料で作った容器でも代用てきる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示す横断面図。 １　・装着台　　２・・・容器　　３・・・断熱材４・
・・魔法瓶　　５・・金属帯　　６・・・導入管７・・
排出管　　８・・・吹き出し管　　９・・・電熱ヒータ
ー　　ｌＯ・・液化ガス　　１１・・・電熱ヒーター１
２・・・ウェハー

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、装着台１の周縁以下を気密な構造の容器２とし、こ
   の容器２の外周を断熱材３で被覆する。 ２、容器２の内部に魔法瓶４を設け、魔法瓶４の入り口
   付近に管６を設置する、装着台１の下側より金属帯５を
   接続、これを吊下その先端部を魔法瓶４内に挿入する、
   更に装着台１の下部に電熱ヒーター１１を固着する。 ３、容器２の一部に排出管７を接続し、吹き出し管８を
   連結し先端部を装着台１の表面に向ける、排出管７の途
   中に電熱ヒーター９を設ける。以上のごとく構成された
   低温度領域で結露氷結しないウェハー計測用装着台。