JPS62282294A - 位置決めテ−プル - Google Patents
位置決めテ−プルInfo
- Publication number
- JPS62282294A JPS62282294A JP61126137A JP12613786A JPS62282294A JP S62282294 A JPS62282294 A JP S62282294A JP 61126137 A JP61126137 A JP 61126137A JP 12613786 A JP12613786 A JP 12613786A JP S62282294 A JPS62282294 A JP S62282294A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wedge block
- wedge
- upper table
- blocks
- positioning table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
産業上の利用分野
本発明は、半導体等の製造プロセスの露光工程において
、パターンマスクに対して半導体基板の位置を精密に決
める際に主として使用する位置決めテーブルに関する。
、パターンマスクに対して半導体基板の位置を精密に決
める際に主として使用する位置決めテーブルに関する。
従来の技術
直交するＸ及びｙ方向とＸ −７平面内での回転θに関
する位置決めテーブルに関して、コンパクトな設計と剛
性及び精度の向上を目的とする一段テーブル型位置決め
テーブルが特願昭６０−２４７４１５号で提案されてい
る。
する位置決めテーブルに関して、コンパクトな設計と剛
性及び精度の向上を目的とする一段テーブル型位置決め
テーブルが特願昭６０−２４７４１５号で提案されてい
る。
以下図面を参照しながら、上述した従来の位置決めテー
ブルの一例について説明する。第４図は従来の位置決め
テーブルの斜視図である。第４図において、２１は上テ
ーブル、２２は上テーブル２１を平面内運動に規制する
例えばボール群等の支持手段、２３は３個の回転可能な
ローラー、２４は３個のガイドブロック、２５は３個の
クサビブロック、２８ｉｄ３個のパルスモータ−１２７
Ｕ各ローラー２３をクサビブロック２６に押圧するバネ
である。ここで３個のクサビブロック２５のクサビ角度
は全て同じαであり、またローラー２３の押圧される３
つの当接面のうち２つの当接面は平行で１．他の組合せ
の２つの当接面は垂直である。
ブルの一例について説明する。第４図は従来の位置決め
テーブルの斜視図である。第４図において、２１は上テ
ーブル、２２は上テーブル２１を平面内運動に規制する
例えばボール群等の支持手段、２３は３個の回転可能な
ローラー、２４は３個のガイドブロック、２５は３個の
クサビブロック、２８ｉｄ３個のパルスモータ−１２７
Ｕ各ローラー２３をクサビブロック２６に押圧するバネ
である。ここで３個のクサビブロック２５のクサビ角度
は全て同じαであり、またローラー２３の押圧される３
つの当接面のうち２つの当接面は平行で１．他の組合せ
の２つの当接面は垂直である。
上ｉｃ［成により、パルスモータ−２６の回転によって
３つのクサビブロック２５がガイドブロック２４上を移
動し、上テーブル２１のＸ −７平面内の任意の位置決
めが可能である。
３つのクサビブロック２５がガイドブロック２４上を移
動し、上テーブル２１のＸ −７平面内の任意の位置決
めが可能である。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、上記構成では、Ｘ方向への平向移動の際
に上テーブル２１をはさむ２つのクサビブロック２６を
、移動して位置制御しなければなラス、ｙ方向への平行
移動が一つのクサビブロック２６の移動で成されるのに
比べ制御が複雑で、手動操作が不可能という欠点があっ
た。
に上テーブル２１をはさむ２つのクサビブロック２６を
