JPS62274099A - 銅めつき液中の銅濃度管理方法 - Google Patents
銅めつき液中の銅濃度管理方法Info
- Publication number
- JPS62274099A JPS62274099A JP11662186A JP11662186A JPS62274099A JP S62274099 A JPS62274099 A JP S62274099A JP 11662186 A JP11662186 A JP 11662186A JP 11662186 A JP11662186 A JP 11662186A JP S62274099 A JPS62274099 A JP S62274099A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- copper
- concn
- copper plating
- plating solution
- concentration
- Prior art date
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- Pending
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- Chemically Coating (AREA)
- Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
（産業上の利用分野〕
この発明は、銅を含む銅めっき液の銅濃度管理方法に関
するものである。
するものである。
希望濃度の銅を含む銅めっき液を、定量ポンプにより、
一定量銅イオン電極を装着したフローセル内に導入し、
イオンメーターにより銅濃度を直読、管理する方法の発
明である。
一定量銅イオン電極を装着したフローセル内に導入し、
イオンメーターにより銅濃度を直読、管理する方法の発
明である。
従来、銅を含む銅めっき液の銅濃度管理方法としては、
銅めっきの一定量を採取し、Ｃｕ−ＰＡＮを指示薬とす
る容量分析法により、銅４度を算出。
銅めっきの一定量を採取し、Ｃｕ−ＰＡＮを指示薬とす
る容量分析法により、銅４度を算出。
管理する方法、銅めっき液の一定量を採取し、希釈後原
子吸光法などによりＭＡ？４度を測定、銅濃度を算出し
、銅濃度を管理する方法などが用いられていた。
子吸光法などによりＭＡ？４度を測定、銅濃度を算出し
、銅濃度を管理する方法などが用いられていた。
（発明が解決しようとする問題点〕
しかしながらこれらの方法は、銅濃度の測定。
算出に時間がかかり、また測定に熟練を要するなどの欠
点を有しており、銅めっき液中の銅濃度の迅速な濃度管
理には、適していなかった。
点を有しており、銅めっき液中の銅濃度の迅速な濃度管
理には、適していなかった。
この発明は、上記の欠点を改良するためになされたもの
であり、銅めっき液中の銅の筒車で、迅速な濃度管理方
法を提供することを目的としたものである。
であり、銅めっき液中の銅の筒車で、迅速な濃度管理方
法を提供することを目的としたものである。
この発明の特徴は、希望濃度の銅を含む銅めっき液を定
量ポンプにより、一定量銅イオン電極を装着したフロー
セル内に導入し、イオンメーターによりｗ４濃度を直読
、管理することにある。
量ポンプにより、一定量銅イオン電極を装着したフロー
セル内に導入し、イオンメーターによりｗ４濃度を直読
、管理することにある。
この発明による銅めっき液中のｗ４濃度管理方法では、
銅めっきの進行中でも、直ちに銅濃度を測定できるので
、不足分の鋼を直ちに補充できるなど、簡単で迅速な銅
めっき液中の銅の濃度管理をすることが可能である。
銅めっきの進行中でも、直ちに銅濃度を測定できるので
、不足分の鋼を直ちに補充できるなど、簡単で迅速な銅
めっき液中の銅の濃度管理をすることが可能である。
以下、図面に示す実施例によってこの発明を詳述する。
ｌは希望濃度の銅を含む銅めっき浴、２はイオンメータ
ー、３は一定量の銅めっき液を採取するための定量ポン
プ、４は採取した銅めっき液を希釈するために、一定量
の純水を入れたビーカー、５は６の銅イオン電極と７の
比較電極を装着したフローセル、８はペリスタポンプ、
９は廃液だめである。
ー、３は一定量の銅めっき液を採取するための定量ポン
プ、４は採取した銅めっき液を希釈するために、一定量
の純水を入れたビーカー、５は６の銅イオン電極と７の
比較電極を装着したフローセル、８はペリスタポンプ、
９は廃液だめである。
この装置において、ビーカー４に１１の純水を入れてお
き、定量ポンプ３により、銅濃度約６０ｇ／ｌの銅めっ
き液の１ｍｊを採取し、ビーカー４に入れ、スターラー
を用いて攪拌して均一にした後、ペリスタポンプ８によ
り、フローセル５中に導入し、銅イオン電極６で銅濃度
を測定したところ、５８■／ＩＩであった。
き、定量ポンプ３により、銅濃度約６０ｇ／ｌの銅めっ
き液の１ｍｊを採取し、ビーカー４に入れ、スターラー
を用いて攪拌して均一にした後、ペリスタポンプ８によ
り、フローセル５中に導入し、銅イオン電極６で銅濃度
を測定したところ、５８■／ＩＩであった。
この銅めっき液を用いて、銅めっきを開始し、１日経過
したところで同様にビーカー４に１１の純水を入れ、定
量ポンプ３により銅めっき液の１ｍｌを採取し、ビーカ
ー４に入れスターラーを用いて攪拌して均一にした後、
ペリスタポンプ８によりフローセル５中に導入し、銅イ
オン電極６でｗ４濃度を測定したところ、４６■／１で
あったので、銅めっき液に計算量の硫酸銅を添加し、銅
めっきを続行したところ良好なめっきを得ることができ
た。
したところで同様にビーカー４に１１の純水を入れ、定
量ポンプ３により銅めっき液の１ｍｌを採取し、ビーカ
ー４に入れスターラーを用いて攪拌して均一にした後、
ペリスタポンプ８によりフローセル５中に導入し、銅イ
オン電極６でｗ４濃度を測定したところ、４６■／１で
あったので、銅めっき液に計算量の硫酸銅を添加し、銅
めっきを続行したところ良好なめっきを得ることができ
た。
以上述べたように、この発明によれば従来の方法と異な
り、簡単に迅速に、銅めっき液中の銅濃度の管理を行う
ことができ、また、熟練者でなくても容易に濃度管理を
行うことができるという効果がある。
り、簡単に迅速に、銅めっき液中の銅濃度の管理を行う
ことができ、また、熟練者でなくても容易に濃度管理を
行うことができるという効果がある。
図は、この発明による銅めうき液中の銅濃度管理を行う
ための装置断面図である。 １・・・銅めっき浴 ２・・・イオンメーター３・・・
定量ポンプ ４・・・ビーカー５・・・フローセル ６
・・・銅イオン電極７・・・比較電極 ８・・・ペリ
スタポンプ９・・・廃液だめ 以上
ための装置断面図である。 １・・・銅めっき浴 ２・・・イオンメーター３・・・
定量ポンプ ４・・・ビーカー５・・・フローセル ６
・・・銅イオン電極７・・・比較電極 ８・・・ペリ
スタポンプ９・・・廃液だめ 以上
Claims (1)
- 希望濃度の銅を含む銅めっき液の一定量を、ポンプによ
り、銅イオン電極を装着したフローセル内に導入し、イ
オンメーターにより、銅濃度を測定、管理する銅めっき
液中の銅濃度管理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11662186A JPS62274099A (ja) | 1986-05-21 | 1986-05-21 | 銅めつき液中の銅濃度管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11662186A JPS62274099A (ja) | 1986-05-21 | 1986-05-21 | 銅めつき液中の銅濃度管理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62274099A true JPS62274099A (ja) | 1987-11-28 |
Family
ID=14691718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11662186A Pending JPS62274099A (ja) | 1986-05-21 | 1986-05-21 | 銅めつき液中の銅濃度管理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62274099A (ja) |
-
1986
- 1986-05-21 JP JP11662186A patent/JPS62274099A/ja active Pending
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