JPH0440137B2 - - Google Patents
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- JPH0440137B2 JPH0440137B2 JP60133999A JP13399985A JPH0440137B2 JP H0440137 B2 JPH0440137 B2 JP H0440137B2 JP 60133999 A JP60133999 A JP 60133999A JP 13399985 A JP13399985 A JP 13399985A JP H0440137 B2 JPH0440137 B2 JP H0440137B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable table
- movable
- magnetic pole
- stator
- fixed
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/04—Ball or roller bearings
- F16C29/06—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load
- F16C29/0614—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a shoe type bearing body, e.g. a body facing one side of the guide rail or track only
- F16C29/0621—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a shoe type bearing body, e.g. a body facing one side of the guide rail or track only for supporting load in essentially two directions, e.g. by multiple points of contact or two rows of rolling elements
- F16C29/0623—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a shoe type bearing body, e.g. a body facing one side of the guide rail or track only for supporting load in essentially two directions, e.g. by multiple points of contact or two rows of rolling elements with balls
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/28—Means for securing sliding members in any desired position
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/58—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/04—Ball or roller bearings
- F16C29/06—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load
- F16C29/063—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body, e.g. a carriage or part thereof, provided between the legs of a U-shaped guide rail or track
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/10—Arrangements for locking the bearings
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
- H02K41/031—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type
- H02K41/033—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type with armature and magnets on one member, the other member being a flux distributor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2322/00—Apparatus used in shaping articles
- F16C2322/39—General buildup of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K2201/00—Specific aspects not provided for in the other groups of this subclass relating to the magnetic circuits
- H02K2201/18—Machines moving with multiple degrees of freedom
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K7/00—Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
- H02K7/08—Structural association with bearings
