JPS6228146A - リニアモ−タ付ｘｙテ−ブル - Google Patents

リニアモ−タ付ｘｙテ−ブル

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JPS6228146A
JPS6228146A JP60165297A JP16529785A JPS6228146A JP S6228146 A JPS6228146 A JP S6228146A JP 60165297 A JP60165297 A JP 60165297A JP 16529785 A JP16529785 A JP 16529785A JP S6228146 A JPS6228146 A JP S6228146A
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linear motor
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    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、たとえば工作機械のワークやツールの位置決
め等を精密に行なうＸ　、Ｙテーブルに関し、特に駆動
部にリニアモータを使用したＸＹテーブルに関する。
（従来の技術） 従来のＸＹテーブルにおいては、中間サドルを介して基
台に取付けられたテーブル本体が互いに直交するＸ軸、
Ｙ軸方向に摺動自在となるように構成されており、その
送り機構はボールねじとサーボモータもしくはステッピ
ングモータ等の回転モータが組合わされて構成されてい
た（特開昭５Ｂ−２１４０１５号）。
すなわち、基台」二部には回動自在のねし軸がＸ軸方向
へ配設され、このねし軸に螺合されるナツトが中間サド
ルに固定されていて、ねじ軸端部に連結された回転モー
タの回転により、この中間サドルがねし軸に沿ってＸ軸
方向に移送されていた。
さらに中間サドル上部にも同様にボールねしのねし軸が
上記ねし軸と直交するＹ軸方向に配設されており、ねじ
軸に螺合されるナンドがテーブル本体下部に固定され、
ねじ軸端部に連結された回転モータの回転によりテーブ
ル本体を中間サドルに対してＹ軸方向に移送するように
なっていた。
（発明が解決しようとする問題点） しかし、斯かる従来例の場合には、ボールねじのピッチ
を小にすれば、テーブル本体の精密送りができるが、移
送速度が遅くなる。ボールねしの回転数を大きくすれば
高速送りができるが、ボールねしの回転速度は危険速度
以下にする必要があり、高速化が図れないという問題が
あった。また、回転モータの回転トルクによるボールね
じのねしれや、ボールねしとボールナツトとのバンクラ
ッシュ等の機械的誤差により、停止位置の位置決め精度
が悪いという問題があった。また、中間サドルあるいは
テーブル本体等の移動部に、回転モータやボールねし等
が搭載されるために、移動部の重置は大きく、慣性力が
大きくなって、慣性の影響により停止時の停止位置がズ
して、位置決め精度が悪化するという問題があった。さ
らに中間サドルはテーブル本体等が搭載されるために、
テーブル本体よりも搬送荷重が大きく、慣性の影響が、
テーブル本体の移送の場合よりも大きくなって、Ｘ軸方
向の位置決め精度がＹ軸方向の位置決め精度よりも７つ
いという問題もあった。また、基台とテーブル本体間に
中間サドル等の取付スペースが必要となり、テーブル全
体の高さが高く、重心が裔くなって安定性が悪く、加え
て回転モータがテーブルの側方に出っ張るために大型化
するという問題があった。さらにボールねし、回転モー
タ等の回転運動から直線ｉｌ動に変換する機構が４．要
であるので、部品点数が多く、構造が複雑で、組付が面
倒である等の問題があった。又駆動頻度が多いと、ボー
ルねしの発熱により、ボールねしの精度が熱膨張で低下
するという問題もあった。
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもの
で、その目的とするところは、駆動源に格子状の固定歯
を形成した固定子を備えたリニアモータを使用すること
により、テーブル本体を固定ベッドに対して直接Ｘ軸お
よびＹ軸方向に移動可能として、高速でかつ高精度の位
置決めができ、しかも簡単な構造で薄型コンパクトなリ
ニアモータ付ＸＹテーブルを提供することにある。
（問題点を解決するための手段） −［−記の目的を達成するために、本発明のリニアモー
タ付ＸＹテーブルは、固定ベッドの上面またはテーブル
本体下面のいづれか一方に、同一平面内で格子状に配列
した固定歯を存する固定子を設け、他方上記テーブル本
体下面または固定へンドの上面のいづれか一方に、Ｘ軸
方向の第１可９）＋子とＹ軸方向の第２可動子とを配設
したものから構成されている。
