JPS62274591A - セラミツクヒ−タ - Google Patents
セラミツクヒ−タInfo
- Publication number
- JPS62274591A JPS62274591A JP11894586A JP11894586A JPS62274591A JP S62274591 A JPS62274591 A JP S62274591A JP 11894586 A JP11894586 A JP 11894586A JP 11894586 A JP11894586 A JP 11894586A JP S62274591 A JPS62274591 A JP S62274591A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic
- layer
- ceramic heater
- dense
- resistance heating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 39
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 8
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 5
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 229910018487 Ni—Cr Inorganic materials 0.000 description 1
- PCEXQRKSUSSDFT-UHFFFAOYSA-N [Mn].[Mo] Chemical compound [Mn].[Mo] PCEXQRKSUSSDFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
3、発明の詳細な説明
(a)技術分野
この発明はセンサ等の加熱用のセラミックヒータに関す
る。
る。
(b)従来技術とその欠点
従来のセラミックヒータでは、アルミナ等の緻密質のグ
リーンシートの間にモリブデン−マンガン等の抵抗発熱
ペーストを印刷し、圧着・焼成した後、前記抵抗発熱ペ
ーストの露出部分にリード線を蝋付は配線して構成して
いた。
リーンシートの間にモリブデン−マンガン等の抵抗発熱
ペーストを印刷し、圧着・焼成した後、前記抵抗発熱ペ
ーストの露出部分にリード線を蝋付は配線して構成して
いた。
ところが、前記セラミックヒータが大型、または低温使
用のものである場合は問題はないが、小型または高温使
用のものである場合には微細な部分で蝋付けを行ってい
るため、または蝋付は部分の耐熱温度が低いために、リ
ード線の蝋付は部分が破損してしまう欠点があった。
用のものである場合は問題はないが、小型または高温使
用のものである場合には微細な部分で蝋付けを行ってい
るため、または蝋付は部分の耐熱温度が低いために、リ
ード線の蝋付は部分が破損してしまう欠点があった。
また、蝋付けをしないようにするために前記抵抗発熱ペ
ーストに代わる金属抵抗発熱線を直接緻密質のセラミッ
ク間に埋め込んだ場合には、金属抵抗線とセラミックと
の熱膨張係数の違いによってクラ7りが発生してしまう
不都合があった。
ーストに代わる金属抵抗発熱線を直接緻密質のセラミッ
ク間に埋め込んだ場合には、金属抵抗線とセラミックと
の熱膨張係数の違いによってクラ7りが発生してしまう
不都合があった。
(C)発明の目的
この発明の目的は、金属抵抗発熱線をセラミック内に埋
め込んでもクラックが発生することのないセラミックヒ
ータを提供することにある。
め込んでもクラックが発生することのないセラミックヒ
ータを提供することにある。
fd)発明の構成および効果
この発明は、緻密質のセラミック層の間に多孔質のセラ
ミック層を有し、さらにこの多孔質のセラミック層に金
属抵抗発熱線を埋め込んでセラミックヒータを形成した
こと特徴とする。
ミック層を有し、さらにこの多孔質のセラミック層に金
属抵抗発熱線を埋め込んでセラミックヒータを形成した
こと特徴とする。
上記のように構成したことによりこの発明によれば、前
記金属抵抗発熱線が加熱によって体積膨張しても多孔質
のセラミック層の孔部によってその膨張が緩和され、ク
ランクが発生するのを防止することができる。また、本
発明では蝋付けを用いないため、リード線が断線する心
配もない。
記金属抵抗発熱線が加熱によって体積膨張しても多孔質
のセラミック層の孔部によってその膨張が緩和され、ク
ランクが発生するのを防止することができる。また、本
発明では蝋付けを用いないため、リード線が断線する心
配もない。
(el実施例
第2図(A)〜(D)はこの発明の実施例であるセラミ
ックヒータの製造手順を表した図である。以下順を追っ
て説明する。
ックヒータの製造手順を表した図である。以下順を追っ
て説明する。
第2図(A)二手面状コイルの成形。
金属製の抵抗発熱線、たとえばプラチナ、ニッケルーク
ロム等の線材を成形して平面状コイル1とする。
ロム等の線材を成形して平面状コイル1とする。
同図(B):コイル埋め込み層の成型。
アルミナ等のセラミック粉末と、公知の有機バインダを
混合し、スラリー状2にしたものの中に上記平面状コイ
ル1を浸漬した後、これを乾燥させてコイル埋め込み層
3とする。
混合し、スラリー状2にしたものの中に上記平面状コイ
ル1を浸漬した後、これを乾燥させてコイル埋め込み層
3とする。
同図(C):層の形成。
緻密質用のグリーンシート4.4’間に上記コイル埋め
込み層3を挟み、プレスにて圧着し、緻密質グリーンシ
ート4.コイル埋め込み層3.緻密質グリーンシート4
′の層を成型する。
込み層3を挟み、プレスにて圧着し、緻密質グリーンシ
ート4.コイル埋め込み層3.緻密質グリーンシート4
′の層を成型する。
同図(D):焼成。
上記のようにして形成した層を1600℃〜1800℃
で焼成する。このとき、前記セラミック粉末と有機バイ
ンダより成るコイル埋め込み層3は有機バインダが飛散
してしまうために平面状コイル1を埋め込んだ多孔質セ
ラミック層3aとなる。
で焼成する。このとき、前記セラミック粉末と有機バイ
ンダより成るコイル埋め込み層3は有機バインダが飛散
してしまうために平面状コイル1を埋め込んだ多孔質セ
ラミック層3aとなる。
第1図は上記のようにして形成されたセラミンクヒータ
の断面を表した図である。
の断面を表した図である。
図において、緻密質セラミック層4aの間には多孔質セ
ラミック層3aが形成され、この多孔質セラミック層の
中には金属抵抗発熱線からなる平面状コイル1が埋め込
まれている。
ラミック層3aが形成され、この多孔質セラミック層の