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K7/00—Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
- H02K7/10—Structural association with clutches, brakes, gears, pulleys or mechanical starters
- H02K7/102—Structural association with clutches, brakes, gears, pulleys or mechanical starters with friction brakes
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Power Engineering (AREA)
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- Linear Motors (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Description
(産業上の利用分野)
本発明はたとえば工作機械等に使用されるテー
ブル移送装置に関する。 (従来の技術) 従来テーブル移送装置としては、固定ベツドに
可動テーブルが摺動自在に取付けられ、この可動
テーブルの送り機構はボールネジとサーボモータ
もしくはステツピングモータ等の回転モータが組
合わされて構成されており、ボールネジの回転運
動で可動テーブルの直線運動を制御して高精度に
位置決めするのが一般的であつた。しかしボール
ネジのバツクラツシユ等により始動時、停止時の
応答性が悪く、位置決め精度を高精度にできない
こと、また高精度にするためにボールネジのピツ
チを小さくすると高速性が劣ること、さらにボー
ルネジと回転モータを組付ける必要があることか
ら装置が大型化する等の欠点があつた。これに対
し、リニアモータを使用すると、ボールネジ等に
よる機械的な駆動伝達機構が必要ないために、応
答性がよく、また高速に駆動し得ること、さらに
リニアモータの可動子および固定子が可動テーブ
ルと固定ベツドとの間に組み込まれることから小
型化できること等の利点があり、リニアモータを
使用したテーブル移送装置が種々提案されてい
る。 (発明が解決しようとする問題点) しかし斯かる従来例の場合には、通常固定子を
個定ベツド側に固定して、その上を可動テーブル
が移動するので可動テーブルの移動し得る範囲
は、固定子の長さ分の範囲内に限られていた。そ
のために長い距離を移動させる場合には、長い固
定子を製作する必要があつた。一方固定子の固定
子歯は鉄板等をエツチングすることにより形成さ
れるが、固定子を長くすると、それだけエツチン
グ用の長いバスが必要となり生産設備の増大を招
きコストアツプにつながることから、長さは制限
され、さらに固定子自体もその長さに比例して製
作コストが増大するという問題があつた。このよ
うな問題を解決するために、短い長さの固定子を
複数個継ぎ足して長い固定子を形成することも考
えられるが、各固定子の継ぎ目部分を固定子歯の
ピツチと同一の精度で継ぎ足すことが困難で、た
とえば1mmピツチで走行していても継ぎ目部分で
1.5mmピツチとオーバーしたり、少なかつたりし
て可動テーブルの走行精度が悪くなるという問題
があつた。 本発明は上記の問題を解決するためになされた
もので、その目的とするところは、固定子の長さ
に関係なく、固定子よりも長い距離でも無限に移
動可能でかつ精密送り可能なテーブル移送装置を
提供することにある。 (問題点を解決するための手段) 上記の目的を達成するために、本発明にあつて
は、固定ベツド上に第1可動テーブルおよび第2
可動テーブルを上下方向に離隔させて設け、該第
1可動テーブルおよび第2可動テーブルをそれぞ
れリニアベアリングを介して同一方向に移動自在
に取付け、上記第1可動テーブルおよび第2可動
テーブルには該第1可動テーブルおよび第2可動
テーブルを上記固定ベツドに対して固定せしめる
ブレーキ手段が取付けられ、上記第1可動テーブ
ルと第2可動テーブルの間にリニアモータを介在
させると共に、該第1可動テーブルおよび第2可
動テーブルをブレーキ手段にて交互に固定ベツド
に固定して交互に移動させることにより歩進運動
可能に構成したものから成つている。 (実施例) 以下に、本発明を図示の実施例に基づいて説明
する。本発明の一実施例に係るリニアモータを示
す第1図乃至第6図において、1は固定ベツド
で、その両側端は上方に向つて突出して長手方向
に互いに平行に延びるフランジ2,2が形成され
ており、両フランジ2,2の内側面に沿つて平行
に軌道台3,3がボルト等の固着具4によつて固
定ベツド1に固着されている。軌道台3,3には
リニアベアリングを介して第1可動テーブル5と
第2可動テーブル6が軌道台3,3に沿つて移動
自在に支承されている。すなわち第2可動テーブ
ル6の下面両側端部にはリニアベアリング取付用
の凹所が形成されており、2対のリニアベアリン
グ7,7;7,7がボルト等の固着具8,…によ
り固着されている。また第1可動テーブル5の上
面の前端部および後端部の両側端部には2対のリ
ニアベアリング9,9;9,9がボルト等の固着
具10,…により固着されている。軌道台3,3
の両側面には2条の負荷ボール転送溝3a,3a
がそれぞれ形成されており、上記したリニアベア
リング7…,9…の負荷ボール22を案内するよ
うになつている。したがつて同一の軌道台3,3
に第1可動テーブル5と第2可動テーブル6に固
着したリニアベアリング7,…;9,…が共に案
内され、第2可動テーブル6は第1可動テーブル
5に対して相対移動可能となつているが、第2可
動テーブル6の移動範囲は第1可動テーブル5に
対しては、第1可動テーブル5の前後両端に取付
けられたリニアベアリング9,9間を移動するよ
うになつている。第1可動テーブル5と第2可動
テーブル6の間には、リニアモータAが介在され
ており第1可動テーブル5の上面にはリニアモー
タAの固定子5′が取付けられている。一方第2
