JPS62266726A - 薄膜磁気ヘッドを搭載した磁気ディスク装置 - Google Patents
薄膜磁気ヘッドを搭載した磁気ディスク装置Info
- Publication number
- JPS62266726A JPS62266726A JP10844786A JP10844786A JPS62266726A JP S62266726 A JPS62266726 A JP S62266726A JP 10844786 A JP10844786 A JP 10844786A JP 10844786 A JP10844786 A JP 10844786A JP S62266726 A JPS62266726 A JP S62266726A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic disk
- slider
- magnetic
- thin
- thin film
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/10—Structure or manufacture of housings or shields for heads
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気ディスク記憶装置用の磁気ヘッドのスライ
ダ材料に係り、特に磁気ディスクとの摺動性がよく、薄
膜素子を形成するのに好適なスライダ材料に関する。
ダ材料に係り、特に磁気ディスクとの摺動性がよく、薄
膜素子を形成するのに好適なスライダ材料に関する。
磁気ディスク記憶装置の分野においては、ますます増大
する高記録密度化の要請に応えるため。
する高記録密度化の要請に応えるため。
磁気ヘッドと磁気ディスクの空隙（浮上量）の狭小化が
進み、薄膜磁気ヘッドや薄膜磁気ディスクの採用が注目
されている。
進み、薄膜磁気ヘッドや薄膜磁気ディスクの採用が注目
されている。
浮上量の減少（０，１〜０．３μｍ）によって磁気ヘッ
ド・スライダと磁気ディスクが接触、摺動する機会は一
層増大する。さらに薄膜磁気ディスクの使用においては
、ディスクの磁性層は０．０５〜０．１ μｍと極めて
薄いため、接触、摺動によって受ける損傷の許容される
大きさは極めて小さくなる。このため、磁気ディスクの
損傷を最小限にし、記録の読取り、書込みを長期にわた
って安定に行うには、磁気ヘッド・スライダは磁気ディ
スクとの摺動性がよいことがますます重要になっている
。
ド・スライダと磁気ディスクが接触、摺動する機会は一
層増大する。さらに薄膜磁気ディスクの使用においては
、ディスクの磁性層は０．０５〜０．１ μｍと極めて
薄いため、接触、摺動によって受ける損傷の許容される
大きさは極めて小さくなる。このため、磁気ディスクの
損傷を最小限にし、記録の読取り、書込みを長期にわた
って安定に行うには、磁気ヘッド・スライダは磁気ディ
スクとの摺動性がよいことがますます重要になっている
。
従来の薄膜磁気ヘッドのスライダ材料としては、代表的
なものとして特公昭５ｇ −５４７０号公報に開示され
たＡＱｚＯｓ／ＴｉＣ複合焼結体がある。このスライダ
材料は薄膜素子を形成するには優れた材料であるが、磁
気ディスクとの摺動性に関しては必ずしも満足のいくも
のではなかった。そこで磁気ディスクとの摺動性を改善
するために１例えば特開昭５８−４１４６７号公報に開
示されたＳｉＣ／ＷＳ ｉ ｚ／ Ｓ ｉ 複合焼結
体が提案されている。この材料はＷＳｉｚとＳｉの少量
添加によって磁気ディスクとの摺動性が改善されている
。しかしながら、ＳｉＣが主材であるために熱膨張率が
小さく、現行の薄膜素子形成材料として用いるには次の
問題点がある。すなわち、薄膜素子は高温でＡｆｉｚＯ
ａ保護膜と薄膜磁気回路を薄層形成して得るために、熱
膨張率がＡＱｚＯｓよりもかなり小さいＳｉＣの如きス
ライダ材料では薄膜素子部とスライダ部が剥離するとい
う問題点がある。また、薄膜磁気回路に普通に用いられ
るパーマロイなどの磁性材料も一般に熱膨張率がＡＱｚ
Ｏｓ並み以上に大きく、上記熱膨張率の小さなスライダ
材料をノ用いた場合、熱歪によって磁性材料の磁気特性
が損われるという問題もあった。
なものとして特公昭５ｇ −５４７０号公報に開示され
たＡＱｚＯｓ／ＴｉＣ複合焼結体がある。このスライダ
材料は薄膜素子を形成するには優れた材料であるが、磁