、移動して位置制御しなければなラス、ｙ方向への平行
移動が一つのクサビブロック２６の移動で成されるのに
比べ制御が複雑で、手動操作が不可能という欠点があっ
た。
本発明は上記問題点に鑑み、上テーブル２１のＸ、７方
向共に平行移動の簡単な位置決めテーブルを提供するも
のである。
向共に平行移動の簡単な位置決めテーブルを提供するも
のである。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明の位置決めテーブル
は上テーブルと、上テーブルを一平面内で運動するよう
に規制する規制手段と、上テーブルに設けられた３個の
ローラーと、前記ローラーと当接する渦接面を有する３
個のクサビブロックと、前記ローラーを前記当接面に押
圧するバネと、前記クサビブロックを当接面に対して一
定の傾斜角度をもって案内し且つ駆動する３組の案内駆
動手段を備え、前記クサビブロックの１個に他の１個の
クサビブロックを載置すると共にこのクサビブロックを
案内し且つ移動させるための案内駆動手段を設けたもの
である。
は上テーブルと、上テーブルを一平面内で運動するよう
に規制する規制手段と、上テーブルに設けられた３個の
ローラーと、前記ローラーと当接する渦接面を有する３
個のクサビブロックと、前記ローラーを前記当接面に押
圧するバネと、前記クサビブロックを当接面に対して一
定の傾斜角度をもって案内し且つ駆動する３組の案内駆
動手段を備え、前記クサビブロックの１個に他の１個の
クサビブロックを載置すると共にこのクサビブロックを
案内し且つ移動させるための案内駆動手段を設けたもの
である。
作 用
本発明は上記の構成により、上テーブルの位置決め動作
時に回転を含まない平行移動をする際、直角を成す２つ
の基準方向のそれぞれの方向への移動に対し、各１個ず
つのクサビブロックの移動で可能となり、制御が簡単で
、手動操作も容易な位置決めができる。
時に回転を含まない平行移動をする際、直角を成す２つ
の基準方向のそれぞれの方向への移動に対し、各１個ず
つのクサビブロックの移動で可能となり、制御が簡単で
、手動操作も容易な位置決めができる。
実施例
以下本発明の一実施例の位置決めテーブルについて図面
を参照しながら説明する。
を参照しながら説明する。
第１図及び第２図は本発明の第１の実施例における位置
決めテーブルの斜視図及び平面図である。
決めテーブルの斜視図及び平面図である。
１はベース板、２は下テーブル、３は上テーブル、４は
上テーブル３が下テーブル２に対しＸ −ｙ平面内で直
進及び回転運動をするよう規制するための３群の大きさ
の等しいポール群（規制手段）である。ここで基準とな
る座標系として、テーブル面に平行な面をＸ −７平面
とし、Ｘ −７平面内での回転をθで表わす。第１図及
び第２図の部分番号に付した添字Ｘ、Ｙ、 θは以下説
明する３つの同形ユニットの共通部分を示す。５ｘ、５
ｙ。
上テーブル３が下テーブル２に対しＸ −ｙ平面内で直
進及び回転運動をするよう規制するための３群の大きさ
の等しいポール群（規制手段）である。ここで基準とな
る座標系として、テーブル面に平行な面をＸ −７平面
とし、Ｘ −７平面内での回転をθで表わす。第１図及
び第２図の部分番号に付した添字Ｘ、Ｙ、 θは以下説
明する３つの同形ユニットの共通部分を示す。５ｘ、５
ｙ。
５θは上テーブル３に取付けられた回転可能なローラー
である。６ｘ、６ｙはベース板１に固定されたガイドブ
ロックであり、７ｘ、７ｙはガイドブロック６ｘ、ａｙ
に設けられたスライドガイドである。ａｘ、８ｙ、８θ
はクサビブロックであり、７θはクサビブロック８ｘＫ
設けられたスライドガイドである。９ｘ、９ｙはガイド
ブロック６ｘ、６ｙに固定されたパルスモータ−であり
、９θはクサビブロック８ｘＫ固定されたパルスモータ
−である。１０ｘ、１０７，１０θはスラストベアリン
グであり、１１ ｘ、 １１ ｙ、 １１θはクサビ
ブロックａｘ、８ｙ、８θの駆動手段であるボールネジ
