JPS6226878A - 金属蒸気レ−ザ発振管 - Google Patents
金属蒸気レ−ザ発振管Info
- Publication number
- JPS6226878A JPS6226878A JP16573285A JP16573285A JPS6226878A JP S6226878 A JPS6226878 A JP S6226878A JP 16573285 A JP16573285 A JP 16573285A JP 16573285 A JP16573285 A JP 16573285A JP S6226878 A JPS6226878 A JP S6226878A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- ceramic
- inner tube
- laser oscillation
- ceramic inner
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/031—Metal vapour lasers, e.g. metal vapour generation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はセラミック外管とセラミック内管の支持構造全
改良した金属蒸気レーザ発振管に関する。
改良した金属蒸気レーザ発振管に関する。
従来の金属蒸気レーザ発振管は、一般に金属蒸気を放電
させるための陽極と陰極の内径はセラミック内管の内径
にほぼ等しいためその放電はセラミック内管の内側で放
電する正常な放電のみでなくセラミック内管と、セラミ
ック外管とのすきまで異常放電を起すという問題点があ
った。
させるための陽極と陰極の内径はセラミック内管の内径
にほぼ等しいためその放電はセラミック内管の内側で放
電する正常な放電のみでなくセラミック内管と、セラミ
ック外管とのすきまで異常放電を起すという問題点があ
った。
この問題を解決するためには、絶縁物でできたスペーサ
ーで両端を支持し、セラミック内管とセラミック外管と
のすきまを陽極と陰極から隔離するという方法が考えら
れるがその場合は次のような問題が新たに発生する、す
なわち、セラミック外管の内側にはＨｅ＊Ｎｅ等の放電
用バッファガスが供給されるため、この装置の始動時に
は置換のためにロータリーポンプによって一度真空状態
にする必要がある。ところがこの時、スペーサーにより
セラミック内管とセラミック外管のすきまを防いで隔離
された部屋を構成してしまうと、その部屋内のエアーが
なかなか抜けず真空度が上らないあるいは所要の真空度
を得るためには長時間を要するという不都合が生じる。
ーで両端を支持し、セラミック内管とセラミック外管と
のすきまを陽極と陰極から隔離するという方法が考えら
れるがその場合は次のような問題が新たに発生する、す
なわち、セラミック外管の内側にはＨｅ＊Ｎｅ等の放電
用バッファガスが供給されるため、この装置の始動時に
は置換のためにロータリーポンプによって一度真空状態
にする必要がある。ところがこの時、スペーサーにより
セラミック内管とセラミック外管のすきまを防いで隔離
された部屋を構成してしまうと、その部屋内のエアーが
なかなか抜けず真空度が上らないあるいは所要の真空度
を得るためには長時間を要するという不都合が生じる。
本発明は上記のような従来技術の欠点を除去しセラミッ
ク内管２とセラミック外管ｌとのすきまでの異常数１！
ヲ防止し、かつ、真空引きを容易とした金属蒸気レーザ
発振管を提供することを目的とする。
ク内管２とセラミック外管ｌとのすきまでの異常数１！
ヲ防止し、かつ、真空引きを容易とした金属蒸気レーザ
発振管を提供することを目的とする。
本発明は、上記目的を達成する之めに為されたもので、
金属粒子が内部に配置されたセラミック内管内に放電用
バッファガスを供給し、セラミック内管の両端に設けら
れた陽極と陰極間に高電圧全印加することによ・シ放電
プラズマを形成して金属粒千金蒸気化し、蒸気化された
金属粒子を放電プラズマ中の自由電子によシ励起してレ
ーザ発振全行なうレーザ発振管であって、セラミック内
管外径よシも大きな内径を有するセラミック外管がセラ