気ディスクとの摺動性に関しては必ずしも満足のいくも
のではなかった。そこで磁気ディスクとの摺動性を改善
するために１例えば特開昭５８−４１４６７号公報に開
示されたＳｉＣ／ＷＳ ｉ ｚ／ Ｓ ｉ 複合焼結
体が提案されている。この材料はＷＳｉｚとＳｉの少量
添加によって磁気ディスクとの摺動性が改善されている
。しかしながら、ＳｉＣが主材であるために熱膨張率が
小さく、現行の薄膜素子形成材料として用いるには次の
問題点がある。すなわち、薄膜素子は高温でＡｆｉｚＯ
ａ保護膜と薄膜磁気回路を薄層形成して得るために、熱
膨張率がＡＱｚＯｓよりもかなり小さいＳｉＣの如きス
ライダ材料では薄膜素子部とスライダ部が剥離するとい
う問題点がある。また、薄膜磁気回路に普通に用いられ
るパーマロイなどの磁性材料も一般に熱膨張率がＡＱｚ
Ｏｓ並み以上に大きく、上記熱膨張率の小さなスライダ
材料をノ用いた場合、熱歪によって磁性材料の磁気特性
が損われるという問題もあった。
本発明の目的は上記の問題点を解決し、磁気ディスクと
の摺動性がよく、かつ薄膜素子を形成するのに適した薄
膜磁気ヘッド・スライダ材料を提供することにある。
の摺動性がよく、かつ薄膜素子を形成するのに適した薄
膜磁気ヘッド・スライダ材料を提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、上記スライダ材料として珪化物より成り、熱
膨張係数が６Ｘ１０−８℃−１以上かつ１０Ｘ １０−
”Ｃ−’以下の焼結体を用いることを特徴としている。
膨張係数が６Ｘ１０−８℃−１以上かつ１０Ｘ １０−
”Ｃ−’以下の焼結体を用いることを特徴としている。
珪化物は一般にそれ自体が潤滑作用を有するため、珪化
物より成る焼結体は磁気ディスクとの摺動性がよく、磁
気ディスクに損傷を与えにくい。
物より成る焼結体は磁気ディスクとの摺動性がよく、磁
気ディスクに損傷を与えにくい。
さらに磁気ディスクに与える損傷をより小さくするため
には、焼結体の硬さは小さい方がよく、望ましくはビッ
カース硬度が１５００ Ｈｖ以下がよい。また焼結体は
薄膜素子形成に適するために、；熱膨張係数がＡ Ｑ
Ｚ Ｏａに近くなければならない。
には、焼結体の硬さは小さい方がよく、望ましくはビッ
カース硬度が１５００ Ｈｖ以下がよい。また焼結体は
薄膜素子形成に適するために、；熱膨張係数がＡ Ｑ
Ｚ Ｏａに近くなければならない。
形成した薄膜素子部が剥離しないためには焼結体の熱膨
張係数が６ Ｘ １０−”Ｃ−”以上かつ１０×１０−
６℃−１以下であることが必要である。
張係数が６ Ｘ １０−”Ｃ−”以上かつ１０×１０−
６℃−１以下であることが必要である。
熱膨張係数が６Ｘ１０−６℃−１以上かつ１ｏ×１０−
６℃−１以下で望ましくは硬さが１５００ Ｈｖ以下の
単一または混合珪化物焼結判は磁気ディスクとの摺動性
が優れ、薄膜素子形成に適するが、珪化物の中でもＭｏ
Ｓ ｉｓ、 ＷＳ ｉｚ、 Ｔａ Ｓ ｉｘ。
６℃−１以下で望ましくは硬さが１５００ Ｈｖ以下の
単一または混合珪化物焼結判は磁気ディスクとの摺動性
が優れ、薄膜素子形成に適するが、珪化物の中でもＭｏ
Ｓ ｉｓ、 ＷＳ ｉｚ、 Ｔａ Ｓ ｉｘ。
Ｎｂ５ｉｚ、Ｚｒ５ｊｚなどはそれ自体が熱膨張係数と
硬さの上記条件を満足する。したがって、Ｍｏ Ｓ ｉ
ｚ、 ｗｓ ｉｔ、 Ｔａ Ｓ ｉｚ、 Ｎｂ Ｓ ｉ
ｚ＋Ｚｒ５ｉｚなどのうち１種または２種以上の混合よ
り成る焼結体は、特性の微視的な均一性が図れるので、
スライダ材料としてより好ましい。
硬さの上記条件を満足する。したがって、Ｍｏ Ｓ ｉ
ｚ、 ｗｓ ｉｔ、 Ｔａ Ｓ ｉｚ、 Ｎｂ Ｓ ｉ
ｚ＋Ｚｒ５ｉｚなどのうち１種または２種以上の混合よ
り成る焼結体は、特性の微視的な均一性が図れるので、
スライダ材料としてより好ましい。
なお焼結体は、珪化物以外の物質を含む場合であっても
、珪化物が主体であり熱膨張係数が６×１０−６℃′″
１以上かつ１０Ｘ１０−６℃−６以下で望ましくはビッ
カース硬さが１５００ Ｈｖ以下であれば、本発明の目
的を達成することができる。したがって本発明の範囲内
で、焼結体の機械的特性。
、珪化物が主体であり熱膨張係数が６×１０−６℃′″
１以上かつ１０Ｘ１０−６℃−６以下で望ましくはビッ
カース硬さが１５００ Ｈｖ以下であれば、本発明の目
的を達成することができる。したがって本発明の範囲内
で、焼結体の機械的特性。
熱的特性、電気的特性等の改善のために、珪化物以外の