可動テーブル6の下面には可動子6′が取付けら
れている。 また第2可動テーブル6の中央部両側にはリニ
アベアリング7,7の間に一対のブレーキ手段と
しての電磁ブレーキ11,11が取付けられてい
る。一方第1可動テーブル5の前端部および後端
部の上面両側端には2対の電磁ブレーキ12,1
2,12,12が取付けられている。この電磁ブ
レーキ11,12は第7図に示すように、制動す
る際に軌道台3に押し付けられるブレーキシユー
13と、ブレーキシユー13を軌道台3に対して
直角方向に進退させるプランジヤ14と、プラン
ジヤ14を作動させる電磁コイル15とから成つ
ており、通電時にプランジヤ14が吸引されてブ
レーキシユー13が軌道台3から離れ、非通電時
にはスプリング16によりブレーキシユー13が
軌道台3に押付けられるようになつている。 各リニアベアリング7,9は第8図乃至第10
図に示すように、片側に2条のボール転送溝1
7,17が設けられ、かつ内部にボール逃げ孔1
8,18が設けられたベアリングブロツク19
と、2条の負荷ボール列を保持する保持器20
と、ボール転送溝17,17とボール逃げ孔1
8,18とを連通する一対の側蓋21,21とか
ら構成されている。負荷ボール22,22…はボ
ール転送溝17,17およびボール逃げ孔18,
18間を循環するようになつている。このボール
転送溝17,17と負荷ボール22,22…との
接触角αは略45度となつているが、45度に限定さ
れるものではなく30〜60度の範囲であればよい。
また各リニアベアリング,…,9,…と軌道台
3,3との隙間は、たとえば第1図に示すような
隙間調整ボルト23,…によつて調整される。す
なわち隙間調整ボルト23を締め込むことによつ
てリニアベアリング7,…,9,…は軌道台3を
介して他方の軌道台3側に押圧されるとともに、
隙間調整ボルト23,…の押圧力の反力が反対側
のリニアベアリング7,9に作用して負荷ボール
22…に予圧がかけられる。予圧をかける方法と
しては他に偏心ピンを用いてもよく、テーパギブ
等を用いてもよい。 つぎに第11図には本実施例に使用されたリニ
アパルスモータの要部が示されており、可動子
6′は、たとえば永久磁石24を中心に介在させ
てその左右に2つの磁気コア25,26を対向配
置して構成されており、一方の磁気コア25には
永久磁石24によりN極に磁化された第1の磁極
27および第2の磁極28が形成され、他方の磁
気コア26には永久磁石24によりS極に磁化さ
れた第3の磁極29および第4の磁極30が形成
されている。 固定子5′には、第11図に示すように長手方
向と略直交する方向に延びる断面コ字形状の固定
歯5aが長手方向に略全長にわたつて、同一ピツ
チPで等間隔に設けられている。各磁極27〜3
0にも固定子5′と同一のピツチの磁極歯27a
〜30aがそれぞれ形成されている。 N極側の第1の磁極27および第2の磁極28
には、第1のコイル31および第2のコイル32
が巻かれており、電流が流れた際に互いに逆向き
の磁束が発生するように直列に結線されており、
パルス発生源(図示せず)に電気的に接続されて
いる。一方S極側の第3の磁極29および第4の
磁極30にも、同様に直列に結線された第3のコ
イル33および第4のコイル34が巻かれてお
り、パルス発生源(図示せず)に接続されてい
る。ここで、説明の都合上、例えば第1の磁極2
7の磁極歯27aに対して第2の磁極28の磁極
歯28aの位相が1/2ピツチ(1/2P)だけずれて
おり、また第3の磁極29の磁極歯29aに対し
て第4の磁極30の磁極歯30aも同様に位相が
1/2ピツチ(1/2P)だけずれているものとし、さ
らにN極側の第1の磁極27および第2の磁極2
8の磁極歯27a,28aに対してS極側の第3
の磁極29および第4の磁極30の磁極歯29
a,30aは1/4ピツチ(1/4P)だけ位相がずれ
ているものとする。 ここで本実施例のリニアパルスモータの動作原
理について説明する。第12図a〜dは、リニア
パルスモータの動作原理を示す概略図を示してお
り、第1のコイル31と第2のコイル32には端
子aから、第3のコイル33と第4のコイル34
には端子bからパルスが入力されるようになつて
いる。第12図aでは、端子aに第1の磁極27
を励磁する方向に(モード)、第12図bでは
端子bに第4の磁極30を励磁する方向に(モー
ド)、第12図cでは端子aに第2の磁極28
を励磁する方向に(モード)、第12図dでは
端子bに第3の磁極29を励磁する方向に(モー
ド)、それぞれパルスが入力された状態を示し
ている。 ここで第1表にモードないしの場合の各磁
極の磁気力発生状態を示す。
ブル移送装置に関する。 (従来の技術) 従来テーブル移送装置としては、固定ベツドに
可動テーブルが摺動自在に取付けられ、この可動
テーブルの送り機構はボールネジとサーボモータ
もしくはステツピングモータ等の回転モータが組
合わされて構成されており、ボールネジの回転運
動で可動テーブルの直線運動を制御して高精度に
位置決めするのが一般的であつた。しかしボール
ネジのバツクラツシユ等により始動時、停止時の
応答性が悪く、位置決め精度を高精度にできない
こと、また高精度にするためにボールネジのピツ
チを小さくすると高速性が劣ること、さらにボー
ルネジと回転モータを組付ける必要があることか
ら装置が大型化する等の欠点があつた。これに対
し、リニアモータを使用すると、ボールネジ等に
よる機械的な駆動伝達機構が必要ないために、応
答性がよく、また高速に駆動し得ること、さらに
リニアモータの可動子および固定子が可動テーブ
ルと固定ベツドとの間に組み込まれることから小
型化できること等の利点があり、リニアモータを
使用したテーブル移送装置が種々提案されてい
る。 (発明が解決しようとする問題点) しかし斯かる従来例の場合には、通常固定子を
個定ベツド側に固定して、その上を可動テーブル
が移動するので可動テーブルの移動し得る範囲
は、固定子の長さ分の範囲内に限られていた。そ
のために長い距離を移動させる場合には、長い固
定子を製作する必要があつた。一方固定子の固定
子歯は鉄板等をエツチングすることにより形成さ
