JPS6228200U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6228200U JPS6228200U JP12065185U JP12065185U JPS6228200U JP S6228200 U JPS6228200 U JP S6228200U JP 12065185 U JP12065185 U JP 12065185U JP 12065185 U JP12065185 U JP 12065185U JP S6228200 U JPS6228200 U JP S6228200U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning tube
- electron beam
- vacuum
- ion pump
- tube body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 5
- 108010083687 Ion Pumps Proteins 0.000 claims description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
図面は本考案に係る電子線走査管の概略図であ
る。 １０……電子線走査管、１２……走査管本体、
１４……分岐管、１６……スパツタイオンポンプ
、１８……真空荒引きポート、２４……照射窓。
る。 １０……電子線走査管、１２……走査管本体、
１４……分岐管、１６……スパツタイオンポンプ
、１８……真空荒引きポート、２４……照射窓。
Claims (1)
- 加速された電子線が通過する走査管本体から成
り前記走査管本体に分岐接続されたスパツタイオ
ンポンプと前記分岐接続部に設けられた真空荒引
きポートとを有する電子線走査管において、前記
分岐接続部で前記真空荒引きポートと前記スパツ
タイオンポンプとの間に設けられた真空バルブを
有することを特徴とする電子線走査管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12065185U JPS6228200U (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12065185U JPS6228200U (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6228200U true JPS6228200U (ja) | 1987-02-20 |
Family
ID=31009168
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12065185U Pending JPS6228200U (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6228200U (ja) |
-
1985
- 1985-08-06 JP JP12065185U patent/JPS6228200U/ja active Pending