物質を混合することもできる。
物質を混合することもできる。
以下に本発明の実施例を述べる。
実施例ｌ
Ｍｏ５ｉｚ、ＷＳｉｚ、Ｔａ５ｉｚ、Ｎｂ５ｉｚ。
Ｚｒ５ｉｚ及びＴ ｉ Ｓ ｉの各粉末を５０時間ボー
ルミル粉砕し、粉粒径を１μｍ以下とした。得た粉末は
１００１００Ｏ１／、ｆｆｌの圧力で金型で圧粉成形し
た後、プレス圧力５００ｋｇｆ／ｃＪにて真空雰囲気中
で１時間ホットプレス焼成した。焼成温度はＷＳ ｉｚ
、 Ｔａ Ｓ ｉｚ、 Ｍｏ Ｓ ｉｚの場合は１００
０℃。
ルミル粉砕し、粉粒径を１μｍ以下とした。得た粉末は
１００１００Ｏ１／、ｆｆｌの圧力で金型で圧粉成形し
た後、プレス圧力５００ｋｇｆ／ｃＪにて真空雰囲気中
で１時間ホットプレス焼成した。焼成温度はＷＳ ｉｚ
、 Ｔａ Ｓ ｉｚ、 Ｍｏ Ｓ ｉｚの場合は１００
０℃。
Ｎ ｂ Ｓ ｉ ｘの場合は１５００℃、Ｚｒ５ｉｚと
Ｔ ｉ Ｓ ｉの場合は１３００℃とした。
Ｔ ｉ Ｓ ｉの場合は１３００℃とした。
得た焼結体は室温から４５０℃の間での熱膨張係数を測
定した。また荷重３００ｇｊ’でビッカース硬度を測定
した。第１表は測定結果を示す。いずれの熱膨張係数も
６Ｘ１０−８℃−１以上がっ１゜ｘｌｏ−ｅ℃−１以下
であり本発明の範囲にある。硬さはＴ ｉ Ｓ ｉ以外
はいずれも１５００１−１ ｖ以下であり好ましい値を
有している６ 第１表 また得た焼結体から面寸法が５０Ｘ５０ｍｓ、厚さが４
−の板材を切り出し、表面をラップ研摩した後、４５０
”Ｃにて面上に厚さ約３０μｍのＡＱｚＯａスパッタ膜
を形成したところ、いずれも剥離が生じなかった。これ
から、本焼結体は薄膜素子の形成に適していることがわ
かる。
定した。また荷重３００ｇｊ’でビッカース硬度を測定
した。第１表は測定結果を示す。いずれの熱膨張係数も
６Ｘ１０−８℃−１以上がっ１゜ｘｌｏ−ｅ℃−１以下
であり本発明の範囲にある。硬さはＴ ｉ Ｓ ｉ以外
はいずれも１５００１−１ ｖ以下であり好ましい値を
有している６ 第１表 また得た焼結体から面寸法が５０Ｘ５０ｍｓ、厚さが４
−の板材を切り出し、表面をラップ研摩した後、４５０
”Ｃにて面上に厚さ約３０μｍのＡＱｚＯａスパッタ膜
を形成したところ、いずれも剥離が生じなかった。これ
から、本焼結体は薄膜素子の形成に適していることがわ
かる。
実施例２
実施例１で得た焼結体を用いて第１図に示したスライダ
を加工した。スライダと磁気ディスクとの摺動性は以下
の方法で評価した。
を加工した。スライダと磁気ディスクとの摺動性は以下
の方法で評価した。
まずスライダはジンバルバネによってささえて磁気ディ
スク面上に保持した。スライダ位置での周速が４０ｍ／
ｓとなる回転数で磁気ディスクを回転させスライダを約
０．３μｍ浮上させた。次いでジンバルバネに５４１１
ｚの振動を与えてスライダと磁気ディスクを強制的に連
結接触させ、この接触により磁気ディスクの磁性層が摩
滅し地金が露出するまでの時間を測定した。磁気ディス
クは磁性粉とＡｎｘＯｓ粉フィラーが混練された有機物
樹脂がＡＱ製地金の表面に磁性層として塗られた塗布型
ディスクを用いた。なお比較例としてＡＱｚＯｓ／Ｔｉ
Ｃ複合焼結体で作製したスライダの試験も実施した。
スク面上に保持した。スライダ位置での周速が４０ｍ／
ｓとなる回転数で磁気ディスクを回転させスライダを約
０．３μｍ浮上させた。次いでジンバルバネに５４１１
ｚの振動を与えてスライダと磁気ディスクを強制的に連
結接触させ、この接触により磁気ディスクの磁性層が摩
滅し地金が露出するまでの時間を測定した。磁気ディス
クは磁性粉とＡｎｘＯｓ粉フィラーが混練された有機物
樹脂がＡＱ製地金の表面に磁性層として塗られた塗布型
ディスクを用いた。なお比較例としてＡＱｚＯｓ／Ｔｉ
Ｃ複合焼結体で作製したスライダの試験も実施した。
第２表は測定結果を示す。これから本発明品はいずれも
従来品のＡＱｚＯｓ／ＴｉＣ複合焼結体製スライダに比
べ、磁気ディスクとの摺動性が少なくとも４倍以上優れ
、特に硬さが１５００Ｈｖ以下のＭｏ Ｓ ｉｔ、 Ｗ
Ｓ ｉ２． Ｔａ Ｓ ｉｘ、 Ｎｂ Ｓ ｉｘ。
従来品のＡＱｚＯｓ／ＴｉＣ複合焼結体製スライダに比
べ、磁気ディスクとの摺動性が少なくとも４倍以上優れ
、特に硬さが１５００Ｈｖ以下のＭｏ Ｓ ｉｔ、 Ｗ
Ｓ ｉ２． Ｔａ Ｓ ｉｘ、 Ｎｂ Ｓ ｉｘ。
Ｚｒ５ｉｚ焼結体製スライダの場合には６倍以上優れて
いることがわかる。