れるが、固定子を長くすると、それだけエツチン
グ用の長いバスが必要となり生産設備の増大を招
きコストアツプにつながることから、長さは制限
され、さらに固定子自体もその長さに比例して製
作コストが増大するという問題があつた。このよ
うな問題を解決するために、短い長さの固定子を
複数個継ぎ足して長い固定子を形成することも考
えられるが、各固定子の継ぎ目部分を固定子歯の
ピツチと同一の精度で継ぎ足すことが困難で、た
とえば1mmピツチで走行していても継ぎ目部分で
1.5mmピツチとオーバーしたり、少なかつたりし
て可動テーブルの走行精度が悪くなるという問題
があつた。 本発明は上記の問題を解決するためになされた
もので、その目的とするところは、固定子の長さ
に関係なく、固定子よりも長い距離でも無限に移
動可能でかつ精密送り可能なテーブル移送装置を
提供することにある。 (問題点を解決するための手段) 上記の目的を達成するために、本発明にあつて
は、固定ベツド上に第1可動テーブルおよび第2
可動テーブルを上下方向に離隔させて設け、該第
1可動テーブルおよび第2可動テーブルをそれぞ
れリニアベアリングを介して同一方向に移動自在
に取付け、上記第1可動テーブルおよび第2可動
テーブルには該第1可動テーブルおよび第2可動
テーブルを上記固定ベツドに対して固定せしめる
ブレーキ手段が取付けられ、上記第1可動テーブ
ルと第2可動テーブルの間にリニアモータを介在
させると共に、該第1可動テーブルおよび第2可
動テーブルをブレーキ手段にて交互に固定ベツド
に固定して交互に移動させることにより歩進運動
可能に構成したものから成つている。 (実施例) 以下に、本発明を図示の実施例に基づいて説明
する。本発明の一実施例に係るリニアモータを示
す第1図乃至第6図において、1は固定ベツド
で、その両側端は上方に向つて突出して長手方向
に互いに平行に延びるフランジ2,2が形成され
ており、両フランジ2,2の内側面に沿つて平行
に軌道台3,3がボルト等の固着具4によつて固
定ベツド1に固着されている。軌道台3,3には
リニアベアリングを介して第1可動テーブル5と
第2可動テーブル6が軌道台3,3に沿つて移動
自在に支承されている。すなわち第2可動テーブ
ル6の下面両側端部にはリニアベアリング取付用
の凹所が形成されており、2対のリニアベアリン
グ7,7;7,7がボルト等の固着具8,…によ
り固着されている。また第1可動テーブル5の上
面の前端部および後端部の両側端部には2対のリ
ニアベアリング9,9;9,9がボルト等の固着
具10,…により固着されている。軌道台3,3
の両側面には2条の負荷ボール転送溝3a,3a
がそれぞれ形成されており、上記したリニアベア
リング7…,9…の負荷ボール22を案内するよ
うになつている。したがつて同一の軌道台3,3
に第1可動テーブル5と第2可動テーブル6に固
着したリニアベアリング7,…;9,…が共に案
内され、第2可動テーブル6は第1可動テーブル
5に対して相対移動可能となつているが、第2可
動テーブル6の移動範囲は第1可動テーブル5に
対しては、第1可動テーブル5の前後両端に取付
けられたリニアベアリング9,9間を移動するよ
うになつている。第1可動テーブル5と第2可動
テーブル6の間には、リニアモータAが介在され
ており第1可動テーブル5の上面にはリニアモー
タAの固定子5′が取付けられている。一方第2
可動テーブル6の下面には可動子6′が取付けら
れている。 また第2可動テーブル6の中央部両側にはリニ
アベアリング7,7の間に一対のブレーキ手段と
しての電磁ブレーキ11,11が取付けられてい
る。一方第1可動テーブル5の前端部および後端
部の上面両側端には2対の電磁ブレーキ12,1
2,12,12が取付けられている。この電磁ブ
レーキ11,12は第7図に示すように、制動す
る際に軌道台3に押し付けられるブレーキシユー
13と、ブレーキシユー13を軌道台3に対して
直角方向に進退させるプランジヤ14と、プラン
ジヤ14を作動させる電磁コイル15とから成つ
ており、通電時にプランジヤ14が吸引されてブ
レーキシユー13が軌道台3から離れ、非通電時
にはスプリング16によりブレーキシユー13が
軌道台3に押付けられるようになつている。 各リニアベアリング7,9は第8図乃至第10
図に示すように、片側に2条のボール転送溝1
7,17が設けられ、かつ内部にボール逃げ孔1
8,18が設けられたベアリングブロツク19
と、2条の負荷ボール列を保持する保持器20
と、ボール転送溝17,17とボール逃げ孔1
8,18とを連通する一対の側蓋21,21とか
ら構成されている。負荷ボール22,22…はボ
ール転送溝17,17およびボール逃げ孔18,
18間を循環するようになつている。このボール
転送溝17,17と負荷ボール22,22…との
接触角αは略45度となつているが、45度に限定さ
れるものではなく30〜60度の範囲であればよい。
また各リニアベアリング,…,9,…と軌道台
3,3との隙間は、たとえば第1図に示すような
隙間調整ボルト23,…によつて調整される。す
なわち隙間調整ボルト23を締め込むことによつ
てリニアベアリング7,…,9,…は軌道台3を
介して他方の軌道台3側に押圧されるとともに、
隙間調整ボルト23,…の押圧力の反力が反対側
のリニアベアリング7,9に作用して負荷ボール
22…に予圧がかけられる。予圧をかける方法と
しては他に偏心ピンを用いてもよく、テーパギブ
等を用いてもよい。 つぎに第11図には本実施例に使用されたリニ
アパルスモータの要部が示されており、可動子
6′は、たとえば永久磁石24を中心に介在させ
てその左右に2つの磁気コア25,26を対向配
置して構成されており、一方の磁気コア25には
永久磁石24によりN極に磁化された第1の磁極
27および第2の磁極28が形成され、他方の磁
気コア26には永久磁石24によりS極に磁化さ
れた第3の磁極29および第4の磁極30が形成
されている。 固定子5′には、第11図に示すように長手方
向と略直交する方向に延びる断面コ字形状の固定
歯5aが長手方向に略全長にわたつて、同一ピツ