ミック内管の外側に構成されたレーザ発振管においてセ
ラミック内管とセラミック外管とのすきまがセラミック
などの絶縁材料製のＣ形スペーサリングで支持されその
スペーサリングの切欠き部分がセラミック管軸方向から
みて左右反対側にくるようにセラミック管両端付近に２
ケずつ配置した金属蒸気レーザ発振管である。
金属粒子が内部に配置されたセラミック内管内に放電用
バッファガスを供給し、セラミック内管の両端に設けら
れた陽極と陰極間に高電圧全印加することによ・シ放電
プラズマを形成して金属粒千金蒸気化し、蒸気化された
金属粒子を放電プラズマ中の自由電子によシ励起してレ
ーザ発振全行なうレーザ発振管であって、セラミック内
管外径よシも大きな内径を有するセラミック外管がセラ
ミック内管の外側に構成されたレーザ発振管においてセ
ラミック内管とセラミック外管とのすきまがセラミック
などの絶縁材料製のＣ形スペーサリングで支持されその
スペーサリングの切欠き部分がセラミック管軸方向から
みて左右反対側にくるようにセラミック管両端付近に２
ケずつ配置した金属蒸気レーザ発振管である。
以下、本発明の実施例について詳細に説明する。
本発明の金属蒸気レーザ発振管は、第１図に示すような
構造になっている。第１図において１はセラミック外管
、２はセラミック内管でありそれぞれ耐熱性に優れた性
質をもつ。セラミック内管２の内部の放電部３にガス供
給系４からＨｅ 、 Ｎ ｅ等の放電用バッファガスが
供給されると共に、ロータリポンプ５により排気され、
陽極６と陰極７間にパルス高電圧電源８から印加される
電圧が数ＫＶ〜１０数ＫＶ、繰返し周波数が数ＫＨｚ〜
に１０数ＫＨｚのパルス高電圧によシパルス二極放電を
行なってプラズマを発生する。セラミック内管２内ては
金榎粒子９が配置され、この金属粒子９が放電プラズマ
と接触してセラミック内管２が極めて高温状態に加熱さ
れることで金属粒子９が蒸発することにより、レーザ媒
質となる金属蒸気が生成される。この金４蒸気はセラミ
ック内管２内に一様に１０１４〜１ ｏ１５ 、 ／。
構造になっている。第１図において１はセラミック外管
、２はセラミック内管でありそれぞれ耐熱性に優れた性
質をもつ。セラミック内管２の内部の放電部３にガス供
給系４からＨｅ 、 Ｎ ｅ等の放電用バッファガスが
供給されると共に、ロータリポンプ５により排気され、
陽極６と陰極７間にパルス高電圧電源８から印加される
電圧が数ＫＶ〜１０数ＫＶ、繰返し周波数が数ＫＨｚ〜
に１０数ＫＨｚのパルス高電圧によシパルス二極放電を
行なってプラズマを発生する。セラミック内管２内ては
金榎粒子９が配置され、この金属粒子９が放電プラズマ
と接触してセラミック内管２が極めて高温状態に加熱さ
れることで金属粒子９が蒸発することにより、レーザ媒
質となる金属蒸気が生成される。この金４蒸気はセラミ
ック内管２内に一様に１０１４〜１ ｏ１５ 、 ／。
３の密度で分布し、放電プラズマ中の自由電子により励
起されることによって、その金属特有の波長の光を発光
しプリエースタ窓１０全通してセラミック内管２の両端
に置かれた出力ミラー１１と全反射ミｔ−１２で構成さ
れる光共撮器で増幅され、出力ミラー１１側よシレーザ
光となって出力される。
起されることによって、その金属特有の波長の光を発光
しプリエースタ窓１０全通してセラミック内管２の両端
に置かれた出力ミラー１１と全反射ミｔ−１２で構成さ
れる光共撮器で増幅され、出力ミラー１１側よシレーザ
光となって出力される。
セラミック内管２は両端側においてＯリング１３および
ベローズ１４を介して外被１５に支持されており、外被
１５と外管１との間はロータリポンプ１６によシ排気さ
れて真空断熱室１７となっている。この真空断熱室１７
内には熱遮蔽板１８が設けられている。また外被１５の
周囲には冷却用配管１９が設けられている。さらに、外
被工５の途中には陽極６側と陰極７側とを電気的に分離
する之めの絶Ｒ管２０が挿入されている。このようにセ
ラミック内管２内を高温状態に安定に維持するために、
真空断熱構造を採用している。
ベローズ１４を介して外被１５に支持されており、外被
１５と外管１との間はロータリポンプ１６によシ排気さ
