JPH0196648U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0196648U JPH0196648U JP19384887U JP19384887U JPH0196648U JP H0196648 U JPH0196648 U JP H0196648U JP 19384887 U JP19384887 U JP 19384887U JP 19384887 U JP19384887 U JP 19384887U JP H0196648 U JPH0196648 U JP H0196648U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- closed
- chamber
- acceleration
- processing chamber
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 10
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims 6
Description
第１図は本考案の実施例による電子ビーム銃の
断面図及び第２図は従来例の電子ビーム銃の断面
図である。 なお図において、Ｐ……排気源、２１，２２，
２３……配管、２０……密閉連絡室、Ｖ２，Ｖ３
……バルブ。
断面図及び第２図は従来例の電子ビーム銃の断面
図である。 なお図において、Ｐ……排気源、２１，２２，
２３……配管、２０……密閉連絡室、Ｖ２，Ｖ３
……バルブ。
Claims (1)
- 少なくとも熱電子を発生するカソード及び該カ
ソードと対向して配設される加速用アノードを収
納した密閉加速室と、該密閉加速室からの電子ビ
ームが導入される密閉電子ビーム処理室と前記電
子ビーム処理室と前記加速室とを連絡し、前記カ
ソードから発生し、前記加速用アノードにより加
速された電子ビームを通過させるための筒体から
成り、前記加速室及び前記電子ビーム処理室を各
々排気するようにした電子ビーム銃において、共
通の排気源を密閉連絡部に接続し、該密閉連絡部
を各配管及び各バルブを介して前記密閉加速室及
び前記密閉電子ビーム処理室に接続したことを特
徴とする電子ビーム銃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19384887U JPH0196648U (ja) | 1987-12-21 | 1987-12-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19384887U JPH0196648U (ja) | 1987-12-21 | 1987-12-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0196648U true JPH0196648U (ja) | 1989-06-27 |
Family
ID=31484620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19384887U Pending JPH0196648U (ja) | 1987-12-21 | 1987-12-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0196648U (ja) |
-
1987
- 1987-12-21 JP JP19384887U patent/JPH0196648U/ja active Pending