チPで等間隔に設けられている。各磁極27〜3
0にも固定子5′と同一のピツチの磁極歯27a
〜30aがそれぞれ形成されている。 N極側の第1の磁極27および第2の磁極28
には、第1のコイル31および第2のコイル32
が巻かれており、電流が流れた際に互いに逆向き
の磁束が発生するように直列に結線されており、
パルス発生源(図示せず)に電気的に接続されて
いる。一方S極側の第3の磁極29および第4の
磁極30にも、同様に直列に結線された第3のコ
イル33および第4のコイル34が巻かれてお
り、パルス発生源(図示せず)に接続されてい
る。ここで、説明の都合上、例えば第1の磁極2
7の磁極歯27aに対して第2の磁極28の磁極
歯28aの位相が1/2ピツチ(1/2P)だけずれて
おり、また第3の磁極29の磁極歯29aに対し
て第4の磁極30の磁極歯30aも同様に位相が
1/2ピツチ(1/2P)だけずれているものとし、さ
らにN極側の第1の磁極27および第2の磁極2
8の磁極歯27a,28aに対してS極側の第3
の磁極29および第4の磁極30の磁極歯29
a,30aは1/4ピツチ(1/4P)だけ位相がずれ
ているものとする。 ここで本実施例のリニアパルスモータの動作原
理について説明する。第12図a〜dは、リニア
パルスモータの動作原理を示す概略図を示してお
り、第1のコイル31と第2のコイル32には端
子aから、第3のコイル33と第4のコイル34
には端子bからパルスが入力されるようになつて
いる。第12図aでは、端子aに第1の磁極27
を励磁する方向に(モード)、第12図bでは
端子bに第4の磁極30を励磁する方向に(モー
ド)、第12図cでは端子aに第2の磁極28
を励磁する方向に(モード)、第12図dでは
端子bに第3の磁極29を励磁する方向に(モー
ド)、それぞれパルスが入力された状態を示し
ている。 ここで第1表にモードないしの場合の各磁
極の磁気力発生状態を示す。
【表】
【表】
第1表に示すようにモードの場合にはN極側
の第1の磁極27の磁力が強力で、第1の磁極2
7と固定子5の固定歯5aとの間の吸引力により
可動子6は保持され安定状態にある。一方S極側
の第3および第4の磁極29,30はそれぞれ固
定子5の固定歯5aに対して1/4ピツチだけ位相
がずれている。モードでは第1の磁極27のコ
イル31による磁力はなくなり、代つてS極側の
第4の磁極30の磁力が強力になつて、可動子6
は第4の磁極30が固定子5の固定歯5aと位相
が合致する方向に相対的に移動して1/4ピツチ
(1/4P)だけ進むことになる。このときN極側の
第1および第2の磁極27,28が1/4ピツチ
(1/4P)だけ位相がずれる。 さらにモードではN極側の第2の磁極28の
磁力が強力になり、第2の磁極28が固定子5の
固定歯5aと位相が合致する方法に可動子6は相
対的に移動して1/4ピツチ(1/4P)進み、S極側
の第3および第4の磁極29,30は1/4ピツチ
(1/4P)だけ位相がずれる。モードではS極側
の第3の磁極29の磁力が強力となり、第3の磁
極29が固定子5の固定歯5aと位相が合致する
方向に可動子6は相対的に移動して1/4ピツチ
(1/4P)進む。さらに再びモードに戻つてN極
側の第1の磁極27の磁力が強力となつて可動子
6は1/4ピツチ(1/4P)だけ相対的に進み第12
図aの状態となる。このようにモードからの
繰り返しによつて1パルス当り1/4ピツチ(1/4
P)ずつ移動するようになつている。 以上の説明では1相励磁について説明したが、
常時2相の電流を流す2相励磁により駆動しても
よく、また1相と2相に交互に電流を流す1−2
相励磁方式をとつてもよい。 このような構成のテーブル移送装置において
は、次のようにして駆動される。まず第1可動テ
ーブル5の電磁ブレーキ12をオフとして第1可
動テーブル5を軌道台3,3に対してバネ力によ
つて固定し、第2可動テーブル6の電磁ブレーー
キ11をオンとして第2可動テーブル6を軌道台
3,3に対してフリー状態にして、可動子6′に
パルスが入力され、第13図a,b,cに示すよ
うに第2可動テーブル6が所定量前進駆動(図中
左方向)される。第2可動テーブル6が所定量前
進して停止した後第2可動テーブル6の電磁ブレ
ーキ11をオフとして第2可動テーブル6を軌道
台3,3に対して固定し、第1可動テーブル5の
電磁ブレーキ12,…をオンとして第1可動テー
ブル5を軌道台3,3に対してフリー状態にして
可動子6′に、第1可動テーブル5に対して第2
可動テーブル6が後退(図中右方向)する方向に
パルスを入力する。第2可動テーブル6は軌道台
3に固定されているので、その反作用として第1
可動テーブル5が第13図cおよびdに示すよう
に前進(図中右方向)して所定位置で停止する。
さらに第13図eの状態で再び第1可動テーブル
5の電磁ブレーキ12をオフとして第1可動テー
ブル5を軌道台3,3に対して固定して、第2可
動テーブル6の電磁ブレーキ11,…をオンとし
て第2可動テーブル6をフリーとし、上記した動
作を繰り返して第2可動テーブル6および第1可
動テーブル5は交互に前進(図中左方向))して
歩進運動を行ない、軌道台3,3に沿つて無限に
移動する。 また第1可動テーブル5は、前後両端部に設け
られた4つの電磁ブレーキ12,…によつて固定
されるので制動力は大きく、第2可動テーブル6
にかかる荷重が大きく、慣性が大きい場合でも、
電磁ブレーキ12のブレーキシユー13が滑るお
それはない。また第1可動テーブル5の前後両端
部を軌道台3,3に固定したので、第1可動テー
ブル5はバランスよく制動される。 またリニアベアリング7,…,9…を介して各
第1,第2可動テーブル5,6は移動されるの
で、摺動抵抗は小さく、大きい負荷がかかつた場
合でも摩擦抵抗の増大は小さく、円滑に摺動され
る。また本実施例のリニアベアリング7,…,9
…を使用することによりリニアベアリング7,
…,9…を使用しない場合に比べて10〜100倍の
負荷を支えることが可能となる。さらにリニアベ
アリング7,…,9…の負荷ボール22…とボー
ル転送面17,…との接触角を略45度としたの