れて真空断熱室１７となっている。この真空断熱室１７
内には熱遮蔽板１８が設けられている。また外被１５の
周囲には冷却用配管１９が設けられている。さらに、外
被工５の途中には陽極６側と陰極７側とを電気的に分離
する之めの絶Ｒ管２０が挿入されている。このようにセ
ラミック内管２内を高温状態に安定に維持するために、
真空断熱構造を採用している。
次に本発明の一実施例に係る金鵡蒸気レーザ発振管の要
部２１の斜視図ｔ−第２図に示す。第３図は要部２１を
軸方向よシ見た図である。
部２１の斜視図ｔ−第２図に示す。第３図は要部２１を
軸方向よシ見た図である。
第１図において、セラミック内管２は例えばセラミック
などの絶縁材料でできたＣ形のスペーサリング２２．２
３でセラミック外管１の内側にその両端付近で支持され
ている。ここでスペーサリング２２．２３は第２図及び
第３図に示すようにその切欠き部分が軸方向からみて左
右反対方向になるように配置されている。スペーサリン
グ２２ 、２３をこのように配置することにより、セラ
ミック外管１とセラミック内管２とのすきまによる空間
は陽極６及び陰極５から完全に隔離されこの空間におけ
る放電は発生しない、また、この空間内のエアーはスペ
ーサリングの切欠き部分を通ってすみやかに抜けるため
所要の真空度に到達するまでには時間がかからない。又
セラミック内管１の内部は１５００’Ｃ程度まで昇温す
る恵めセラミック外管ｌ及びセラミック内管２は熱によ
り膨張奮起す。
などの絶縁材料でできたＣ形のスペーサリング２２．２
３でセラミック外管１の内側にその両端付近で支持され
ている。ここでスペーサリング２２．２３は第２図及び
第３図に示すようにその切欠き部分が軸方向からみて左
右反対方向になるように配置されている。スペーサリン
グ２２ 、２３をこのように配置することにより、セラ
ミック外管１とセラミック内管２とのすきまによる空間
は陽極６及び陰極５から完全に隔離されこの空間におけ
る放電は発生しない、また、この空間内のエアーはスペ
ーサリングの切欠き部分を通ってすみやかに抜けるため
所要の真空度に到達するまでには時間がかからない。又
セラミック内管１の内部は１５００’Ｃ程度まで昇温す
る恵めセラミック外管ｌ及びセラミック内管２は熱によ
り膨張奮起す。
そのためこの装置の稼動と停止つまりセラミック外管１
及びセラミック内管２の膨張と収縮金繰り返しているう
ち（てスペーサリング２２，２３がセラミック内管から
外れる。あるいはスペーサリング２２．２３が接触して
しまい真空が引きにくくなる可能性があるが外れないよ
うにするためにはあらかじめ熱膨張を見込んだ位置にス
ペーサリング２２．２３’ｅ配置すればよく接触しない
ようにするには第４図のようにスペーサリング２２，２
３０間に耐熱性に優れ念材料でできた肉厚の薄いカラー
２６をスペーサリング２２と２３の間にはさめばよい。
及びセラミック内管２の膨張と収縮金繰り返しているう
ち（てスペーサリング２２，２３がセラミック内管から
外れる。あるいはスペーサリング２２．２３が接触して
しまい真空が引きにくくなる可能性があるが外れないよ
うにするためにはあらかじめ熱膨張を見込んだ位置にス
ペーサリング２２．２３’ｅ配置すればよく接触しない
ようにするには第４図のようにスペーサリング２２，２
３０間に耐熱性に優れ念材料でできた肉厚の薄いカラー
２６をスペーサリング２２と２３の間にはさめばよい。
以上述べたように５本発明によれば、セラミック内管と
セラミック外管とのすきまにおける放電を防止し、かつ
すみやかに所要の真空度に到達することができる金属蒸
気レーザを提供することができる。
セラミック外管とのすきまにおける放電を防止し、かつ
すみやかに所要の真空度に到達することができる金属蒸
気レーザを提供することができる。
第１図は本発明の一実施例に係る金属蒸気レーザ発振管
の断面構成図、第２図は同実施例の要部を詳細に示す斜
視図、第３図は第２図を軸方向から見た断面図、第４図
はカラー２６を入れた断面図である。 １・・・セラミック外管 ２・・・セラミック内管 ３
・・・放電室 ４・・・ガス供給系 ５・・・ロータリ
ーポンプ６・・・陽極 ７・・・隘極 ８・・・パルス
高電圧電源 ９・・・金属粒子 １０・・ブリュースタ