（実施例） 以下に、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。本
発明の第一実施例に係るリニアモータ付ＸＹテーブルを
示す第１図乃至第３図において、１は固定ベッドで、固
定ベッド１上にテーブル本体２が上下方向に離隔させて
対向配置され、テーブル本体２が互いに直交するＸ軸、
Ｙ軸方向に相対移動可能に配設されている。すなわち、
Ｙ軸方向に沿う両側端部に、Ｙ軸方向に延びるＹ軸方向
軌道台４，４が配設されている。一方、テーブル本体２
は、Ｘ軸方向に延びて両端部が上記Ｙ軸方向軌道台４，
４にリニアヘアリング５．・・・を介して支承されるＸ
軸方向レール６．６を備えており、テーブル本体２は、
Ｘ軸方向レールに案内されてＸ軸方向に移動自在となっ
ており、さらに、Ｙ軸方向軌道台４．４に沿ってＹ軸方
向に移・動自在となっている。リニアへアリング５は、
第４図に示すように、ヘア】ノングブロノク８の上、下
面２箇所にヘアリング部５ａ、５ｂが直交して配置され
る構成となっており、テーブル本体２がＸ軸方向に移動
する際には、Ｘ軸方向レール６゜６がリニアベアリング
５．・・・の」二部のヘアリング部５ｂ。
・・・に案内され、また、テーブル本体２がＹ軸方向に
移動する際には、Ｘ軸方向レール６．６を支承するリニ
アヘアリング５．・・・がＹ軸方向軌道台４゜４に沿っ
て移動する。
第５図には、リニアベアリング５の一部破断正面が示さ
れており、下部のベアリング部５ａを中心に、リニアへ
アリング５について以下に説明する。すなわち、断面コ
字形状のヘアリング本体９が、転動体としての負荷ボー
ル１０．１０．・・・を介して　ψル差谷　　仝　に対
して長手方向に移動可能に組付けられている。軌道台４
の両側面とヘアリング本体９の内側面に、互いに対向し
て長手方向に延びる負荷ボール転走溝１１．１１．　　
・・・；１２゜１２、・・・が形成されている。ヘアリ
ング本体９のスカーｌＢ１３．１３には、前記負荷ボー
ル転走／ａ１１．１１．　　・・・、１２．１２．　・
・・と連絡された、長手方向に延びるボール逃げ孔１４
．１４が穿設されている。また、ヘアリング本体９の長
手方向の両側には、それら負荷ボール転走ａ１１．１１
゜・・・；１２．１２．・・・およびボール逃げ孔１４
．１４゜内を連通ずる一対の側１１５．１５が設けられ
、ヘアリング５の軌道台３．・・・に対する相対移動時
に、負荷ボール１０が負荷ボール転走溝１１　、１１゜
・・・；１２．１２．・・・およびボール逃げ孔１４．
１４゜・・・内を転勤、循環するようになっている。ま
た、ヘアリング本体９には、負荷ボール１０．・・・を
案内すると共に、脱落を防止する保持器１６が取付けら
れている。また負荷ボール１０と負荷ボール転走溝１１
．・・・；１２．・・・との接触角αは略４５度となっ
ているが、４５度に限定されるものではなく、３０〜６
０度の範囲であればよい。
つぎにテーブル本体２と固定ベッド１との間にはリニア
モータ２０が介在されている。すなわち、テーブル本体
２の下面には１、天板２１を介してＸ軸およびＹ軸方向
に沿って第１可動子２２および第２可動子２２′が配設
されている。
一方、固定ベッド１上面には、同一平面内で格子状に配
列された固定歯２３ａを有する固定子２３が、−上記第
１および第２可動子２２．２２’と対向配置されている
。固定子２３は、第７　”ｉｆｌ　（ａｌ乃至ｆｃ）に
、一部を拡大して示すように、Ｘ軸方向に所定ピッチ（
Ｐ）で形成された固定歯２３ａとＹ軸方向に所定ピッチ
（Ｐ）で形成された固定歯２１１が直交して格子状に配
列されている。上記した固定子２３と第１および第２可
動子２２．２２’の配置関係は、テーブル本体２側に固
定子２３を配設し、固定ベッドｌ側に第１．第２可動子
２２゜２２′を配設してもよい。
つぎに、リニアモーフ２０の概略構成について第１可動
子２２と固定子２３を例にとって説明すると、第６図に
示すように、第１．第２可動子２２゜２２′は、たとえ
ば永久磁石２４を中心に介在させてその左右に２つの磁
気コア２５．２６を対向配置して構成されており、一方
の磁気コア２５には永久磁石２４によりＮ極に磁化され
た第１の磁極２７および第２の磁極２８が形成され、他
方の磁気コア２６には永久磁石２４によりＳ極に磁化さ
れた第３の（ｎ極２９および第４の磁極３０が形成され
ている。
固定子２３には、第６図に示すように長手方向と略直交
する方向に延びる断面コ字形状の固定歯２３ａが長手方
向に略全長にわたって、同一ピッチＰで等間隔に設けら
れている。各磁極２７〜３０にも固定子２３と同一のピ
ッチの１ｆｆｆｆｉｉＤ２７　ａ〜３０ａがそれぞれ形
成されている。
Ｎ極側の第１の磁極２７および第２の磁極２８には、第
１のコイル３１および第２のコイル３２が巻かれており
、電流が流れた際に互いに逆向きの磁束が発生するよう
に直列に結線されており、パルス発生源（図示せず）に