で、第1,第2可動テーブル5,6にかかる上下
左右の四方向の荷重を均等に支えることができ
る。さらに予圧をかけることにより高剛性となつ
ているので、第1可動テーブル5と第2可動テー
ブル6のギヤツプが一定に保持され、安定した走
行性能が得られ、走行時のピツチがばらつくピツ
チング、蛇行するヨーイング、さらに左右に回動
しながら移動するローリング等の不具合が防止さ
れる。 なお本実施例ではパルス信号により駆動するリ
ニアパルスモータについて説明したが、リニア誘
導モータやリニア直流モータ等についても適用し
得るものである。また本実施例においては、固定
子5′を第1可動テーブル5に、可動子6′を第2
可動テーブル6に取付けたが、逆の構成にしても
よい。 (発明の効果) 本発明は以上の構成および作用からなるもの
で、第1可動テーブルおよび第2可動テーブルに
それぞれブレーキ手段を設け、第1可動テーブル
および第2可動テーブルの一方を択一的に固定ベ
ツドに固定し、第1可動テーブルおよび第2可動
テーブルを交互に移動させるようにしたので、固
定子の長さに関係なく無限に長い距離が移動可能
となる。したがつて長い距離を搬送する場合で
も、従来のように長い固定子を製作する必要がな
く、装置の製作が容易になりコスト低減を図るこ
とができる。また従来のように固定子をつないだ
場合に継目部において生ずる固定子間のピツチず
れがなく精密な送りができる。またリニアベアリ
ングを使用したので、テーブルの前後方向の走行
のばらつき(ピツチング)、蛇行(ヨーイング)、
右左に回動する横揺れ(ローリング)等がなく、
安定した滑らかな走行性能が得られる等の種々の
効果が得られる。
の第1の磁極27の磁力が強力で、第1の磁極2
7と固定子5の固定歯5aとの間の吸引力により
可動子6は保持され安定状態にある。一方S極側
の第3および第4の磁極29,30はそれぞれ固
定子5の固定歯5aに対して1/4ピツチだけ位相
がずれている。モードでは第1の磁極27のコ
イル31による磁力はなくなり、代つてS極側の
第4の磁極30の磁力が強力になつて、可動子6
は第4の磁極30が固定子5の固定歯5aと位相
が合致する方向に相対的に移動して1/4ピツチ
(1/4P)だけ進むことになる。このときN極側の
第1および第2の磁極27,28が1/4ピツチ
(1/4P)だけ位相がずれる。 さらにモードではN極側の第2の磁極28の
磁力が強力になり、第2の磁極28が固定子5の
固定歯5aと位相が合致する方法に可動子6は相
対的に移動して1/4ピツチ(1/4P)進み、S極側
の第3および第4の磁極29,30は1/4ピツチ
(1/4P)だけ位相がずれる。モードではS極側
の第3の磁極29の磁力が強力となり、第3の磁
極29が固定子5の固定歯5aと位相が合致する
方向に可動子6は相対的に移動して1/4ピツチ
(1/4P)進む。さらに再びモードに戻つてN極
側の第1の磁極27の磁力が強力となつて可動子
6は1/4ピツチ(1/4P)だけ相対的に進み第12
図aの状態となる。このようにモードからの
繰り返しによつて1パルス当り1/4ピツチ(1/4
P)ずつ移動するようになつている。 以上の説明では1相励磁について説明したが、
常時2相の電流を流す2相励磁により駆動しても
よく、また1相と2相に交互に電流を流す1−2
相励磁方式をとつてもよい。 このような構成のテーブル移送装置において
は、次のようにして駆動される。まず第1可動テ
ーブル5の電磁ブレーキ12をオフとして第1可
動テーブル5を軌道台3,3に対してバネ力によ
つて固定し、第2可動テーブル6の電磁ブレーー
キ11をオンとして第2可動テーブル6を軌道台
3,3に対してフリー状態にして、可動子6′に
パルスが入力され、第13図a,b,cに示すよ
うに第2可動テーブル6が所定量前進駆動(図中
左方向)される。第2可動テーブル6が所定量前
進して停止した後第2可動テーブル6の電磁ブレ
ーキ11をオフとして第2可動テーブル6を軌道
台3,3に対して固定し、第1可動テーブル5の
電磁ブレーキ12,…をオンとして第1可動テー
ブル5を軌道台3,3に対してフリー状態にして
可動子6′に、第1可動テーブル5に対して第2
可動テーブル6が後退(図中右方向)する方向に
パルスを入力する。第2可動テーブル6は軌道台
3に固定されているので、その反作用として第1
可動テーブル5が第13図cおよびdに示すよう
に前進(図中右方向)して所定位置で停止する。
さらに第13図eの状態で再び第1可動テーブル
5の電磁ブレーキ12をオフとして第1可動テー
ブル5を軌道台3,3に対して固定して、第2可
動テーブル6の電磁ブレーキ11,…をオンとし
て第2可動テーブル6をフリーとし、上記した動
作を繰り返して第2可動テーブル6および第1可
動テーブル5は交互に前進(図中左方向))して
歩進運動を行ない、軌道台3,3に沿つて無限に
移動する。 また第1可動テーブル5は、前後両端部に設け
られた4つの電磁ブレーキ12,…によつて固定
されるので制動力は大きく、第2可動テーブル6
にかかる荷重が大きく、慣性が大きい場合でも、
電磁ブレーキ12のブレーキシユー13が滑るお
それはない。また第1可動テーブル5の前後両端
部を軌道台3,3に固定したので、第1可動テー
ブル5はバランスよく制動される。 またリニアベアリング7,…,9…を介して各
第1,第2可動テーブル5,6は移動されるの
で、摺動抵抗は小さく、大きい負荷がかかつた場
合でも摩擦抵抗の増大は小さく、円滑に摺動され
る。また本実施例のリニアベアリング7,…,9
…を使用することによりリニアベアリング7,
…,9…を使用しない場合に比べて10〜100倍の
負荷を支えることが可能となる。さらにリニアベ
アリング7,…,9…の負荷ボール22…とボー
ル転送面17,…との接触角を略45度としたの
で、第1,第2可動テーブル5,6にかかる上下
左右の四方向の荷重を均等に支えることができ
る。さらに予圧をかけることにより高剛性となつ
ているので、第1可動テーブル5と第2可動テー
ブル6のギヤツプが一定に保持され、安定した走
行性能が得られ、走行時のピツチがばらつくピツ
チング、蛇行するヨーイング、さらに左右に回動