である。前記パルスモータ−９ｘ。
である。６ｘ、６ｙはベース板１に固定されたガイドブ
ロックであり、７ｘ、７ｙはガイドブロック６ｘ、ａｙ
に設けられたスライドガイドである。ａｘ、８ｙ、８θ
はクサビブロックであり、７θはクサビブロック８ｘＫ
設けられたスライドガイドである。９ｘ、９ｙはガイド
ブロック６ｘ、６ｙに固定されたパルスモータ−であり
、９θはクサビブロック８ｘＫ固定されたパルスモータ
−である。１０ｘ、１０７，１０θはスラストベアリン
グであり、１１ ｘ、 １１ ｙ、 １１θはクサビ
ブロックａｘ、８ｙ、８θの駆動手段であるボールネジ
である。前記パルスモータ−９ｘ。
９ｙ、９θの軸とポールネジ１１ ｘ、１１７，１１０
は図示されないカップリングによυ連接されている。１
２ｘ、１２ｙ、１２θはクサビブロックａｘ、８ｙ、８
θに設けられたポールナツトである。１３ｘ、１３ｙ、
１３θは上テーブル３とベース板１の間に設置された圧
縮バネであり、ローラー５ｘ、５ｙ、５θをクサビブロ
ックＢｘ、８ｙ。
は図示されないカップリングによυ連接されている。１
２ｘ、１２ｙ、１２θはクサビブロックａｘ、８ｙ、８
θに設けられたポールナツトである。１３ｘ、１３ｙ、
１３θは上テーブル３とベース板１の間に設置された圧
縮バネであり、ローラー５ｘ、５ｙ、５θをクサビブロ
ックＢｘ、８ｙ。
８θに押圧している。１４ｘ、１４ｙ、１４θはローラ
ー５ｘ、５ｙ、５θが転動する平面でありクサビブロッ
ク上の当接面である。
ー５ｘ、５ｙ、５θが転動する平面でありクサビブロッ
ク上の当接面である。
以上のように構成された位置決めテーブルについてその
動作を説明する。
動作を説明する。
パルスモータ−９ｘの回転によりボールネジ１１ｘが回
転し、クサビプ ゛゛ロック８ｘがガイドブ
ロック６ｘに設けられたスライドガイド７ｘに案内規制
されながら、ボールネジ１１ｘの軸方向へ移動する。同
様な機構動作をもってクサビブロック８ｙはパルスモー
タ−９ｙの回転によって、ガイドブ０７り６ｙに設けら
れたスライドガイド７ｙに案内規制されながら、ボール
ネジ１１ｙの軸方向へ移動する。クサビブロック８θは
パルスモータ−９θの回転によって、ボールネジ１１θ
が回転しガイドブロック６ｘ上を移動するクサビブロッ
ク８ｘに設けられたスライドガイド７θに案内規制され
るから、ボールネジ１１θの軸方向へ移動する。
転し、クサビプ ゛゛ロック８ｘがガイドブ
ロック６ｘに設けられたスライドガイド７ｘに案内規制
されながら、ボールネジ１１ｘの軸方向へ移動する。同
様な機構動作をもってクサビブロック８ｙはパルスモー
タ−９ｙの回転によって、ガイドブ０７り６ｙに設けら
れたスライドガイド７ｙに案内規制されながら、ボール
ネジ１１ｙの軸方向へ移動する。クサビブロック８θは
パルスモータ−９θの回転によって、ボールネジ１１θ
が回転しガイドブロック６ｘ上を移動するクサビブロッ
ク８ｘに設けられたスライドガイド７θに案内規制され
るから、ボールネジ１１θの軸方向へ移動する。
今、当接面１４ｘ、１４ｙ、１４θとボールネジ１１ｘ
、１１ｙ、１１θの成す角度は３つの角共にαとする。
、１１ｙ、１１θの成す角度は３つの角共にαとする。
また当接面１４ｘと当接面１４θは平行であり、当接面
１４ｙと当接面Ｘは垂直である。当接面１４ｘ及び１４
ｙの法線方向をそれぞれｘ＋７方向とし、Ｘ −７平面
内の回転は前述のようにθで表わされる。クサビプ０７
り８ｘが移動し、クサビブロック８ｙは停止しクサビブ
ロック８θがクサビブロック８ｘに対して相対的に静止
している時、当接面１４Ｘ、１４θは相対的な位置を変
えずにＸ方向へ移動するため、ローラー５ｘ、５θを介
して上テーブル３はＸ方向へ平行移動する。同様にクサ
ビブロック８ｙが移動し、他のクサビブロック８ｘ、８
θが停止している時、上テーブル３はＸ方向へ平行移動
する。またクサビブロック８θがクサビブロック８ｘに
対して相対的に移動する時、当接面１４ｘと尚接面１４