電気的に接続されている。一方Ｓ極側の第３の磁極２９
および第４の磁極３０にも、同様に直列に結線された第
３のコイル３３および第４のコイル３４が巻かれており
ハ）Ｌｔス発生源（図示せず）に接続されている。ここ
で、説明の都合上、例えば第１の磁極２７の磁極歯２７
ａに対して第２の磁極２８の（鼓極山２３１（７）　位
Ｈｌがｚピッチ（％Ｐ）だけずれており、また第３の磁
極２９の磁極歯２９ａに対して第４の磁極３０の磁極歯
３０ａも同（浪に位相が２ピツチ（！４ｐ）だけずれて
いるものとする。さらにＮ極側の第１のる〃極２７およ
び第２の磁極２日の磁＋１歯２７ａ、２８ａに対してＳ
極側の第３の磁極２９および第４の磁極３０の磁極歯２
９ａ、３０ａはＡピッチ（×Ｐ）だけ位相がずれている
ものとする。
ここで本実施例のリニアパルスモークの動作原理につい
て説明する。第８図（ａ＋〜ｆｄｌは、リニアパルスモ
ータの動作原理を示す概略図を示しており、第１のコイ
ル３１と第２のコイル３２には端子ａから、第３のコイ
ル３３と第４コイルの３４には端子すからパルスが入力
されるようになっている。
第８図ｆ８＋では、端子ａに第１の磁極２７を励磁する
方向に（モード■）、第８図ｆｂｌでは端子すに第４の
磁極３０を励磁する方向に（モード■）、第８図（Ｃ）
では端子ａに第２の磁極２８を励磁する方向に（モード
■）、第８図（ｄ）では端子すに第３の磁極２９を励磁
する方向に（モード■）、それぞれパルスが入力された
状態を示している。
こごで第１表にモード■ないし■の場合の各磁極の４５
１気力発生状態を示す。
以下余白 第　　　１　　　表 第１表に示すようにモード■の場合にはＮ極側の第１の
磁極２７の磁力が強力で、第１の磁極２７の固定子２３
の固定歯２３ａとの間の吸引力により第１可動子２２は
保持され安定状態にある。一方Ｓ極側の第３および第４
の磁極２９．３０はそれぞれ固定子２３の固定ｒＪ　２
３　ａに対して騒ピ。
チだけ位相がずれている。モード■では第１の磁極２７
のコイル３１による磁力はなくなり、代ってＳ極側の第
４の磁極３０の磁力が強力になって、可動子２２は第４
のＣ５１極３０が固定子２３の固定ｕｒ　２３　ａと位
相が合致する方向に相対的に移動してＡピッチ（％ｐ）
だけ進むことになる。このときＮ極側の第１および第２
の磁極２７．２８がＡピッチ（＋Ａｐ）だけ位相がずれ
る。
さらにモード■ではＮ極側の第２の磁極２８の磁力が強
力になり、第２の磁極２８が固定子２３の固定歯２３ａ
と位相が合致する方向に第１可動子２２は相対的に移動
してＡピッチ（Ｗ　ｐ）進み、Ｓ極側の第３および第４
の磁極２９．３０はＡピッチ（×Ｐ）だけ位相がずれる
。モード■ではＳ極側の第３の磁極２９の磁力が強力と
なり、第３の磁極２９が固定子２３の固定歯２３ａと位
相が合致する方向に第１可動子２２は相対的に移動して
Ｚピッチ（％Ｐ）進む。さらに再びモード■に戻ってＮ
極側の第１の磁極２７の磁力が強力となって、第１可動
子２２はχピッチ（ｌＡＰ）だけ相対的に進み第８図ｆ
ａｔの状態となる。このようにモード■から■の♀桑り
返しによって１パルス当り騒ピ、チ（％Ｐ）ずつ移動す
るようになっている。
以上の説明では１相励磁について説明したが、常時２相
の電流を流す２相励磁により駆動してもよく、また１相
と２相に交互に電流を流す１−２相励磁方弐をとっても
よい。
このような構成のＸＹテーブルにあっては、まず、テー
ブル本体２をＸ軸方向に移送させる場合は、第１可動子
２２に、図示しないパルス発生源より所定数のパルスが
入力され、第１可動子２２と固定子２３の格子状の固定
歯２３ａのうち、Ｘ軸方向に配列された固定歯との吸引
力によりテーブル本体２が所定位置まで移送される。一
方、Ｙ軸方向に移送させる場合には、第２可動子２２′
にパルスが入力され、第２可動子２２と、固定子２３の
格子状の固定歯２３ａのうちのＹ軸方向に配列された固
定歯２３ａとの吸引力により、所定位置まで移送される
。また、ＸＹ座標系の所定位置に移送させる場合、第１
．第２可動子２２．２２’！こ、同時に、それぞれの移
動量に対応するパルスを入力することにより、テーブル
本体３は、斜めに移送される。
テーブル本体２の移送の際、テーブル本体２は軽量にな
っているので、慣性力は小さく、始動時および停止時の
応答性が速く、迅速に位置決めされると共に、パルスの
周波数を大きくすることにより高速に移送される。また
、停止時の慣性による影Ｖは小さく、位置決めが正確に
なされ、第１゜第２可動子２２．２２’と固定子２３間
の磁力により停止位置が保持されている。
一方、リニアベアリング５によりテーブル本体２を支承
したので、摺動抵抗は小さく、テーブル本体２は軽快に
移動すると共に、テーブル本体２と固定ベッド１の間隙
が一定に保持され、テーブル本体２と固定ベッド１との
干渉が防止される・またテーブル本体２と基台１間に介