しながら移動するローリング等の不具合が防止さ
れる。 なお本実施例ではパルス信号により駆動するリ
ニアパルスモータについて説明したが、リニア誘
導モータやリニア直流モータ等についても適用し
得るものである。また本実施例においては、固定
子5′を第1可動テーブル5に、可動子6′を第2
可動テーブル6に取付けたが、逆の構成にしても
よい。 (発明の効果) 本発明は以上の構成および作用からなるもの
で、第1可動テーブルおよび第2可動テーブルに
それぞれブレーキ手段を設け、第1可動テーブル
および第2可動テーブルの一方を択一的に固定ベ
ツドに固定し、第1可動テーブルおよび第2可動
テーブルを交互に移動させるようにしたので、固
定子の長さに関係なく無限に長い距離が移動可能
となる。したがつて長い距離を搬送する場合で
も、従来のように長い固定子を製作する必要がな
く、装置の製作が容易になりコスト低減を図るこ
とができる。また従来のように固定子をつないだ
場合に継目部において生ずる固定子間のピツチず
れがなく精密な送りができる。またリニアベアリ
ングを使用したので、テーブルの前後方向の走行
のばらつき(ピツチング)、蛇行(ヨーイング)、
右左に回動する横揺れ(ローリング)等がなく、
安定した滑らかな走行性能が得られる等の種々の
効果が得られる。
第1図は本発明の一実施例に係るテーブル移送
装置の平面図、第2図は第1図の装置の縦断面
図、第3図は第1図の−線断面図、第4図は
第1図の−線断面図、第5図は第1図の−
線断面図、第6図は本発明の−線断面図、
第7図は第1図の装置の電磁ブレーキの要部縦断
面図、第8図は第1図の装置のリニアベアリング
の正面図、第9図は第8図の装置の平面図、第1
0図は第9図のX−X線断面図、第11図は可動
子および固定子の要部拡大断面図、第12図a乃
至dはリニアパルスモータの動作原理を示すリニ
アパルスモータの概略正面図、第13図a乃至e
は第1図の装置の動作状態を示す概略正面断面図
である。 符号の説明、1…固定ベツト、5…第1可動テ
ーブル、6…第2可動テーブル、7,9…リニア
ベアリング、11,12…電磁ブレーキ(ブレー
キ手段)、5′…固定子、6′…可動子、A…リニ
アモータ。
装置の平面図、第2図は第1図の装置の縦断面
図、第3図は第1図の−線断面図、第4図は
第1図の−線断面図、第5図は第1図の−
線断面図、第6図は本発明の−線断面図、
第7図は第1図の装置の電磁ブレーキの要部縦断
面図、第8図は第1図の装置のリニアベアリング
の正面図、第9図は第8図の装置の平面図、第1
0図は第9図のX−X線断面図、第11図は可動
子および固定子の要部拡大断面図、第12図a乃
至dはリニアパルスモータの動作原理を示すリニ
アパルスモータの概略正面図、第13図a乃至e
は第1図の装置の動作状態を示す概略正面断面図
である。 符号の説明、1…固定ベツト、5…第1可動テ
ーブル、6…第2可動テーブル、7,9…リニア
ベアリング、11,12…電磁ブレーキ(ブレー
キ手段)、5′…固定子、6′…可動子、A…リニ
アモータ。
Claims (1)
- 1 固定ベツド上に第1可動テーブルおよび第2
可動テーブルを上下方向に離隔させて設け、該第
1可動テーブルおよび第2可動テーブルをそれぞ
れリニアベアリングを介して同一方向に移動自在
に取付け、上記第1可動テーブルおよび第2可動
テーブルには該第1可動テーブルおよび第2可動
テーブルを上記固定ベツドに対して固定せしめる
ブレーキ手段が取付けられ、上記第1可動テーブ
ルと第2可動テーブルの間にリニアモータを介在
させると共に、該第1可動テーブルおよび第2可
動テーブルをブレーキ手段にて交互に固定ベツド
に固定して交互に移動させることにより、歩進運
動可能に構成して成ることを特徴とするテーブル
移送装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60133999A JPS61293740A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | テ−ブル移送装置 |
| KR1019860004851A KR890005089B1 (ko) | 1985-06-21 | 1986-06-18 | 테이블 이송장치 |
| US06/876,810 US4681506A (en) | 1985-06-21 | 1986-06-20 | Table feed apparatus |
| DE19863620741 DE3620741A1 (de) | 1985-06-21 | 1986-06-20 | Tischvorschubeinrichtung |
| GB08615131A GB2176722B (en) | 1985-06-21 | 1986-06-20 | Table feed apparatus |
| IT20875/86A IT1204893B (it) | 1985-06-21 | 1986-06-20 | Apparecchiatura per l'avanzamento di una tavola porta-pezzo in macchine utensili e simili |
| FR868609040A FR2583670B1 (fr) | 1985-06-21 | 1986-06-23 | Dispositif d'avance de table |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60133999A JPS61293740A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | テ−ブル移送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61293740A JPS61293740A (ja) | 1986-12-24 |
| JPH0440137B2 true JPH0440137B2 (ja) | 1992-07-01 |
Family
ID=15118014