θの相対的な位置が変化する結果、上テーブル３はｘ
−ｙ平面内での回転θをする。当接面１４ｘ。
１４ｙと当接面Ｘは垂直である。当接面１４ｘ及び１４
ｙの法線方向をそれぞれｘ＋７方向とし、Ｘ −７平面
内の回転は前述のようにθで表わされる。クサビプ０７
り８ｘが移動し、クサビブロック８ｙは停止しクサビブ
ロック８θがクサビブロック８ｘに対して相対的に静止
している時、当接面１４Ｘ、１４θは相対的な位置を変
えずにＸ方向へ移動するため、ローラー５ｘ、５θを介
して上テーブル３はＸ方向へ平行移動する。同様にクサ
ビブロック８ｙが移動し、他のクサビブロック８ｘ、８
θが停止している時、上テーブル３はＸ方向へ平行移動
する。またクサビブロック８θがクサビブロック８ｘに
対して相対的に移動する時、当接面１４ｘと尚接面１４
θの相対的な位置が変化する結果、上テーブル３はｘ
−ｙ平面内での回転θをする。当接面１４ｘ。
１４ｙ、１４θの移動によって生ずる上テーブルの移動
に関しては特開昭５９−７２７２７号に詳しい。
に関しては特開昭５９−７２７２７号に詳しい。
以上のように本実施例によれば、互いに平行な当接面１
４ｘ、１４θを有するクサビブ０ツク８ｘと８θに対し
、上テーブル３の回転に寄与するクサビブロック８θを
クサビブロック８ｘに設けたスライドガイド７θ上で移
動させることによってフサとブロック８θをクサビブロ
ック８ｘに対して相対的に停止したまま、クサビブロッ
ク８ｘのみを移動させることによって、上テーブル３の
Ｘ方向への移動させることが可能となった結果、従来に
比べ上テーブル３の平行移動に関する位置制御が簡単で
手動によるＸ７移動も容易な位置決めテーブルを得るこ
とができる。
４ｘ、１４θを有するクサビブ０ツク８ｘと８θに対し
、上テーブル３の回転に寄与するクサビブロック８θを
クサビブロック８ｘに設けたスライドガイド７θ上で移
動させることによってフサとブロック８θをクサビブロ
ック８ｘに対して相対的に停止したまま、クサビブロッ
ク８ｘのみを移動させることによって、上テーブル３の
Ｘ方向への移動させることが可能となった結果、従来に
比べ上テーブル３の平行移動に関する位置制御が簡単で
手動によるＸ７移動も容易な位置決めテーブルを得るこ
とができる。
尚、本実施例では、スライドガイド７ｘ、７ｙ。
７θ、ボールネジ１１ｘ＋１１ｙ、１１θ、パルスモー
タ−９ｘ、９ｙ、９θなどでクサビブロックａｘ、８ｙ
、８θを案内駆動する案内駆動手段を構成しているが、
これに限定されない。
タ−９ｘ、９ｙ、９θなどでクサビブロックａｘ、８ｙ
、８θを案内駆動する案内駆動手段を構成しているが、
これに限定されない。
次に本発明の第２の実施例について図面を参照しながら
説明する。第３図は本発明の第２の実施例を示す部分平
面図である。１６は上テーブル、１６ｘ、１６θはロー
ラー、１７はガイドブロック、１８Ｘ、１８θはクサビ
ブロック、１９ｘ。
説明する。第３図は本発明の第２の実施例を示す部分平
面図である。１６は上テーブル、１６ｘ、１６θはロー
ラー、１７はガイドブロック、１８Ｘ、１８θはクサビ
ブロック、１９ｘ。
１９θはボールネジ、２０！、２０θはローラー１６ｘ
、１６θが転動する平面でありクサビブロック１８に、
１８θ上の当接面である。クサビブロック１８θはクサ
ビブロック１８ｘに設けたスライドガイド上で移動する
。ここで当接面２０ ｘとボールネジ１９ｘの成す角を
α、尚接面２ｏθとボールネジ１９θを成す角をβとし
、αくβとなるよう構成する。
、１６θが転動する平面でありクサビブロック１８に、
１８θ上の当接面である。クサビブロック１８θはクサ
ビブロック１８ｘに設けたスライドガイド上で移動する
。ここで当接面２０ ｘとボールネジ１９ｘの成す角を
α、尚接面２ｏθとボールネジ１９θを成す角をβとし
、αくβとなるよう構成する。
以上の構成により、第１の実施例におけるａ＝βとする
構成よりも上テーブル１５の回転可能範囲を拡大するこ
とができる。