在される第１゜第２可動子２２．２２’と固定子２３と
のギャップも一定に保持されるので、常に一定の推力で
、安定した走行性能が得られる。また、第１．第２可動
子２２．２２’と固定子２３間のギャップを一定に保持
できるので、ギヤノブを小さくすることが可能となり、
大きな推力および停止保持力が得られる。さらに、各リ
ニアヘアリング５．・・・の負荷ボール１０．・・・に
予圧をかければ、剛性は高くなって、テーブルの可搬荷
重は大きくなると共に、テーブル本体２にかかる衝撃荷
重等に対しても、変形は小さくなるので、第１．第２可
動子２２゜２２′と固定子２３間のギャップをより狭く
することが可能となり、より大きな推力、停止保持力が
得られる。また、ボール転走溝１１．１２と負荷ボール
１０．・・・との接触角αを、４５度付近にとっている
ので、上下左右の四方向からの荷重を均等に支承するこ
とができる。
つぎに第９図乃至第１１図には、本発明の第二実施例が
示されており、第一実施例と同一の構成部分については
同一の符号を付して説明すると、第一実施例と異なる点
は、テーブル本体２のＹ軸方向の長さが長く、テーブル
本体２の面積が大きくなっており、Ｘ軸方向レール６、
・・・が３本構成で、さらにＸ軸方向の駆動用の第１可
動子２２が、Ｘ軸方向に並列に２つ設けられて、テーブ
ル本体２のＸ軸方向の推力および停止保持力が２倍にな
っている点である。その他の構成および作用については
第一実施例と同一であるので、説明を省略する。
なお、第１．第２可動子の数は任意数でよく、またＹ軸
方向レール７、・・・の数も任意に設定し得るものであ
る。
（発明の効果） 本発明は、以上の構成および作用から成るもので、固定
ベッドとテーブル本体との間に介在される同一平面内で
格子状に配列された固定歯を有する固定子と、第１．第
２可動子により構成されるリニアモータにより、テーブ
ル本体がＸ軸およびＹ軸方向に移送されるので、従来の
ようにボールねしの危険速度による制限はなく、リニア
モータに入力するパルスの周波数を高（することにより
テーブル本体を高速に移送できる。また、従来のように
回転運動から直線運動への運動変換機構がないので、ボ
ールねじのねしれ等のＮ　ｈｉ的誤差が無く、高精度に
位置決めできる。さらに従来のように移動部にボールね
し等が必要なくなり軽量化されるので、慣性による影響
は小さくなって、さらに高精度の位置決めが可能となる
。また、従来のように中間サドルが必要なく、同一平面
内で格子状に配列された固定歯を有する固定子を使用し
て、テーブル本体を固定ベッドに対して、Ｘ軸およびＹ
軸方向に移送されるので、Ｘ軸、Ｙ軸方向の搬送荷重は
同一で、Ｘ軸、Ｙ軸方向の慣性の影響は同一となり、従
来のように、Ｘ軸およびＹ軸方向の搬送荷重の違いに起
因する慣性の差の影響により、Ｘ軸、Ｙ軸方向の位置決
め精度のズレが生しるようなことはなくなり、Ｘ軸およ
びＹ軸方向の位置決め精度を同一にできる。また、中間
サドル、ボールねし等が不要で、従来のＸＹテーブルよ
りも全体の高さが小さくなり、さらにモータがテーブル
本体と固定ベッドの間に組込まれるので、薄型コンパク
トで、さらに重心位置の低い安定したＸＹテーブルが実
現できる。さらに、固定へ。
ドと基台の間にリニアモータを組込むだけでよいので、
構造が筒略化され、さらに部品点数を大幅に削減するこ
とができる等の種々の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の第一実施例に係るリニアモータ付ｘ
ｙテーブルの平面図、第２図は第１図の装置のＩＴ−Ｈ
線断面図、第３図は第１図の装置のｌ１ｌ−ＩＩＩ腺断
面断面図４図は第１図の装置のリニアへアリングの取付
状態を示す斜視図、第５図は第１図のリニアヘアリング
の一部破断正面図、第６図はリニアモータの要部を示す
拡大概略断面図、第７ｌ−）は固定子の部分拡大斜視図
、第７図＋ｂｌは第７図＋ａｌのｌ３−Ｂ線断面図、第
７図（Ｃ１は第７図（ａ）のＣ−Ｃ線断面図、第８図＋
ａ＋乃至ｆｄ＋はリニアモータの作動原理を示すリニア
モータの概略図、第９図は、本発明の第二実施例に係る
リニアモータ付ＸＹテーブルの平面図、第１０図は第９
図の装置のＸ−Ｘ線断面図、第１１図は第９図の装置の
ＸＩ−ＸＩ線断面図である。 符　　号　　の　　説　　明

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 固定ベッドにテーブル本体をＸ軸およびＹ軸方向に移動
    可能に配設すると共に、上記固定ベッドとテーブル本体
    との間にリニアモータを介在させて成るリニアモータ付
    ＸＹテーブルにおいて、上記固定ベッドの上面またはテ
    ーブル本体下面のいづれか一方に、同一平面内で格子状
    に配列した固定歯を有する固定子を設け、他方上記テー
    ブル本体下面または固定ベッドの上面のいづれか一方に