中には金属抵抗発熱線からなる平面状コイル1が埋め込
まれている。
上記のように構成したことにより、昇温時平面状コイル
1が膨張しても多孔質セラミック層3aの孔部31が緩
衝材の役割を果たし膨張時の応力を吸収するため、多孔
質セラミック層3aも、この多孔質セラミック層3aの
外方に形成されている緻密質のセラミック層4aもクラ
ックによって破損してしまうことがない。また、本実施
例では、平面状コイル1をセラミック内に埋め込んでい
るため蝋付は部分がなく、従来のように小型のヒータや
高温使用のヒータであっても断線してしまうことがない
。
1が膨張しても多孔質セラミック層3aの孔部31が緩
衝材の役割を果たし膨張時の応力を吸収するため、多孔
質セラミック層3aも、この多孔質セラミック層3aの
外方に形成されている緻密質のセラミック層4aもクラ
ックによって破損してしまうことがない。また、本実施
例では、平面状コイル1をセラミック内に埋め込んでい
るため蝋付は部分がなく、従来のように小型のヒータや
高温使用のヒータであっても断線してしまうことがない
。
第3図はこの発明のセラミックヒータの他の製法の概略
を表した図である。
を表した図である。
上記の実施例と同様に成形した平面状コイル1をまず、
セラミック粉末、バインダ、カーボン粉末からなるグリ
ーンシート5,5′で挟み、サラにセラミック粉末、バ
インダからなるグリーンシーl−6,6’で挟んで、こ
れをプレスにて圧着した後、1600 ’C〜1800
℃で焼成する。グリーンシート5.5’中のカーボンは
約600℃〜700℃で飛散してしまうため、グリーン
シート5.5′からなるセラミックは多孔質となり、グ
リーンシート6.6’からなるセラミックは緻密質とな
る。このようにしてセラミックヒータを製造することが
できる。
セラミック粉末、バインダ、カーボン粉末からなるグリ
ーンシート5,5′で挟み、サラにセラミック粉末、バ
インダからなるグリーンシーl−6,6’で挟んで、こ
れをプレスにて圧着した後、1600 ’C〜1800
℃で焼成する。グリーンシート5.5’中のカーボンは
約600℃〜700℃で飛散してしまうため、グリーン
シート5.5′からなるセラミックは多孔質となり、グ
リーンシート6.6’からなるセラミックは緻密質とな
る。このようにしてセラミックヒータを製造することが
できる。
第1図はこの発明の実施例であるセラミックヒータの断
面を表した図、第2図(A)〜(D)はその製法を表し
た図、第3図は他の製法を表した図である。 ■一平面状コイル(金属抵抗発熱線) 3a−多孔質セラミック層、 4a−緻密質セラミック層。
面を表した図、第2図(A)〜(D)はその製法を表し
た図、第3図は他の製法を表した図である。 ■一平面状コイル(金属抵抗発熱線) 3a−多孔質セラミック層、 4a−緻密質セラミック層。
Claims (1)
- (1)緻密質のセラミック層の間に多孔質のセラミック
層を有し、さらにこの多孔質のセラミック層に金属抵抗
発熱線を埋め込んで成るセラミックヒータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11894586A JPS62274591A (ja) | 1986-05-22 | 1986-05-22 | セラミツクヒ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11894586A JPS62274591A (ja) | 1986-05-22 | 1986-05-22 | セラミツクヒ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62274591A true JPS62274591A (ja) | 1987-11-28 |
Family
ID=14749132
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11894586A Pending JPS62274591A (ja) | 1986-05-22 | 1986-05-22 | セラミツクヒ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62274591A (ja) |
-
1986
- 1986-05-22 JP JP11894586A patent/JPS62274591A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6219034B2 (ja) | ||
| US4688015A (en) | Gas sensor with ceramics substrate having surface-carried ceramics particles | |
| JP4884103B2 (ja) | セラミックヒータおよびガスセンサ素子 | |
| JPS62274591A (ja) | セラミツクヒ−タ | |
| JP2017116394A (ja) | 測温体 | |
| JP2003100421A (ja) | セラミックヒーター | |
| JPH04359710A (ja) | セラミックヒータ | |
| JPS61235613A (ja) | グロープラグ | |
| JPS6351356B2 (ja) | ||
| JPH0410717B2 (ja) | ||
| JP4259647B2 (ja) | セラミック製焼成用治具及びその製造方法 | |
| JP3366546B2 (ja) | セラミックヒータ | |
| KR0141656B1 (ko) | 로드 또는 튜브형 세라믹 히터의 제조 방법 | |
| JPS6337587A (ja) | セラミツクヒ−タ | |
| JP2537606B2 (ja) | セラミツクヒ−タ | |
| JPH10312907A (ja) | サーミスタ素子とその製造方法 | |
| JPH051900B2 (ja) | ||
| JP2512818Y2 (ja) | セラミックヒ―タ― | |
| JP2001257062A (ja) | セラミックヒーター | |
| JP3898594B2 (ja) | 酸素センサ素子 | |
| JP2000040603A (ja) | 高温サーミスタ素子とその製造方法およびそれを用いた高温用温度センサ | |
| JPS6347123B2 (ja) | ||
| JP2001102156A (ja) | セラミックヒーターの製造方法 | |
| JP2852558B2 (ja) | レベルセンサ及びその製造方法 | |
| JPH0511386U (ja) | セラミツクヒータ |