構成よりも上テーブル１５の回転可能範囲を拡大するこ
とができる。
一般に半導体製造における位置合せでは、θ方向には位
置合せ分解能が粗くても良いが、大きい可動範囲が求め
られる。本実施例によればｘ、Ｘ方向の動作分解能を微
細に保ちつつ、θ方向の調整範囲を大きくすることがで
きる。
置合せ分解能が粗くても良いが、大きい可動範囲が求め
られる。本実施例によればｘ、Ｘ方向の動作分解能を微
細に保ちつつ、θ方向の調整範囲を大きくすることがで
きる。
発明の効果
以上のように本発明は、クサビブロックを用いた一段型
位置決めテーブルに対し、クサビブロックの１個にクサ
ビブロックを案内移動させる案内駆動手段を設け、他の
１個のクサビブ０ツクを載置して移動させる２重のクサ
ビブロック機構を用いることにより、直交するＸ及びＸ
方向の２つの平行移動がどちらの方向に対しても１個の
クサビブロックの移動で可能となる結果、制御が簡単で
、手動時にもＸ −７平行移動の容易な位置決めテーブ
ルを得ることができる。
位置決めテーブルに対し、クサビブロックの１個にクサ
ビブロックを案内移動させる案内駆動手段を設け、他の
１個のクサビブ０ツクを載置して移動させる２重のクサ
ビブロック機構を用いることにより、直交するＸ及びＸ
方向の２つの平行移動がどちらの方向に対しても１個の
クサビブロックの移動で可能となる結果、制御が簡単で
、手動時にもＸ −７平行移動の容易な位置決めテーブ
ルを得ることができる。
なお、互いに従属被従属の関係にある２個のクサビブロ
ックの当接面と駆動方向の成す角度を、従属側に対して
被従属側を大きくとる構成とすれば、Ｘ及びｙ方向への
平行移動は微細でかつθ方向の回転可動範囲を大きくす
ることができる。
ックの当接面と駆動方向の成す角度を、従属側に対して
被従属側を大きくとる構成とすれば、Ｘ及びｙ方向への
平行移動は微細でかつθ方向の回転可動範囲を大きくす
ることができる。
第１図は本発明の第１の実施例における位置決めテーブ
ルの斜視図、第２図は第１図の平面図、第３図は本発明
の第２の実施例の部分平面図、第４図は従来の位置決め
テーブルの斜視図である。 ３・・・・・・上テーブル、４・・・・・・ボール群（
規制手段）、５Ｘ、５７，６θ・・・・・・ローラー、
７ｘ、７ｙ、７θ・・・・・・スライドガイド、ａｘ、
８ｙ、８θ・・・・・・クサビブロック、９Ｘ、９７，
９θ・・・・・・パルスモータ−１１１ｘ、 １１ ｙ
、 １１θ・・・・・・ボールネジ、１３ｘ、１３ｙ、
１３θ・・・・・・圧縮バネ（バネ）。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名３−
−、ヒテーフ“ル ７ス・７蓼・７θ−−ス、クイＶスｒイｐずずｔＪＩｙ
、Ｉｆθ−一石゛−ルネリ！ｈ、Ｌ３ｖ−（３ｍ−’Ｊ
Ｅ＊’ｆバキ（へネフ第 ２ 図
ルの斜視図、第２図は第１図の平面図、第３図は本発明
の第２の実施例の部分平面図、第４図は従来の位置決め
テーブルの斜視図である。 ３・・・・・・上テーブル、４・・・・・・ボール群（
規制手段）、５Ｘ、５７，６θ・・・・・・ローラー、
７ｘ、７ｙ、７θ・・・・・・スライドガイド、ａｘ、
８ｙ、８θ・・・・・・クサビブロック、９Ｘ、９７，
９θ・・・・・・パルスモータ−１１１ｘ、 １１ ｙ
、 １１θ・・・・・・ボールネジ、１３ｘ、１３ｙ、
１３θ・・・・・・圧縮バネ（バネ）。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名３−
−、ヒテーフ“ル ７ス・７蓼・７θ−−ス、クイＶスｒイｐずずｔＪＩｙ
、Ｉｆθ−一石゛−ルネリ！ｈ、Ｌ３ｖ−（３ｍ−’Ｊ
Ｅ＊’ｆバキ（へネフ第 ２ 図
Claims (2)
- （１）上テーブルと、上テーブルを一平面内で運動する
ように規制する規制手段と、上テーブルに設けられた３
個のローラと、前記ローラと当接する当接面を有する３
個のクサビブロックと、前記ローラを前記当接面に押圧
するバネと、前記クサビブロックを当接面に対して一定
