JPS6227361B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

本発明は、適切な半値巾を有し、良好なる反射
特性を有するダイクロイツク膜に関するものであ
る。 ダイクロイツク膜は、通常高屈折率層と低屈折
率層の交互層より成るものである。従来、ダイク
ロイツク膜の構成としては、高屈折率層Ｈと低屈
折率層Ｌの基本膜厚が３：１（以下Ｈ：Ｌ＝３：
１の如く略記する）のものが用いられ、従来はそ
の基本膜厚がＨ：Ｌ＝３：１のものが多用されて
いる。この構成においては、３色分解光学系の特
に青反射ダイクロイツク膜の半値巾が充分に取れ
ず、青チヤンネルの効率を高める為にはこの半値
巾を広げる事が必要となる。この要求に従つて、
特願昭52−71896ではＨ：Ｌ＝３：１構成と、
Ｈ：Ｌ＝１：１構成を混在させ半値巾を広げる方
法が示されている。この方法では、半値巾の拡大
は可能であるが、透過帯でのリツプルを除去する
為に、中間層にリツプル除去の為の膜厚を有する
抑制層を設ける必要があり、蒸着の手順が複雑と
なり製作に技術を要する。 本発明の目的は、適切なる半値巾を有し、反射
特性が秀れていて且つ製造が容易なダイクロイツ
ク膜を提供することにある。 本発明に係るダイクロイツク膜においては、基
本的膜厚がＨ：Ｌ＝１：３の膜においては半値巾
が拡大することに着目し、基本的膜厚がＨ：Ｌ＝
３：１の構成とＨ：Ｌ＝１：３の構成を有効に組
み合わせたものである。そして、その構成によ
り、半値巾が適切であり、入射光線の角度による
反射特性の変化が少なく、且つ製造の容易なダイ
クロイツク膜を得るものである。以下図面を併用
し、本発明を詳述する。 第１図は、高屈折率層に分散がないと仮定した
時の、基本となる膜厚構成がＨ：Ｌ＝３：１（実
線）とＨ：Ｌ＝１：３（破線）のそれぞれの入射
角０度に対する透過率特性曲線を示す図で、縦軸
に透過率Ｔ、横軸に波長λが取られている。第１
図に示す実線１１及び破線１２に対応するデータ
を第１表に示す。第１図に示す様に、高屈折率層
に分散が無ければ、半値巾はいずれの構成におい
ても等しいが、実際には高屈折率の物質は分散を
有する為、半値巾は等しくならない。

【表】 第２図及び第３図は高屈折率物質に分散を考慮
した時の特性を示す図で、第２図はＨ：Ｌ＝３：
１の場合を、第３図はＨ：Ｌ＝１：３の場合を示
す。第２図及び第３図の透過率特性曲線に対応す
る膜構成は第１表に示す構成と同じであるが、異
なる点は高屈折率層の屈折率ｎ_Hがｎ_H＝2.07＋
１１／λ−３１８（但しλは波長で、単位はｎｍ）に従
つ て変化することである。第２図及び第３図におい
て、実線２１，３１は、入射光線の入射角が０度
の場合の特性を、破線２２，３２は、入射角が
44.6゜の場合の特性を示す。第２図及び第３図か
ら明らかな様に、Ｈ：Ｌ＝３：１の特性はＨ：Ｌ
＝１：３の特性に比して入射角０度において明ら
かに半値巾が狭く、入射角43.6度では反射ピーク
を同一波長に移動させて比較すれば、この傾向は
より顕著なものとなる。即ち、Ｈ：Ｌ＝１：３の
構成の方が、Ｈ：Ｌ＝３：１の構成よりも半値巾
が広く、半値巾に関してはＨ：Ｌ＝１：３の構成
が好ましい。 一方、入射角が０度に比して43.6度の場合、特
性曲線が短波長側へシフトする移動量は、Ｈ：Ｌ
＝３：１の構成の方がＨ：Ｌ＝１：３の構成に比
して小さい。従つて入射光束の角度依存性におい
てはＨ：Ｌ＝３：１の構成の方が優れている。 第４図は、本発明に係るダイクロイツク膜の透
過率特性曲線を示すものであり、実線は光線の入
射角が０度、破線は44.6度の場合の特性を示して
いる。第４図に示す特性曲線に対応する膜構成の
データを第２表に掲示する。但しｎ_Hはｎ_H＝2.07
＋１１／λ−３１８（λは波長、単位はｎｍ）に従つて
変 化するものであり、基準波長はλ_０＝484nｍで
ある。第２表に示す如く、本発明の膜構成は、高
屈折率の基本層として３／４λ_０と１／４λ_０を混在せ
し め、又低屈折率