いることがわかる。
第２表
〔発明の効果〕
本発明によれば、磁気ディスクとの摺動性が優れ、薄膜
素子の形成に適したスライダを得ることができるので、
長寿命で高記録密度の磁気ディスク記憶装置用の薄膜磁
気ヘッドを得ろことができる。
素子の形成に適したスライダを得ることができるので、
長寿命で高記録密度の磁気ディスク記憶装置用の薄膜磁
気ヘッドを得ろことができる。
第１図は本発明の一実施例のスライダの斜視図である。
１・・・スライダ、２・・・薄膜素子形成面、３・・・
磁気ディスク摺動面。
磁気ディスク摺動面。
Claims (1)
- １、金属珪化物を主材とする焼結体より成ることを特徴
とする薄膜磁気ヘッド用スライダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61108447A JPH07118073B2 (ja) | 1986-05-14 | 1986-05-14 | 薄膜磁気ヘッドを搭載した磁気ディスク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61108447A JPH07118073B2 (ja) | 1986-05-14 | 1986-05-14 | 薄膜磁気ヘッドを搭載した磁気ディスク装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62266726A true JPS62266726A (ja) | 1987-11-19 |
| JPH07118073B2 JPH07118073B2 (ja) | 1995-12-18 |
Family
ID=14485012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61108447A Expired - Lifetime JPH07118073B2 (ja) | 1986-05-14 | 1986-05-14 | 薄膜磁気ヘッドを搭載した磁気ディスク装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07118073B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01250830A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-05 | Teraoka Seiko Co Ltd | 組合せ秤における商品排出装置 |
| US5636087A (en) * | 1993-04-22 | 1997-06-03 | Tdk Corporation | Magnetic head slider assembly |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5841467A (ja) * | 1981-08-31 | 1983-03-10 | Nippon Tungsten Co Ltd | 磁気ヘツド・スライダ−用材料及びその製造方法 |
-
1986
- 1986-05-14 JP JP61108447A patent/JPH07118073B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5841467A (ja) * | 1981-08-31 | 1983-03-10 | Nippon Tungsten Co Ltd | 磁気ヘツド・スライダ−用材料及びその製造方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01250830A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-05 | Teraoka Seiko Co Ltd | 組合せ秤における商品排出装置 |
| US5636087A (en) * | 1993-04-22 | 1997-06-03 | Tdk Corporation | Magnetic head slider assembly |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07118073B2 (ja) | 1995-12-18 |
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