の傾斜角度をもって案内し且つ移動させるための３組の
案内駆動手段とから構成され、前記クサビブロックの１
個に、他の１個のクサビブロックを載置すると共にこの
クサビブロックを案内し且つ移動させるための案内駆動
手段を設けたことを特徴とする位置決めテーブル。 - （２）２重構造のクサビブロックにおける各クサビブロ
ックの当接面と移動方向の成す各角度が異なることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の位置決めテーブル
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61126137A JPS62282294A (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 | 位置決めテ−プル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61126137A JPS62282294A (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 | 位置決めテ−プル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62282294A true JPS62282294A (ja) | 1987-12-08 |
Family
ID=14927588
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61126137A Pending JPS62282294A (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 | 位置決めテ−プル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62282294A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01242989A (ja) * | 1988-03-24 | 1989-09-27 | Kazuya Hirose | テーブルの縦横移動旋回機構 |
| JPH09155666A (ja) * | 1995-12-01 | 1997-06-17 | Kazuya Hirose | ステージの縦横移動旋回支持機構 |
| JP2000338896A (ja) * | 1999-05-31 | 2000-12-08 | Sony Corp | 基板位置決め装置および基板貼り合わせ装置 |
| US6196138B1 (en) | 1998-04-15 | 2001-03-06 | Thk Co., Ltd | Movable table unit |
-
1986
- 1986-05-30 JP JP61126137A patent/JPS62282294A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01242989A (ja) * | 1988-03-24 | 1989-09-27 | Kazuya Hirose | テーブルの縦横移動旋回機構 |
| JPH09155666A (ja) * | 1995-12-01 | 1997-06-17 | Kazuya Hirose | ステージの縦横移動旋回支持機構 |
| US6196138B1 (en) | 1998-04-15 | 2001-03-06 | Thk Co., Ltd | Movable table unit |
| JP2000338896A (ja) * | 1999-05-31 | 2000-12-08 | Sony Corp | 基板位置決め装置および基板貼り合わせ装置 |
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