    、Ｘ軸方向の第１可動子とＹ軸方向の第２可動子とを配
    設したことを特徴とするリニアモータ付ＸＹテーブル。
JP60165297A 1985-07-26 1985-07-26 リニアモ−タ付ｘｙテ−ブル Granted JPS6228146A (ja)

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DE19863625193 DE3625193A1 (de) 1985-07-26 1986-07-25 Maschinentisch
GB8618223A GB2179279B (en) 1985-07-26 1986-07-25 Linear motor-driven x-y table
FR868610814A FR2585277B1 (fr) 1985-07-26 1986-07-25 Table x-y pour machines-outils
IT8621270A IT1213114B (it) 1985-07-26 1986-07-25 Motore lineare. struttura di tavola x-y azionata da
KR1019860006118A KR930001909B1 (ko) 1985-07-26 1986-07-26 Xy 테이블장치

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IT (1) IT1213114B (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0224032A (ja) * 1988-07-11 1990-01-26 T Echi K Kk Ｘｙテーブル
JPH0224033A (ja) * 1988-07-11 1990-01-26 T Echi K Kk Ｘｙテーブル
JPH02116442A (ja) * 1988-10-26 1990-05-01 T Echi K Kk Ｘｙテーブル
JP5479569B1 (ja) * 2012-12-26 2014-04-23 株式会社ソディック 移動装置

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4906878A (en) * 1986-10-08 1990-03-06 Fanamation, Inc. Fluid circulated linear motor for robotic systems
US4916340A (en) * 1988-01-22 1990-04-10 Canon Kabushiki Kaisha Movement guiding mechanism
US5157296A (en) * 1990-12-20 1992-10-20 Massachusetts Institute Of Technology Bearing for use in high resolution precision control device
US5153472A (en) * 1991-07-19 1992-10-06 International Business Machines Corporation Probe positioning actuator
US5196745A (en) * 1991-08-16 1993-03-23 Massachusetts Institute Of Technology Magnetic positioning device
DE4313458C2 (de) * 1993-04-24 1996-09-05 Matthias Schum 3-D-Koordinaten-Meßmaschine
US5523941A (en) * 1994-10-04 1996-06-04 Burton; Gary L. X-Y-theta positioning mechanism
DE19601018A1 (de) * 1995-01-27 1996-08-01 Zeiss Carl Fa Linear verstellbarer Präzisionstisch
US5752425A (en) * 1995-12-25 1998-05-19 Chuo Precision Industrial Co., Ltd. Microtome
DE19641879A1 (de) * 1996-10-10 1998-04-23 Heinz Peter Brandstetter Stellantrieb
FR2755744B1 (fr) * 1996-11-08 1999-01-22 Micro Controle Dispositif de support de piece en translation x-y