ー窓 １１・・・出力ミラ１２・・・全反射ミラー １
３・・・０リング １４・・・ペロース１５・・・外被
１６・・・ロータリーポンプ １７・・・真空断熱室
１８・・・ＰＡ遮蔽板 １９・・・冷却用配管２０・
・・絶Ｒ管 ２２ 、２３・・・スペーサリング ２４
・・・陽極側容器 ２５・・・陰極側容器 ２６・・・
カラー代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 Ｓ
の断面構成図、第２図は同実施例の要部を詳細に示す斜
視図、第３図は第２図を軸方向から見た断面図、第４図
はカラー２６を入れた断面図である。 １・・・セラミック外管 ２・・・セラミック内管 ３
・・・放電室 ４・・・ガス供給系 ５・・・ロータリ
ーポンプ６・・・陽極 ７・・・隘極 ８・・・パルス
高電圧電源 ９・・・金属粒子 １０・・ブリュースタ
ー窓 １１・・・出力ミラ１２・・・全反射ミラー １
３・・・０リング １４・・・ペロース１５・・・外被
１６・・・ロータリーポンプ １７・・・真空断熱室
１８・・・ＰＡ遮蔽板 １９・・・冷却用配管２０・
・・絶Ｒ管 ２２ 、２３・・・スペーサリング ２４
・・・陽極側容器 ２５・・・陰極側容器 ２６・・・
カラー代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 Ｓ
Claims (1)
- 金属粒子が内部に配置されたセラミック内管内に放電用
バッファガスを供給し、セラミック内管の両端に設けら
れた陽極と陰極間に高電圧を印加することにより放電プ
ラズマを形成して金属粒子を蒸気化し、蒸気化された金
属粒子を放電プラズマ中の自由電子により励起してレー
ザ発振を行なうレーザ発振管であって、セラミック内管
外径よりも大きな内径を有するセラミック外管がセラミ
ック内管の外側に構成されたレーザ発振管においてセラ
ミック内管とセラミック外管とのすきまがセラミックな
どの絶縁材料製のＣ形のスペーサリングで支持され、前
記スペーサリングの切欠き部分がセラミック管軸方向か
らみて左右反対側にくるようにセラミック管両端付近に
２ケずつ配置されたことを特徴とする金属蒸気レーザ発
振管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16573285A JPS6226878A (ja) | 1985-07-29 | 1985-07-29 | 金属蒸気レ−ザ発振管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16573285A JPS6226878A (ja) | 1985-07-29 | 1985-07-29 | 金属蒸気レ−ザ発振管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6226878A true JPS6226878A (ja) | 1987-02-04 |
Family
ID=15818020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16573285A Pending JPS6226878A (ja) | 1985-07-29 | 1985-07-29 | 金属蒸気レ−ザ発振管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6226878A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016058634A (ja) * | 2014-09-11 | 2016-04-21 | 中国電力株式会社 | 変流器 |
-
1985
- 1985-07-29 JP JP16573285A patent/JPS6226878A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016058634A (ja) * | 2014-09-11 | 2016-04-21 | 中国電力株式会社 | 変流器 |
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