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60133999A Granted JPS61293740A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | テ−ブル移送装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4681506A (ja) |
| JP (1) | JPS61293740A (ja) |
| KR (1) | KR890005089B1 (ja) |
| DE (1) | DE3620741A1 (ja) |
| FR (1) | FR2583670B1 (ja) |
| GB (1) | GB2176722B (ja) |
| IT (1) | IT1204893B (ja) |
Families Citing this family (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| DE4016987C1 (en) * | 1990-05-26 | 1991-11-14 | Gerhard-Guenter 7266 Neuweiler De Gassmann | Computer controlled positioning appts. - has drive carriage coupled to two threaded spindles for displacing drive rods |
| JP2864155B2 (ja) * | 1990-07-12 | 1999-03-03 | キタムラ機械株式会社 | パレット交換装置 |
| JPH05199704A (ja) * | 1991-08-08 | 1993-08-06 | General Electric Co <Ge> | 電気アクチュエータ・モータ |
| KR100276981B1 (ko) * | 1992-05-20 | 2001-01-15 | 다카키도시요시 | 테이블 이송장치 |
| US5368425A (en) * | 1992-07-31 | 1994-11-29 | Ford Motor Company | Multi-axis linear motor positioner with Y-axis supported at single end |
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| JP3896550B2 (ja) * | 1994-11-24 | 2007-03-22 | Smc株式会社 | リニアアクチュエータ |
| KR0159675B1 (ko) * | 1995-01-11 | 1999-01-15 | 오카노 사다오 | 공작 기계용 리니어 모터장치 |
| JPH08284985A (ja) * | 1995-04-10 | 1996-11-01 | Fanuc Ltd | リニアモータを使用した工作機械のブレーキ機構 |
| JPH114508A (ja) * | 1997-06-12 | 1999-01-06 | Nippon Thompson Co Ltd | リニアモータテーブルの制動装置 |
| DE19910734A1 (de) | 1999-03-11 | 2000-09-28 | Grob Gmbh & Co Kg | Linearantrieb und Verfahren zur Montage bzw. Demontage dieses Linearantriebes |
| JP4268716B2 (ja) * | 1999-03-12 | 2009-05-27 | 株式会社森精機製作所 | 工作機械のクランプ装置 |
| JP4248695B2 (ja) * | 1999-07-26 | 2009-04-02 | 東京エレクトロン株式会社 | ウェハ移載装置の緊急停止装置 |
| JP4503866B2 (ja) * | 2000-03-13 | 2010-07-14 | Thk株式会社 | 転がり案内装置及びこの転がり案内装置を用いた駆動装置 |
| WO2001086700A1 (de) * | 2000-05-09 | 2001-11-15 | Siemens Aktiengesellschaft | Längsförderer |
| EP1404540A4 (en) * | 2001-06-07 | 2009-04-22 | Virginia Tech Intell Prop | SYSTEM FOR PRODUCING AND CONTROLLING THE CARRYING, DRIVE AND GUIDANCE OF LINEAR SWITCHED RELUCTANCE MACHINES |
| JP4035363B2 (ja) * | 2002-05-01 | 2008-01-23 | 日本トムソン株式会社 | 直動案内ユニット |
| US7735632B1 (en) * | 2006-03-31 | 2010-06-15 | Anorad Corporation | Pass-through cover/seal |
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| CN101774476B (zh) * | 2009-12-31 | 2011-09-21 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 基于永磁直线电机的抛送平台 |
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1985
- 1985-06-21 JP JP60133999A patent/JPS61293740A/ja active Granted
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1986
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