DE19829111C2 (de) * 1998-06-30 2001-06-07 Icoma Fbs Gmbh Packtechnik Vorrichtung zum Bearbeiten von kontinuierlich gefördertem Verpackungsmaterial
RU2201030C2 (ru) * 2000-12-14 2003-03-20 Южно-Российский государственный технический университет (Новочеркасский политехнический институт) Двухкоординатный линейный электродвигатель
DE10304462B4 (de) * 2003-02-04 2007-03-29 Weiss Gmbh Sondermaschinentechnik Rundschalttisch
KR20040106694A (ko) * 2003-06-11 2004-12-18 (주)새한 슬로팅 공작기계
KR100618441B1 (ko) * 2003-09-20 2006-08-30 한국전기연구원 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합시스템
KR100618446B1 (ko) * 2003-09-20 2006-08-31 한국전기연구원 리니어 모션 가이드와 선형 유도 전동기의 결합 시스템
JP2007312516A (ja) * 2006-05-18 2007-11-29 Canon Inc 駆動装置、露光装置及びデバイス製造方法
DE502007003473D1 (de) * 2007-06-30 2010-05-27 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh Werkzeugmaschine mit einer Funktionseinheit mit Linearantrieb
WO2009039865A1 (de) * 2007-09-20 2009-04-02 Festo Ag & Co. Kg Elektrische lineardirektantriebsvorrichtung mit einem zwei führungsschienen zur linearführung eines angetriebenen schlittens aufweisender stator
WO2009047689A2 (en) * 2007-10-12 2009-04-16 Koninklijke Philips Electronics N.V. Single magnetic track two axis positioning system
JP2009136065A (ja) * 2007-11-29 2009-06-18 Canon Inc 平面モータおよびそれを用いたステージ
US8664808B2 (en) * 2008-10-23 2014-03-04 Sodick Co., Ltd. Linear motor coil assembly with cooling device
USD653274S1 (en) * 2010-10-15 2012-01-31 Thorlabs, Inc. Motorized stage
DE102012215783B4 (de) 2012-09-06 2014-08-14 Aktiebolaget Skf Linearführung
JP6846943B2 (ja) * 2017-02-10 2021-03-24 東京エレクトロン株式会社 塗布装置、および塗布方法
WO2021092106A1 (en) * 2019-11-07 2021-05-14 Hyperloop Technologies, Inc. A force-producing electromagnetic machine
US20240072630A1 (en) * 2021-02-18 2024-02-29 Fuji Corporation Moving device
CN117713398B (zh) * 2024-02-05 2024-05-07 西南交通大学 一种高精度直驱型机电作动器

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS49100518A (ja) * 1973-01-31 1974-09-24
JPS52523A (en) * 1975-06-09 1977-01-05 Strecker Otto C Dr Paper putting table