【表】

【表】 の基本層としても３／４λ_０と１／４λ_０を混在せしめ
る構 成を取つている。即ち、低屈折率層の基本層とし
て少なくとも１層を３／４λ_０の膜厚とすることによ り半値巾の拡大を計り、高屈折率の膜厚に３／４λ_０ を多用することにより入射光束の角度依存性の向
上を計つたもので、第４図に示す如く両膜構成を
効果的に混在せしめることにより、半値巾も充分
に広く、又角度依存性にも優れたダイクロイツク
膜が作成される。 又、斯様な本発明に係る膜構成においては、従
来のリツプル抑制法を用いて有効にリツプルを除
去できるもので、基板側から第１層目、第２層目
及び最終層をリツプル除去用の調整層として基本
膜層から変化させている。この様に、基板側の層
と媒質側の層を調整層とする場合は、中間層に調
整層が入る場合に比して遥かに蒸着技術は簡単と
なり、製造上容易に蒸着する事ができる。 リツプル抑制用の層の厚さは、第２表に示した
値には限らず、多少変化しても実用上さしつかえ
なく、第１層の膜厚をd₁、第２層目の膜厚をd₂、
第12層目の膜厚をd₁₂とすると、d₁、d₂、d₁₂は
2.5・λ_０／４＜d₁＜3.5・λ_０／４、0.5・λ_０／４＜d
₂＜1.5・ λ_０／４、0.5・λ_０／４＜d₁₂＜1.9・λ_０／４に存す
ればリツプ ルは有効に除去できる。又、上記高屈折率層とは
屈折率が2.0から2.5なる値を、低屈折率層とは屈
折率が1.35から1.50の値を有する層が最も適する
ものである。 以上、本発明に係るダイクロイツク膜において
は、高屈折率層の基本層としてλ_０／４と３／４λ_０の
層を 又低屈折率層としてλ_０／４と３／４λ_０の層をそれぞ
れ有 効に混在せしめることにより、半値巾が充分取
れ、反射率特性曲線の入射角度による移動が少な
く、且つ製造が容易という優れた効果を有するも
のである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、高屈折率層に分散が無いと仮定した
場合のＨ：Ｌ＝３：１とＨ：Ｌ＝１：３を基本構
成とするダイクロイツク膜の透過率特性を示す
図、第２図は、高屈折率層が分散を有する場合、
Ｈ：Ｌ＝３：１を基本構成とするダイクロイツク
膜の透過率特性の一実施例を示す図、第３図は高
屈折率層が分散を有する場合、Ｈ：Ｌ＝１：３を
基本構成とするダイクロイツク膜の透過率特性の
一実施例を示す図、第４図は本発明に係るダイク
ロイツク膜の透過率特性の一実施例を示す図であ
る。 Ｔ……透過率、λ……波長。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 高屈折率層と低屈折率層とが交互に配された
   12層で構成され、基準波長をλ_０とすると、前記
   低屈折率層の基本層の光学的膜厚はλ_０／４と３
   λ_０／４が混在し、前記高屈折率層の基本層の光
   学的膜厚はλ_０／４と３λ_０／４が混在し、基板
   側から数えて第１、第３、第５、及び第７層目は
   ３λ_０／４を基本膜厚とする高屈折率層、第９及
   び第11層目はλ_０／４を基本膜厚とする高屈折率
   層、第２、第４、第６、第８及び第12層目はλ
   _０／４を基本膜厚とする低屈折率層、第10層目は
   ３λ_０／４を基本膜厚とする低屈折率層であるこ
   とを特徴とするダイクロイツク膜。