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1623832C3 (de) * 1967-07-10 1974-08-15 Xynetics, Inc. (N.D.Ges.D.Staates Californien), Canoga Park, Calif. (V.St.A.) Magnetische Einstellvorrichtung mit einem Läuferglied und einem Ständerglied
US3656014A (en) * 1971-04-08 1972-04-11 Gerber Scientific Instr Co Damping apparatus for a linear step motor having two translational degrees of freedom
US3716731A (en) * 1971-07-19 1973-02-13 Skf Ind Trading & Dev Arrangement for rectilinear guiding of a machine member along a beam
US3857075A (en) * 1971-07-19 1974-12-24 B Sawyer Positioning device
CA968019A (en) * 1971-09-08 1975-05-20 Walter E. Hinds Positioning system using synchronous motor
JPS4976012A (ja) * 1972-11-25 1974-07-23
JPS5037169U (ja) * 1973-07-31 1975-04-18
JPS5047116A (ja) * 1973-08-31 1975-04-26
US3881139A (en) * 1973-11-16 1975-04-29 Fujitsu Ltd 3-Axis pulse operated linear motor
JPS5476745A (en) * 1977-11-30 1979-06-19 Hiroshi Teramachi Cross linear bearing unit
US4427240A (en) * 1982-02-13 1984-01-24 Hiroshi Teramachi Endless linear ball bearing
JPS58180833A (ja) * 1982-04-16 1983-10-22 Hiroshi Teramachi テ−ブル移送装置
JPS6016335A (ja) * 1983-07-04 1985-01-28 Ntn Toyo Bearing Co Ltd リニアスライド
JPS61109637A (ja) * 1984-10-31 1986-05-28 Hitachi Ltd テ−ブル装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS49100518A (ja) * 1973-01-31 1974-09-24
JPS52523A (en) * 1975-06-09 1977-01-05 Strecker Otto C Dr Paper putting table

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0224032A (ja) * 1988-07-11 1990-01-26 T Echi K Kk Ｘｙテーブル
JPH0224033A (ja) * 1988-07-11 1990-01-26 T Echi K Kk Ｘｙテーブル
JPH02116442A (ja) * 1988-10-26 1990-05-01 T Echi K Kk Ｘｙテーブル
JP5479569B1 (ja) * 2012-12-26 2014-04-23 株式会社ソディック 移動装置

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Publication number Publication date
JPH0480782B2 (ja) 1992-12-21
DE3625193A1 (de) 1987-02-05
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KR930001909B1 (ko) 1993-03-20
IT1213114B (it) 1989-12-07
GB2179279A (en) 1987-03-04
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KR870001000A (ko) 1987-03-10
DE3625193C2 (ja) 1990-05-03
IT8621270A0 (it) 1986-07-25

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